CN218567243U - 一种xrd检测用三坐标可视化位移装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种XRD检测用三坐标可视化位移装置，包括三向运动机构、激光灯、摄像头和控制器；所述三向运动机构包括两条x向导轨、一条y向导轨、一条z向导轨和样品台，所述导轨上设置有滑座，滑座由电机通过传动机构驱动在导轨上移动，所述y向导轨安装在两条x向导轨的滑座上，所述z向导轨安装在y向导轨的滑座上，所述样品台安装在z向导轨的滑座上；所述激光灯和摄像头安装在XRD检测仪上；控制器用于控制三向运动机构、激光灯和摄像头工作。该位移装置适用于大型、不规则、微型样品的XRD检测，配合光路准直系统，也适用于微区XRD检测。该位移装置调整准确，方便快捷，具有很好的位置精度和重复性，XRD检测误差较小。

Description

一种XRD检测用三坐标可视化位移装置

技术领域

本实用新型属于X射线衍射分析技术领域，具体涉及一种XRD检测用三坐标可视化位移装置。

背景技术

XRD检测适用广泛，可高效准确对样品进行物相鉴定，晶体结构分析。XRD检测设备的标准样品台对样品的尺寸形状有所限制，对于不能破坏的大尺寸样品，比如轴类样品表面渗碳层的残余奥氏体分析，衍射仪标配的样品台无法满足其高度需求；对于超小型、微型小样品，比如电路板焊接点，触点，文物局部颜料，工件焊缝，局部腐蚀点等物相分析都需要精确移动待测点，调整样品的x，y，z三坐标点，将待测点处于衍射中心，并与X射线照射位置重合，从而获得准确的XRD图谱。

基于此，需要设计一种XRD检测用三坐标可视化位移装置，通过可视化，激光定位方法，实现XRD检测时样品的位移和位置调整。

实用新型内容

本实用新型的目的是设计一种XRD检测用三坐标可视化位移装置，通过可视化，激光定位方法，实现XRD检测时样品的位移和位置调整。

本实用新型的技术方案是一种XRD检测用三坐标可视化位移装置，包括三向运动机构、激光灯、摄像头和控制器；所述三向运动机构包括两条x向导轨、一条y向导轨、一条z向导轨和样品台，所述导轨上设置有滑座，滑座由电机通过传动机构驱动在导轨上移动，所述y向导轨安装在两条x向导轨的滑座上，所述z向导轨安装在y向导轨的滑座上，所述样品台安装在z向导轨的滑座上；所述激光灯和摄像头安装在XRD检测仪上；控制器用于控制三向运动机构、激光灯和摄像头工作。

所述激光灯数量为2-3个。

所述激光灯射出的光标为十字形、点状或一字形。

所述摄像头监控激光灯射出的光标与样品待测位置的重合度。

所述控制器包括摄像头显示器、电机控制装置和激光灯的电源。

本实用新型所提供的一种XRD检测用三坐标可视化位移装置具有以下优点：

1.本实用新型所提供的一种XRD检测用三坐标可视化位移装置使用时，首先通过激光灯标示X射线光斑位置，然后，将待测样品安置在样品台上，通过三向运动机构移动样品，通过摄像头监控样品待测位置与激光光标重合度，判断样品待测位置是否到达衍射中心位置，最终将样品待测点精确移动至X射线光斑位置。

2.本实用新型所提供的一种XRD检测用三坐标可视化位移装置适用于大型、不规则、微型样品的XRD检测，配合光路准直系统，也适用于微区XRD检测。

3.本实用新型所提供的一种XRD检测用三坐标可视化位移装置调整准确，方便快捷，具有很好的位置精度和重复性，XRD检测误差较小。

4.本实用新型所提供的一种XRD检测用三坐标可视化位移装置可弥补标准样品台的空间小的不足，可以不需要切割破坏即可开展大型样品的XRD检测；可对不规则样品进行三向移动，较好的调整待测位置；可以对大型样品中要关注的微小区域进行XRD测试，比如腐蚀点，焊点，文物局部颜料等。

附图说明

图1为一种XRD检测用三坐标可视化位移装置的结构示意图。

图2为激光灯射出的十字光标示意图。

附图中的标号说明：

1.三向运动机构、2.激光灯、3.摄像头、4.控制器、5.底座

101.x向导轨、102.y向导轨、103.z向导轨、104.样品台、105.电机

401.摄像头显示器、402.电机控制装置

具体实施方式

为使本实用新型实施的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行更加详细的描述。应该强调的是，下述说明仅仅是示例性的，而不是为了限制本实用新型的范围及其应用。

实施例

本实施例所述的一种XRD检测用三坐标可视化位移装置见图1到图2所示。

如图1所示，本实施例所述的一种XRD检测用三坐标可视化位移装置，包括三向运动机构1、激光灯2、摄像头3和控制器4；所述三向运动机构1包括两条x向导轨101、一条y向导轨102、一条z向导轨103和样品台104，所述导轨上设置有滑座，滑座由电机105通过传动机构驱动在导轨上移动，所述y向导轨102安装在两条x向导轨101的滑座上，所述z向导轨103安装在y向导轨102的滑座上，所述样品台104安装在z向导轨103的滑座上；所述激光灯2和摄像头3安装在XRD检测仪上；控制器4用于控制三向运动机构1、激光灯2和摄像头3工作。三向运动机构1安装在底座5上。在本实施例中，电机105通过丝杠螺母传动机构驱动滑座在导轨上移动，也可采用齿轮齿条、齿形带齿轮等传动机构驱动滑座。

所述激光灯2数量为2-3个。本实施例中采用两个激光灯。

所述激光灯2射出的光标为十字形、点状或一字形。本实施例中激光灯射出的光标为十字形。

所述摄像头3监控激光灯2射出的光标与样品待测位置的重合度。

所述控制器4包括摄像头显示器401、电机控制装置402和激光灯2的电源。在本实施例中激光灯2的电源安置在摄像头显示器401中。

本实施例所述的一种XRD检测用三坐标可视化位移装置的工作时，采用以下步骤：

步骤一、确定X射线光斑。首先校准X射线衍射仪光路系统，然后将Si标准样品置于X射线衍射仪样品台上，测量衍射峰，并与标准峰位进行对比，调整光路及样品台高度，直至衍射峰峰位的测试值与标准值一致。

在本实施例中，采用硅标准样品确定X射线光斑。将硅标准样品置于XRD检测仪样品台上，开启扫描模式，扫描范围26°～30°，收集图谱，拟合测量Si{111}衍射峰峰位，调整光路及样品台高度，直至峰位值为28.44°。

步骤二、用激光光标标识X射线光斑位置。先将X射线荧光成像板置于XRD检测仪样品台上，然后开启激光灯2，调整激光灯2的入射方向，直至两束光斑完全重合与X射线的光斑中心位置，可借助摄像头3，观察激光灯2光斑重合度，直至完全重合，最后固定激光灯入射方向及摄像头焦距。

如图2所示，在本实施例中，将X射线荧光成像板放置于X射线衍射仪样品台上，开启X射线窗口，确定X射线光斑位置。调整左右两个激光灯2的照射方向，使其十字光标完全重合于与X射线光斑中心位置。图2中表示两个激光灯2的十字光标分别显示在X射线荧光成像板上。

步骤三、确定样品待测位置。先将XRD检测仪上的样品台更换为本实施例所述的XRD检测用三坐标可视化位移装置，将样品固定在样品台104上，开启电机105，移动x向导轨101、y向导轨102和z向导轨103上的滑座，调整样品待测点的x，y，z位置，并连接摄像头3观察激光光标变化，直至将两束激光光标重合在样品待测点。

步骤四、开启X射线窗口进行实验。开启X射线窗口，根据测试要求，调整相关参数及程序，进行实验，采集X射线衍射图谱。

最后需要指出的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制。尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (5)

1.一种XRD检测用三坐标可视化位移装置，其特征是：包括三向运动机构、激光灯、摄像头和控制器；所述三向运动机构包括两条x向导轨、一条y向导轨、一条z向导轨和样品台，所述导轨上设置有滑座，滑座由电机通过传动机构驱动在导轨上移动，所述y向导轨安装在两条x向导轨的滑座上，所述z向导轨安装在y向导轨的滑座上，所述样品台安装在z向导轨的滑座上；所述激光灯和摄像头安装在XRD检测仪上；控制器用于控制三向运动机构、激光灯和摄像头工作。

2.根据权利要求1所述的一种XRD检测用三坐标可视化位移装置，其特征是：所述激光灯数量为2-3个。

3.根据权利要求1所述的一种XRD检测用三坐标可视化位移装置，其特征是：所述激光灯射出的光标为十字形、点状或一字形。

4.根据权利要求1所述的一种XRD检测用三坐标可视化位移装置，其特征是：所述摄像头监控激光灯射出的光标与样品待测位置的重合度。

5.根据权利要求1所述的一种XRD检测用三坐标可视化位移装置，其特征是：所述控制器包括摄像头显示器、电机控制装置和激光灯的电源。

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