JP2010091347A - 偏芯量測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】各像中心点の中から相異なる3点を選択し、該相異なる3点を各頂点とする三角形の外心を中心候補点とする処理により、複数個の中心候補点を設定する(ステップS5,S6)。複数個の中心候補点の幾何学的中心点を特定し(ステップS7〜S11)、この幾何学的中心点からの距離により、特異座標点の有無を判別し(ステップS13)、有れば特異座標点の座標データを削除して手順を繰り返し、無ければ幾何学的中心点を測定基準点に設定し被検面の偏芯量を算定する(ステップS15)。
【選択図】図2
Description
前記各像中心点の中から相異なる3点を選択し、該相異なる3点を各頂点とする三角形の外心を前記座標系において求め、該外心を中心候補点とする処理を該3点の組合せを変えて複数回行って、複数個の中心候補点を設定する中心候補点設定ステップと、
設定された前記複数個の中心候補点の幾何学的中心点を、前記座標系において特定する幾何学的中心点特定ステップと、
前記座標系において、前記各像中心点が前記幾何学的中心点から所定の距離範囲内にあるか否かの判定基準に基づき、前記各像中心点の全てが前記所定の距離範囲内にある場合には、前記幾何学的中心点を前記測定基準点として適正と判定し、前記各像中心点のうちの一部の像中心点が前記所定の距離範囲外にある場合には、前記幾何学的中心点を前記測定基準点としては不適正と判定する測定基準点判定ステップと、をこの順に行い、
前記測定基準点判定ステップにおいて不適正と判定された場合には、前記所定の距離範囲外にある前記一部の像中心点を特異座標点としてその座標データを削除し、残りの像中心点の座標データに基づき前述の各ステップを再び始めから順に行い、
前記測定基準点判定ステップにおいて適正と判定された場合には、前記幾何学的中心点を前記測定基準点として設定し、前記座標系における、該測定基準点から前記各像中心点のうちの任意の1点までの距離または複数点までの各距離の平均値を、前記被検面の偏芯量として算定する、ことを特徴とする。
前記中心候補点設定ステップにおいて設定された前記複数個の中心候補点の全てを要素とする集合の中から相異なる3個の中心候補点を選択し、該相異なる3個の中心候補点を各頂点とする新たな三角形の外心を前記座標系において求め、該新たな三角形の外心を新たな中心候補点として前記集合の要素とするとともに、該相異なる3個の中心候補点を該集合の要素から削除する処理を、該集合の要素として残る中心候補点の総数が1個または2個となるまで行い、
前記集合の要素として残る中心候補点の総数が、1個となった場合には該1個の中心候補点を前記幾何学的中心点とし、2個となった場合には前記座標系において該2個の中心候補点を結ぶ線分の中点を前記幾何学的中心点とするものとしてもよい。
前記中心候補点設定ステップにおいて設定された前記複数個の中心候補点の全てを要素とする集合の中から相異なる3個の中心候補点を選択し、該相異なる3個の中心候補点を各頂点とする新たな三角形の重心を前記座標系において求め、該新たな三角形の重心を新たな中心候補点として前記集合の要素とするとともに、該相異なる3個の中心候補点を該集合の要素から削除する処理を、該集合の要素として残る中心候補点の総数が1個または2個となるまで行い、
前記集合の要素として残る中心候補点の総数が、1個となった場合には該1個の中心候補点を前記幾何学的中心点とし、2個となった場合には前記座標系において該2個の中心候補点を結ぶ線分の中点を前記幾何学的中心点とするものとしてもよい。
5 被検光学素子
10 測定ヘッド
11 光源
12 レチクル板
13 ビームスプリッタ
14 コリメータレンズ
15 対物レンズ
16 撮像素子
17 撮像カメラ
20 基台
21 載置部材
22 XY軸ステージ
23 回転ステージ
24 Z軸ステージ
30 解析演算部
31 解析装置
32 画像表示装置
33 入力装置
40 Z軸ステージ
41 支持部
42 ガイド部
43 可動部
51,52 レンズ
51a,51b,52a,52b レンズ面
53 鏡筒
F 光収束点
Z,L 光軸
E 回転軸
I1,I2 画像
A1,A2 指標像
P1〜P18 像中心点
Q1〜Q6、R1,R2 中心候補点
O1 幾何学的中心点
T1,T2,T7,T8 三角形
U1 線分
V1 内円
V2 外円
r1,r2 半径
Claims (3)
- 所定の指標パターンを投影する測定光を被検面に照射し、該被検面からの反射光または透過光により撮像面上に形成される指標像を、前記被検面を所定の軸回りに回転させながら相異なる少なくとも4つの回転位置毎に撮像し、該回転位置毎に撮像された各指標像の像中心点の座標を、前記撮像面に対し設定された座標系においてそれぞれ特定し、この特定された各像中心点の座標データに基づき、偏芯量測定における測定基準点を前記座標系において設定し、該測定基準点および前記各像中心点の座標データに基づき前記被検面の偏芯量を算定する偏芯量測定方法であって、
前記各像中心点の中から相異なる3点を選択し、該相異なる3点を各頂点とする三角形の外心を前記座標系において求め、該外心を中心候補点とする処理を該3点の組合せを変えて複数回行って、複数個の中心候補点を設定する中心候補点設定ステップと、
設定された前記複数個の中心候補点の幾何学的中心点を、前記座標系において特定する幾何学的中心点特定ステップと、
前記座標系において、前記各像中心点が前記幾何学的中心点から所定の距離範囲内にあるか否かの判定基準に基づき、前記各像中心点の全てが前記所定の距離範囲内にある場合には、前記幾何学的中心点を前記測定基準点として適正と判定し、前記各像中心点のうちの一部の像中心点が前記所定の距離範囲外にある場合には、前記幾何学的中心点を前記測定基準点としては不適正と判定する測定基準点判定ステップと、をこの順に行い、
前記測定基準点判定ステップにおいて不適正と判定された場合には、前記所定の距離範囲外にある前記一部の像中心点を特異座標点としてその座標データを削除し、残りの像中心点の座標データに基づき前述の各ステップを再び始めから順に行い、
前記測定基準点判定ステップにおいて適正と判定された場合には、前記幾何学的中心点を前記測定基準点として設定し、前記座標系における、該測定基準点から前記各像中心点のうちの任意の1点までの距離または複数点までの各距離の平均値を、前記被検面の偏芯量として算定する、ことを特徴とする偏芯量測定方法。 - 前記幾何学的中心点特定ステップは、
前記中心候補点設定ステップにおいて設定された前記複数個の中心候補点の全てを要素とする集合の中から相異なる3個の中心候補点を選択し、該相異なる3個の中心候補点を各頂点とする新たな三角形の外心を前記座標系において求め、該新たな三角形の外心を新たな中心候補点として前記集合の要素とするとともに、該相異なる3個の中心候補点を該集合の要素から削除する処理を、該集合の要素として残る中心候補点の総数が1個または2個となるまで行い、
前記集合の要素として残る中心候補点の総数が、1個となった場合には該1個の中心候補点を前記幾何学的中心点とし、2個となった場合には前記座標系において該2個の中心候補点を結ぶ線分の中点を前記幾何学的中心点とするものである、ことを特徴とする請求項1記載の偏芯量測定方法。 - 前記幾何学的中心点特定ステップは、
前記中心候補点設定ステップにおいて設定された前記複数個の中心候補点の全てを要素とする集合の中から相異なる3個の中心候補点を選択し、該相異なる3個の中心候補点を各頂点とする新たな三角形の重心を前記座標系において求め、該新たな三角形の重心を新たな中心候補点として前記集合の要素とするとともに、該相異なる3個の中心候補点を該集合の要素から削除する処理を、該集合の要素として残る中心候補点の総数が1個または2個となるまで行い、
前記集合の要素として残る中心候補点の総数が、1個となった場合には該1個の中心候補点を前記幾何学的中心点とし、2個となった場合には前記座標系において該2個の中心候補点を結ぶ線分の中点を前記幾何学的中心点とするものである、ことを特徴とする請求項1記載の偏芯量測定方法。
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JP2007327771A (ja) * | 2006-06-06 | 2007-12-20 | Fujinon Corp | 偏芯量測定方法 |
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