JP2007327771A - 偏芯量測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検レンズを所定の回転角度位置に設定し(S3)、レチクルの像縦線と交差する横線P1、P2を設定し(S4)、レチクルの像横線と交差する縦線Q1、Q2を設定し(S5)、横線P1、P2上における光強度ピーク位置A点、B点、および縦線Q1、Q2上における光強度ピーク位置C点、D点を特定し(S6、7)、A点、B点を結んだ十字縦線、およびC点、D点を結んだ十字横線を決定する(S8、9)。この後、十字縦線と十字横線の交点を特定し(S10)、交点を中心とした正方形領域内の光強度重心位置を特定し、これを十字形状のレチクルの像の中心点Rとする(S11)。複数の回転位置における各中心点Rに基づき像中心軌跡円を求め(S14)、この像中心軌跡円の半径を被検面の偏芯量Ecとする(S15)。
【選択図】 図1
Description
レンズ面の偏芯量は、このレンズ面の曲率中心とレンズの中心軸とのずれ量によって表される。
上記偏芯測定装置を用いて偏芯量測定を行う際には、指標板112を通過した光源111からの光を測定用光学系131により被検レンズ110に照射する。
所定の軸を中心として回転可能な基台に被検光学素子を設置し、該設置された被検光学素子の被検面に対して光源からの光を所定形状の指標を含む測定用光学系を介して照射し、該被検面からの反射光または透過光を結像面上に導くとともに該基台に設置された被検光学素子を、前記所定の軸を中心として回転せしめ、該反射光または該透過光により該結像面上に形成された前記指標の像の移動軌跡を観察して前記被検面の偏芯量を測定する偏芯量測定方法において、
前記所定形状の指標は、略十字形状のレチクルとし、
前記被検光学素子を前記基台に設置し、
前記測定用光学系と前記被検面とを該測定用光学系の光軸方向に相対的に移動して、前記被検面からの反射光または透過光が前記結像面上に結像されるように調整し、
前記結像面上に結像された略十字形状の像に対して、互いに略同一方向に延びる2本の第1線上における光強度分布を求めて、該第1線の各線上における最大強度位置をA点およびB点とするとともに、該2本の第1線と交差し、互いに略同一方向に延びる2本の第2線上における光強度分布を求めて、該第2線の各線上における最大強度位置をC点およびD点とし、
次に、前記A点と前記B点を結んだ直線を第3線とするとともに、前記C点と前記D点を結んだ直線を第4線とし、
前記第3線と前記第4線の交点を特定し、
この交点に基づいて前記レチクルの像の中心点Rを決定し、
この後、前記基台を所定角度だけ回転させることで前記被検光学素子を前記軸を中心として回転せしめるたびに、その回転位置における前記レチクルの像の中心点Rを決定し、
続いて、決定されたこれら複数の中心点Rに基づき中心点軌跡円を特定し、
該中心点軌跡円の径を求め、
この求めた径に基づいて、前記被検面の偏芯量を求めることを特徴とするものである。
また、CCDカメラ21で得られた像情報を解析し、演算する解析演算部32が設けられている。
すなわち、被検レンズ10の両面(上面10A、下面10B)がともに球面であるとすると、上面10Aの曲率中心C1は上面10Aの光軸上に位置し、下面10Bの曲率中心C2は下面10Bの光軸上に位置する。2つの曲率中心C1、C2を結ぶ直線が被検レンズ10の光軸zであり、被検レンズ10の回転軸Wが下面10Bの光軸に一致しているものとすると、この被検レンズ10の光軸zと下面10Bの光軸とが角度をもって交差している場合、上面10Aの曲率中心C1から下面10Bの光軸に下ろした垂線の長さを偏芯量Ecと定義する。被検レンズ10の回転軸Wが下面10Bの光軸に一致していない場合は、上面10Aの曲率中心C1から被検レンズ10の回転軸Wに下ろした垂線の長さを偏芯量Ecとする。
次に、被検レンズ回転駆動手段23を回転駆動することにより被検レンズ10を所定の回転角度位置に設定する(S3)。
続いて、図5(B)に示すように、十字形状のレチクルの像70の像横線70Bと交差するように、図中縦方向に延びる2本の縦線Q1、Q2を設定する(S5)。
続いて、上記2本の縦線Q1、Q2上における光強度のピーク位置を特定し、図5(B)に示すように、特定した点をC点およびD点とする(S7)。
続いて、ステップ7(S7)で特定したC点およびD点を結び、十字横線(図6中の線80B)を決定する(S9)。
なお、図6は、図5(A)、(B)の中心領域を拡大して示すものである。
この後、ステップ14(S14)において求めた像中心軌跡円95の半径を、上面10Aの偏芯量Ecとする(S15)。
10、110 被検レンズ
10A、10B 被検面
11、111 光源
12 レチクル板
13、113 ビームスプリッタ
14、114 コリメータレンズ
15、115 対物レンズ
21、121 CCDカメラ
22 レンズ載置部材
23 被検レンズ回転駆動手段
24 Z軸移動ステージ
25 固定台
31、131 測定用光学系
32 解析演算部
51 Vブロック
52 回転円板
70 レチクルの像
70A 像縦線
70B 像横線
80A 十字縦線
80B 十字横線
80C 交点
90 正方形領域
95 像中心軌跡円
112 指標板(ピンホール板)
122 基台
R 中心点
P1、P2 横線
Q1、Q2 縦線
Claims (3)
- 所定の軸を中心として回転可能な基台に被検光学素子を設置し、該設置された被検光学素子の被検面に対して光源からの光を所定形状の指標を含む測定用光学系を介して照射し、該被検面からの反射光または透過光を結像面上に導くとともに該基台に設置された被検光学素子を、前記所定の軸を中心として回転せしめ、該反射光または該透過光により該結像面上に形成された前記指標の像の移動軌跡を観察して前記被検面の偏芯量を測定する偏芯量測定方法において、
前記所定形状の指標は、略十字形状のレチクルとし、
前記被検光学素子を前記基台に設置し、
前記測定用光学系と前記被検面とを該測定用光学系の光軸方向に相対的に移動して、前記被検面からの反射光または透過光が前記結像面上に結像されるように調整し、
前記結像面上に結像された略十字形状の像に対して、互いに略同一方向に延びる2本の第1線上における光強度分布を求めて、該第1線の各線上における最大強度位置をA点およびB点とするとともに、該2本の第1線と交差し、互いに略同一方向に延びる2本の第2線上における光強度分布を求めて、該第2線の各線上における最大強度位置をC点およびD点とし、
次に、前記A点と前記B点を結んだ直線を第3線とするとともに、前記C点と前記D点を結んだ直線を第4線とし、
前記第3線と前記第4線の交点を特定し、
この交点に基づいて前記レチクルの像の中心点Rを決定し、
この後、前記基台を所定角度だけ回転させることで前記被検光学素子を前記軸を中心として回転せしめるたびに、その回転位置における前記レチクルの像の中心点Rを決定し、
続いて、決定されたこれら複数の中心点Rに基づき中心点軌跡円を特定し、
該中心点軌跡円の径を求め、
この求めた径に基づいて、前記被検面の偏芯量を求めることを特徴とする偏芯量測定方法。 - 前記レチクルの像の中心点Rは前記交点の位置とすることを特徴とする請求項1記載の偏芯量測定方法。
- 前記レチクルの像の中心点Rは、前記交点の位置を中心とした所定の領域内の各画素点の光強度重み付け平均処理により特定された重心位置とすることを特徴とする請求項1記載の偏芯量測定方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006157198A JP4774332B2 (ja) | 2006-06-06 | 2006-06-06 | 偏芯量測定方法 |
KR1020070051119A KR100923059B1 (ko) | 2006-06-06 | 2007-05-25 | 편심량 측정 방법 |
TW096119269A TW200745506A (en) | 2006-06-06 | 2007-05-30 | Method of measuring amount of eccentricity |
CNB2007101088518A CN100567888C (zh) | 2006-06-06 | 2007-06-05 | 偏心量测定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006157198A JP4774332B2 (ja) | 2006-06-06 | 2006-06-06 | 偏芯量測定方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007327771A true JP2007327771A (ja) | 2007-12-20 |
JP2007327771A5 JP2007327771A5 (ja) | 2009-07-09 |
JP4774332B2 JP4774332B2 (ja) | 2011-09-14 |
Family
ID=38928343
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006157198A Expired - Fee Related JP4774332B2 (ja) | 2006-06-06 | 2006-06-06 | 偏芯量測定方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4774332B2 (ja) |
KR (1) | KR100923059B1 (ja) |
CN (1) | CN100567888C (ja) |
TW (1) | TW200745506A (ja) |
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-
2006
- 2006-06-06 JP JP2006157198A patent/JP4774332B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-05-25 KR KR1020070051119A patent/KR100923059B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-05-30 TW TW096119269A patent/TW200745506A/zh not_active IP Right Cessation
- 2007-06-05 CN CNB2007101088518A patent/CN100567888C/zh not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
TWI327639B (ja) | 2010-07-21 |
CN101086445A (zh) | 2007-12-12 |
CN100567888C (zh) | 2009-12-09 |
TW200745506A (en) | 2007-12-16 |
JP4774332B2 (ja) | 2011-09-14 |
KR100923059B1 (ko) | 2009-10-22 |
KR20070116721A (ko) | 2007-12-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090422 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090520 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100621 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110530 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140701 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |