JP5433876B1 - 回路パターン検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回路パターン検査装置は、複数の単一画面サイズ、又は複数の画面サイズが混在する回路基板を検査対象として、基板上の各画面サイズのパターン群の各導電体パターンに対して、千鳥配置された検査電極により導電体パターンに応じて選択し、容量結合により交流信号から成る検査信号を印加及び検出して非接触で良否判定を実施する。
【選択図】図1
Description
本発明による回路パターン検査装置は、例えば、ガラス製の基板内で、携帯電子機器用の小型で単一画面サイズの導電体パターン群が複数配置される構成の回路基板と、小型で複数の画面サイズが混在する回路基板のそれぞれを検査対象とする。回路基板上の各画面サイズのパターン群の各導電体パターンに対して、容量結合により交流信号から成る検査信号を印加及び検出して非接触で適正な良否判定を実施する装置である。この回路パターン検査装置は、固定された検査電極と検査ステージの間を、高さ調整されて通過する回路基板の各導電体パターンに対して非接触の検査を行い、各導電体パターンの断線や短絡の不良パターンを検出する。尚、以下の説明において、基板上に形成される表示デバイスの画面サイズに相当する複数の導電体パターン群のブロックは、その大きさをブロックサイズ又は、区分サイズと称している。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る回路パターン検査装置の外観構成を示す図である。図2は、回路パターン検査装置を上方から見た外観構成を示す図である。以下の説明において、導電体パターンの延伸方向と交差する方向、本実施形態では、直交する方向(図3の矢印方向)を基板搬送方向又は、搬送方向とする。
センサ部12は、検査ステージ14を通過する回路基板21の導電体パターン(群)に対して、上方から近接して容量結合する検査電極13により、交流信号から成る検査信号を印加(給電)し、同一の導電体パターンを流れた検査信号を検出信号として取得する。
回路パターン検査装置1は、装置本体として、前述した装置フレーム2と、検査ステージ14と、搬送機構3と、センサ部12とを備えている。さらに、得られた検出信号に予め定めた処理を行う検出信号処理部32と、装置全体を駆動制御し、欠陥判定を行う制御部31と、入力指示や判定結果等を表示する表示部48と、が備えられている。
欠陥判定部43は、信号処理部42で信号処理された検出信号に含まれる特徴信号(ピーク値の変化)に基づき、導電体パターンが欠陥か否かを判定する。この判定としては、少なくとも2通りの判定手法がある。
また、検出信号は、平均値を取った場合に、信号値にノイズ又は、周辺機器から外来した信号によるチャージアップ等が重畳して、平均値自体が揺動するように上下に変動する場合がある。このような場合、第1の判定手法では、判定範囲が固定されているため、検出信号においては、短時間における信号値の変動が少ない場合でも、信号自体のうねり変動により、判定範囲外になり、不良判定される場合がある。
ここで、検査対象の回路基板21は、図2に示すように、ブロックに区分された複数の導電体パターン群がマトリックス状に形成されていることとする。まず、 搬送される回路基板21がラインセンサ20下を通過する際に、光学的に回路基板21上に形成されている導電体パターンの有無を検出する。その測定結果は御部31(CPU45)に送出される。
次に、第2の実施形態の回路パターン検査装置について説明する。
図7は、回路パターン検査装置の全体構成を示すブロック図である。尚、本実施形態の構成部位で前述した第1の実施形態と同等の構成部位には、同じ参照符号を付してその説明を省略する。
次に、第3の実施形態の回路パターン検査装置について説明する。
図8は、回路パターン検査装置の全体構成を示すブロック図である。尚、本実施形態の構成部位で前述した第1,第2の実施形態と同等の構成部位には、同じ参照符号を付してその説明を省略する。
Claims (5)
- 任意のサイズに区分され、配列する複数の導電体パターン群が形成された検査対象となる回路基板を搬送する搬送機構と、
前記回路基板の搬送方向と直交する方向で、前記回路基板以上の幅を有し、上方を通過させる検査ステージと、
前記検査ステージと対向して、前記導電体パターン群内で配列された各導電体パターンに対して離間し、前記直交する方向に近接配置される一対の給電電極とセンサ電極とで検査電極を構成し、複数の前記検査電極が前記検査ステージと対向する検査基板の面上で、前記導電体パターンの延伸方向に沿って交互に、2列に千鳥配置され、且つ前記千鳥配置で前記搬送方向から見て前記センサ電極は互いの端部に重なりを持ち、前記回路基板の幅を超える検査範囲を有するように配置されるセンサ部と、
前記センサ部の前記搬送方向上流側に配置され、前記回路基板上に形成される前記導電体パターン群の有無を位置情報と関連づけて検出するラインセンサと、
前記ラインセンサからの前記位置情報に基づき、前記回路基板上における前記導電体パターンの両端の位置を算出し、前記検査基板の下方を前記導電体パターンが通過する際に、前記導電体パターンと対向する前記検査電極のうちの少なくとも2つを選択する選択部と、
前記選択された少なくとも2つの検査電極のうちで、少なくとも1つの検査電極の給電電極に、交流の検査信号を印加する検査信号供給部と、
前記選択された少なくとも2つの検査電極のうちで、少なくとも1つのセンサ電極が検出した前記導電体パターンを伝搬した前記検査信号を、良否判定に用いる検出信号にするために、所定の信号処理を施す検出信号処理部と、
前記検出信号処理部から送出された前記検出信号に基づき、前記導電体パターンの良否を判定する欠陥判定部と、
を具備することを特徴とする回路パターン検査装置。 - 任意のサイズに区分され、配列する複数の導電体パターン群が形成された検査対象となる回路基板を搬送する搬送機構と、
前記回路基板の搬送方向と直交する方向で、前記回路基板以上の幅を有し、上方を通過させる検査ステージと、
前記検査ステージと対向し、前記回路基板の幅を超える検査範囲を有し、前記導電体パターン群内で配列された各導電体パターンに対して離間する複数の矩形の検査電極を用いて、前記直交する方向に対して前記検査電極の長辺が平行であり、且つ斜め方向に連なるように階段状に配置して、給電電極群とセンサ電極群とを形成し、前記給電電極群と前記センサ電極群とが交互に間隔を空けて配置されるセンサ部と、
前記センサ部の前記検査電極の全ての給電電極群に交流の検査信号を印加する検査信号供給部と、
全ての前記センサ電極群が検出したそれぞれの検査信号を、搬送される前記回路基板の搬送速度に基づくタイミングで切り替えて、1本の前記導電体パターン毎に関連づけた部分的導電体パターンの検出信号として取得する検出信号切替部と、
前記検出信号切替部が取得した検査信号に対して、判定するための所定の信号処理を施す検出信号処理部と、
前記検出信号処理部から送出された検出信号に基づき、前記導電体パターンの良否を判定する欠陥判定部と、
を具備することを特徴とする回路パターン検査装置。 - 前記欠陥判定部は、予め良品の導電体パターンとして判定された基準信号を閾値として、該閾値の上下限の判定範囲を設定して記憶し、検査対象の導電体パターンから検出された検出信号を前記判定範囲と比較し、該判定範囲内であれば、良判定し、判定範囲外であれば、不良判定することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の回路パターン検査装置。
- 前記欠陥判定部は、直前に良判定された信号値を基準信号として、上下に判定範囲を設定して記憶し、検査対象の導電体パターンから検出された検出信号を前記判定範囲と比較し、該判定範囲内であれば良判定し、判定範囲外であれば不良判定して、さらに、前記良判定された検出信号の信号値を、新たな基準信号として更新することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の回路パターン検査装置。
- 前記検査ステージは、
ステージ面に、中心領域から周辺に向かい広がる用に形成される複数の溝と、
前記中心領域に配置され、気体を斜め上方向に噴出する噴出部と、
前記溝のそれぞれの先端部分に開口し、前記気体を吸引する吸気口と、を具備し、
前記検査ステージ上方を通過している前記回路基板の部分を、基板裏面側から前記溝内に沿って斜め上方向に噴出された前記気体により浮上させて、前記導電体パターンと前記検査電極との距離を予め定めた範囲内に設定することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の回路パターン検査装置。
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