JPS59225538A - 半導体装置の検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、半導体装置の検査方法に関し、特に半導体ウ
ェハー上の半導体装置を検査する方法に関するものであ
る。

従来、半導体ウェハー上に規則正しく配列された半導体
装置を検査する装置としてウエノ・−プローバーと呼ば
れるものがある。このウェハープローバーを使用して半
導体装置を検査するには、まず半導体ウェハーを載物台
に載せ、測定用探針群をウェハープローバー上に設置し
、載物台を測定用探針群の下方に移動させ、載物台を回
転させて、載物台の移動方向と半導体ウエノ・−上の半
導体装置の分割線（スクライプ線）の方向を合わせ、そ
の後、載物台の移動方向が一定方向に規制されているだ
めに、測定用探針群を回転させて、測定用探針群の配列
方向を載物台Ω移動力向に合わせ、さらにこれらの方向
合せの後、測定用探針群を半導体ウェハー上の半導体装
置の電極パッドに接触させ、電気信号を測定用探針群を
通して半導体装置に送り、その応答信号を再び測定用探
針群を通して検査装置の判定部に送り、つづいて載物台
を半導体装置の大きさに合わぜて移動させ、１チツプず
つ半導体ウェハー上の半導体装置の検査を実施していた
。

ところが、測定用探針群の配列方向を回転する場合に以
下のような問題がある。すなわち、まず、測定用探針群
の配列方向を回転するために、測定用探針群を保持して
る基板を回転させる機構をウェハープローバーに設けな
ければならず、ウエハ−プローバーの製造コストを増加
させ、また基板の回転機構部の故障がしばしば発生して
いた。さらに、上記機構を操作して測定用探針群の配列
方向を載物台の移動方向に合わせる作業が、測定用探針
群を交換する度に必要となり、ＸｔＪ記機構の回転部分
の固定の解除、回転調整、回転部分の固定の動作を繰り
返し行わなければならず、工数がかかるという問題があ
った。

本発明の目的は、かかるウニノー−プローバーの測定用
探針群の配列方向の回転機構にともなう問題点を解決し
、低価格で操作工数が少なくてすむウェハープローバー
を提供することにある。

すなわち、本発明は測定用探針群を定置させてその配列
方向を固定し、半導体ウニノ・−を載置する載物台の移
動方向を見かけ上変化させて、探針群の配列方向と載物
台の移動方向とを一致させるものであって、測定用探針
群の配列方向を回転させる機構を不要とし、該回転機構
に伴なう問題を解決したととを特徴とするものである。

以下、図面を用いて本発明の実施例について説明する。

第１図１は、半導体ウェハー上の半導体装置、測定用探
針群の配列方向、ウェハープローバーの載物台の移動方
向との関係を説明する模式図、第２図はウェハープロー
バーで半導体装置を検査する方法を説明する模式図であ
る。第１図で独立して動く方向は、載物台５の移動方向
（Ｘ−Ｙ）と載物台５の回転方向θであり、従来のウェ
ハープローバーでは、測定用探針群３の配列方向（ｘ−
ｙ　）が　　　′回転方向γに移動可能であった。第２
図において、半導体ウェハー６は、ウェハープローバー
の載物台５に載せられ、半導体ウェハー上の半導体装置
２は、電極パッド８に接触した測定用探針群３を通して
電気信号により検査され、検査終了後チップサイズの横
または縦方向分だけ間欠送りされ、次の半導体装置が検
査される。ここで従来は、測定用探針群３は基板７に固
定されており、基板７を回転機構４によシ回転させ、第
１図の探針群の配列方向を（ｘ−ｙ）から（ｘＬｙう方
向に回転角γ□向回転せることによシ、載物台５の移動
方向（Ｘ−Ｙ）と探針群の配列方向（ｘＬｙ’）を合わ
せていた。

本発明は、第１図における探針群を定置させてその配列
方向（ｘ−ｙ）を固定し、ウェハープローバーの載置台
５の移動方向を（ｘ−ｙ）方向から（Ｘ’−Ｙ’）方向
に０１回転させることにより、測定用探針群３の探針の
配列方向（ｘ　−ｙ　）とウェハープローバーの載物台
５の移動方向（ｘ／　＋　ｙ／　）を合わせるものであ
る。載物台５の移動方向をθ□回転させるには、第１図
でまずＹ、とＹ方向に載物台５を移動させ、次にＸｌと
Ｘ方向に載物台５を移動させる。その結果、載物台５の
移動方向はＸ′力方向なる。同、嵌にＹ′力方向Ｘ方向
、Ｙ方向の移動の和として達成できる・すなわは、載物
台の移動方向を見かけ上（Ｘ’−Ｙ’）方向にすること
ができる。まだ、（Ｘ−Ｙ）方向と（Ｘ’−Ｙ’）方向
との方向の差θ１は、１枚目の半導体ウェハー上のスク
ライブ線１の方向と載物台の移動方向（Ｘ−Ｙ）とを合
わせた後、載物台を回転させ、スクライブ線の方向と測
定用探４群の配列方向（ｘ−ｙ）を合わせることにより
、その際の載物台の回転角を求めることにより測定する
。またこの値θ□はウェハープローバーの記憶部に記憶
し、次のウェハーからは記憶部からθ、の値を呼び出し
、スクライブ線ｌの方向と載物台５の移動方向（Ｘ−Ｙ
）を合わせた後、載物台を０１回転させ、さらに載物台
の移動方向も０１回転させて（Ｘ’−’Ｙ’）とし、半
導体ウェハー上の半導体装置を検査する。

したがって、本発明によれば載物台の移動方向を見かけ
上変化させて、測定用探針群の配列方向と載物台の移動
方向を合わせるだめ、測定用探針群の配列方向を回転さ
せる回転機構が不必要となシ１、回転機構にともなうウ
ェハープローバーの製造コストの増加や回転機構の故障
発生事故をなくすことができ、また回転機構の操作にが
がる工数を削減することができる効果を有するものであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は半導体ウェハー上の半導体装置、測定用探針群
の配列方向、ウェハープローバーの載物台の移動方向と
の関係を説明する模式図、第２図はウェハープローバー
で半導体装置を検査する方法を説明するための模式図で
ある。 ■・・・半導体ウニ・・−上の半導体装置の分割線（ス
クライブ線）、２・・・半導体装置、３・・・測定用探
針７ｊＹ、４・・・測定用探測群が固定されている基板
の回転機構、５・・・載物台、６・・・半導体ウェハー
、７・・・測定用探測群が固定されている基板、８・・
・電極パッド、 特許出願人　　日本電気株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）半導体ウェハー上に規則正しく配列されている複
   数の半導体装置を検査する工程において、測定用探針群
   を定置させてその配列方向を固定し、半導体ウェハーを
   載置する載物台を平面座標の二方向に変位させ、その合
   成によシ該載物台の移動方向を探針群の配列方向に合わ
   せることを特徴とする半導体装置の検査方法。