CN102540509A - 阵列测试装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种阵列测试装置,包括设置有探针引脚的探针棒。所述阵列测试装置构造为使得选择性地将电信号施加给探针引脚之中的与形成在玻璃面板上的电极的布置方式相对应的一些探针引脚。因此,所述阵列测试装置可以有效地测试电极的位置和布置类型有所不同的不同种类的玻璃面板。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于测试玻璃面板的阵列测试装置。
背景技术
一般来说,平板显示器(FPD)是比具有布劳恩显像管(Braun Tube)的传统电视机或显示器薄而且轻的图像显示器。液晶显示器(LCD)、等离子体显示面板(PDP)、场致发射显示器(FED)以及有机发光二极管(OLED)是已开发并使用的平板显示器的代表实例。
这种FPD中的LCD是以向排列为矩阵形状的液晶单元独立地提供基于图像信息的数据信号来控制液晶单元的透光性的方式来显示预期图像的图像显示器。LCD薄且轻,而且还具有包括功耗低以及操作电压低在内的许多其它优点,因此被广泛地使用。下面将详细描述用在这种LCD中的液晶面板的典型制造方法。
首先,在上玻璃面板上形成彩色滤光片和共用电极。之后,在与上玻璃面板相对的下玻璃面板上形成薄膜晶体管(TFT)和像素电极。
随后将配向层分别涂布至上玻璃面板和下玻璃面板。之后摩擦配向层以便为随后在配向层之间形成的液晶层中的液晶分子提供预倾角和配向方位。
此后,通过将密封胶涂布至玻璃面板中的至少一个来形成密封胶图案,以保持玻璃面板间的间隙、防止液晶漏出、以及密封玻璃面板间的间隙。随后,在玻璃面板之间形成液晶层,从而完成液晶面板。
在上述过程中,测试具有TFT和像素电极的下玻璃面板(下文中称为“玻璃面板”)是否有缺陷的操作,是通过例如检测栅极线或数据线是否断线或者检测像素单元是否显色不佳来实现的。
典型地,使用具有多个探针引脚的阵列测试装置来测试玻璃面板。利用阵列测试装置来对玻璃面板进行测试包括:将探针引脚置于对应于形成在玻璃面板上的电极的位置、在压力下将探针引脚与电极接触、以及然后将电信号通过探针引脚施加至电极。
设置在玻璃面板上的电极的位置以及电极的布置方式,也就是说,电极的数量以及各相邻电极之间的距离,对于不同种类的玻璃面板而言是不同的。因此,利用单个阵列测试装置来测试多种类型的玻璃面板必须包括:将探针组件更换为具有与待测试玻璃面板的电极的位置和布置方式对应的探针引脚的另一个探针组件。然而,当测试多种类型的玻璃面板时,为了测试目的将探针组件更换为具有与玻璃面板的电极的位置和布置方式对应的探针引脚的另一个探针组件导致降低处理效率的问题。
发明内容
因此,针对以上现有技术中产生的问题提出本发明,并且本发明的目的是提供一种阵列测试装置,其能够在即使仅使用单个阵列装置的情况下也能有效地测试具有不同的电极位置、布置方式和布置方位的不同种类的玻璃面板。
为了实现以上目的,本发明提供一种具有探针组件的阵列测试装置,所述探针组件包括:探针棒,其配备有设置在探针棒上的多个探针引脚;以及电信号施加单元,其选择性地将电信号施加给与玻璃面板上的电极的布置方式相对应的探针引脚。
附图说明
由以下结合附图的详细描述,将更加清楚地理解本发明前述的和其他的目的、特征和优点,其中:
图1是图示根据本发明第一个实施方式的阵列测试装置的立体图;
图2是图1的阵列测试装置的探针组件的立体图;
图3和图4是图示图2的探针组件的立体图;
图5和图6是图示图3的探针组件的探针棒和探针引脚的示意图;以及
图7和图8是图示根据本发明第二个实施方式的阵列测试装置中的探针组件的探针棒和探针引脚的示意图。
具体实施方式
下文将参照附图详细说明根据本发明的阵列测试装置的实施方式。
如图1所示,根据本发明第一个实施方式的阵列测试装置包括将玻璃面板P加载到所述装置上的加载单元10、测试由加载单元10加载的玻璃面板P的测试单元20、以及将已由测试单元20测试的玻璃面板P从所述装置卸载的卸载单元30。
测试单元20测试玻璃面板P的电缺陷。测试单元20包括透光支撑板21、测试模块22、探针组件23以及控制单元(未示出)。由加载单元10加载的玻璃面板P放置在透光支撑板21上。测试模块22测试放置在透光支撑板21上的玻璃面板P的电缺陷。探针组件23向放置在透光支撑板21上的玻璃面板P的电极E施加电信号。控制单元控制测试模块22和探针组件23。
如图2至图6所示,探针组件支撑框架50设置在透光支撑板21上方并沿着透光支撑板21的纵向(X轴方向)延伸预定长度。探针组件23安装在探针组件支撑框架50上,以能够沿探针组件支撑框架50的纵向(X轴方向)移动。探针组件23包括探针棒70、升降单元80、转动单元90和电信号施加单元100。探针棒70包括多个探针引脚60。升降单元80沿Z轴方向移动探针棒70。转动单元90绕Z轴转动探针棒70。电信号施加单元100选择性地将电信号施加给探针引脚60之中的与玻璃面板P上的电极E的布置方式相对应的一些探针引脚60。
探针组件支撑框架50与Y轴驱动单元51连接,使得探针组件支撑框架50能够借助于Y轴驱动单元51沿水平地垂直于探针组件支撑框架50的纵向(X轴方向)的方向(Y轴方向)移动。而且,探针组件支撑框架50和探针组件23之间设置有X轴驱动单元52。X轴驱动单元52沿探针组件支撑框架50的纵向移动探针组件23。可以使用诸如线性马达、滚珠丝杠等的各种线性驱动装置作为Y轴驱动单元51和/或X轴驱动单元52。
升降单元80设置在探针组件23上并且与探针棒70连接。例如使用液压的致动器、使用电力的线性马达等的各种装置能够用作升降单元,只要它能够沿Z轴方向上下移动探针棒70。升降单元80的作用是向下移动探针棒70,使得探针引脚60按压放置在透光支撑板21上的玻璃面板P的相应电极E。
另外,假设将沿着探针组件支撑框架50的纵向延伸的轴线指定为X轴、将水平地垂直于X轴并沿着玻璃面板P被加载到装置上或从装置上卸载的方向延伸的轴线指定为Y轴、以及将竖直地垂直于X轴和Y轴的轴线指定为Z轴。基于此假设,转动单元90的作用是绕Z轴转动探针棒70。转动单元90可以包括转动轴,转动轴设置在探针组件23上并与探针棒70连接,使得探针棒70可以由操作员手动转动。可选地,转动单元90可以包括转动马达,转动马达设置在探针组件23上并与探针棒70连接,使得探针棒70可以借助于转动马达自动绕Z轴转动。在此情况下,理想的是使用步进马达作为转动马达,用以精确控制探针棒70旋转的角度。例如,如图3所示,当电极E沿X轴方向布置在玻璃面板P上时,探针棒70可以借助于转动单元90绕Z轴转动,使得探针引脚60对准相应的电极E。如图4所示,当电极E沿Y轴方向布置在玻璃面板P上时,探针棒70也可以借助于转动单元90绕Z轴转动,使得探针引脚60对准布置在玻璃面板P上的相应的电极E。这样,设置转动单元90来应对具有沿不同方位布置的电极E的玻璃面板P。如果玻璃面板P上的电极E的布置方位始终恒定,则可以不设置转动单元90。
如图5和图6所示,探针棒70可以包括布置在相互间隔开不同距离的位置处的探针引脚60。例如,单个探针棒70上可以一同布置有第一类型探针引脚61和第二类型探针引脚62,第一类型探针引脚61的布置方式与具有第一布置类型的电极E1的布置方式相同,第二类型探针引脚62的布置方式与具有第二布置类型的电极E2的布置方式相同。电极E的布置方式可以由电极E的数量以及各相邻电极E之间的距离决定。探针引脚60的布置方式可以由探针引脚60的数量以及各个探针引脚60之间的距离决定。当然,本发明并不局限于在单个探针棒70上布置两种类型的探针引脚61和62。例如,可以在单个探针棒70上布置三种或更多种类型的探针引脚60,其具有与三种或更多种类型的电极E相对应的布置方式。
电信号施加单元100包括电信号发生器130、第一连接线111、第一开关112、第二连接线121、第二开关122和控制器140。电信号发生器130产生电信号。第一连接线111将电信号发生器130连接至第一类型探针引脚61。第一开关112设置在第一连接线111上,以允许将电信号发生器130产生的电信号施加给第一类型探针引脚61或中断所述施加。第二连接线121将电信号发生器130连接至第二类型探针引脚62。第二开关122设置在第二连接线121上,以允许将电信号发生器130产生的电信号施加给第二类型探针引脚62或中断所述施加。控制器140控制第一开关112和第二开关122的操作。
具有上述结构的电信号施加单元100的作用是将电信号施加给探针引脚60之中的与设置在玻璃面板P上的电极E的数量以及各相邻电极E之间的距离相对应的一些探针引脚,从而将电信号施加至玻璃面板P的电极E。例如,如图5所示,为了测试设置有具有第一布置类型的电极E1的玻璃面板P,首先操作第一开关112以将第一类型探针引脚61与电信号发生器130连接,所述第一开关112连接至具有与第一类型电极E1相同的布置方式的第一类型探针引脚61。同时,操作第二开关122以中断第二类型探针引脚62与电信号发生器130的连接,所述第二开关122连接至具有与第二类型电极E2相同的布置方式的第二类型探针引脚62。结果,阵列测试装置进入可以将电信号施加至第一类型电极E1的状态。以相同的方式,如图6所示,为了测试设置有具有第二布置类型的电极E2的玻璃面板P,操作第二开关122以将第二类型探针引脚62与电信号发生器130连接,所述第二开关122连接至具有与第二类型电极E2相同的布置方式的第二类型探针引脚62。同时,操作第一开关112以中断第一类型探针引脚61与电信号发生器130的连接,所述第一开关112连接至具有与第一类型电极E1相同的布置方式的第一类型探针引脚61。结果,阵列测试装置进入可以将电信号施加至第二类型电极E2的状态。
如上所述,本发明能够以将电信号施加给探针引脚60之中的与玻璃面板P上的电极E的布置方式相对应的一些探针引脚的方式来应对形成在玻璃面板P上的电极E的各种布置类型。
以下将说明具有上述结构的根据本发明第一个实施方式的阵列测试装置的操作。
首先,玻璃面板P由加载单元10加载到透光支撑板21上。随后,探针组件23向玻璃面板P的电极E施加电信号以利用测试单元20来测试玻璃面板P的电缺陷。
在探针组件23向玻璃面板P的电极E施加电信号之前,探针组件23可以借助于探针组件支撑框架50沿Y轴方向移动,也可以借助于X轴驱动单元52沿X轴方向移动,其中探针组件支撑框架50借助于Y轴驱动单元51沿Y轴方向移动。通过沿X轴和/或Y轴方向移动,探针组件23移动到玻璃面板P的形成有电极E的部分。由此,设置在探针棒70上的探针引脚60邻近玻璃面板P的电极E放置。
通过电信号施加单元100的操作,阵列测试装置进入可以将电信号施加给探针引脚60之中的与玻璃面板P上的电极E的布置方式相对应的一些探针引脚的状态。
随后,探针棒70通过升降单元80的操作向下移动,使得从探针棒70向下突伸的相应的探针引脚60按压相应的电极E。在此状态下,当借助于电信号施加单元100经由探针棒70的选中的探针引脚60将电信号施加至电极E时,操作测试单元20的测试模块22以测试玻璃面板P的电缺陷。
如上所述,在根据本发明第一个实施方式的阵列测试装置中,通过将电信号施加给探针引脚60之中的与形成在玻璃面板P上的电极E的布置方式相对应的一些选中的探针引脚的方式,无论电极E的布置类型如何,探针引脚60都可以适应于电极E。因此,与需要替换探针组件23的现有技术不同的是,即使在单个阵列测试装置上加载具有不同布置类型的电极E——例如电极E的数量、各相邻电极E之间的距离、或电极E的方位有所不同——的不同种类的玻璃面板P,本发明的阵列测试装置也可以在不用替换探针组件23的情况下有效地测试玻璃面板P。
下文将参照图7和图8具体说明根据本发明第二个实施方式的阵列测试装置。在第二个实施方式的说明中,将使用与第一个实施方式相同的附图标记来指代相同的部件,并省略对其不必要的进一步说明。
如图7和图8所示,根据本发明第二个实施方式的阵列测试装置还包括至少一个公共探针引脚63,其与第一布置类型的电极E1以及第二布置类型的电极E2相对应。电信号施加单元100还包括:第三连接线131,其将电信号发生器130连接至公共探针引脚63;以及第三开关132,其设置在第三连接线131上,以允许将电信号发生器130产生的电信号施加给公共探针引脚63或中断所述施加。控制器140还控制第三开关132的操作。
公共探针引脚63位于这样的位置处:此位置与可以共同对准一个探针引脚60的不同布置类型的电极E所处的位置相对应。
电信号施加单元100将电信号施加给与布置在玻璃面板P上的电极E的数量相对应以及与每个相邻电极E之间的距离相对应的探针引脚60,从而电信号施加到玻璃面板P的电极E。这里,由于公共探针引脚63可以共同地用于具有第一布置类型的电极E1中的一些以及具有第二布置类型的电极E2中的一些,因此在向具有第一布置类型的电极E1或具有第二布置类型的电极E2施加电信号的过程中,操作第三开关132使得公共探针引脚63与电信号发生器130连接。
如上所述,根据本发明第二个实施方式的阵列测试装置不仅包括与布置方式不同的电极E1和E2分别对应的探针引脚61和62,还包括与布置方式不同的电极E1和E2共同对应的公共探针引脚63。因此,第二个实施方式能够避免当单个探针棒70上安装有可分别与不同布置类型的电极E1和E2相对应的探针引脚61和62时可能导致的探针引脚60之间的干扰的问题。
本发明的实施方式所描述的技术主旨可以独立地实施,也可以结合地实施。另外,根据本发明的探针组件不仅可以用在向玻璃面板的电极施加电信号的装置中,也可以用在向各种基板的电极施加电信号以测试其缺陷的装置中。
如上所述,在根据本发明的阵列测试装置中,当利用单个测试装置来测试具有不同布置类型的电极的不同种类的玻璃面板时,与需要根据玻璃面板的种类将探针组件替换为另一组件的现有技术不同的是,仅通过将电信号施加给探针引脚之中的与形成在玻璃面板上的电极的布置方式相对应的一些选中的探针引脚,就可以容易地将探针引脚对准相应的电极。由此,可以提高制造过程的效率。
Claims (5)
1.一种具有探针组件的阵列测试装置,所述探针组件包括:
探针棒,所述探针棒配备有设置在所述探针棒上的多个探针引脚;以及
电信号施加单元,所述电信号施加单元选择性地将电信号施加给与玻璃面板上的电极的布置方式相对应的探针引脚。
2.如权利要求1所述的阵列测试装置,其中所述电信号施加单元包括:
电信号发生器,所述电信号发生器产生电信号;
第一连接线,所述第一连接线将所述电信号发生器连接至具有第一布置类型的第一类型探针引脚;
第一开关,所述第一开关设置在所述第一连接线上,所述第一开关允许将所述电信号发生器产生的电信号施加给所述第一类型探针引脚或中断所述施加;
第二连接线,所述第二连接线将所述电信号发生器连接至具有第二布置类型的第二类型探针引脚;
第二开关,所述第二开关设置在所述第二连接线上,所述第二开关允许将所述电信号发生器产生的电信号施加给所述第二类型探针引脚或中断所述施加;以及
控制器,所述控制器控制所述第一开关和所述第二开关的操作。
3.如权利要求1所述的阵列测试装置,其中所述多个探针引脚之中的至少一个探针引脚是与两种或更多种布置类型的电极共同对应的公共探针引脚。
4.如权利要求3所述的阵列测试装置,其中所述电信号施加单元包括:
电信号发生器,所述电信号发生器产生电信号;
第一连接线,所述第一连接线将所述电信号发生器连接至具有第一布置类型的第一类型探针引脚;
第一开关,所述第一开关设置在所述第一连接线上,所述第一开关允许将所述电信号发生器产生的电信号施加给所述第一类型探针引脚或中断所述施加;
第二连接线,所述第二连接线将所述电信号发生器连接至具有第二布置类型的第二类型探针引脚;
第二开关,所述第二开关设置在所述第二连接线上,所述第二开关允许将所述电信号发生器产生的电信号施加给所述第二类型探针引脚或中断所述施加;
第三连接线,所述第三连接线将所述电信号发生器连接至所述公共探针引脚;
第三开关,所述第三开关设置在所述第三连接线上,所述第三开关允许将所述电信号发生器产生的电信号施加给所述公共探针引脚或中断所述施加;以及
控制器,所述控制器控制所述第一开关、所述第二开关和所述第三开关的操作。
5.如权利要求1至4中的任何一项所述的阵列测试装置,其中所述探针组件上设置有旋转单元,使得所述探针棒能够旋转。
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WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
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