JPH10339710A - 試料中心を検出できる蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents
試料中心を検出できる蛍光ｘ線分析装置Info
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- JPH10339710A JPH10339710A JP10072790A JP7279098A JPH10339710A JP H10339710 A JPH10339710 A JP H10339710A JP 10072790 A JP10072790 A JP 10072790A JP 7279098 A JP7279098 A JP 7279098A JP H10339710 A JPH10339710 A JP H10339710A
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- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料の中心を、Ｘ線強度分布から短時間で正
確に検出する。 【解決手段】 試料を設置されたＸＹ平面において、第
１に試料の仮中心の決定を行い、第２にＸ方向にスキャ
ン測定を行い、第３にＸ方向の試料中心を算出し、第４
にＹ方向にスキャン測定を行い、第５にＹ方向の試料中
心を算出し、第６に試料中心座標決定によって、円形試
料の中心検出を実現する蛍光Ｘ線分析装置。
確に検出する。 【解決手段】 試料を設置されたＸＹ平面において、第
１に試料の仮中心の決定を行い、第２にＸ方向にスキャ
ン測定を行い、第３にＸ方向の試料中心を算出し、第４
にＹ方向にスキャン測定を行い、第５にＹ方向の試料中
心を算出し、第６に試料中心座標決定によって、円形試
料の中心検出を実現する蛍光Ｘ線分析装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、蛍光Ｘ線分析装
置に関するものである。
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、図９に示す装置構成で、試料を試
料テーブル２４に置きオペレータが試料テーブルを動作
させて、試料観察用モニタ２７の十字線と試料の測定希
望部位を一致させることによって測定位置を合わせてい
た。また、測定しようとする試料が微小なときは、通常
広い領域を見るために、低倍率の観察光学系を用いてい
るが、試料モニターによる位置合わせが困難なため、高
倍率光学系との切り換えシステムを採用するか、もしく
は試料寸法に対して十分狭い間隔で格子状にスキャン測
定し、その２次元のプロファイルから試料の中心を判断
し、その位置の測定結果を採用していた。
料テーブル２４に置きオペレータが試料テーブルを動作
させて、試料観察用モニタ２７の十字線と試料の測定希
望部位を一致させることによって測定位置を合わせてい
た。また、測定しようとする試料が微小なときは、通常
広い領域を見るために、低倍率の観察光学系を用いてい
るが、試料モニターによる位置合わせが困難なため、高
倍率光学系との切り換えシステムを採用するか、もしく
は試料寸法に対して十分狭い間隔で格子状にスキャン測
定し、その２次元のプロファイルから試料の中心を判断
し、その位置の測定結果を採用していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の、試料モニター
を使った位置合わせでも、比較的大きな試料では実用上
十分な位置合わせが可能であった。 しかし、近年の電
子部品の微小化に伴い、試料モニターの画像による位置
合わせでは画像の分解能の限界と、Ｘ線照射位置と試料
モニターの十字線の位置を合わせる調整の精度の問題か
ら、正確な位置合わせが困難になっていた。また、測定
前に測定位置を登録して、連続して自動測定をする場合
に、試料ステージが動作する際に、サンプルが動いてし
まった場合の許容量も、大幅に小さくなっているため、
正確に位置を合わせる機能の必要性が高まっていた。
を使った位置合わせでも、比較的大きな試料では実用上
十分な位置合わせが可能であった。 しかし、近年の電
子部品の微小化に伴い、試料モニターの画像による位置
合わせでは画像の分解能の限界と、Ｘ線照射位置と試料
モニターの十字線の位置を合わせる調整の精度の問題か
ら、正確な位置合わせが困難になっていた。また、測定
前に測定位置を登録して、連続して自動測定をする場合
に、試料ステージが動作する際に、サンプルが動いてし
まった場合の許容量も、大幅に小さくなっているため、
正確に位置を合わせる機能の必要性が高まっていた。
【０００４】一方、低倍率の光学系で中心の位置を合わ
せることが困難な試料に対しては、高倍率の光学系に切
り換えるという方法は、システムが高価になってしまう
という問題があり、２次元プロファイルから中心を決定
する方法では、１点の測定をするために、多くの時間を
費やしてしまうことになり、実用的ではなかった。そこ
で、この発明の目的は、従来のこのような課題を解決す
るため、画像に頼らず、短時間で、正確に測定位置を合
わせる手段を提供することである。
せることが困難な試料に対しては、高倍率の光学系に切
り換えるという方法は、システムが高価になってしまう
という問題があり、２次元プロファイルから中心を決定
する方法では、１点の測定をするために、多くの時間を
費やしてしまうことになり、実用的ではなかった。そこ
で、この発明の目的は、従来のこのような課題を解決す
るため、画像に頼らず、短時間で、正確に測定位置を合
わせる手段を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、試料テーブルに設置された蛍光Ｘ線を検出可能な円
形試料を、第１に試料モニタ部によって、円形試料の中
心とＸ線照射位置とを位置合わせを行って円形試料の仮
中心を決定し、第２に仮中心を基準にして、Ｘ方向のス
キャン範囲を円形試料の直径の２倍とし、スキャンピッ
チをＸ線ビームのＸ方向の照射幅と同一にし、各点での
蛍光Ｘ線強度を取得し、第３にＸ方向での測定で得られ
た蛍光Ｘ線強度とＸ座標を使用し、蛍光Ｘ線強度のＸ方
向における重心座標を算出することで、試料中心Ｘ座標
を決定し、第４に算出したＸ方向の試料中心座標と仮中
心のＹ座標を基準にして、Ｙ方向のスキャン範囲を円形
試料の直径の２倍とし、スキャンピッチをＸ線ビームの
Ｙ方向の照射幅と同一にし各点での蛍光Ｘ線強度を取得
し、第５にＹ方向での測定で得られた蛍光Ｘ線強度とＹ
座標とから、蛍光Ｘ線強度の重心Ｙ座標を算出すること
で、Ｙ方向における試料中心を決定し、円形試料の中心
を検出する。
に、試料テーブルに設置された蛍光Ｘ線を検出可能な円
形試料を、第１に試料モニタ部によって、円形試料の中
心とＸ線照射位置とを位置合わせを行って円形試料の仮
中心を決定し、第２に仮中心を基準にして、Ｘ方向のス
キャン範囲を円形試料の直径の２倍とし、スキャンピッ
チをＸ線ビームのＸ方向の照射幅と同一にし、各点での
蛍光Ｘ線強度を取得し、第３にＸ方向での測定で得られ
た蛍光Ｘ線強度とＸ座標を使用し、蛍光Ｘ線強度のＸ方
向における重心座標を算出することで、試料中心Ｘ座標
を決定し、第４に算出したＸ方向の試料中心座標と仮中
心のＹ座標を基準にして、Ｙ方向のスキャン範囲を円形
試料の直径の２倍とし、スキャンピッチをＸ線ビームの
Ｙ方向の照射幅と同一にし各点での蛍光Ｘ線強度を取得
し、第５にＹ方向での測定で得られた蛍光Ｘ線強度とＹ
座標とから、蛍光Ｘ線強度の重心Ｙ座標を算出すること
で、Ｙ方向における試料中心を決定し、円形試料の中心
を検出する。
【０００６】ここでいう重心は、以下のように定義す
る。ｉ番目のスキャン位置の、蛍光Ｘ線の強度をＩi と
し、その位置をｘi とすると、ｘ方向の重心は、例えば ｘ方向の重心＝Σ（Ｉi*ｘi） ／ΣＩi とする。
る。ｉ番目のスキャン位置の、蛍光Ｘ線の強度をＩi と
し、その位置をｘi とすると、ｘ方向の重心は、例えば ｘ方向の重心＝Σ（Ｉi*ｘi） ／ΣＩi とする。
【０００７】例えば、スキャン位置が３個あれば、ｘ方
向の重心は、（Ｉ1*ｘ1 ＋Ｉ2*ｘ2＋Ｉ3*ｘ3)／（Ｉ1
＋Ｉ2 ＋Ｉ3 ）で表される。Ｙ方向の重心も同様にして
求める。 ［作用］この発明の作用を図８を用いて説明する。円形
試料１５に対して、第１に仮中心１６を決定する。第２
に仮中心を起点としてＸ方向にスキャン測定を行ない、
Ｘ方向の蛍光Ｘ線強度分布２０を得る。第３にＸ方向の
蛍光Ｘ線強度の分布２０とスキャンのＸ座標から重心を
計算し、座標１８を得る。スキャン測定のピッチを細か
くしていけば座標１８は、線分１９の中点とみなすこと
ができる。第４に座標１８のＸ座標と仮中心１６のＹ座
標を起点としてＹ方向にスキャン測定を行い、Ｙ方向の
蛍光Ｘ線強度分布２１を得る。第５にＹ方向の蛍光Ｘ線
強度分布２１とスキャンのＹ座標から重心を計算し、座
標１７を得ることで、円形試料の中心を検出することが
できる。
向の重心は、（Ｉ1*ｘ1 ＋Ｉ2*ｘ2＋Ｉ3*ｘ3)／（Ｉ1
＋Ｉ2 ＋Ｉ3 ）で表される。Ｙ方向の重心も同様にして
求める。 ［作用］この発明の作用を図８を用いて説明する。円形
試料１５に対して、第１に仮中心１６を決定する。第２
に仮中心を起点としてＸ方向にスキャン測定を行ない、
Ｘ方向の蛍光Ｘ線強度分布２０を得る。第３にＸ方向の
蛍光Ｘ線強度の分布２０とスキャンのＸ座標から重心を
計算し、座標１８を得る。スキャン測定のピッチを細か
くしていけば座標１８は、線分１９の中点とみなすこと
ができる。第４に座標１８のＸ座標と仮中心１６のＹ座
標を起点としてＹ方向にスキャン測定を行い、Ｙ方向の
蛍光Ｘ線強度分布２１を得る。第５にＹ方向の蛍光Ｘ線
強度分布２１とスキャンのＹ座標から重心を計算し、座
標１７を得ることで、円形試料の中心を検出することが
できる。
【０００８】
【発明の実施の形態】第１に請求項１の円形試料の中心
を検出する例を図に従って説明する。まず円形試料８を
試料テーブルに設置し、試料観察用モニタで円形試料の
中心と十字線とを大まかに位置合わせを行い、仮中心座
標７を決定する。仮中心７の座標を基準にしてＸ方向に
スキャン測定を行う。スキャンの条件は、スキャンの範
囲を円形試料の直径の２倍、スキャンのピッチをＸ線ビ
ームのＸ方向の照射幅と同一にし、Ｘ方向のスキャン測
定位置９となる。スキャン測定ではＸ線を照射し、試料
から得ることができる蛍光Ｘ線強度を取得する。測定の
時間は、要求される位置決め精度と関係するが１秒程度
の測定で十分に実用的な情報が得られる。各測定点のＸ
座標と蛍光Ｘ線強度から重心位置を計算し、円形試料の
中心Ｘ座標１０を決定する。次に中心Ｘ座標と仮中心の
Ｙ座標を基準にして、Ｙ方向のスキャン測定を行う。ス
キャンの条件は、スキャンの範囲を円形試料の直径の２
倍、スキャンのピッチをＸ線ビームのＹ方向の照射幅と
同一にし、Ｘ方向のスキャン測定位置１１となる。Ｘ方
向のスキャン測定と同様に、スキャン測定ではＸ線を照
射し試料から得ることができる蛍光Ｘ線強度を取得す
る。各測定点のＹ座標と蛍光Ｘ線強度から重心位置を計
算し、円形試料の中心Ｙ座標１２を決定する。以上の動
作で得られた、円形試料の中心Ｘ座標と中心Ｙ座標を使
用して、試料テーブル２４を制御し、分析のための測定
を行う。分析の測定時間は、試料の中心を検出するため
の測定とは異なる時間で行う。
を検出する例を図に従って説明する。まず円形試料８を
試料テーブルに設置し、試料観察用モニタで円形試料の
中心と十字線とを大まかに位置合わせを行い、仮中心座
標７を決定する。仮中心７の座標を基準にしてＸ方向に
スキャン測定を行う。スキャンの条件は、スキャンの範
囲を円形試料の直径の２倍、スキャンのピッチをＸ線ビ
ームのＸ方向の照射幅と同一にし、Ｘ方向のスキャン測
定位置９となる。スキャン測定ではＸ線を照射し、試料
から得ることができる蛍光Ｘ線強度を取得する。測定の
時間は、要求される位置決め精度と関係するが１秒程度
の測定で十分に実用的な情報が得られる。各測定点のＸ
座標と蛍光Ｘ線強度から重心位置を計算し、円形試料の
中心Ｘ座標１０を決定する。次に中心Ｘ座標と仮中心の
Ｙ座標を基準にして、Ｙ方向のスキャン測定を行う。ス
キャンの条件は、スキャンの範囲を円形試料の直径の２
倍、スキャンのピッチをＸ線ビームのＹ方向の照射幅と
同一にし、Ｘ方向のスキャン測定位置１１となる。Ｘ方
向のスキャン測定と同様に、スキャン測定ではＸ線を照
射し試料から得ることができる蛍光Ｘ線強度を取得す
る。各測定点のＹ座標と蛍光Ｘ線強度から重心位置を計
算し、円形試料の中心Ｙ座標１２を決定する。以上の動
作で得られた、円形試料の中心Ｘ座標と中心Ｙ座標を使
用して、試料テーブル２４を制御し、分析のための測定
を行う。分析の測定時間は、試料の中心を検出するため
の測定とは異なる時間で行う。
【０００９】第２に、請求項２の位置決めの要求精度に
応じてスキャン範囲とスキャンピッチと中心を探索する
ための測定時間を変更する実施例を説明する。スキャン
範囲は、試料を確実に横断あるいは縦断できれば良い性
質の物であるため、必ずしも円形試料の直径の２倍のス
キャンを行う必要はない。試料の寸法と試料観察光学系
の性能と仮中心の決定手段に応じてスキャン範囲を可変
することができることで、中心を探すための所要時間を
最短に設定できる。スキャン範囲と探索の所要時間は比
例関係にあるため、スキャン範囲を３割減らせば、探索
所要時間も３割削減することができる。
応じてスキャン範囲とスキャンピッチと中心を探索する
ための測定時間を変更する実施例を説明する。スキャン
範囲は、試料を確実に横断あるいは縦断できれば良い性
質の物であるため、必ずしも円形試料の直径の２倍のス
キャンを行う必要はない。試料の寸法と試料観察光学系
の性能と仮中心の決定手段に応じてスキャン範囲を可変
することができることで、中心を探すための所要時間を
最短に設定できる。スキャン範囲と探索の所要時間は比
例関係にあるため、スキャン範囲を３割減らせば、探索
所要時間も３割削減することができる。
【００１０】スキャンピッチは、Ｘ線ビームの寸法と試
料の寸法と中心位置検出の要求精度から決まる性質の物
であり、Ｘ線ビームの寸法よりも試料の寸法が非常に大
きい場合で、試料内に確実にＸ線ビームが当たればよい
という中心位置検出の要求である場合が多い。このよう
な場合スキャンピッチは、Ｘ線のビーム幅よりも大きく
することができ、所要時間の短縮が実現できる。逆に、
試料の寸法とＸ線ビームの寸法がほとんど同じ場合は、
細かいピッチで試料を送り、試料とＸ線ビームを位置合
わせすることができる。
料の寸法と中心位置検出の要求精度から決まる性質の物
であり、Ｘ線ビームの寸法よりも試料の寸法が非常に大
きい場合で、試料内に確実にＸ線ビームが当たればよい
という中心位置検出の要求である場合が多い。このよう
な場合スキャンピッチは、Ｘ線のビーム幅よりも大きく
することができ、所要時間の短縮が実現できる。逆に、
試料の寸法とＸ線ビームの寸法がほとんど同じ場合は、
細かいピッチで試料を送り、試料とＸ線ビームを位置合
わせすることができる。
【００１１】測定時間は、試料の境界が判定できればよ
いため、試料のない場所と試料が存在する場所とで、蛍
光Ｘ線強度がどの程度変化するかによって、所要時間は
決まる。通常は、１秒程度の測定で充分な強度変化を検
出することができる。逆に非常に薄い試料の中心を検出
する場合は、測定時間を１０秒程度として、微量な強度
変化を検出することができる。
いため、試料のない場所と試料が存在する場所とで、蛍
光Ｘ線強度がどの程度変化するかによって、所要時間は
決まる。通常は、１秒程度の測定で充分な強度変化を検
出することができる。逆に非常に薄い試料の中心を検出
する場合は、測定時間を１０秒程度として、微量な強度
変化を検出することができる。
【００１２】第３に、請求項３の中心を検出する対象物
が球形の試料である場合について説明する。Ｘ線発生部
とＸ線検出部がＸＹ平面に対して仰角９０度に近い配置
とすることで、球形の試料からの蛍光Ｘ線強度は、球の
中心があるＸＹ座標を中心に点対称な強度分布となる。
そのため、本発明による重心を試料中心と見なす方法に
よって、球形の試料にも中心検出方法を適用することが
できる。具体的には、図１０のＸ方向スキャン測定で得
られる蛍光Ｘ線強度分布３３およびＹ方向スキャン測定
で得られる蛍光Ｘ線強度分布３４の重心位置は、球の中
心座標とほぼ一致する。図１０の蛍光Ｘ線検出部３０
は、ＸＹ平面に対して蛍光Ｘ線の入射角は７０度であ
り、Ｘ線発生部３１よりも左側に設置されているため、
球の中心Ｘ座標と検出Ｘ座標にわずかにずれが生じる。
しかしこのずれ量はごくわずかであり分析処理への影響
はほとんど無い。特に品質管理等での利用においては、
同一点を再現性よく分析することが重要であるため、位
置のわずかなずれは全く問題が無くなる。
が球形の試料である場合について説明する。Ｘ線発生部
とＸ線検出部がＸＹ平面に対して仰角９０度に近い配置
とすることで、球形の試料からの蛍光Ｘ線強度は、球の
中心があるＸＹ座標を中心に点対称な強度分布となる。
そのため、本発明による重心を試料中心と見なす方法に
よって、球形の試料にも中心検出方法を適用することが
できる。具体的には、図１０のＸ方向スキャン測定で得
られる蛍光Ｘ線強度分布３３およびＹ方向スキャン測定
で得られる蛍光Ｘ線強度分布３４の重心位置は、球の中
心座標とほぼ一致する。図１０の蛍光Ｘ線検出部３０
は、ＸＹ平面に対して蛍光Ｘ線の入射角は７０度であ
り、Ｘ線発生部３１よりも左側に設置されているため、
球の中心Ｘ座標と検出Ｘ座標にわずかにずれが生じる。
しかしこのずれ量はごくわずかであり分析処理への影響
はほとんど無い。特に品質管理等での利用においては、
同一点を再現性よく分析することが重要であるため、位
置のわずかなずれは全く問題が無くなる。
【００１３】第４に、請求項４の中心を検出する対象物
が、Ｘ軸およびＹ軸において線対称な楕円形や長方形な
どの試料である場合について、実施例を説明する。例え
ば長方形の試料の場合、長方形の１辺をＸ軸に一致する
ように設置すれば、円形試料１５のＸ方向の蛍光Ｘ線強
度分布２０およびＹ方向の蛍光Ｘ線強度分布２１と同じ
データを得ることができ、試料の重心である中心座標を
得ることができる。
が、Ｘ軸およびＹ軸において線対称な楕円形や長方形な
どの試料である場合について、実施例を説明する。例え
ば長方形の試料の場合、長方形の１辺をＸ軸に一致する
ように設置すれば、円形試料１５のＸ方向の蛍光Ｘ線強
度分布２０およびＹ方向の蛍光Ｘ線強度分布２１と同じ
データを得ることができ、試料の重心である中心座標を
得ることができる。
【００１４】
【発明の効果】この発明は、円形、楕円形、球形、長方
形などのＸ軸およびＹ軸において線対称な試料の中心の
検出をすることができる。分析対象の１つである電子部
品は近年微小化が進み、Ｘ線分析を行う時の位置決めは
重要な課題となっている。第１に試料の位置決めの正確
度と繰り返し再現性、第２に位置決めに要する時間、第
３に自動化である。
形などのＸ軸およびＹ軸において線対称な試料の中心の
検出をすることができる。分析対象の１つである電子部
品は近年微小化が進み、Ｘ線分析を行う時の位置決めは
重要な課題となっている。第１に試料の位置決めの正確
度と繰り返し再現性、第２に位置決めに要する時間、第
３に自動化である。
【００１５】第１の位置決めの正確度と繰り返し再現性
に対してこの発明は、実際にＸ線照射を行って試料の場
所を検出することから、カメラを使用した試料観察系と
実際のＸ線照射位置がずれていても、正確な位置を検出
することができる。繰り返し再現性については、人間の
操作を皆無にしたり、あるいは人間の操作に依存しな動
作手順で位置検出するため、人為的誤差は発生せず、常
に一定の位置を検出することができる。分析作業にとっ
て、繰り返し再現性を確保できることは大変重要であ
り、試料設置されていない部分にＸ線を照射するような
分析ミスは、非常に起こりにくくなる。
に対してこの発明は、実際にＸ線照射を行って試料の場
所を検出することから、カメラを使用した試料観察系と
実際のＸ線照射位置がずれていても、正確な位置を検出
することができる。繰り返し再現性については、人間の
操作を皆無にしたり、あるいは人間の操作に依存しな動
作手順で位置検出するため、人為的誤差は発生せず、常
に一定の位置を検出することができる。分析作業にとっ
て、繰り返し再現性を確保できることは大変重要であ
り、試料設置されていない部分にＸ線を照射するような
分析ミスは、非常に起こりにくくなる。
【００１６】第２の位置決めに要する時間に対してこの
発明は、格子状にスキャンして位置を特定するよりもは
るかに短い時間で試料の中心を検出でき、スキャンの範
囲、スキャンのピッチ、位置決め測定時間を調整するこ
とで、更に時間を短縮することができる。第３の自動化
に対してこの発明は、試料の寸法と試料設置を行う大ま
かな位置情報があれば、自動化ができる。例えば、試料
測定のための治具を作成し、試料を設置する座標情報を
記憶することで、仮中心決定の手順が自動化され、複数
の試料の自動測定が可能となる。
発明は、格子状にスキャンして位置を特定するよりもは
るかに短い時間で試料の中心を検出でき、スキャンの範
囲、スキャンのピッチ、位置決め測定時間を調整するこ
とで、更に時間を短縮することができる。第３の自動化
に対してこの発明は、試料の寸法と試料設置を行う大ま
かな位置情報があれば、自動化ができる。例えば、試料
測定のための治具を作成し、試料を設置する座標情報を
記憶することで、仮中心決定の手順が自動化され、複数
の試料の自動測定が可能となる。
【図１】円形試料の中心を求める手順の流れ図。
【図２】仮中心と円形試料の関係を示す図。
【図３】Ｘ方向のスキャン測定を示す図。
【図４】Ｘ方向のＸ線強度の重心位置を算出し、円形試
料の中心のＸ座標を算出することを示す図。
料の中心のＸ座標を算出することを示す図。
【図５】Ｙ方向のスキャン測定を示す図。
【図６】Ｙ方向のＸ線強度の重心位置を算出し、円形試
料の中心のＹ座標を算出することを示す図。
料の中心のＹ座標を算出することを示す図。
【図７】円形試料の中心位置が決定したことを示す図。
【図８】本発明の作用を説明するための図。
【図９】本発明を用いる装置構成概略図
【図１０】球形の試料の中心を検出する時の蛍光Ｘ線強
度分布
度分布
７ 円形試料上の中心を決定するための仮の中心 ８ 円形試料 ９ Ｘ方向のスキャン測定位置 １０ 円形試料の中心Ｘ座標 １１ Ｙ方向のスキャン測定位置 １２ 円形試料の中心Ｙ座標 １３ 検出した円形試料の中心座標 １４ Ｙ方向スキャン測定で試料上を通過する線分 １５ 円形試料 １６ 仮中心 １７ 検出した円形試料の中心座標 １８ Ｘ方向スキャン測定によって得られる座標 １９ Ｘ方向スキャン測定で試料上を通過する線分 ２０ Ｘ方向の蛍光Ｘ線強度分布 ２１ Ｙ方向の蛍光Ｘ線強度分布 ２２ Ｘ線検出部 ２３ Ｘ線発生部 ２４ 試料テーブル ２５ 試料観察用Ｘ線透過ミラー ２６ 試料観察用カメラ ２７ 試料観察用モニタ ２８ 装置制御部 ２９ 操作部 ３０ Ｘ線検出部 ３１ Ｘ線発生部 ３２ 球形の試料 ３３ Ｘ方向の蛍光Ｘ線強度分布 ３４ Ｙ方向の蛍光Ｘ線強度分布
Claims (4)
- 【請求項１】 制御可能で少なくともＸＹ平面上でのＸ
座標とＹ座標を制御できる試料テーブルと、Ｘ線照射位
置が確認可能な試料モニタ部と、Ｘ線発生部と、Ｘ線検
出部と、情報入力及び表示を行う操作部と、装置全体を
制御する装置制御部から構成される蛍光Ｘ線分析装置を
用いて、試料テーブルに蛍光Ｘ線を検出可能な円形試料
を設置し、第１に試料モニタ部を使って、円形試料の中
心とＸ線照射位置とを大まかに位置合わせをして円形試
料の仮中心を決定し、第２に仮中心を基準にして、Ｘ方
向のスキャン範囲を円形試料の直径の２倍、スキャンピ
ッチをＸ線ビームのＸ方向の照射幅と同一にするという
条件で、Ｘ方向にスキャン測定を行って各点の蛍光Ｘ線
強度を取得し、第３にＸ方向での測定で得られた蛍光Ｘ
線強度とＸ座標を使用し、蛍光Ｘ線強度のＸ方向におけ
る重心位置を算出することで、試料中心Ｘ座標を決定
し、第４に算出した試料中心Ｘ座標と仮中心のＹ座標を
基準にして、Ｙ方向のスキャン範囲を円形試料の直径の
２倍、スキャンピッチをＸ線ビームのＹ方向の照射幅と
同一にするという条件で、Ｙ方向にスキャン測定を行っ
て各点での蛍光Ｘ線強度を取得し、第５にＹ方向での測
定で得られた蛍光Ｘ線強度とＹ座標とから、蛍光Ｘ線強
度のＹ方向における重心位置を算出することで、試料中
心Ｙ座標を決定し、円形試料の中心を検出することがで
きる蛍光Ｘ線分析装置。 - 【請求項２】 請求項１で記述した第２と第４の手順に
おいて、位置決めの要求精度に応じてスキャン範囲とス
キャンピッチと中心を探索するための測定時間を変更す
ることができる、蛍光Ｘ線分析装置。 - 【請求項３】 請求項１および請求項２で記述した装置
において、Ｘ線発生部とＸ線検出部がＸＹ平面に対して
仰角９０度に近い配置とすることで、球形の試料を円形
と見なすことができ、球形の試料の中心を検出すること
ができる蛍光Ｘ線分析装置。 - 【請求項４】 請求項１および請求項２で記述した装置
において、ＸＹ平面に設置した、Ｘ軸およびＹ軸におい
て線対称な楕円形や長方形などの試料の中心を検出する
ことができる蛍光Ｘ線分析装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10072790A JP2964137B2 (ja) | 1997-04-08 | 1998-03-20 | 試料中心を検出できる蛍光ｘ線分析装置 |
| US09/057,422 US6115450A (en) | 1997-04-08 | 1998-04-08 | X-ray fluorescence analyzer capable of determining the center of a sample |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9-89472 | 1997-04-08 | ||
| JP8947297 | 1997-04-08 | ||
| JP10072790A JP2964137B2 (ja) | 1997-04-08 | 1998-03-20 | 試料中心を検出できる蛍光ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10339710A true JPH10339710A (ja) | 1998-12-22 |
| JP2964137B2 JP2964137B2 (ja) | 1999-10-18 |
Family
ID=26413926
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10072790A Expired - Lifetime JP2964137B2 (ja) | 1997-04-08 | 1998-03-20 | 試料中心を検出できる蛍光ｘ線分析装置 |
Country Status (2)
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Cited By (1)
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| JPS6321844A (ja) * | 1986-07-15 | 1988-01-29 | Jeol Ltd | コンタクトホ−ルの測定方法 |
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-
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- 1998-04-08 US US09/057,422 patent/US6115450A/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| GB2340599A (en) * | 1998-08-14 | 2000-02-23 | Helmut Fischer Gmbh & Co | Determining measuring spot during X-ray fluorescence analysis |
| GB2340599B (en) * | 1998-08-14 | 2003-03-19 | Helmut Fischer Gmbh & Co | Determination of the measuring spot during x-ray fluorescence analysis |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2964137B2 (ja) | 1999-10-18 |
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