KR20030002941A - 전기적 다이 분류를 위한 웨이퍼 척 및 이의 수평 조절 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 전기적 다이 분류를 위한 웨이퍼 척은, 웨이퍼를 로딩하여 검사용 프로브 카드의 니들이 웨이퍼의 칩 패드에 컨택되도록 하는 전기적 다이 분류를 위한 웨이퍼 척에 관한 것이다. 상기 웨이퍼 척에는 디지털 형식의 수평형 게이지가 그 측면에 부착되어 웨이퍼 척의 수평 상태가 디지털 형식으로 표시된다.

Description

전기적 다이 분류를 위한 웨이퍼 척 및 이의 수평 조절 방법{Wafer chuck for electrical die sorting and method for adjusting it to horizontal}

본 발명은 반도체 소자 제조를 위한 웨이퍼 척 및 이의 수평 조절 방법에 관한 것으로서, 특히 전기적 다이 분류를 위한 웨이퍼 척 및 이의 수평 조절 방법에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼 내에 여러 반도체 소자들을 집적시킨 후에는, 웨이퍼를 구성하는 각 칩의 전기적 특성 검사를 수행하여 양 또는 불량 여부를 선별한다. 이와 같은 칩의 전기적 특성 검사는, 검사하고자 하는 웨이퍼를 웨이퍼 척에 로딩한 후에 프로브 카드(probe card)의 니들(needle)을 이용하여 웨이퍼에 신호를 전달시킴으로써 수행될 수 있다. 따라서 정확한 전기적 특성 검사를 수행하기 위해서는 프로브 카드의 니들이 웨이퍼내 칩의 패드(pad)에 정확하게 컨택되어야 한다.

프로브 카드의 니들이 웨이퍼내 칩의 패드에 정확하게 컨택되도록 하기 위해서는 여러 가지 조건들이 충족되어야 하는데, 그 중의 하나가 웨이퍼 척의 수평 정도이다. 즉 웨이퍼 척이 수평 상태에 있지 않는 경우, 그 위에 로딩되는 반도체 웨이퍼도 수평 상태를 유지하지 않고 기울어진 상태로 있으며, 이 경우에 프로브 카드의 니들이 웨이퍼내 칩의 패드에 정확하게 컨택되지 않을 수도 있다. 이와 같은 문제점을 제거하기 위해서는 웨이퍼 척이 항상 수평 상태로 유지시킬 필요가 있으며, 이를 위해서는 검사를 수행하지 전에 웨이퍼 척의 수평 상태를 조사한 후에, 웨이퍼 척이 수평 상태로 유지되고 있지 않다는 것이 판명되면 웨이퍼 척의 레벨을 조정하여 수평 상태로 유지되도록 하여야 한다.

종래에는 웨이퍼 척의 수평 상태를 조사하기 위하여 다이얼 게이지(dial gauge)를 이용하였다. 즉 웨이퍼 척의 수평 상태를 조사하기 위하여, 먼저 다이얼 게이지를 웨이퍼 척에 부착하였다. 그리고 웨이퍼 척의 수평 상태가 변하는 경우, 웨이퍼 척의 수평 레벨 작업을 수행한 후에 다이얼 게이지를 이용하여 웨이퍼 척의 수평 상태를 확인하였다. 확인 후 웨이퍼 척의 수평 상태가 불완전한 경우 다시 웨이퍼 척의 수평 레벨 작업과 다이얼 게이지를 이용한 웨이퍼 척의 수평 상태 확인 작업을 반복하여 수행하였다. 그런데 다이얼 게이지는 아날로그(analog) 장치이므로, 웨이퍼 척을 완전한 수평 상태로 유지시키기 위해서는 상기와 같은 일련의 작업들을 여러번 반복하여 수행하여야 하며, 따라서 많은 시간이 소요된다는 문제가 있다. 또한 웨이퍼 척의 수평 상태를 조사하고자 할 때마다 다이얼 게이지를부착하고 웨이퍼 척의 수평 상태를 조절한 후에 다시 다이얼 게이지를 탈착시켜야 하므로 번거롭다는 문제도 있다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 웨이퍼 척의 수평 상태 확인 및 레벨 작업에 소요되는 시간이 단축되도록 개선된 전기적 다이 분류를 위한 웨이퍼 척을 제공하는 것이다.

본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 상기 웨이퍼 척의 수평 조절 방법을 제공하는 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 전기적 다이 분류를 위한 웨이퍼 척을 나타내 보인 평면도이다.

도 2는 도 1의 웨이퍼 척을 선 Ⅱ-Ⅱ'를 따라 절단한 것을 나타내 보인 단면도이다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 전기적 다이 분류를 위한 웨이퍼 척은, 웨이퍼를 로딩하여 검사용 프로브 카드의 니들이 상기 웨이퍼의 칩 패드에 컨택되도록 하는 전기적 다이 분류를 위한 웨이퍼 척에 있어서, 디지털 형식의 수평형 게이지가 측면에 부착되어 상기 웨이퍼 척의 수평 상태가 디지털 형식으로 표시되는 것을 특징으로 한다.

상기 디지털 형식의 수평형 게이지는 상기 웨이퍼 척의 수평 상태와 동일한 수평 상태로 부착되는 것이 바람직하다.

상기 디지털 형식의 수평형 게이지는 상기 수평 상태를 디지털 형식의 숫자로서 표시하는 것이 바람직하다.

상기 디지털 형식의 수평형 게이지는 복수개가 부착된 것이 바람직하다.

상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 전기적 다이 분류를 위한 웨이퍼 척의 수평 조절 방법은, 웨이퍼를 로딩하여 검사용 프로브 카드의 니들이 상기 웨이퍼의 칩 패드에 컨택되도록 하는 전기적 다이 분류를 위한 웨이퍼 척의 수평 조절 방법에 있어서, 상기 웨이퍼 척의 측면에 디지털 형식의 수평형 게이지를 부착하되, 초기에 상기 웨이퍼 척의 수평 상태와 동일한 수평 상태로 부착하는 단계; 상기 수평형 게이지의 디스플레이에 의해 상기 웨이퍼 척의 수평 상태를 판단하는 단계; 및 상기 판단 결과 상기 웨이퍼 척이 수평 상태를 유지하지 못하는 경우 상기 웨이퍼 척의 레벨을 조절하여 수평 상태를 유지시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명에 따른 전기적 다이 분류를 위한 웨이퍼 척을 나타내 보인 평면도이다. 그리고 도 2는 도 1의 웨이퍼 척을 선 Ⅱ-Ⅱ'를 따라 절단한 것을 나타내 보인 단면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 웨이퍼 척(100)은 척(110) 및 디지털 형식의 수평형 게이지(120)를 포함하여 구성된다. 상기 척(110)은 지지대(130)에 의해 지지된다. 전기적 다이 분류를 위해 여러 가지 전기적 검사를 수행하고자 하는 경우, 지지대(130)와 접촉하는 면(111)과 반대면인 척(110)의 상면(112)에 반도체 웨이퍼(미도시)가 로딩된다.

디지털 형식의 수평형 게이지(120)는 척(110)의 측면에 부착되어 상기 척(110)의 수평 상태를 디지털 형식으로 사용자에게 표시한다. 즉 디지털 형식의수평형 게이지(120)는 척(110)과 일체로 되어 있으므로, 척(110)과 동일한 수평 상태를 나타낸다. 따라서 디지털 형식의 수평형 게이지(120)에 의해 척(110)의 수평 상태를 정확하게 파악하기 위해서는, 디지털 형식의 수평형 게이지(120)를 척(110)에 부착할 때 동일한 수평 상태를 유지한 상태에서 부착하여야 한다.

상기 디지털 형식의 수평형 게이지(120)는, 디지털 형식의 수평형 게이지(120)의 수평 상태, 즉 척(110)의 수평 상태를 디지털 형식의 숫자로서 디스플레이한다. 경우에 따라서는 숫자 이외의 수단을 통하여 디스플레이할 수도 있다는 것은 당연하다. 디지털 형식의 수평형 게이지(120)의 개수는 한 개일 수 있지만, 보다 높은 정확도를 위해서는 적어도 두 개 이상의 복수개의 디지털 형식의 수평형 게이지(120)들을 척(110)에 부착하는 것이 바람직하다. 이 경우 복수개의 디지털 형식의 수평형 게이지(120)들은 상호 일정 간격 이격되도록 배치된다. 정확한 수평 상태 파악이 주 목적이므로, 상호 마주 보도록 하거나, 또는 상호 직각이 되도록 배치하는 것이 바람직하다.

이와 같은 웨이퍼 척(100)의 수평 상태를 조절하기 위해서는, 먼저 상기 디지털 형식의 수평 게이지(120)의 디스플레이에 의해 상기 척(110)의 수평 상태를 판단한다. 다음에 상기 판단 결과, 상기 척(110)이 수평 상태를 유지하지 못하는 경우 상기 척(110)의 레벨을 조절하여 수평 상태를 유지시킨다. 이때 조절되는 레벨 정도는 디지털 형식의 수평형 게이지(120)에 디스플레이되는 숫자에 의해 결정된다.

이상의 설명에서와 같이, 본 발명에 따른 전기적 다이 분류를 위한 웨이퍼 척에 의하면, 척의 측면에 디지털 형식의 수평형 게이지가 부착되어 있으므로 상시 척의 수평 상태를 파악할 수 있다는 이점이 있다. 또한 디지털 형식의 수평형 게이지의 디스플레이를 보면서 척의 수평 상태를 조절하므로 수평 조절 시간이 단축되고, 수평 게이지의 탈착이 불필요하여 공정 절차가 간단해진다는 이점도 있다.

Claims (5)

1. 웨이퍼를 로딩하여 검사용 프로브 카드의 니들이 상기 웨이퍼의 칩 패드에 컨택되도록 하는 전기적 다이 분류를 위한 웨이퍼 척에 있어서,

   디지털 형식의 수평형 게이지가 측면에 부착되어 상기 웨이퍼 척의 수평 상태가 디지털 형식으로 표시되는 것을 특징으로 하는 전기적 다이 분류를 위한 웨이퍼 척.
2. 제1항에 있어서,

   상기 디지털 형식의 수평형 게이지는 상기 웨이퍼 척의 수평 상태와 동일한 수평 상태로 부착되는 것을 특징으로 하는 전기적 다이 분류를 위한 웨이퍼 척.
3. 제1항에 있어서,

   상기 디지털 형식의 수평형 게이지는 상기 수평 상태를 디지털 형식의 숫자로서 표시하는 것을 특징으로 하는 전기적 다이 분류를 위한 웨이퍼 척.
4. 제1항에 있어서,

   상기 디지털 형식의 수평형 게이지는 복수개가 부착된 것을 특징으로 하는 전기적 다이 분류를 위한 웨이퍼 척.
5. 웨이퍼를 로딩하여 검사용 프로브 카드의 니들이 상기 웨이퍼의 칩 패드에 컨택되도록 하는 전기적 다이 분류를 위한 웨이퍼 척의 수평 조절 방법에 있어서,

   상기 웨이퍼 척의 측면에 디지털 형식의 수평형 게이지를 부착하되, 초기에 상기 웨이퍼 척의 수평 상태와 동일한 수평 상태로 부착하는 단계;

   상기 수평형 게이지의 디스플레이에 의해 상기 웨이퍼 척의 수평 상태를 판단하는 단계; 및

   상기 판단 결과 상기 웨이퍼 척이 수평 상태를 유지하지 못하는 경우 상기 웨이퍼 척의 레벨을 조절하여 수평 상태를 유지시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 다이 분류를 위한 웨이퍼 척의 수평 조절 방법.