JPS59117229A - ブロ−バ装置 - Google Patents
ブロ−バ装置Info
- Publication number
- JPS59117229A JPS59117229A JP22631282A JP22631282A JPS59117229A JP S59117229 A JPS59117229 A JP S59117229A JP 22631282 A JP22631282 A JP 22631282A JP 22631282 A JP22631282 A JP 22631282A JP S59117229 A JPS59117229 A JP S59117229A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- prober
- edge sensors
- condition
- probes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は被測定物としてのペレットに対し常にブローバ
先端を平行に保持することができるブローバ装置に関す
るものである。
先端を平行に保持することができるブローバ装置に関す
るものである。
半導体装置の製造に際しては、表面に所定の回路に形成
した半導体ウェーハを検査する工程が必要とされ、この
種の検査に通常ブローバ装置が使用さｎる。このプロー
バ装置に、第１図に概略構成會示すようにウェーハ１を
その上面に水平状態に支持するチャック２會駆動軸３に
ニジ上下動できるように設ける一方、チャック２の上方
には複数本のグローブ４を配設支持したプローバ体５ｒ
装置に固定したものであｐ、チャック２ケ上動したとき
にプローブ４がウェーハ１上の所定箇所に接触し、プロ
ーブ４に接続した検査回路に１つてウェーハの回路に通
電しかつ所定の検査７行なうことができる。
した半導体ウェーハを検査する工程が必要とされ、この
種の検査に通常ブローバ装置が使用さｎる。このプロー
バ装置に、第１図に概略構成會示すようにウェーハ１を
その上面に水平状態に支持するチャック２會駆動軸３に
ニジ上下動できるように設ける一方、チャック２の上方
には複数本のグローブ４を配設支持したプローバ体５ｒ
装置に固定したものであｐ、チャック２ケ上動したとき
にプローブ４がウェーハ１上の所定箇所に接触し、プロ
ーブ４に接続した検査回路に１つてウェーハの回路に通
電しかつ所定の検査７行なうことができる。
このため、検査２正確に打力うには複数本のグローブ４
の各先端が必ずウェーハ表面に良好に接触していなけｎ
ばならず、このためには各グローブがウェーハに接触す
る針圧上等しくすること、つ１勺ウェー−・とプローバ
体とｔ平行に保持テることが要求される。しかしながら
、前記した従来のプローバ装置ではウェーハ１を支持す
るチャック２を一本の駆動４１］３にて固定的に支持し
ているためウェーハ１の水平面状態を変えることに困難
であるうしたがって、プローバ体５ヶ水平面と平行にな
るように装置固定部に取着しなけｎは前述の要件？満足
することかできず、このためプローバ体の取着作業が極
めて面倒なものになると共に、その後のメンテナンスが
困難になるという問題がある。
の各先端が必ずウェーハ表面に良好に接触していなけｎ
ばならず、このためには各グローブがウェーハに接触す
る針圧上等しくすること、つ１勺ウェー−・とプローバ
体とｔ平行に保持テることが要求される。しかしながら
、前記した従来のプローバ装置ではウェーハ１を支持す
るチャック２を一本の駆動４１］３にて固定的に支持し
ているためウェーハ１の水平面状態を変えることに困難
であるうしたがって、プローバ体５ヶ水平面と平行にな
るように装置固定部に取着しなけｎは前述の要件？満足
することかできず、このためプローバ体の取着作業が極
めて面倒なものになると共に、その後のメンテナンスが
困難になるという問題がある。
したがって本発明の目的はプローバ体の取着状態如何に
拘らず常にウェー−・とプローバ体とケ平行状態とし、
こｎによりグローブの針圧の均一化ケ図って良好な触針
會可能にして信頼性の高い検査結果ケ得ることのできる
プローバ装置を提供することにある。
拘らず常にウェー−・とプローバ体とケ平行状態とし、
こｎによりグローブの針圧の均一化ケ図って良好な触針
會可能にして信頼性の高い検査結果ケ得ることのできる
プローバ装置を提供することにある。
この目的ケ達成するために本発明に、チャックケ夫々独
立して上下ｗＪする３本の駆動軸により支持する一方、
プローバ体にはウェーハ表面を検出する徴数個のエツジ
センサ會設け、このエツジセンサによシ前記駆動軸の動
作を制（財）する工うにしたものである。
立して上下ｗＪする３本の駆動軸により支持する一方、
プローバ体にはウェーハ表面を検出する徴数個のエツジ
センサ會設け、このエツジセンサによシ前記駆動軸の動
作を制（財）する工うにしたものである。
以下本発明全図示の実施列によシ欧明する。
第２図は本発明装置の全体構成図であシ、図において１
０は被検査物であるウェー−・１ン上面に支持する厚肉
円板状のチャンク、ｘｌｕｍ外の装置固定部に取着した
プローバ体である。このプローバ体１１ｉｄ公知のよう
に複数本のプローブ１２ケ放射状に配列し、その内側先
端ケ若干下方に曲げることによυ前記ウェーー・１に形
成した素子パターンの各即位素子の電極バンドに接触で
さるようになっている。そして、各グローブ１２は所定
の検査回路１３に接続し、ウェーハ１に接触したときに
各単位素子１ａに通ｔｋ行なって該素子の検査上行なう
ことができる。なお、前記ズローバ体１１の四隅位置に
は夫々エツジセンサ１４２ｉケ、各エツジセンサ１４は
ウェーハ１がノローバ体１１に対して所定の位置（ウェ
ーハとグローブとが正しい接触状態となる位置）に設足
ちｎたときに信号ｒ出力するようになって込る。
０は被検査物であるウェー−・１ン上面に支持する厚肉
円板状のチャンク、ｘｌｕｍ外の装置固定部に取着した
プローバ体である。このプローバ体１１ｉｄ公知のよう
に複数本のプローブ１２ケ放射状に配列し、その内側先
端ケ若干下方に曲げることによυ前記ウェーー・１に形
成した素子パターンの各即位素子の電極バンドに接触で
さるようになっている。そして、各グローブ１２は所定
の検査回路１３に接続し、ウェーハ１に接触したときに
各単位素子１ａに通ｔｋ行なって該素子の検査上行なう
ことができる。なお、前記ズローバ体１１の四隅位置に
は夫々エツジセンサ１４２ｉケ、各エツジセンサ１４は
ウェーハ１がノローバ体１１に対して所定の位置（ウェ
ーハとグローブとが正しい接触状態となる位置）に設足
ちｎたときに信号ｒ出力するようになって込る。
一方、前記チャック１０は上下方向に延設した３本の駆
動軸１５．１６．１７の上端ｉＣ絢辺部位ン連結して略
水平状態に支持δｎる。前記各ＩｔＡ励＠１５．１６．
１７は軸受１８にエフ上下移動可能に支持さｎる一方、
各下端部にはラック１９．２０．２１２一体に形成して
いる。でして、各ラック１９．２０，２１には夫々ビニ
オン２２．２３．２４ケ噛合し、各ピニオン２２．２３
．２４は夫々独立したパルスモータ２５．２６．２７に
て回転ｍｔｒｈするようにし、更に各パルスモータ２５
．２６．２７７制御部２８１Ｃより独立して回転制御す
る工うにしている。この制御部２８は予め記憶芒′ｎ；
ｅデータに基づｂて前記各パルスモータにパルス信号を
発信でき、前記エツジセンサ１４からの出力信号を受け
る１でパルス発信を継続してモータを駆！１！Ｉδぜる
。
動軸１５．１６．１７の上端ｉＣ絢辺部位ン連結して略
水平状態に支持δｎる。前記各ＩｔＡ励＠１５．１６．
１７は軸受１８にエフ上下移動可能に支持さｎる一方、
各下端部にはラック１９．２０．２１２一体に形成して
いる。でして、各ラック１９．２０，２１には夫々ビニ
オン２２．２３．２４ケ噛合し、各ピニオン２２．２３
．２４は夫々独立したパルスモータ２５．２６．２７に
て回転ｍｔｒｈするようにし、更に各パルスモータ２５
．２６．２７７制御部２８１Ｃより独立して回転制御す
る工うにしている。この制御部２８は予め記憶芒′ｎ；
ｅデータに基づｂて前記各パルスモータにパルス信号を
発信でき、前記エツジセンサ１４からの出力信号を受け
る１でパルス発信を継続してモータを駆！１！Ｉδぜる
。
なお、ブローバ体１１、チャック１ｏのいずｎか一方Ｋ
ＸＹ駆動機構を付設してウェー−・１上の各単位素子を
順序的にプローブに接触系ぜ得るものであることは口う
１でもない。
ＸＹ駆動機構を付設してウェー−・１上の各単位素子を
順序的にプローブに接触系ぜ得るものであることは口う
１でもない。
以上の構成によれは、チャックｌＯ上にウェー−・１を
支持芒ゼた上で制御部２８が各モータ２５．２６．２７
を寺しく駆動テｎば各ビニオン２２．２３．２４も等し
く回転芒れてランク１９．２０．２１即ち駆動軸１５．
１６．１７を等しく上動する。これＫより、チャック１
０は初期の状態の１１上動芒れ、制御部２８からのパル
ス信号が所定数をカウントした時点でウェーハ１がプロ
ーブ１２に接触する状態となる。そして、ウェー−・１
とプローブ１２とのｉ ｆｉ＋ＲＵエツジセンサ１４に
て検出８れ、このエツジセンサ１４からの出力が制御部
２８に入力δれたとさに前記モータの駆！ｖＩを停止し
てチャック１０をその状態で停止芒セる。
支持芒ゼた上で制御部２８が各モータ２５．２６．２７
を寺しく駆動テｎば各ビニオン２２．２３．２４も等し
く回転芒れてランク１９．２０．２１即ち駆動軸１５．
１６．１７を等しく上動する。これＫより、チャック１
０は初期の状態の１１上動芒れ、制御部２８からのパル
ス信号が所定数をカウントした時点でウェーハ１がプロ
ーブ１２に接触する状態となる。そして、ウェー−・１
とプローブ１２とのｉ ｆｉ＋ＲＵエツジセンサ１４に
て検出８れ、このエツジセンサ１４からの出力が制御部
２８に入力δれたとさに前記モータの駆！ｖＩを停止し
てチャック１０をその状態で停止芒セる。
ところが、プローバ体１１に対してウェー−・１が平行
でないときには、ウェーハ１の上動にエフ一部のプロー
ブが接触しても池のグローブが接触しない状態となる。
でないときには、ウェーハ１の上動にエフ一部のプロー
ブが接触しても池のグローブが接触しない状態となる。
すると、一部のエツジセンサから信号が出力δｔしても
他のエツジセンサがらは信号が出力δｎない状態とな９
、こわらの出力状態が制（ホ）部２８において判断され
る。こｎに工す制御部２８では現在のウェー・・１の傾
き状態を検出し、今度に各モータを独立ＶＣＣ助動て各
駆動軸１５．１６．１７の上動に相対差をもたせ、ウェ
ーＩ・１の傾きを補正する。ぞして、ウエーノ・を備正
しながら４個のエツジセンサ１４の全てかう信号が出力
さｔ″した時点で各モータを停止丁ｎば、この時点でウ
ェーハはプローパ体に対して平行でかつ所望の好ましい
位置に移動設定芒ｔ″Ｌりことになる。
他のエツジセンサがらは信号が出力δｎない状態とな９
、こわらの出力状態が制（ホ）部２８において判断され
る。こｎに工す制御部２８では現在のウェー・・１の傾
き状態を検出し、今度に各モータを独立ＶＣＣ助動て各
駆動軸１５．１６．１７の上動に相対差をもたせ、ウェ
ーＩ・１の傾きを補正する。ぞして、ウエーノ・を備正
しながら４個のエツジセンサ１４の全てかう信号が出力
さｔ″した時点で各モータを停止丁ｎば、この時点でウ
ェーハはプローパ体に対して平行でかつ所望の好ましい
位置に移動設定芒ｔ″Ｌりことになる。
したがって、ウェーハ１はブローバ体１１に対して常に
平行でかつ好適な位置に設定δｎることになυ、こｎに
工９全てのプローブにお゛ける接触針圧を均一かつ一定
のものにし、艮好な接触状態を得て検査の信頼性を同上
することができるのである。また、針圧が過度になるこ
ともなく、ウェーハの素子パター゛ンの破損全防止する
こともできる。
平行でかつ好適な位置に設定δｎることになυ、こｎに
工９全てのプローブにお゛ける接触針圧を均一かつ一定
のものにし、艮好な接触状態を得て検査の信頼性を同上
することができるのである。また、針圧が過度になるこ
ともなく、ウェーハの素子パター゛ンの破損全防止する
こともできる。
、ここで、前列ではグローブ体に４個のエツジセンサを
設けているが、これは３１固であってもよい。
設けているが、これは３１固であってもよい。
但し、グローブの配列位置からは４個が好適である。’
！Ｅ７ｊ、駆＃ｌＪＪ＠の作動機構はランク、ビニオン
機構以外のものであってもよい。ｌたパルスモータ以外
に油圧等を用いてもよい。
！Ｅ７ｊ、駆＃ｌＪＪ＠の作動機構はランク、ビニオン
機構以外のものであってもよい。ｌたパルスモータ以外
に油圧等を用いてもよい。
以上のように本発明のプローバ装置ｉ［：よｉｔは、夫
々独立して上下作動する３本の駆動軸にてチャンクを支
持し、こｎら各駆動軸をプローバ体に設けたエツジセン
サの出力信号に基づいて制御する工うに構成しているの
で、ウエーノ・とブローバ体との平行位置関係を全自動
的に制御することがでさ、グローブの接触針圧をｂ「定
の限度内で均一に保持してウェー・・の巣子バ）−ンの
破損を防止すると共に確実な検査を行なうことができ、
こｎにエフ信頼性の高い検査結果を得ることができるζ
いう効果を奏する。
々独立して上下作動する３本の駆動軸にてチャンクを支
持し、こｎら各駆動軸をプローバ体に設けたエツジセン
サの出力信号に基づいて制御する工うに構成しているの
で、ウエーノ・とブローバ体との平行位置関係を全自動
的に制御することがでさ、グローブの接触針圧をｂ「定
の限度内で均一に保持してウェー・・の巣子バ）−ンの
破損を防止すると共に確実な検査を行なうことができ、
こｎにエフ信頼性の高い検査結果を得ることができるζ
いう効果を奏する。
第１図は従来のプローバ装置の概１１１’ｌ視図、第２
図に本発明のプローバ装置の全体構成の廁視図である。 ■・・・ウェーハ、１０・・・チャンク、１１・・・プ
ローバ体、１２・・・グローブ、１４・・・エツジセン
サ、１５．１６．１７・・・駆動軸、１９．２０．２１
・・・ランク、２２．２３．２４・・・ビニオン、２５
．２６．２７・・・パルスモータ、２８・・・％ｔｌＪ
ＯＨ部。 第 １ 図 第 ２ 図
図に本発明のプローバ装置の全体構成の廁視図である。 ■・・・ウェーハ、１０・・・チャンク、１１・・・プ
ローバ体、１２・・・グローブ、１４・・・エツジセン
サ、１５．１６．１７・・・駆動軸、１９．２０．２１
・・・ランク、２２．２３．２４・・・ビニオン、２５
．２６．２７・・・パルスモータ、２８・・・％ｔｌＪ
ＯＨ部。 第 １ 図 第 ２ 図
Claims (1)
- １、複数本のプローブケ有するプローバ体と、上面にウ
ェー−・會支持して前記ブローバ体に対して上下動し、
上動したときに前記ウエーノ）ｒ前記プローブに接触さ
せ得るチャックとケ備えるプローバ装置ｔにおいて、前
記チャックに夫々独立して上下作動さｎる３本の駆動軸
にて支持する一方、前記プローバ体にはウェーハとプロ
ーブとの接触ケ検出する複斂個のエツジセンサｋ ｔｉ
ｌ’ｊ 、このエツジセンサの出力に基づいて前記各
駆動軸の上下作動ケ制御するように構成したことｒ特徴
とするプローバ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22631282A JPS59117229A (ja) | 1982-12-24 | 1982-12-24 | ブロ−バ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22631282A JPS59117229A (ja) | 1982-12-24 | 1982-12-24 | ブロ−バ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59117229A true JPS59117229A (ja) | 1984-07-06 |
Family
ID=16843222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22631282A Pending JPS59117229A (ja) | 1982-12-24 | 1982-12-24 | ブロ−バ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59117229A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0351777A (ja) * | 1989-07-19 | 1991-03-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の測定装置及びその測定方法 |
| JPH03270039A (ja) * | 1990-03-19 | 1991-12-02 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
| JPH04361543A (ja) * | 1991-06-10 | 1992-12-15 | Mitsubishi Electric Corp | プローバ装置およびウエハの検査方法 |
| JP2006019537A (ja) * | 2004-07-02 | 2006-01-19 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
| CN104142411A (zh) * | 2013-05-08 | 2014-11-12 | 本田技研工业株式会社 | 平行度调整装置和平行度调整方法 |
-
1982
- 1982-12-24 JP JP22631282A patent/JPS59117229A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0351777A (ja) * | 1989-07-19 | 1991-03-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の測定装置及びその測定方法 |
| JPH03270039A (ja) * | 1990-03-19 | 1991-12-02 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
| JPH04361543A (ja) * | 1991-06-10 | 1992-12-15 | Mitsubishi Electric Corp | プローバ装置およびウエハの検査方法 |
| JP2006019537A (ja) * | 2004-07-02 | 2006-01-19 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
| CN104142411A (zh) * | 2013-05-08 | 2014-11-12 | 本田技研工业株式会社 | 平行度调整装置和平行度调整方法 |
| JP2014219275A (ja) * | 2013-05-08 | 2014-11-20 | 本田技研工業株式会社 | 平行度調整装置および平行度調整方法 |
| CN104142411B (zh) * | 2013-05-08 | 2017-05-31 | 本田技研工业株式会社 | 平行度调整装置和平行度调整方法 |
| US9753083B2 (en) | 2013-05-08 | 2017-09-05 | Honda Motor Co., Ltd. | Parallelism adjusting device and parallelism adjusting method |
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