JP2005345288A - マッハツェンダー干渉計及びマッハツェンダー干渉計による光学素子の検査方法 - Google Patents
マッハツェンダー干渉計及びマッハツェンダー干渉計による光学素子の検査方法 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】 容易に被検レンズの位置を調整でき、短時間で測定を行うことができるマッハツェンダー干渉計及びマッハツェンダー干渉計による光学素子の検査方法を提供すること。
【解決手段】 マッハツェンダー干渉計1は、レーザ光源(光源)2と、光束を二つの光路5、6に分割する第一のビームスプリッタ(光束分割手段)7と、一方の光路5に配された被検レンズ11と、他方の光路6中に配され、被検レンズ11の製作誤差を求めるための比較対照とされた基準レンズ12と、被検レンズ11の位置を調整する調整機構16と、基準レンズ12と被検レンズ11とを透過した光束を再び合成する第二のビームスプリッタ(光束合成手段)17と、第二のビームスプリッタ17を透過した光路中に配された結像手段18と、結像手段18によって形成される干渉縞に基づいて位相データを算出し収差量を求める解析装置(演算手段)21とを備えている。
【選択図】 図1
【解決手段】 マッハツェンダー干渉計1は、レーザ光源(光源)2と、光束を二つの光路5、6に分割する第一のビームスプリッタ(光束分割手段)7と、一方の光路5に配された被検レンズ11と、他方の光路6中に配され、被検レンズ11の製作誤差を求めるための比較対照とされた基準レンズ12と、被検レンズ11の位置を調整する調整機構16と、基準レンズ12と被検レンズ11とを透過した光束を再び合成する第二のビームスプリッタ(光束合成手段)17と、第二のビームスプリッタ17を透過した光路中に配された結像手段18と、結像手段18によって形成される干渉縞に基づいて位相データを算出し収差量を求める解析装置(演算手段)21とを備えている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、マッハツェンダー干渉計及びマッハツェンダー干渉計による光学素子の検査方法に関する。
二つに分岐した光束中にそれぞれ被検レンズ、及び、被検レンズの製作誤差を求めるための比較対照とされた基準レンズを配し、それぞれの光束を再び合成することにより生じる干渉縞を解析して被検レンズの形状等を測定するものとしてマッハツェンダー干渉計が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
図4に示すマッハツェンダー干渉計は、光源101と、ビームエキスパンダー102と、光束を二つに分岐するビームスプリッタ103と、それぞれの光路の向きを変更するミラー104、105と、二つの光束のそれぞれに配される基準レンズ111及び被検レンズ112の後方に配された集光レンズ106、107と、二つの光束を合成するビームスプリッタ108と、干渉縞を観察する結像手段109と、干渉縞に基づいて算出された位相データから収差量を解析する演算手段110とを備えている。
このマッハツェンダー干渉計においては、光源101から出射された光束をビームエキスパンダー102によって適当な径に広げる。この光束を、ビームスプリッタ103によって二つの光束に分岐し、一方をミラー104で反射させて基準レンズ111と集光レンズ106とを透過させ、他方をミラー105で反射させて被検レンズ112と集光レンズ107とを透過させる。これらの光束をビームスプリッタ108にて再び合成し、結像手段109にて干渉縞を得る。
この干渉縞をヌル状態(縞がない状態)にするためには、まず、被検レンズ112の姿勢を調整して、図5に示すように、同心円状の干渉縞を得る。次に、被検レンズ112をデフォーカスしながら、干渉縞の状態(線の間隔)が均等になるようにチルト、シフト調整をしていく。そして、干渉縞が同心円になったところでフォーカスを合わせる。こうして得られた干渉縞を演算手段110にて解析することによって被検レンズ112の収差量等を測定する。
特開平6−109582号公報
しかしながら、上記従来のマッハツェンダー干渉計では、被検レンズの波面を基準レンズの波面に合わせて同心円の干渉縞を得るために、被検レンズのチルト、シフト調整を繰り返して調整するのに時間がかかり、また、熟練を要する。
本発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、容易に被検レンズの位置を調整でき、短時間で測定を行うことができるマッハツェンダー干渉計及びマッハツェンダー干渉計による光学素子の検査方法を提供することを目的とする。
本発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、容易に被検レンズの位置を調整でき、短時間で測定を行うことができるマッハツェンダー干渉計及びマッハツェンダー干渉計による光学素子の検査方法を提供することを目的とする。
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用する。
本発明に係るマッハツェンダー干渉計は、光源からの光束を二つの光路に分割する光束分割手段と、一方の前記光路中に配された被検レンズと、他方の光路中に配され、前記被検レンズの製作誤差を求めるための比較対照とされた基準レンズと、該基準レンズと前記被検レンズとを透過した光束を再び合成する光束合成手段と、該光束合成手段を透過した光路中に少なくとも一つ配された結像手段と、該結像手段によって形成される干渉縞に基づいて位相データを算出し収差量を求める演算手段とを備えるマッハツェンダー干渉計であって、前記被検レンズを該被検レンズの光軸周りに回転させる回転機構を備えていることを特徴とする。
本発明に係るマッハツェンダー干渉計は、光源からの光束を二つの光路に分割する光束分割手段と、一方の前記光路中に配された被検レンズと、他方の光路中に配され、前記被検レンズの製作誤差を求めるための比較対照とされた基準レンズと、該基準レンズと前記被検レンズとを透過した光束を再び合成する光束合成手段と、該光束合成手段を透過した光路中に少なくとも一つ配された結像手段と、該結像手段によって形成される干渉縞に基づいて位相データを算出し収差量を求める演算手段とを備えるマッハツェンダー干渉計であって、前記被検レンズを該被検レンズの光軸周りに回転させる回転機構を備えていることを特徴とする。
また、本発明に係るマッハツェンダー干渉計による光学素子の検査方法は、光源からの光束を光束分割手段によって二つの光路に分割し、一方の前記光路中に配された被検レンズと、他方の光路中に配され、前記被検レンズの製作誤差を求めるための比較対照とされた基準レンズとをそれぞれ透過させて光束合成手段によって再び合成し、前記光束合成手段を透過した光路中に少なくとも一つ配された結像手段によって干渉縞を形成し、前記干渉縞の位相データを算出して演算手段によって収差量を求めるマッハツェンダー干渉計による光学素子の検査方法であって、収差量を求める前に、前記被検レンズを該被検レンズの光軸周りに回転して干渉縞の最多本数と最少本数とを確認する工程と、
前記干渉縞の本数が平均本数になるように前記被検レンズの位置を前記光軸に対して調整する工程とを備えていることを特徴とする。
前記干渉縞の本数が平均本数になるように前記被検レンズの位置を前記光軸に対して調整する工程とを備えていることを特徴とする。
このマッハツェンダー干渉計及びマッハツェンダー干渉計による光学素子の検査方法は、光源から出射した光束を光束分割手段によって二つの光束に分岐し、一方を基準レンズ、他方を被検レンズに透過させ、光束合成手段にて再び合成して結像手段によって干渉縞を生じることができる。この際、回転機構によって被検レンズの光軸回りに被検レンズを回転させたときの干渉縞の最多本数と最少本数とを算出し、その平均本数になるように被検レンズを光軸に対して調整することによって、被検レンズが傾きのない状態に調整することができる。したがって、干渉縞をヌル状態にすることができ、演算手段によって被検レンズの測定を行うことができる。
本発明によれば、熟練を要さずに被検レンズの光軸調整を容易に、かつ、短時間で行うことができる。
本発明に係る第1の実施形態について、図1及び図2を参照して説明する。
本実施形態に係るマッハツェンダー干渉計1は、レーザ光源(光源)2と、レーザ光源2からの光束を所定の径に拡開するビームエキスパンダー3と、ビームエキスパンダー3を透過した光束を二つの光路5、6に分割する第一のビームスプリッタ(光束分割手段)7と、光路5、6に配されてそれぞれの光束を曲げるミラー8、10と、一方の光路5に配された被検レンズ11と、他方の光路6中に配され、被検レンズ11の製作誤差を求めるための比較対照とされた基準レンズ12と、基準レンズ12の後方に配された基準側集光レンズ13と、被検レンズ11の後方に配された被検側集光レンズ15と、被検レンズ11の位置を調整する調整機構16と、基準レンズ12と被検レンズ11とを透過した光束を再び合成する第二のビームスプリッタ(光束合成手段)17と、第二のビームスプリッタ17を透過した光路中に配された結像手段18と、基準レンズ12を微動させるフリンジスキャン用のピエゾ素子20と、結像手段18によって形成される干渉縞に基づいて位相データを算出し収差量を求める解析装置(演算手段)21とを備えている。
本実施形態に係るマッハツェンダー干渉計1は、レーザ光源(光源)2と、レーザ光源2からの光束を所定の径に拡開するビームエキスパンダー3と、ビームエキスパンダー3を透過した光束を二つの光路5、6に分割する第一のビームスプリッタ(光束分割手段)7と、光路5、6に配されてそれぞれの光束を曲げるミラー8、10と、一方の光路5に配された被検レンズ11と、他方の光路6中に配され、被検レンズ11の製作誤差を求めるための比較対照とされた基準レンズ12と、基準レンズ12の後方に配された基準側集光レンズ13と、被検レンズ11の後方に配された被検側集光レンズ15と、被検レンズ11の位置を調整する調整機構16と、基準レンズ12と被検レンズ11とを透過した光束を再び合成する第二のビームスプリッタ(光束合成手段)17と、第二のビームスプリッタ17を透過した光路中に配された結像手段18と、基準レンズ12を微動させるフリンジスキャン用のピエゾ素子20と、結像手段18によって形成される干渉縞に基づいて位相データを算出し収差量を求める解析装置(演算手段)21とを備えている。
調整機構16は、被検レンズ11を光路5に対して平行及び垂直方向に移動させてシフト調整を行うシフトステージ22と、被検レンズ11を光路5に対して角度変化させてあおり調整を行うチルトステージ23と、被検レンズ11を光軸周りに回転させる回転ステージ(回転機構)25とを備えている。
結像手段18は、第二のビームスプリッタ17によって合成された光束により得られる干渉縞を投影するスクリーン26と、スクリーン26に投影された干渉縞を観察するためのズームレンズ27及びCCDカメラ28と、干渉縞を映すモニタ30とを備えている。
結像手段18は、第二のビームスプリッタ17によって合成された光束により得られる干渉縞を投影するスクリーン26と、スクリーン26に投影された干渉縞を観察するためのズームレンズ27及びCCDカメラ28と、干渉縞を映すモニタ30とを備えている。
次に、本実施形態に係るマッハツェンダー干渉計1の操作方法、及び、作用・効果について説明する。
まず、被検レンズ11を調整機構16に載置して基準レンズ12側の光路6と被検レンズ11側の光路5とが等価になるように調整する。
レーザ光源2から光束を出射し、ビームエキスパンダー3によって所定の径に拡開する。この光束を第一のビームスプリッタ7によって二つの光路5、6に分岐し、一方の光路5をミラー8によって反射させて被検レンズ11及び被検側集光レンズ15に導く。また、他方の光路6をミラー10で反射させて基準レンズ12及び基準側集光レンズ13に導く。そして、第二のビームスプリッタ17にて二つの光束を再び合成してスクリーン26上に干渉縞を形成する。
まず、被検レンズ11を調整機構16に載置して基準レンズ12側の光路6と被検レンズ11側の光路5とが等価になるように調整する。
レーザ光源2から光束を出射し、ビームエキスパンダー3によって所定の径に拡開する。この光束を第一のビームスプリッタ7によって二つの光路5、6に分岐し、一方の光路5をミラー8によって反射させて被検レンズ11及び被検側集光レンズ15に導く。また、他方の光路6をミラー10で反射させて基準レンズ12及び基準側集光レンズ13に導く。そして、第二のビームスプリッタ17にて二つの光束を再び合成してスクリーン26上に干渉縞を形成する。
次に、シフトステージ22及びチルトステージ23を操作して被検レンズ11のシフト調整、あおり調整を行い、適当な干渉縞を得る。
そして、回転ステージ25を駆動して被検レンズ11を光軸回りに回転して干渉縞の本数を確認する。すなわち、図2に示すように、被検レンズ11をその光軸回りに回転させ、所定の位置において干渉縞の本数を算出して最も多いときと最も少ないときとの本数を確認する。そして、縞の本数が任意の位置で平均本数となるようにチルトステージ23を操作する。この動作によって被検レンズ11を光路5に対して傾きのない状態に調整する。
そして、回転ステージ25を駆動して被検レンズ11を光軸回りに回転して干渉縞の本数を確認する。すなわち、図2に示すように、被検レンズ11をその光軸回りに回転させ、所定の位置において干渉縞の本数を算出して最も多いときと最も少ないときとの本数を確認する。そして、縞の本数が任意の位置で平均本数となるようにチルトステージ23を操作する。この動作によって被検レンズ11を光路5に対して傾きのない状態に調整する。
続いて、干渉縞が同心円になるようにシフトステージ22を操作して被検レンズ11を光軸と水平方向にシフトさせる。このシフト調整によって被検レンズ11の光軸と基準レンズ12の光軸とを一致させる。
そして、被検レンズ11を光軸と垂直方向にシフト調整して干渉縞をヌルの状態とする。
そして、被検レンズ11を光軸と垂直方向にシフト調整して干渉縞をヌルの状態とする。
こうして、被検レンズ11を測定可能状態とすることによって、基準レンズ12と被検レンズ11とのそれぞれの光路5、6で生じる波面収差の差による干渉縞を得る。
その後、ピエゾ素子20を駆動して基準レンズ12を基準レンズ12の光軸と平行方向に微動させてフリンジスキャンを行い、得られた干渉縞をCCDカメラ28により撮影し、ズームレンズ27で適当な大きさにしてモニタ30に映す。これを画像処理することによって干渉縞から位相データを得る。
これを解析装置21により解析することによって被検レンズ11の収差等を測定する。
その後、ピエゾ素子20を駆動して基準レンズ12を基準レンズ12の光軸と平行方向に微動させてフリンジスキャンを行い、得られた干渉縞をCCDカメラ28により撮影し、ズームレンズ27で適当な大きさにしてモニタ30に映す。これを画像処理することによって干渉縞から位相データを得る。
これを解析装置21により解析することによって被検レンズ11の収差等を測定する。
このマッハツェンダー干渉計1によれば、被検レンズ11を回転ステージ25にて光軸回りに回転させることによって、被検レンズ11の傾きを容易に把握することができる。したがって、シフトステージ22及びチルトステージ23の操作によって傾き調整を容易に、かつ、短時間で行うことができ、干渉縞を容易にヌルの状態にさせて検査準備を行うことができる。
次に、第2の実施形態について図3を参照しながら説明する。
なお、上述した第1の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第2の実施形態と第1の実施形態との異なる点は、本実施形態に係るマッハツェンダー干渉計31は、シフトステージ32、チルトステージ33、及び、回転ステージ35が、制御装置36によって図示しないモータによる自動ステージとされているとした点である。
なお、上述した第1の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第2の実施形態と第1の実施形態との異なる点は、本実施形態に係るマッハツェンダー干渉計31は、シフトステージ32、チルトステージ33、及び、回転ステージ35が、制御装置36によって図示しないモータによる自動ステージとされているとした点である。
このマッハツェンダー干渉計31は、シフトステージ32、チルトステージ33、及び、回転ステージ35を制御装置36によりそれぞれ遠隔操作することによって、検査者等がステージに直接手を触れなくても上記第1の実施形態と同様の作用・効果を得ることができる。また、この際、手を触れなくてもステージ調整を行うことができ、干渉計に余計な外力、熱等を与えることなく精度の高い測定を行うことができる。
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、制御装置36と解析装置21とをリンクさせ、画像処理によって自動で被検レンズ11の調整を行っても構わない。
例えば、制御装置36と解析装置21とをリンクさせ、画像処理によって自動で被検レンズ11の調整を行っても構わない。
1、31 マッハツェンダー干渉計
2 レーザ光源(光源)
5、6 光路
7 第一のビームスプリッタ(光束分割手段)
11 被検レンズ
12 基準レンズ
17 第二のビームスプリッタ(光束合成手段)
18 結像手段
21 解析装置(演算手段)
25、35 回転ステージ(回転機構)
2 レーザ光源(光源)
5、6 光路
7 第一のビームスプリッタ(光束分割手段)
11 被検レンズ
12 基準レンズ
17 第二のビームスプリッタ(光束合成手段)
18 結像手段
21 解析装置(演算手段)
25、35 回転ステージ(回転機構)
Claims (2)
- 光源からの光束を二つの光路に分割する光束分割手段と、一方の前記光路中に配された被検レンズと、他方の光路中に配され、前記被検レンズの製作誤差を求めるための比較対照とされた基準レンズと、該基準レンズと前記被検レンズとを透過した光束を再び合成する光束合成手段と、該光束合成手段を透過した光路中に少なくとも一つ配された結像手段と、該結像手段によって形成される干渉縞に基づいて位相データを算出し収差量を求める演算手段とを備えるマッハツェンダー干渉計であって、
前記被検レンズを該被検レンズの光軸周りに回転させる回転機構を備えていることを特徴とするマッハツェンダー干渉計。 - 光源からの光束を光束分割手段によって二つの光路に分割し、一方の前記光路中に配された被検レンズと、他方の光路中に配され、前記被検レンズの製作誤差を求めるための比較対照とされた基準レンズとをそれぞれ透過させて光束合成手段によって再び合成し、前記光束合成手段を透過した光路中に少なくとも一つ配された結像手段によって干渉縞を形成し、前記干渉縞の位相データを算出して演算手段によって収差量を求めるマッハツェンダー干渉計による光学素子の検査方法であって、
収差量を求める前に、前記被検レンズを該被検レンズの光軸周りに回転して干渉縞の最多本数と最少本数とを確認する工程と、
前記干渉縞の本数が平均本数になるように前記被検レンズの位置を前記光軸に対して調整する工程とを備えていることを特徴とするマッハツェンダー干渉計による光学素子の検査方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004165858A JP2005345288A (ja) | 2004-06-03 | 2004-06-03 | マッハツェンダー干渉計及びマッハツェンダー干渉計による光学素子の検査方法 |
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-
2004
- 2004-06-03 JP JP2004165858A patent/JP2005345288A/ja active Pending
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