CN214622935U - 一种探针卡调节装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种探针卡调节装置，其无需检测者手持探针卡，即可实现探针卡多个方位的自动调节，调节操作方便快捷，可提高检测效率和检测准确性，其包括底座、安装于底座上的探针卡调节机构、薄膜调节机构、显微镜，探针卡调节机构包括用于放置探针卡的探针卡放置槽、带动探针卡放置槽X向移动、Z向移动及横向旋转的探针卡驱动机构，薄膜调节机构包括用于固定薄膜的薄膜固定件、带动薄膜固定件X向移动、Y向移动及纵向旋转的薄膜驱动机构，薄膜固定件位于探针卡放置槽的上方，显微镜位于薄膜固定件的上方，显微镜的镜头依次对应薄膜、探针卡。
Description
技术领域
本实用新型涉及探针卡检测装置技术领域，具体为一种探针卡调节装置。
背景技术
随着半导体制程技术的发展，人们对IC卡产品体积、稳定性要求越来越高，因此，IC卡封装前，需针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品，因此探针卡质量是否稳定，是影响晶圆制造的重要制程之一。使用探针卡测量时，需将探针卡上的探针与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再与测试仪、软件控制装置配合，达到自动测量的目的。
在探针卡制造过程中，为确保后续使用时每根探针的位置准确，需对探针卡进行贴膜定位操作，薄膜(绝缘耐高温胶片，材质为聚酯薄膜PET)上打印(激光打印)有若干个与探针直径匹配的刻痕(刻痕为用于探针卡上的探针定位的定位点)，探针及刻痕直径仅有10um～15um，因此使用显微镜才能观测探针卡上探针与薄膜刻痕是否对应，在使用显微镜观测时，需调节探针卡位置，使显微镜聚焦位置、探针与薄膜刻痕清楚显示，并查看探针与薄膜刻痕位置是否准确对应。但是目前用于探针卡位置调整的设备较少，检测者需手持探针卡或薄膜对其高度、翻转角度进行调整，费时费力，严重影响了检测效率及检测准确性。
实用新型内容
针对现有技术中存在的手持探针卡或薄膜对其位置进行调节的方式费时费力，影响检测效率和检测准确性的问题，本实用新型提供了一种探针卡调节装置，其无需检测者手持探针卡，即可实现探针卡、薄膜位置的自动调节，调节操作方便快捷，可提高检测效率和检测准确性。
为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种探针卡调节装置，其包括底座、安装于所述底座上的探针卡调节机构、薄膜调节机构、显微镜，其特征在于，所述探针卡调节机构包括用于放置所述探针卡的探针卡放置槽、带动所述探针卡放置槽X向移动、Z向移动及横向旋转的探针卡驱动机构，所述薄膜调节机构包括用于固定所述薄膜的薄膜固定件、带动所述薄膜固定件X向移动、Y向移动及纵向旋转的薄膜驱动机构，所述薄膜固定件位于所述探针卡放置槽的上方，所述显微镜位于所述薄膜固定件的上方，所述显微镜的镜头依次对应所述薄膜、探针卡。
其进一步特征在于，
所述薄膜调节机构包括第一X向移动滑台、安装于所述第一X向移动滑台的滑块上的Z向移动滑台、安装于所述Z向移动滑台的滑块上的r1轴旋转台，所述第一X向移动滑台的底端与所述底座固接，所述r1轴旋转台包括第一转轴，所述第一转轴的一端固接第一旋钮，所述第一转轴的另一端固接所述薄膜固定件；
所述探针卡调节机构包括r2轴旋转台、安装于所述r2轴旋转台的第二X向移动滑台、安装于所述第二X向移动滑台的滑块上的Y向移动滑台，所述r2轴旋转台包括旋转台、第二转轴、第二旋钮，所述第二转轴的一端与所述旋转台底端固定，所述第二转轴的另一端与所述第二旋钮固定，所述第二X向移动滑台滑动安装于所述旋转台的顶端，所述Y向移动滑台滑动安装于所述第二X向移动滑台的顶端，所述Y向移动滑台的中部设置有探针卡放置槽；
所述显微镜通过支架与所述底座固定，所述支架包括两块与所述底座固定的竖板，固定于两个所述竖板顶端的横板，所述横板的顶端设置有第三滑槽、与所述第三滑槽滑动连接的第二滑板、设置于所述第二滑板顶端的第四滑槽、与所述第四滑槽滑动连接的第三滑板，所述显微镜通过所述第三滑板滑动安装于所述第三滑槽内；
所述第一X向移动滑台、Z向移动滑台、第二X向移动滑台、Y向移动滑台均为手动滑台，所述r1轴旋转台、r2轴旋转台均为手动旋转台；
所述显微镜通过支架与所述底座固定。
采用本实用新型上述结构可以达到如下有益效果：通过显微镜，检测探针卡上的探针与薄膜刻痕是否准确对应，以便于对探针卡上的探针进行调整、定位，将探针卡放置于探针卡放置槽内，将薄膜固定于薄膜固定件，通过探针卡驱动机构驱动，使探针卡放置槽及探针卡沿X轴方向移动、Z轴方向移动或纵向旋转，从而实现了探针卡位置的自动调节，通过薄膜驱动机构驱动，使薄膜固定件及薄膜沿X轴方向移动、Y轴方向移动或横向旋转，实现了薄膜位置的自动调节，以便于检测人员能够通过显微镜清晰观测到探针卡上的探针与薄膜刻痕的位置是否准确对应，其无需检测者手持探针卡或薄膜，调节操作方便快捷，提高了检测效率和检测准确性。
附图说明
图1为本实用新型的立体结构示意图；
图2为本实用新型的探针卡调节机构的爆炸图；
图3为本实用新型探针卡探针与薄膜刻痕准确对应的结构示意图。
具体实施方式
见图1，一种探针卡调节装置，其包括底座1、安装于底座1上的探针卡调节机构2、薄膜调节机构3、显微镜4，探针卡调节机构2包括用于放置探针卡的探针卡放置槽21、带动探针卡放置槽21沿X轴方向移动、Z轴方向移动或纵向旋转的探针卡驱动机构，薄膜调节机构3包括用于固定薄膜的薄膜固定件31、带动薄膜固定件31沿X轴方向移动、Y轴方向移动及横向旋转的薄膜驱动机构，薄膜固定件31位于探针卡放置槽21的上方，显微镜4位于薄膜固定件31的上方，显微镜4的镜头依次对应薄膜、探针卡。
薄膜调节机构3包括第一X向移动滑台32、安装于第一X向移动滑台32的滑块上的Z向移动滑台33、安装于Z向移动滑台33的滑块上的r1轴旋转台34，第一X向移动滑台32的底端与底座1固接，r1轴旋转台34包括第一转轴341，第一转轴341的一端固接第一旋钮35，第一转轴341的另一端固接薄膜固定件31；第一X向移动滑台32包括第一微分头321，Z向移动滑台33包括第二微分头331，第一微分头321、第二微分头331分别用于驱动相应的滑块移动，第一X向移动滑台32、Z向移动滑台33、r1轴旋转台34均采用现有技术。
见图2，探针卡调节机构包括r2轴旋转台21、安装于r2轴旋转台21的第二X向移动滑台22、安装于第二X向移动滑台22的滑块上的Y向移动滑台23，r2轴旋转台21包括旋转台210、第二转轴211、第二旋钮212，第二转轴211的一端与旋转台210底端固定，第二转轴211的另一端与第二旋钮212固定，第二X向移动滑台22滑动安装于旋转台210的顶端，Y向移动滑台23滑动安装于第二X向移动滑台22的顶端，Y向移动滑台23的中部设置有探针卡放置槽21；第二X向移动滑台22包括设置于旋转台210上的第一滑槽221、与第一滑槽221滑动连接的两个支撑板222，Y向移动滑台23包括第二滑槽231、与第二滑槽231滑动连接的第一滑板232，探针卡放置槽21设置于第一滑板232的中部。
第一X向移动滑台、Z向移动滑台、第二X向移动滑台、Y向移动滑台均为手动滑台，r1轴旋转台、r2轴旋转台均为手动旋转台；
显微镜4通过支架5与底座1固定，支架5包括两块与底座1固定的竖板51，固定于两个竖板51顶端的横板52，横板52的顶端设置有第三滑槽521、与第三滑槽521滑动连接的第二滑板522、设置于第二滑板522顶端的第四滑槽523、与第四滑槽523滑动连接的第三滑板524，显微镜4通过第三滑板524滑动安装于第三滑槽521内。手动推动第二滑板522使显微镜4的横向移动，手动推动第三滑板524使显微镜4纵向移动，从而实现了显微镜4的位置调节。
将探针卡放置于探针卡放置槽21内，将薄膜固定于薄膜固定件31，通过显微镜4观测薄膜的刻痕10与探针卡探针11的对位情况，若薄膜的刻痕10与探针卡探针11对位不准确，则分别通过薄膜调节机构3、探针卡调节机构2对薄膜、探针卡的位置进行调节：薄膜固定件31通过薄膜调节机构3驱动，手动旋拧第一X向移动滑台32的第一微分头321，使薄膜固定件31及薄膜沿X轴方向移动，手动旋拧Z向移动滑台33的第二微分头331，使薄膜固定件31及薄膜沿Z轴方向移动，旋拧第一旋钮35，使薄膜固定件31及薄膜以第一转轴341为轴沿纵向旋转，从而实现薄膜的位置调节；探针卡放置槽21及探针卡通过探针卡调节机构2驱动，手动旋拧第二旋钮212，使r2轴旋转台21以第二转轴211为轴横向转动，手动推动第二X向移动滑台22，使支撑板222、第一滑板232沿X轴方向移动，手动推动Y向移动滑台23，使第一滑板232沿Y轴方向移动，从而实现探针卡的位置调节，使检测者通过显微镜4能够清楚观测到探针卡探针11与薄膜上的刻痕10是否一一对应(见图3)，若对应不准确，则通过探针卡调节机构2继续对探针卡上探针11位置进行调节。
以上的仅是本申请的优选实施方式，本实用新型不限于以上实施例。可以理解，本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和构思的前提下直接导出或联想到的其他改进和变化，均应认为包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种探针卡调节装置，其包括底座、安装于所述底座上的探针卡调节机构、薄膜调节机构、显微镜，其特征在于，所述探针卡调节机构包括用于放置所述探针卡的探针卡放置槽、带动所述探针卡放置槽X向移动、Z向移动及横向旋转的探针卡驱动机构，所述薄膜调节机构包括用于固定所述薄膜的薄膜固定件、带动所述薄膜固定件X向移动、Y向移动及纵向旋转的薄膜驱动机构，所述薄膜固定件位于所述探针卡放置槽的上方，所述显微镜位于所述薄膜固定件的上方，所述显微镜的镜头依次对应所述薄膜、探针卡。
2.根据权利要求1所述的一种探针卡调节装置，其特征在于，所述探针卡调节机构包括r2轴旋转台、安装于所述r2轴旋转台的第二X向移动滑台、安装于所述第二X向移动滑台的滑块上的Y向移动滑台，所述r2轴旋转台包括旋转台、第二转轴、第二旋钮，所述第二转轴的一端与所述旋转台底端固定，所述第二转轴的另一端与所述第二旋钮固定，所述第二X向移动滑台滑动安装于所述旋转台的顶端，所述Y向移动滑台滑动安装于所述第二X向移动滑台的顶端，所述Y向移动滑台的中部设置有探针卡放置槽。
3.根据权利要求1所述的一种探针卡调节装置，其特征在于，所述显微镜通过支架与所述底座固定，所述支架包括两块与所述底座固定的竖板，固定于两个所述竖板顶端的横板，所述横板的顶端设置有第三滑槽、与所述第三滑槽滑动连接的第二滑板、设置于所述第二滑板顶端的第四滑槽、与所述第四滑槽滑动连接的第三滑板，所述显微镜通过所述第三滑板滑动安装于所述第三滑槽内。
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|---|---|---|---|---|
| CN114487780A (zh) * | 2022-01-28 | 2022-05-13 | 强一半导体（苏州）有限公司 | 一种垂直式mems直针插针装置及其插针方法 |
| CN114527369A (zh) * | 2022-01-28 | 2022-05-24 | 强一半导体（苏州）有限公司 | 一种Cobra探针插针装置及其插针方法 |
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