JPH09500205A - テスト下にある装置の光学走査およびアライメント - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 集積回路チップ（１２）またはその他のテスト中の装置（ＤＵＴ）を欠陥に関して走査するため、およびチップ回路をテストするためにチップの電気的リード（２４）を電気的テスターのリード（３０）と視覚的に整列させるための装置。この装置は像形成システム（１８）を提供し、チップの走査およびチップリードのアライメントに対し、視覚的に知覚できるチップの像をもたらす。この装置はまた、チップを含む面（Ｘ，Ｙ）においてチップを並進運動させ、その面に垂直な軸（Ｚ）の周りでチップを回転させてチップリードと対応する電気的テスターのリードとのアライメントを促進するメカニズム（３２、３４、４４）を提供する。コンピュータ（２２）またはオペレータは像形成システムを通してチップを見て、走査のためおよび後続のチップテストに対するリードのアライメントのために、チップの並進運動および回転を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】 テスト下にある装置の光学走査およびアライメント 詳細な説明 技術分野 この発明は半導体装置製造に関し、より特定的には集積回路のテストに関する 。背景技術 集積回路（ＩＣ）チップの最終製造工程はしばしば、（１）ＩＣチップのリー ドとテスト装置のリードとのアライメントおよび装着、ならびに（２）ミスアラ イメントといった欠陥に対して行なわれる、ＩＣチップリードの視覚走査を含む 。 従来のチップアライメント装置をたとえばテスト装置において使用してチップ のリードを電気的にテストする。チップのリード位置および／またはチップのテ スターの電気的接触位置の機械的調整を行なってチップリードとテストリードと を正確に整列させる。こういった調整は、チップが最初にテスト領域に配置され るとき、またはリード形態の異なる別のタイプのチップが同じテスト領域でテス トされる場合には、必要かもしれない。 アライメントは典型的に、精密な機械加工構成部品を用い、こうした構成部品 に機械的調整を行なってＩＣチップを正確な整列した位置に配置することにより 達成される。この方法に伴う問題は、チップリードをテストリードと整列させる には定期的に調整が必要とされるため、機械加工 された部品はすぐに摩耗するということである。機械加工された部品の寸法は非 常に正確でなければならないため、摩耗した部品を交換するコストが高くなる可 能性がある。 先行技術におけるさらなる問題は、ＩＣチップリードは現在非常に小さなリー ドピッチで製造されていることである。こうしたピッチはしばしば機械加工され た部品の公差よりも小さく、チップリードの整列およびテストにおけるエラーが 生じる。 先行技術によるアライメント装置のさらなる問題は、チップはしばしばテスト 工程の前にまたはテスト工程の間に滑ったり、位置が僅かに変わったりすること である。先行技術ではチップの滑りの問題または一旦滑りが生じた場合にいかに してチップリードとテストリードとのアライメントを修正するかという問題には 対処していない。 ＩＣチップリードの視覚検査は、リードの整列および電気的テストの前または 後に行なわれることがよくある。典型的に走査は、独立型装置においてオペレー タまたはコンピュータがチップのリードにおける欠陥を視覚的に検査して、光学 的に行なわれる。この先行技術による方法に伴う問題は、走査ステップおよびア ライメント／テストステップを行なうには別の機械が必要なことである。アライ メントおよび走査に対して別にテストを行なうと、適切なテスト装置を配置し適 用するのにさらに時間が必要となり、したがってＩＣのテストのコストが増大す ることになる。さ らに、ＩＣリードは検査装置からテスト装置へと動かされる際に、方向が変わっ て整列状態から外れる可能性がある。 そこで複数目的に対し使用可能な１つの装置を用いてＩＣリードのアライメン トおよび走査が可能となる方策が必要となる。両方のタスクに対し１つの装置を 用いることにより、より多くのＩＣをテストすることができ、過剰な扱いのため に生じるＩＣへの損傷を減ずることができる。 さらに必要なものは、テストプラットホームでＩＣの滑りが発生した後に、Ｉ Ｃまたはその他のテスト中の装置を整列させるアライメント装置である。この装 置はさらに、定期的な調整により摩耗する、高価で精密な機械加工部品を使用せ ずに、ＩＣリードとテストリードとの正確なアライメントを提供しなければなら ない。発明の開示 上記の必要性はこの発明により満たされ、この発明は、テスト中の装置（ＤＵ Ｔ）のリードと電気的テスト装置のテストリードとを整列させ、欠陥に対してＤ ＵＴのリードを走査する装置を提供する。この装置はこれら両方の機能を１つの 装置に組入れることにより、テスト時間および製造費用を節減する。 この装置は、集積回路（ＩＣ）チップといったＤＵＴを支えるためのＤＵＴネ ストを備える円筒形のテスト台を含む。電気的テストリードを備えるプローブカ ードを含むテストヘッドが、ＤＵＴの上方に位置決めされる。視覚シス テムがプロープカードリードおよびＤＵＴリードを見るために、テストヘッドの 上方に位置決めされる。視覚システムを用いて、オペレータまたはコンピュータ は欠陥を探してＤＵＴのリードを走査することができる。 この装置はまた、ＤＵＴのリードとプローブカードのリードとをを整列させる ために使用される。視覚システムによりプローブカードおよびＤＵＴのリードを 見ることができるため、これらのリードのアライメントを視覚的にモニタするこ とができる。リードを整列させるために、ステッパモータがテスト台をＤＵＴの 面で垂直軸に沿い並進運動させ、この台はまたＤＵＴの面に垂直な軸の周りを回 転することができる。一旦プローブカードのリードとＤＵＴリードとが整列する と、別のステッパモータがこの台を持ち上げてＤＵＴリードをプローブカードの リードと接触させる。テストヘッドにおけるテスト機械を使用したＤＵＴの電気 的テストをこのようにして開始できる。 代替実施例では、視覚システムをＤＵＴの台の下方に位置決めし、しかもなお ＤＵＴリードおよびプローブカードリードの外観、ならびにアライメントを目的 とした空間的な関係をもたらすことができる。別の実施例では、テスト台はＤＵ Ｔ並進運動メカニズムを含み、これはＤＵＴネストを通して一続きのＤＵＴを移 動させ、その一続きにおいて各ＤＵＴをテストおよび走査するように動作する。 この発明の利点は、テスト台のネスト内でのＤＵＴの滑 りに対する補償を行なうことができる、ＤＵＴのためのアライメントシステムを 提供することである。ＤＵＴを整列させるために、ステッパモータを用いた簡単 な調整が容易にかつ迅速に行なわれる。 この発明のさらなる利点は、製造コストが大きくなく、容易には摩耗しないた めに、製造およびメンテナンスコストを節約する、アライメントシステムを提供 することである。 この発明のさらなる利点は、１つの装置においてアライメント／テストおよび 走査機能を提供することである。こうすることにより、どちらの動作もＩＣチッ プに対し一度行なわれ、時間と費用とを節約することができる。 この発明の上記およびその他の利点は、後述のこの発明の明細書を読み、添付 の図面を参照することにより、当業者には明らかになるであろう。図面の簡単な説明 図１はこの発明の装置の斜視図である。 図２ａは、テスト台がローディング位置にあるこの発明の立面側面図である。 図２ｂは、テスト台がテスト位置にある、この発明の立面側面図である。 図３は、この発明において使用できるテスト中の装置（ＤＵＴ）の上面図であ る。 図４ａは、図２ａに示される装置およびＤＵＴの断面の 上面図である。 図４ｂは、プローブカードおよびＤＵＴを示す、図２ａに示される装置の断面 の上面図である。 図４ｃは、視覚システムを通したプローブカードのリードおよびＤＵＴの眺め の詳細な図である。 図５ａは、この発明の代替実施例の側面立面図である。 図５ｂは、図５ａに示される実施例の上面図である。 図６は、この発明の実行の方法を図示するフローチャートである。この発明を実行するためのベストモード 図１は、この発明に従って構成されるテストシステム１０の斜視図である。テ ストシステム１０は、テスト中の装置（ＤＵＴ）１２、テスト台１４、テスト・ ヘッド１６、視覚システム１８、サポート２０、およびディジタルコンピュータ ２２を含む。ＤＵＴ１２は典型的に、リード２４を含むリードフレームに取付け られる半導体集積回路（ＩＣ）チップである。ＤＵＴ１２の例については図３を 参照されたい。 好ましい実施例においてテスト台１４は、アライメント、走査、およびテスト 目的のためにＤＵＴ１２を保持する円筒形の構成部品である。台１４は、ＤＵＴ を台１４の上で保持する、ＤＵＴの形状に特定的に合わせられたＤＵＴネスト２ ６を含む。ネスト２６はまた好ましくは、ペッグまたは類似する構造（図４ａ参 照）を備えてＤＵＴの孔に嵌 められるようにし、ＤＵＴを台１４にしっかりと装着する助けとなる。 テストヘッド１６はＤＵＴネスト２６の真っ直ぐ上方に装着され、ＤＵＴ１２ のリードと接触するテストリードを提供する。この実施例においては、テストヘ ッドはＤＵＴ１２の上方の位置に静的に装着される。テストヘッド１６は、台１ ４の上のネスト２６およびＤＵＴ１２とほぼ整列するプローブカード２８を含む 。プローブカード２８は、各々がＤＵＴ１２の対応するリード２４に接触するよ うに形成されたテストリード３０を含む。プローブカードの各リード３０は、テ ストヘッド１６の内側に位置するか、または外部に位置決めされ、ケーブルなど を通してリード３０に結合されるテストシステム（図示せず）の端子またはその 他のタイプの接続に結合される。テストシステムは好ましくは、テスト信号を提 供し、出力を読出すなどしてＤＵＴ上の回路が正しく機能しているかどうかを判 断することにより、ＤＵＴ１２の端子を電気的にテストするように機能する。 視覚システム１８は光学系を含み、テストヘッド１６およびＤＵＴ１２の真っ 直ぐ上方に装着される。視覚システムは好ましくは、走査および整列の目的のた めの、下にある物体の像を見て拡大するためのレンズを含む。好ましくは、視覚 システムはディジタルコンピュータ２２（以下で説明する）からの信号により導 かれて、ＤＵＴの像を自動 的に走査することができる。 その代わりとして、視覚システム１８は、オペレータが視覚システムのレンズ を通して見ることができるように、上部にアイピースを備える。システムを通し 上から下を見下ろすオペレータに対し、視覚システムは上からの視野を提供し、 プローブカード２８とそのテストリード３０との空間的関係、およびＤＵＴ１２ とそのリード２４との空間的な関係を与える（図４ｃ参照）。オペレータはまた 、視覚システムを通して見る像の焦点および倍率を調整できる。 視覚システム１８を用い、製造プロセスにおいて生じたかもしれない欠陥に対 しＤＵＴ１２のリード２４を最初に走査する。次にコンピュータ２２またはオペ レータがこの視覚システムを利用して、リード２４がプローブカード２８のテス トリードと整列しているかどうかを検査する。このリードが整列していなければ 、コンピュータまたはオペレータは、サポート２０におけるモータを制御するこ とにより（以下で説明する）、ＤＵＴ１６の位置を調整する。 視覚システム１８は、図１に示すように、ＤＵＴの上面を真っ直ぐ見下ろすよ うにＤＵＴ１２およびテストヘッド１６の上方に装着されることができ、または その代わりとして、視覚システムをＤＵＴの下部で真っ直ぐに見上げるように、 ＤＵＴの下に装着されることが可能である。この場合、視覚システムはコンピュ ータまたはオペレータに、プローブカードのテストリード３０とＤＵＴリード２ ４と の同じ空間的な関係を提供するであろうが、前述の実施例の逆の配置と異なり、 ＤＵＴリードはテストリードよりも視覚システムに近くなるであろう。 視覚システムは任意的にプローブカードおよびＤＵＴを照明するための光源（ 図示せず）を自身で含む。このような光源は光学系の内部で含むことが可能であ り、または外部で使用して外側の領域からＤＵＴおよびプローブカードを照明す ることができる。光源はまた、ダイオードレーザ、その他のレーザ、水銀ランプ 、または可視波長域が０．４ｍｍ≦Ｌ≦０．７ｍｍであるその他の光源を含む、 いくつかの実施例に対応できる。 台１４を保持するための円筒形の窪みを備えたサポート２０が、テストヘッド １６の下方に位置決めされる。サポート２０および台１４は、コンピュータ２２ またはオペレータによって制御されて並進運動できる。サポート２０は、ブラケ ット５５を通るシャフト３６ａおよび３６ｂによりサポート２０に結合されそれ ぞれｘおよびｙ軸３８および３９で規定される面で互いにほぼ垂直に位置決めさ れる２つの並進ステッパモータ３２および３４により移動させられ、位置決めさ れることができる。この実施例では、シャフト３６ａおよび３６ｂはサポート２ ０の機械加工されたエッジ面に接し、シャフトの端部とサポート２０との間に滑 り軸受を設ける。モータ３２によりサポート２０および台１４がｘ軸３８に沿い 動き、モータ３４によりサポート および台はｙ軸３９に沿い動く。この台の運動は、ＤＵＴ１２が２つの方向に並 進運動してＤＵＴのリード２４をプローブカード２８のテストリード３０と整列 させるように提供される。ステッパモータ３２および３４をまた使用して、ＤＵ Ｔをネスト２６に積載したり降ろしたりできるように、サポート２０および台１ ４を移動させてテストヘッド１６の下から出すことができる。 台１４にはまた好ましくは回転運動が与えられて、リード２４とテストリード ３０との整列をさらに助ける。回転モータ４０がサポート２０に結合されて、矢 印４１で示す回転運動Ｒを、台１４に対して与える。回転モータ４０は台１４を 接線の箇所で駆動輪４２と係合させ、輪と台との間の摩擦で台を回転させる。好 ましくは輪４２には、台の正確な制御が維持されるように、台１４のエッジに対 する優れた牽引力をもたらすエッジが設けられている。台１４および輪４２のエ ッジはまたインターロックと連動して正確な回転をもたらすことができる。 モータ３２、３４および４０を用いて、コンピュータはＤＵＴのリードをプロ ーブカードのリードと整列させることができる。ＤＵＴが台に積載されるたびに ネスト２６がＤＵＴを十分に正確に保持することはないかもしれないので、この ような整列が好ましい。ＤＵＴが台に設置された後にはまた、ＤＵＴの滑りが生 じる可能性があり、再調整が必要となる。この装置１０は、こうした状況に対し 、正 確かつ好都合なＤＵＴ位置の再調整を提供する。 サポート２０はまた、ｚ軸４６に沿う並進運動を台１４にもたらす並進モータ ４４を含む。シャフト３６ｃがモータ４４を台１４と結合する。好ましくは、シ ャフト３６ｃは台１４に設けられたボアに通され、そのボアと係合する。視覚シ ステム１８を用いて一旦ＤＵＴリード２４の位置が、テストリード３０の位置と の関係で眺められると、台１４はモータ４４によりプローブカード２８の高さま で持ち上げられる（図２ｂ参照）。 ディジタルコンピュータ２２は好ましくは、いくつかの入力／出力（Ｉ／Ｏ） ポートで装置１０の動作を制御する、マイクロプロセッサにより制御されるディ ジタル装置である。好ましい実施例では、コンピュータ２２はバス４６を通し、 視覚システム１８との間で情報の送受信を行なう。コンピュータ２２は視覚シス テムからのビデオ入力を受取り、ＤＵＴおよびプローブカードのリードの整列に 関し検査を行なう。コンピュータは周知のアルゴリズムを用いて損傷したまたは 欠陥のあるリードに関し、ＤＵＴを検査する。たとえば、エッジ検出アルゴリズ ムは、リードのエッジを検出することができ、リードを線形方程式で表わすこと が可能である。このリードの式を次に平衡性、垂直性、および空間設定に対し調 整することができる。コンピュータは、仕様に合わないリードに相当するリード の数をストアすることができ、またはそのＩＣのためのリードが仕様 に合わないことを単に表示することができる。 リードが整列していなければ、コンピュータ２２はバス４８で出力信号を送り 、装置のいくつかのモータを機械的に制御する。コンピュータは適切な制御信号 をステッパモータ３２、３４、および４０に送り、台１４を並進運動させ、ＤＵ Ｔのリード２４をテストヘッドのリード３０と整列させる。これが達成されると 、コンピュータ２２は出力信号をモータ４４に送り、台を持ち上げてリード２４ とリード３０とを接触させる。テストヘッド１６を通して結合されたテスト装置 を用いてＤＵＴ１２の電気的テストがこうして開始され得る。 オペレータが視覚システム１８を通して像を見る代替実施例においては、コン ピュータ２２は視覚システムに結合される必要はない。オペレータはコンピュー タ２２を直接制御してモータ３２、３４、４０および４４を調整できる。オペレ ータはまた、当該技術では周知である手動による制御を行なってモータを制御す ることができる。 図２ａは、この発明の装置の立面側面図である。台１４は低くされた位置にあ り、ＤＵＴ１２はネスト２６に積載されている。代替実施例では、視覚システム １８の調整ノブ５０を用いて、視覚システムの中心の垂直の開きを通して見るオ ペレータが観察する像に焦点を合わせる。テストヘッド１６は、垂直のサポート ５４に取付けられたサポート５２により、静止位置で保持される。視覚システム １８ はまた、中央ベースサポート５５に結合された垂直のサポート５４に結合される 。中央ベースサポート５５はモータ３２、３４、４０および４４を保持し、サポ ート２０（図示せず）を装置１０にしっかりと装着する。 図２ｂは持ち上げられた位置にある台１４を示す。台１４の上の場所にあるＤ ＵＴ１２は、先に行なった調整でテストヘッド１６内のプローブカード２８と整 列している。ＤＵＴ１２のリード２４は、ステッパモータ４４を用いて台１４を 持ち上げることにより、プローブカード２８のリード３０と接触する。台は、一 旦リード２４（図１）がテストリード３０（図１）としっかりと接触すると、上 向きに移動するのを停止する。電気的テスト装置（図示せず）がテストヘッド１ ６およびサポート５２を通してリード３０に結合され、台が引き上げられた後に ＤＵＴの電気的テストを行なう。 図３は、この発明に対して用いることができるＤＵＴ１２の例を示す。集積回 路（ＩＣ）ダイ５７が中央位置にあり、導電性リード２４が集積回路における電 気回路に結合される。リード２４は一般にはダイ５７から放射状に突出し、そう することによりリード２４の端部が集積回路パッケージのリードとなるように形 成され、ＩＣに対し入力および出力を与える。リードフレームのリード２４は多 数の異なる形態で編成することができるが、一般には空間を密にして設けられ、 小さな領域内で多数のリードが与えられ るようにし、したがって非常に小さなピッチを有することになる。図３に示した ようなＤＵＴのリードピッチは典型的に約２千万である。 ホルダ５６は典型的に、プラスチックといった絶縁材料からなり、ＤＵＴ１２ が装置１０のネスト２６の上に配置され得るように適切な位置でＤＵＴ１２を保 持するためのしっかりとした機構を提供する。ホルダの大きさおよび形状は、３ ５ｍｍスライドに対するホルダと同様である。ホルダ５６にはアライメントの目 的のために孔５７が設けられている。 図４ａは、図２ａの線４ａ−４ａに沿う断面図である。図３に示されるＤＵＴ １２が台１４の上で示される。ＤＵＴ１２はガイドピン（図示せず）をＤＵＴの 孔５７と係合させることにより台１４と整列する。エッジガイド５８がまたＤＵ Ｔ１２とネスト２６との整列を助ける。 図４ｂは、図２ａの線４ｂ−４ｂに沿う断面図であり、プローブカードのリー ド３０およびＤＵＴリード２４を示す。プローブカード２８のリード３０はＤＵ Ｔ１２のリード２４と整列した状態で示される。一旦これらのリードが整列する と、台１４を引き上げてＤＵＴのリードがプローブカードの対応するリードと接 触するようにし、ＤＵＴをテスト装置でテストすることができる。 図４ｃは視覚システム１８から見た詳細な図であり、プローブカードのリード ３０はＤＵＴのリード２４と整列し ている。テストされるＤＵＴ次第でリードの形態が異なるため、もし形態の異な るＤＵＴをテストするならばプローブカード２８を変えねばならない。通常的に テストされるＤＵＴに対して特定的なプローブカードを製造することが可能であ る。 図５ａはこの発明の代替実施例を示し、いくつかのＤＵＴが長い連続テープ６ ０で結合される。テープ６０は１方向に移動し、各ＤＵＴは一度に１つずつ走査 され、整列させられ、テストされる。この型のＤＵＴに対応するためには、駆動 輪６２が台１４の一方の側で含まれる。駆動輪の歯はＤＵＴテープ６０のエッジ に沿うスプロケットホールに嵌まる。コンピュータ２２は駆動輪を制御してテー プ上の１つのＤＵＴの幅ｗと等しい増分でストランドを移動させる。コンピュー タ２２はバス６４を通して駆動輪６２に制御信号を送る。 図５ｂは図５ａの線５ｂ−５ｂに沿う上面図である。この図ではＤＵＴテープ ６０のスプロケットホール６６が示される。ガイド６８がまた、ＤＵＴテープ６ ０が台１４の上の中心に置かれ正確に位置決めされる助けをする。テープ６０の 各ＤＵＴは前述の実施例のように整列して、台１４が引き上げられたときにプロ ーブカード２８のリード３０がＤＵＴのリード２４と接触するようにしなければ ならない。 図６は図１で説明したこの発明を実行するための方法を 示すフローチャート７０である。ステップ７２では、ＤＵＴ１２がネスト２６に 設置され、ＤＵＴはもし必要であれば１つまたはそれ以上のステッパモータ３２ および３４を用いて視覚システム１８の視界に移動させられる。ステップ７４で は、コンピュータまたはオペレータが視覚システム１８により提供される像を用 いて、欠陥に関してＤＵＴ１２を視覚的に走査する。ステップ７６で、ＤＵＴリ ード２４およびプローブカードリード３０を走査してその相対的な空間関係を判 断し、アライメントが必要かどうかを決定する。ステップ７８で、ＤＵＴ１２は もし必要であれば回転ステッパモータ４４によりＤＵＴの面で回転し、ＤＵＴリ ード２４を対応するプローブカードリード３０と整列させる。ステップ８０で、 ＤＵＴ１２はもし必要であれば並進ステッパモータ３２および３４によりＤＵＴ の面で並進運動させられてＤＵＴリード２４を対応するプローブカードコンタク ト３０の真っ直ぐ下またはその反対に位置決めする。ステップ８２で、ＤＵＴリ ード２８および対応するプローブカードリード３０は互いに接触するようにされ 、ステップ８４で、プローブカードリード３０に結合されたテスト装置を用いて 、ＤＵＴ１２の電気的テストが開始される。 機械的チップアライメント装置およびチップ光学スキャナを１つの装置に組入 れる結果として、コンピュータ制御される１つのメカニズムをすべてのタスクに 対して用いて、 ＤＵＴの動きを最も小さくし、１つの統合された動作で走査およびリード整列を ＤＵＴ全体において行ない得る。この方策によりＤＵＴリードの相応な滑りまた は関連するその他の大きさの変化に対する補償を行なうことが可能になる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．テスト中の装置（ＤＵＴ）をテストするための装置であって、 複数の電気的リード（３０）を備えるプローブカード（２８）を有する集積回 路テストヘッド（１６）と、 複数のリード（２４）を備えるＤＵＴ（１２）を受取り保持するためのＤＵＴ ホルダと、 前記ＤＵＴを含む面（Ｘ，Ｙ）で、前記ＤＵＴを含む前記面に垂直な軸（Ｚ） に沿って、前記ホルダを制御して移動させるための、前記ホルダに結合された変 位制御手段と、 前記ＤＵＴおよび前記プローブカードの視覚的に知覚可能な像を形成するため の、前記プローブカードと整列する像形成器（１８）とを含み、 前記ＤＵＴは各ＤＵＴの電気的リードが前記プローブカードの対応する電気的 リードと接触するように移動し得る、テスト中の装置をテストするための装置。 ２．前記ＤＵＴホルダはＤＵＴネスト（２６）を備える円筒形のテスト台（１ ４）を含む、請求項１に記載の装置。 ３．前記変位制御手段は前記テスト台を、前記ＤＵＴを含む前記面に実質的に 垂直な前記軸の周りで回転させるように動作する回転器を含む、請求項２に記載 の装置。 ４．前記回転器はステッパモータ（４４）を含む、請求項３に記載の装置。 ５．前記変位制御手段は、前記テスト台を、前記ＤＵＴ を含む前記面における２つの互いに垂直な軸（Ｘ，Ｙ）に沿い並進運動させるこ とができる並進運動装置を含む、請求項１に記載の装置。 ６．前記並進運動装置は複数のステッパモータ（３２、３４）を含む、請求項 ５に記載の装置。 ７．前記変位制御手段はディジタルコンピュータ（２２）を含む、請求項１に 記載の装置。 ８．前記変位制御手段は、前記ＤＵＴの並進運動および回転のための、手動で 動作する変位制御メカニズムを含む、請求項１に記載の装置。 ９．前記像形成器は前記テストヘッドの上方で位置決めされる、請求項１に記 載の装置。 １０．前記像形成器はビデオカメラアセンブリを含む、請求項１に記載の装置 。 １１．前記視覚的に知覚可能な前記ＤＵＴの像は、前記ＤＵＴを含む前記面に ほぼ垂直に形成される、請求項１０に記載の装置。 １２．前記像形成器は、０．４ｍｍ≦Ｌ≦０．７ｍｍの範囲の少なくとも１つ の波長Ｌを有する光を用いて前記ＤＵＴを照明するように位置決めされた光源を 含む、請求項１１に記載の装置。 １３．前記ＤＵＴホルダは、結合された複数のＤＵＴを移動させるように動作 し、前記ＤＵＴホルダにおいてＤＵＴを順次的に位置決めする並進運動装置を含 む、請求項１ に記載の装置。 １４．前記ＤＵＴは集積回路チップである、請求項１に記載の装置。 １５．テスト中の装置（ＤＵＴ）をテストするための方法であって、 電気的リード（２４）を有するＤＵＴ（１２）および電気的リード（３０）を 有するプローブカード（２８）を同時に見るステップと、 前記ＤＵＴの前記電気的リードが前記プローブカードの前記電気的リードと整 列するように前記ＤＵＴを移動させるステップと、 前記ＤＵＴの前記電気的リードが前記プローブカードの前記電気的リードと接 触するように前記ＤＵＴを移動させるステップと、 前記ＤＵＴの動作をテストするステップとを含む、テスト中の装置をテストす るための方法。 １６．前記ＤＵＴを見る前記ステップの後欠陥に関して前記ＤＵＴを走査する ステップをさらに含む、請求項１５に記載の方法。 １７．前記ＤＵＴを見る前記ステップは、ディジタルコンピュータ（２２）に 結合されたビデオカメラ（１８）を用いて前記ＤＵＴを見るステップを含む、請 求項１６に記載の方法。 １８．前記ＤＵＴを移動させる前記ステップは、前記Ｄ ＵＴを前記ＤＵＴの面で回転させるステップを含む、請求項１５に記載の方法。 １９．前記ＤＵＴを移動させる前記ステップは、前記ＤＵＴの面における少な くとも１つの線形的な移動を含む、請求項１８に記載の方法。 ２０．前記ＤＵＴの動作のテストの後前記ＤＵＴを移動させ、移動させられた 前記ＤＵＴの位置に第２のＤＵＴを移動させるステップをさらに含む、請求項１ ５に記載の方法。 ２１．テスト中の装置（ＤＵＴ）をテストするための装置であって、 複数のテストリード（３０）が設けられたプローブカード（２８）と、 複数のＤＵＴリードを有するＤＵＴを受取り保持するためのＤＵＴホルダ（１ ４）と、 前記テストリードおよび前記ＤＵＴリードを同時に見るためのビューアと、 前記ビューアに応答して前記プローブカードと前記ＤＵＴとの間の相対的な運 動を提供し、前記テストリードを前記ＤＵＴリードと整列させるための調整メカ ニズムとを含む、テスト中の装置をテストするための装置。 ２２．前記見ることに応答して前記ＤＵＴリードが位置に関する仕様内にある かどうかを判断するための分析器をさらに含む、請求項２１に記載の装置。 ２３．前記ビューアはビデオカメラ（１８）を含む、請求項２１に記載の装置 。 ２４．前記ビューアは前記ビデオカメラに結合されたディジタルコンピュータ をさらに含む、請求項２１に記載の装置。 ２５．前記調整メカニズムは前記ディジタル計算により制御される、請求項２ ４に記載の装置。 ２６．前記調整メカニズムは前記ＤＵＴホルダを移動させる、請求項２１に記 載の装置。 ２７．前記調整メカニズムは前記ＤＵＴホルダを回転させることができる、請 求項２６に記載の装置。 ２８．前記調整メカニズムは前記ＤＵＴホルダをｘ−ｙ面で並進運動させるこ とができる、請求項２６に記載の装置。