201122492 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種基板檢測裝置。 【先前技術】 就大眾所知，平面顯示器係一種輕薄型的影像顯示 器，它比傳統使用陰極射線管的顯示器更輕、更薄。平面 顯示器的種類繁多，目前已經被發展並使用的例如為液晶 顯示器、電漿顯示器、場發射顯示器、有機發光二極體顯 示器等。 其中，液晶顯示器具有複數液晶單元陣列設置，並依 據影像資料提供資料訊號至各液晶單元以調整各液晶單 元之光線穿透率進而顯示晝面。由於其薄型化、輕量化、 低耗電以及低操作電壓等優點，液晶顯示器已被廣泛的使 用。以下簡述一種習知液晶顯示面板的製造方法。 首先，於一上基板形成一彩色濾光層及一共同電極 層，並於一下基板形成複數薄膜電晶體及畫素電極。上基 板與下基板係相對設置。然後，於上基板與下基板各形成 一配向層。之後，在配向膜上磨擦以提供一預傾角及一配 向方向來配向液晶層之液晶分子。其中，液晶層將會形成 於兩基板之間。 此外，依據一預定圖案在兩基板之至少一基板上塗 膠，以形成框膠，藉以在兩基板之間形成一間隙，並避免 液晶洩漏到基板外。然後兩基板在維持一間隙的情況下封 201122492 合。之後’在兩基板之間形成液晶層，如此就製成液晶面 板。 在製造方法的過程中’需要有一檢測程序來檢驗下基 板（以下皆稱為基板’其上設置有薄膜電晶體及書素電極） 是否有缺陷存在’例如設置於基板之資料線或掃描線的電 性連接是否良好、或是晝素單元之色彩的精確度。 一種習知基板檢測裝置係用以檢測一基板，並包含一 檢測模組及一探針模組，檢測模組具有一調變器，探針模 組具有複數探針。在檢測過程中，探針係與基板上2電極 對應設置，並接觸電極以將電訊號傳送至電極。 近來，大尺寸基板係被應用以增加液晶顯示面板之產 能。而為了將電訊號傳送至大尺寸基板上之電極，探針模 組之尺寸也必需增加以應付基板所增加的面積。因此，探 針模組之結構或其作動過程必需進—步的改善，以能更有 效地操作於大尺寸基板之檢測流程。 【發明内容】 有蓉於上述習知技術之問題’本發明之一目的係在於 提供一種基板檢職置，其係財-探針模組可有效地應 付大尺寸基板。 …為達上述目的’本發明之〜種基板檢測裳置包含一檢 則單元β基板傳送單元以及〜探針模組。檢測單元檢測 —基板疋否具有缺陷，基板傳送單元傳送基板至檢測單 兀，探針模纟讀傳送—電訊^基板之—電極。其中探針 201122492 f組探針模組框及—子框架。探針模組植係可沿基 框之並且::二移動’子框架係可移動地設置於探針模組 n針頭’探針頭具有—探針可接觸基板之電 ㈣較ίί ’為致練針向τ移動，以使探針翻基板之 電^，探針模組可更包含一頭升降單元以驅動 :框3及探針模組可更包含—框升降單元以驅動探針 „升降。或者，探針模組可更包含-子框架升 降單元以驅動子框架上升及下降。 〃 探針模組框可包含一第一框條對以及一第二框條 對。第-框條對係沿與基板傳送方向垂直之方向延伸 二框條對係沿基板之傳送方向延伸，並與第—框條對 成型連接。子框架可包含一第一子框條對以及一第二子框 條對。第一子框條對係沿與基板傳送方向垂直之 伸’第二子框條對係沿基板之傳送方向延伸，並與第二子 框條對一體成型連接。 此外，一緩衝元件係設置於探針模組框與子框架之一 連接處。 ^承上所述，在本發明之基板檢測裝置中，探針模組框 係可沿基板傳送方向移動。此外，子框架座落於探針模組 框上並具有探針頭，探針頭之數量及設置位置皆可對應基 板之電極之數量及設置位置，使得電訊號可傳送至電極。 因此’本發明只要更換子框架，而不需更換整個探針模 組，即可檢測具有不同數量及設置位置之電極的基板，使 201122492 得本發明可應付不同態樣的基板s。 此外，在本發明之基板檢測裝置中，探針係包含 兩元件，即探針模組框及具有探針頭之子框架。據此可簡 化探針模組之製造與設計流程。 a 此外，探針模組之裝設流程係分為兩部分，一是將探 針模組框裝設於平台上’另-是將子框架裝設於探針模组 框上。因此，與習知技術將與探針頭一體成型之大型探針 模組裝設於平台上相較，本發明之基板檢測裝置可顯=減 少可能在裝設大塑探針模組時由於大型探針模組之重;^ 或尺寸所引起的問題。 、 里 【實施方式】 以下將參照相關圖式，說明依據本發明較佳實施 -種基板檢測裝置’其中相同的元件將以相同的參 加以說明。 & 請參照圖1所不，本發明第一實施例之一種基板 裝置包含-平台10、-檢測單元2〇、—承載單元m -卸載單元4G。檢測單元2G係檢測—基板s， 30係將基板s承載至檢測單元20 ’卸載單元 ^ S從檢測單元20卸載下來。 ’、、土板 承載單元30玎支持待測基板s，並將 元2〇。卸載單持已檢測基板= = 單元20卸载下來。 ，、從檢剩 50 承載單元30及卸載單元4〇係各別包含複數支持板 6 201122492 及一基板傳送單元60。該等支持板50係以固定間距而間 隔設置，並可支持基板S於其上。基板傳送單元6〇係可 傳送基板S。 ' 較佳者’支持板50上設有排氣口 51，氣體可由排氣 口 51排出並朝向基板s，以使基板S位於懸浮狀態。排氣 口 51 係與一正壓源（p〇sitive pressure source )(圖未顯示） 連接以供應氣體。 請參照圖2所示，基板傳送單元60包含複數導軌61、 複數支持元件62、複數吸力元件63及複數吸力元件升降 卓元64導轨61係沿基板s傳送方向延伸，於此係以沿 γ轴方向延伸為例。支持元件62分別設置於導執61上並 可移動。吸力元件63分別設置於支持元件62上，並可利 用吸力而支持基板s的下表面。各吸力元件升降單元64 可作動以使對應之吸力元件63沿z軸方向移動。 在上述基板傳送單元60中’當基板S置放於支持板 50上時，吸力元件63係朝上移動，並利用吸力而固定基 板s的下表面。同時，支持元件62係沿著導執61移動並 將基板S傳送至檢測單元2〇。一線性驅動元件，例如一線 I1生馬達，可應用於導軌6丨。吸力元件63設有複數吸孔可 讓氣體通過，吸孔係與一負壓源連結，以提供吸力。 檢測單元20係檢測基板s是否有電性缺陷，並包含 一檢測板21、一檢測模組22、一探針模組23以及一控制 單元（圖未顯示）。基板S係藉由承載單元30而承載於檢 測板21上’檢測模組22係檢測位於檢測板21上之基板$ 201122492 是否具有電性缺陷。探針模組23係供應電減至位於檢 测板21上之基板s的電極S1 ’而控制單元餘制檢測模 組22及探針模組23。 、 檢測模組22係設置於一支持桿223，支持桿奶係位 於檢測板21上並沿與基板傳送方向垂直之方向（於此為^ 軸方向）延伸。檢測模組22係可沿著支持桿223在又軸 方向上移動。較佳者’檢測單元2G更包含複數檢測模级 22，該等檢測模組22係在支持桿223延伸之方向（χ軸方 向）上間隔設置。基板S係位於檢測板21上’而檢測模 組22係位於基板S之上並檢測基板s之缺陷。各檢測模 組22包含一調變器221及一取像器222，調變器221係鄰 設基板S，取像器222係對調變器221進行取像。 在本實施例中，檢測單元可分為兩種態樣，一種是使 用反射光之檢測單元，另一種是使用穿透光之檢測單元。 在反射光的態樣中’一光源係沿著檢測模組22設置，且 一反射層係設置於調變器221上，因此，在光源發射光線 進入調變器221後，便可藉由測量由調變器之反射層所反 射的光量來判斷基板S是否有缺陷。在穿透光的態樣中， 一光源係設置於檢測板21之下，藉由測量光源發射之光 線通過調變器221的光量可判斷基板S是否有缺陷。上述 反射光及穿透光之技術皆可應用於本發明較佳實施例之 檢測單元20中。 各檢測模組22的調變器221可具有—光電材料層 (electro-optical material layer)，其光反射率（於反射光 201122492 之態樣中）或光穿透專（於穿透光之態樣中）可隨著基板 S與調變器221之間所建立之電場強度的不同而變化。光 電材料層所使用的材料，其物理特性可隨著基板S與調變 器221之間所建立的電場強度的不同而變化，因而對進入 調變器221之光線有不同的光反射率或光穿透率。較佳 者，光電材料層係包含高分子分散液晶（polymer dispersed liquid crystal，PDLC)’高分子分散液晶之特徵在於，其分 子轉向可依據電場強度而變化’藉此可使光線偏振至一對 應角度。 請參照圖3所示’探針模組23包含一探針模組框7〇、 一子框架80及複數探針頭90。探針模組框係設置於平 台1〇，並可沿基板傳送方向（γ軸方向為例）移動。子框 架80係可移動地裝設於探針模組框7〇。探針頭9〇係裝設 於子框架80，且各探針頭90具有複數探針91。 較佳者，探針模組框70為一方形以提升結構強度。 細部來說，探針模組框70具有一第一框條對71及一第二 框條對72。第一框條對71係沿與基板傳送方向垂直之方 向（X軸方向）延伸，第二框條對72係沿基板傳送方向（γ 軸方向）延伸。第一框條對7H系與第二框條對” 一體成 型連接’由於探針模組框7G具有上述結構，即使探針模 組框70之尺寸增加以對應大尺寸基板s之面積，第一框 条' ί 1之間的距離以及第—框條對72之間的距離亦可保 持不變。 探針模組框70係設置於平台1〇上，並可沿γ軸方向 201122492 移動’為達此目的’平台1G上係設置複數沿Y軸方向延 伸之框導引TG件73。此外，複數框移動單元74係設置於 #針模組框70上並與框導引元件73連接。藉由框導引元 件73與框移動單元74之間的交互作用 ，探針模組框70 Υ軸方向移動。本實施例之框導引元件73及框移動 声元74可藉由多種線性驅動元件實施，例如—線性馬達 或一滾珠結構等。 框架80為—方形以提升結構強度。細部來說，子 框架8 0包含一第—., 子框條對81及一第二子框條對82。第 f框條對81係沿與基板傳送方向垂直之方向（X軸方 二延：一第二子樞條對82係沿基板傳送方向(γ軸方向) 二由於子：ΐ條對81係與第二子框條對82 -體成型連 接’由於子框架8〇且士， 的距離以及第二子框:“構，第一子框條對81之間 子框架8〇係可間的距離可保持不變。 此，探針模組框7〇m落Γ探針模組框70上，為 力私721二有—預設深度並沿γ軸方向延伸。此外，子框 ^ 80之各第—子框條82係具有一插設凸部奶插設凸 之形狀係與溝槽72相互配合，並在γ軸方向上延 ，-預設長度。藉此，當子框架8〇向下移動至探針模組 匡70之上半部時’子框架8〇係與探針模組框川連接， 且第二子框條對82之插設凸部821係插入對應之第二框 條72之溝槽721内。 在第一實施例中，如上所述’子框架8〇之第二子框 201122492 條對82係與探針模組框70之第-框條f+ 7 發明並不限W 條對72連接’但本 不限於此，只要子框架 方式可讓探針探針模組框70之連接 言，子框架80 之電極S1即可。舉例而 第i條對連接，或者，探針針，70之 71及第二框條對72分別與子框㈣G之第一框條對 及第二子框條對82連接。^ 80之第-子框條對81 可上^照圖4所示，探針頭90係設置於子框架80，並 係設在第—實施例中，如上所述，探針頭90 針頭9(/子桓條對81 ’但本發縣*限於此，只要探 =可對應至基板S之電極幻即可。舉例而言，探針 =Λ置於第二子框鑛82，或者，探針㈣可設置 於第及第二子框條對81及82。 各探針頭90具有-探針支持體％、一頭升降單元93 以及-頭移動單元94。探針切體92係支持複數探針 91，頭升降單元93係致動探針切體％在垂直方向（ζ 轴方向）上移動，頭移動單元94係致動探針支持體％沿 第-子框條81之延伸方向（Μ方向）移動。各頭升降單 元93可藉由多種元件實施，例如液壓致動器或電驅動線 性馬達等等，或其他可以使探針支持體％上升或下降之 元件。頭升降單元93係可致動探針域體％，以使探針 91能夠按壓位於檢測板21上之基板s之對應電極si。 探針頭9〇可藉由頭移動單元94而在X轴方向上移 動，頭移動單元94可藉由—線性驅動元件，例如-線性 11 201122492 馬達或一滾珠結構而實施。 另外，請參照圖9所示，較佳者，左 ^在抵針模組框70 與子框架80之連接處設有一緩衝元件78，其可例如一彈 性元件、一彈簧或其他具有彈性的元件。在;框架之 第二子框條對82與探針模組框70之第二框條對^'72連接 之態樣中，緩衝元件78可例如設置於第二框條乃之溝槽 72!内。緩衝元件78可吸收當子框架8〇座落於探針模: 框70時所產生的震動或衝擊，亦可吸收探針模組框几移 動所產生的震動或衝擊，亦可吸收探針頭9〇向上戋向下 移動所產生的震動或衝擊。 以下，藉由圖5至圖1〇說明本發明第一實施例之基 板檢測裝置的作動。 首先，說明探針模組23的裝設過程。先將沿γ軸方 向延伸之兩框導引元件73裝設於平台1〇上，而探針模組 框70係設置於框導引元件73上，然後，具有探針頭卯 之子框架8G係座落於探針模組框％上，如此就完成 模組23之裝設。 对 产如圖5及圖7所示，基板s係具有複數面板區p，讀 等面板區P係在基板S之預設處理完成後，被切割以應用 於終端產品上。用以接收電M號之電極S1係形成於各甸 板區P之周圍，其中’電極S〗的數量及形成位置係依據 面板區P的大彳、及位置、以及面㈣p與基板s之面積比 例而變化。 承上，如圖6及圖8所示，子框架80上之探針頭9〇 12 201122492 之數量及位置係對應基板s上之電極S1的數量及位置。 舉例而言’如圖5所示之態樣中，基板s之三個面板 區P係沿長軸方向（Y軸方向）排列，且兩電極S1係設 置於各面板區P之周圍’且在X軸方向上相距一 XI距離’ - 在Υ軸方向上相距一 Y1距離。因此，如圖6所示，座落 於探針模組框70上之子框架80係具有兩探針頭90，該等 探針頭90在X轴方向上相距一 XI距離，在γ軸方向上 相距一 Y1距離。 如圖7所示之態樣中’基板s具有四個陣列設置之面 板區P’且兩電極S1係設置於各面板區p之周圍，且在X 軸方向上相距一 X2距離，在γ軸方向上相距一 γ2距離， 所以如圖8所示，座落於探針模組框7〇上之子框架80係 具有兩探針頭90’該等探針頭9〇在又軸方向上相距一 Χ2 距離，在Υ軸方向上相距一 γ2距離。 如此，本發明可調整子框架8〇之探針頭9〇的數量及 其设置位置。因此，本發明可依據基板s之電極S1之數 量及設置位置而選擇對應的子框架8〇，並使子框架8〇座 •落於探針模組框70上，藉此，本發明能夠對應多種不同 的基板S而進行檢測。 在對應要傳送進來基板檢測裝置之基板S而完成子框 架80，且使子框架80座落於探針模組框Μ之後基板s 係傳送至承載單凡3Q。祕，氣體係由支持板％之排氣 二Γ排出並吹向基板S，以使基板S懸浮。同時，基板傳 送單το 6G之吸力兀牛63係藉由吸力而固定基板§的下表 13 201122492 面並且沿γ軸方向移動，以將基板s傳送至檢測單元2〇。 同打，藉由框移動單元74之作動，探針模組框可沿框 π引元件73而在基板傳送方向上（γ軸方向上）移動。而 4由探針模組框7〇的移動’使得座落於探針模組框7〇上 之子框架80及子框架80之探針頭90亦沿γ軸方向移動。 藉此’如圖9所示’探針頭90之探針係可在垂直方向（Ζ 抽方向）及水平方向上對準基板S之對應電極si。於此， 由於各探針頭90可藉由對應之頭移動單元94而在X軸方 向上移動’所以探針91能夠精確地對準基板S之對應電 極S1。 如此’在基板S傳送至檢測單元20以及探針91對準 基板S電極S1之後，檢測單元20可檢測基板S是否具有 缺陷。 為進行基板S之檢測，支持板50之排氣口 51係中止 排出氣體’並使得基板S與支持板50之上表面接觸並由 上表面支持。之後，如圖10所示’藉由頭升降單元93之 作動’探針頭9〇之探針支持體92係向下移動，並使得探 針91按壓基板S之對應電極S1，並將電訊號傳送至電極 S1然後’檢測模組22係向下移動以使調變器221鄰設 於基板S之上表面，且電力係傳送至調變器221。 藉此’在基板S與各調變器221之間便可形成一電 場而光電材料層之光電材料的特性可隨著電場強度而有 ^•化°據此’在反射光之態樣中，光源所發射而進入調變 〇 1 ' 内’並被調變器221之反射層所反射之光線的光量 201122492 會隨著改變；而在穿透光之態樣中 變器221之光線的光量會隨著改變。因此^射而穿透調 222 能決定基板S與調變器221之 =:板
不具有缺陷，則基板S與調變器2 ^假右基板S 在-預設範圍内，即一正ff ^的電場強度係落 缺陷，則基板s與調變器221===’若基板S具有 較正常狀況為低。因此，藉由㈣=度為零、或者 間的電場強度即可判斷基板s是否i缺陷』變器221之 各面板 送至檢測單元20。細部來說 二板8係—步一步地傳 完成之後，探針頭9〇之探針支㈣===之檢測作業 93之作動一上 _由頭升降單元 口 51排出，使得Μ ^ 再次由支持板5G之排氣 吸力元㈣似面。然後，
沿Y軸方向移動以使待檢測土 表面，並使基板S 元2。然後，岁牲此 面板區P傳送至檢測單 使得基板s盘支持&之排乳口 51係中止排出氣體，並 之後，藉由框移^=〇74之上表面接觸並由上表面支持。 框導引元件73在γ 之作動，探針模組框7〇係依據 根70上之子抵架⑽及::::動’使得座落於探針模挺 對準待檢測之面姑阳 条80之探針頭90能夠移動至 叫孜區Ρ之電極 9〇之探針支持體幻飞—々Μ之位置。之後，探針頭 夸體92可糟由頭升降單元％之作動而向下移 15 201122492 動’使得探針91按壓基板S之對應電極SI，並將電訊號 傳送電極S1。 上述檢測步驟可連續並重覆地進行，以完成基板S上 所有面板區p之檢測。 承上所述’本發明第一實施例之基板檢測裝置包含探 針模組框70 ’其可沿基板S傳送方向（Y軸方向）移動。 此外’子框架80座落於探針模組框70上並具有探針頭 90 ’探針頭90之數量及設置位置皆可對應基板s之電極 si之數量及設置位置，使得電訊號可傳送至電極S1。因 此，本發明只要更換子框架，而不需更換整個探針模組， 即可檢測具有不同數量及設置位置之電極的基板，使得本 發明可應付不同態樣的基板s。 此外，本發明第一實施例之基板檢測裝置之探針模組 23係包含兩元件，即探針模組框7〇及具有探針頭9〇之子 框架80。據此可簡化探針模組23之製造與設計流程。 此外，在本發明第一實施例之基板檢測裝置中，探針 模組23之裝設流程係分為兩部分，一是將探針模組框兀 裝设於平台1〇上，另一是將子框架8〇裝設於探針模組框 上。因此，與習知技術將與探針頭9〇 一體成型之大型 探針，組肢於平台1G上相較，本發明之基板檢測裝置 可顯著減少可能在裝設大型探針模組時由於大型探針模 組之重量或尺寸所引起的問題。 、 進一步，因為探針模組框7〇及/或子框架8〇具有方形 結構，因而可避免探針模組框7〇及/或子框架8〇變形，並 201122492 使得本發明可避免由於變形，而導致探針頭9〇的偏移工、 致電訊號無法可靠地傳送至電極S1之問題。 乂 上述之本發明第一實施例之基板檢測裂置所帶來的 優點，在增加探針模組23之尺寸以檢測一大尺寸義板、 疋否有缺陷時，更顯得重要及突出。 以下請參照圖11及圖12以說明本發明第二實施例 一種基板檢測裝置。在第二實施例的敘述中，與第一之 例相同的標號代表相同或相似的元件，且不再贅述。施 如圖11所示，第二實施例之基板檢測震置係包八 框升降單元11〇，框升降單元110係位於一探針模組框7 之下以致動探針模組框70向上移動。 〇 框升降單元110係包含一驅動單元111以及一 元件112。驅動單元U1係設置於框移動單元74之上傳輸 傳輸元件112係連接驅動單元m與探針模組框、’力 驅動單元111的驅動力傳輸至探針模組框7〇。 从將
舉例而言’驅動單元ni彳包含一氣壓缸 ^ ’力傳輸元件112可包含—連桿連接氣壓細或 I 富然，上述僅為舉例並未用以限制本發明，本發明之^ :早兀⑽可#由钟能夠驅動探針模組框70上升之 例如’框升降單元⑽可包含-線性馬達: 係藉由存在於-轉子及—定子之間 ” 在第二實施例之離;士 動 “ 中，猎由探針模組框川於Y紅 方向的移動’座落於探針模 :丫軸 架如之探針頭90係沿γ M 子料8G與子框 Y軸方向移動，之後，如圖π 17 201122492 示，探針頭90之探針91係在垂直方向（z軸方向）上及 水平方向上對準基板S之對應電極S1。然後，探針模㈣匡 7〇係藉由框升降單S 110之作動而向下移動，又子框架 80連接探針模組框70，以及探針頭9〇設置於子框架 ，如圖12所示，探針頭90係向下移動，使得探針μ按 壓基板S之電極si，並傳送電訊號至電極S1。 如上所述，在本發明第二實施例之基板檢測装置中， 藉由探針模組框7Q在垂直方向（z軸方向）上的移動，^ 針頭90之探針91可移動而接近或遠離基板8之_應電二 si。因此’第二實施例不需在各探針頭9〇設置頭升 兀93來致動針91在垂直方向上移動，因此，可省略將 升降單元93裝設於探針頭90，此外，亦可減少子框架8〇 的重量，並使子框架80之更換更為容易。 '、 以下請參照圖13及圖M以說明本發明第三實施例之 一種基板檢測裝置。在第二實施例的敘述中，與第—實施 例或第一貫施例相同的標號代表相同或相似的元件，且 再贅述。 如圖14所示，第三實施例之基板檢測裝置係包含一 子框架升降單元12〇,其係設置於子框架8〇上之—預設位 置以致動子框架80上升。 子框架升降單元120係包含一驅動單元121以及一力 傳輪元件122。驅動單元121設置於探針模組框7〇上力 傳輸元件122係連接驅動單元121與子框架8〇以將驅動 凡112之驅動力傳輸至子框架8〇。子框架升降單元HQ係 201122492 設置於探針模組一 框架8〇之對應的第一框條72之溝槽721内，並與子 此，當子框架升降一_自條82之插設凸部821連接。因 必紅干疋120致動插設凸部821向上戎而下 移動^子柩架如係向上或向下移動。^戈向下 含一氣壓缸或-^ =升降單元⑽之驅動單元121可包 接氣心或液㈣。，力傳輸猶122可包含一連桿連 發明，本發明之子^ ”上述僅為舉例並未用以限制本 子框架8G上^ 升降單元12G可藉由任何能夠驅動 可包二ik ^ 元件來實施，例如，子框架升降單元120 包含一線性馬遠， 丁 之電磁作用而作動。 存在於一轉子及一定子之間 實知例之態樣中，藉由探針模組框70於Y軸 加L移動’座洛於探針模組框70上之子框架80與子框 =之探針頭90係沿γ軸方向移動，之後，如圖㈣ 采十頭90之探針91係在垂直方向（ζ軸方向）上及 孫益方向上對準基板S之對應電極S1。然後’子框架80 2由子框架升降單元12Q之作動而向下移動，使得設置 其忙木80之探針頭90亦向下移動，以致探針91按壓 基板s之電極S1，並傳送電訊號至電極si。 +如上所述，在本發明第三實施例之基板檢測裝置中， :由子框架80在垂直方向(z軸方向）上的移動，探針頭 0之探針91可移動而接近或遠離基板s之對應電極S1。 因此，第三實施例不需在各探針頭9〇設置頭升降單元93 來致動針91在垂直方向上移動，因此，可省略將頭升降 201122492 單元93裝設於探針碩9〇，此外，亦可減少子框架肋的重 量，並使子框架80之更換更為容易。 、^ 不像第一實施例係使.較重的探針模組框7〇 向上或向下移動’第三實施例之基板檢測裝置係使較輕的 :=〇向上或向下移動，使得第三實施例之基板檢測
I置可減少驅動探針頭9G之探針91向上或向下移動 力。 I 離 均 太路日日述僅為舉例性，而非為限制性者。任何未脫 施 之精神與範疇，而對其進行之等效修改或變更， 包"於後附之申請專利範圍中。 【圖式簡單說明】 g ;圖1為本發明第—實施狀-種基板檢測裝置的示意 ^ ·圖2為圖丨之基板檢測裝置之基板傳送單元的示意 .圆3為圖丨之基板檢測裝置之探針模組的分解示意 I > ^ 圖4為圖丨之基板檢測裝置之探針模組之探針頭的示 圖； 圖5為圖〗之基板檢測裝置所檢測之基板的示意圆； 圖6為對應圖5之基板之探針模組的示意圖； 圓7為圖1之基板檢測裝置所檢測之另一基板的示意 201122492 圖； 圖8為對應圖7之基板之探針模組的示意圖； 圖9及圖10為圖1之基板檢測裝置之作動的示意圖； 圖11為本發明第二實施例之一種基板檢測裝置之一 局部剖面示意圖； 圖12為圖11之基板檢測裝置之作動的示意圖； 圖13為本發明第三實施例之一種基板檢測裝置之一 局部剖面示意圖；以及 圖14為圖13之基板檢測裝置之作動的示意圖。 【主要元件符號說明】 10 :平台 20 :檢測單元 21 :檢測板 22 :檢測模組 23 :探針模組 221 :調變器 222 :取像器 223 :支持桿 30 :承載單元 40 :卸載單元 5 0 ·支持板 51 :排氣口 基板傳送單元 21 60 201122492 61 :導軌 62 :支持元件 63 :吸力元件 64:吸力元件升降單元 70 :探針模組框 71 :第一框條對 72 :第二框條對 721 :溝槽 73 :框導引元件 74 :框移動單元 78 :緩衝元件 80 :子框架 81 :第一子框條對 82 :第二子框條對 821 :插設凸部 90 :探針頭 91 :探針 92 :探針支持體 93 :頭升降單元 94 :頭移動單元 P :面板區 S :基板 S1 :電極 22