JP2010515024A - 干渉法検査用レンズ、ならびに干渉法検査用システムおよび装置 - Google Patents

干渉法検査用レンズ、ならびに干渉法検査用システムおよび装置 Download PDF

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Abstract

修正されたMZ(マッハツェンダー)干渉計は、複数のレンズを保持できる回転可能なカルーセルを有するキュベット内にレンズを搭載することによって、眼科のレンズにおける送信された、非球面の波面を分析するために、好適に利用される。新鮮で、温度制御された、食塩水は、レンズ周りに循環され、そして、キュベットは、干渉計構造の垂直な検査アーム中に位置づけられる。逆光線追跡は、レンズの直後から干渉計の検出器に撮像されるときに、波面に誘発される収差を除去するために、好適に利用される。

Description

開示の内容
〔関連出願への相互参照〕
本出願は、2006年12月21日に出願された、「INTERFEROMETRY TESTING OF LENSES, AND SYSTEMS AND DEVICES FOR SAME」という名称の米国仮特許出願第60/871,319号明細書の利益を主張するものであり、その全体を参照により本明細書中に組み込むものとする。
〔技術分野〕
この技術分野は、全体的に光学に関し、より具体的には、光学用レンズを検査するためのシステムおよび方法、に関し、レンズを保持するための容器、ならびにレンズの光学特性を分析するための方法に関する。
〔背景〕
コンタクトレンズ産業は、より高いレベルの視力矯正に向かって急速な前進を経験してきた。メーカーは、患者の屈折補正に適合し調和するように設計されているコンタクトレンズを提供することに向けて進歩をしている。標準の球面レンズの域を超えて動かすことによって、メーカーは、より良い視力と全般的な快適さを、コンタクトレンズを装着している人に提供できるだろう。
しかしながら、レンズを評価するための測定法(測定)の技術と設備は、レンズテクノロジーにおける急速な進歩についていっていない。焦点距離計(focimeter)およびモワレ偏向法に基づく方法などのように、現在の測定法は、より高度なレンズを正確に測定することが望まれている、空間分解能、高感度、および、大きいダイナミックレンジの組み合わせを欠いている。現在の測定法の技術は、視準が検出されるまでレンズを平行移動することによる、レンズの有効な出力のオプティクス用検査、および、出力の間接的な測定の検査に、全体的に制限される。
〔概要〕
1つの態様では、本発明は、オプティクス科のレンズにおける、伝えられて、非球面の波面を分析するために変更されたマッハチェンダー(MZ)干渉計の利用にかかわる。この干渉計は、例えば、球体の、そして、トーリンク、二焦点レンズの、そして、多焦点のレンズなどのような、さまざまなレンズの種類を分析できる。本発明のある実施形態では、レンズは、レンズ周りに新鮮な塩水を循環させて、干渉計構造における垂直な検査アーム中に位置づけられるキュベット内に搭載される。逆光線追跡(reverse raytracing)と呼ばれる技術は、撮像されたときに波面に引き起こされた収差を取り除くために利用できる。
上記の概要、および以下の詳細な説明は、添付された図面に関連して読まれるときに、より良く理解される。レンズの透過波面検査のための干渉法の使用を示す目的のために、その例示的な構造は図面に示されている。しかしながら、レンズの透過波面検査のための干渉法の使用は、開示された特定の方法と手段に制限されない。
〔例示的な実施形態における詳細な説明〕
本発明は、レンズの透過された波面を測定することによって、さまざまなオプティクスレンズの型を評価するために利用された情報を得ることにかかわる。ある実施形態では、マッハチェンダー干渉計は、食塩水中に浸漬されたレンズと共に使用され、新鮮な食塩水を循環させるキュベットまたは水用セル(water cell)に搭載される。食塩水中でのレンズの検査は、レンズの脱水が緩和され、このことがレンズの屈折率を変えることができると考えられる。誘発された収差を取り除くことは、例えば、逆光線追跡によって、達成することができ、ここで、検出器での波面は、レンズの直後の位置に戻って追跡される。逆光線追跡は、理論上の波面の発生を容易にし、透過された波面レベルでの性能を評価するために波面を使用できる。
評価できるレンズの例の種類は、ハードコンタクトレンズ、ハード屈折コンタクトレンズ、ハード回折コンタクトレンズ、ハードハイブリッド屈折/回折コンタクトレンズレンズ、ソフトコンタクトレンズ、ソフト屈折コンタクトレンズ、ソフト回折コンタクトレンズ、ソフトハイブリッド屈折/回折コンタクトレンズ、活性調合薬を含むハードコンタクトレンズ、活性調合薬を含むソフトコンタクトレンズ、単焦点レンズ、トーリックレンズ、二重焦点コンタクトレンズ、多焦点レンズ、美容上の色付きレンズ、自由形状レンズ、人工レンズ、オプティクス内屈折レンズ、オプティクス内回折レンズ、オプティクス内ハイブリッド屈折/回折レンズ、調節性レンズ、メガネレンズ、屈折メガネレンズ、回折メガネレンズ、ハイブリッド屈折/回折メガネレンズ、複数の埋め込み材料を含む合成レンズ、および調光レンズ、ならびに、上述したレンズの作成に使用される型、を含む。例示的なレンズは、例示的なレンズの上述したリストに制限されるべきでないということが理解されるべきである。当業者は、他の種類のレンズも適用可能であり、送信された波面分析を介した評価に適切であることを容易に理解するであろう。
図1は、レンズの波面を得るための例示的な干渉計構造12を示す線図である。干渉計構造12は、基準アーム36と垂直な検査アーム30とを通して光線を導くために、2つのビームスプリッタ18、24、および4つの鏡20、22、26、40を備える。キュベット28は、垂直な検査アーム30中に位置づけられ、検査されるべき単数または複数のレンズは、キュベット28中に位置づけられる(レンズは図1に示されていない)。例えば、レーザといった、光源14は、コヒーレント光線を供給する。コヒーレンスは、長さの単位で測定され、例示的な実施形態では、光源14のコヒーレンスは、基準アーム36の光路距離と垂直な検査アーム30経路との予想された差分よりも大きい。光源14を出る光は、コリメートレンズ16を使用してフィルタされて形作られる。コリメートレンズ16から生じるコリメートされた光線は、45°でビームスプリッタ18を使用して2本のビームに分けられる。本質的には、ビームスプリッタは、光の50%が反射されて、他の50%が透過される特別な種類の鏡である。したがって、平行光線がコリメートレンズ16から生じる50%は、ビームスプリッタ18を通して鏡40の方に向けられ、コリメートされた光線の他の50%は鏡20の方に向けられる。
鏡20に向けられたビームは、基準アーム36を通してその鏡によって反射される。このビームは、基準ビームと呼ばれる。また、鏡40に向けられたビームは、垂直な検査アーム30を通して鏡20によって反射される。このビームは、検査ビームと呼ばれる。検査ビームは、そこに含まれたキュベット28と検査レンズを通過する。同時に、基準ビームは、空気、または基準アーム36の任意の適切なガスも通過する。別のビームスプリッタ24を使用して、基準ビームと検査ビームは再結合され、そして、2本のビームの間の干渉が起こる。2本のビームが、ビームスプリッタ24から生じる。撮像レンズ42に向けられた1方のビームは、ビームスプリッタ24から反射される基準ビームの一部に結合された、ビームスプリッタ24を通して送信される検査ビームの一部を示す。撮像レンズ32に向けられた他方のビームは、ビームスプリッタ24を通して送信される基準ビームの一部に結合された、ビームスプリッタ24から反射される検査ビームの一部を示す。
撮像レンズ32に向けられたビームの干渉は、カメラ34を使用することで記録される。カメラ34は、例えば、電荷撮像素子(CCD)カメラ、相補的な金属酸化膜半導体(CMOS)カメラ、電荷注入装置(CID)、または同様のものなどのように、任意の適切な種類のカメラも備えることができる。カメラ34は、サイエンスカメラと呼ばれる。撮像レンズ32は、検査レンズをカメラに結像させるために、ビームスプリッタ24とサイエンスカメラ34との間に位置づけられる。したがって、サイエンスカメラ34によって記録された干渉は、検査中のレンズでの干渉縞の像を含む。
撮像レンズ42に向けられるビームは、カメラ38によって収集され、このカメラ38は、撮像カメラと呼ばれる。カメラ38は、例えば、電荷撮像素子(CCD)カメラ、相補的な金属酸化物半導体(CMOS)カメラ、電荷注入装置(CID)、または同様のものなどのように、任意の適切な種類のカメラも備えることができる。撮像カメラ38によって集められた光は、基準アーム22からのビームスプリッタ24から反射する光とビームスプリッタ24を通して検査アーム30から送信される光とを示す。2個のカメラ34、38の利用は、検査中にあるレンズの2つの視野を提供する。例示的な実施形態では、撮像カメラ38は、撮像カメラ38が検査中でレンズ全体を見て記録することを可能にする固定倍率レベルに、設定される。撮像カメラ38からの像は、検査レンズの光学ゾーン内の分析アパーチャの配置を設定することとともに、直径および真円度の測定に使用される。サイエンスカメラ34は、検査レンズの光学ゾーンの中心部を見る。これは、検査レンズの透過された波面を測定するときに、最大の空間分解能を提供する。
干渉計構造12は、ヌル光学を利用しない。すなわち、干渉計構造12に起因する信号を取り除くために、干渉計構造12に追加または除去される装置が全くない。ヌル光学の利用は、おそらく各レンズの種類に関するヌル光学の設計を必要とするであろうし、幅広いレンズの種類によって、これは実行不可能になるであろう。非ヌル構成における検査は、干渉計構造12に関する少なくとも3つの設計要素の役割をもたらす。第1に、波面は、撮像光学系(例えば、サイエンスカメラ34と結像カメラ38)によって収集され捕捉されるので、検査波面、撮像レンズ、および検出器のパラメータは、適合される。第2に、検出器に入射する干渉は、分解される。例示的な実施形態では、干渉縞は、1画素あたりpi(π)以上で位相変化することが禁止され、その結果、フリンジ周波数が検出器に対するナイキスト周波数よりも少なくなることを保証する。しかしながら、代換的な実施形態では、スパースアレイカメラを有する、サブナイキスト干渉法は、非ヌル構成における非球面レンズによって発生する高周波干渉を分解するために、利用される。第3に、検出器で再構成された波面は、干渉計12の撮像光学系によって誘発された収差を明らかにするように較正される。基準アーム36と検査アーム30の波面の間の共通路の欠落は、各波面における異なる収差をもたらす。誘発された収差を取り除くための例示的な較正処理を以下で説明する。
例示的な実施形態では、これらの干渉縞は、デジタル化されて、検査されたオプティクス(検査中のレンズ)に対する、透過された波面を発生させるように処理されるデジタルデータとして、記録される。測定された透過波面は、直径や、真円度や、相対的な厚さや、欠陥や、オプティクス科の規定などのような、オプティクスの検査の特性を決定するために、分析される。
例示的な実施形態では、基準アーム36の先端に位置する鏡38は、位相シフト機能を備える。位相シフト機能は、例えば、チタン酸ジルコニウム酸鉛(Pb[ZrTi1−x]O)、PZT)などの適切な任意の材料を使用することによって、実施できる。PZTは、強誘電性および圧電特性を備えるセラミック材料である。この実施形態では、鏡38は、頂部基準アーム鏡に取り付けられた動的機器である。PZTの材料は、頂部鏡38への小さい(わずか一波長)移動を供給する。これは、記録される干渉縞の位相シフトを起こす。一連のパターンは、記録される。位相シフトの方向の決定は、検査オプティクスの出力のサインのあいまいさを取り除く。例えば、静的な干渉計では、a+1Dとa−1Dレンズは区別がつかないであろう。しかしながら、位相シフト機能を有する鏡38の利用は、このあいまいさを取り除く。
図1に示されているように、検査アーム30は、垂直に向けられている。コンタクトレンズがそれら自体の重量下で離脱することを防ぐために、レンズは、キュベット28内に水平配向で搭載される。キュベット28は、垂直な検査アーム30中に位置づけられる。キュベット28の水平位置調整を容易にするために、2つのビームスプリッタ26、40は、図1に示されているように、垂直に配置される。干渉計構造12は、潜望鏡26、40の間に位置づけられた検査レンズに対する垂直ビーム経路を供給する。干渉計構造12は、検査中のレンズの上に筺体、キュベット28を許容するときに、基準アーム36と検査アーム30に対する等しい検査経路の長さを保つ。さらに以下で詳細に説明するように、キュベット28は、ほぼ遮光環境を提供し、レンズと共に使用される食塩水から光学機器を保護して、システムを外気の乱れから防ぐ。
撮像レンズ32、42の直径は、予想される波面のすべてまたは実質的にすべてを捕捉可能である。干渉計構造12は、正レンズおよび負レンズのいずれをも検査することができる。負レンズを用いるときに、検査中のレンズ後の波面が分散し、そしてこのため、検査中のレンズから撮像レンズまでの距離が考慮される。撮像レンズの出力は、波面が撮像される倍率を決定する。従って、撮像レンズ32、42の出力は、それぞれの波面がサイエンスカメラ34と結像カメラ38によって適切に撮像されることを保証するために考慮に入れられる。
撮像されるべき画素のピッチ、またはスペースが、検出器のナイキスト周波数を通常決める。従って、撮像されるべき画素のサイズとピッチは、干渉計構造12が適切に干渉を分解することを保証するために考慮される。サイエンスカメラ34と結像カメラ38の上に撮像されるべき画素のサイズは、撮像レンズ32と撮像レンズ42の作用f値(working f-number)(当技術分野において、焦点の比率、f比率、および相対的なアパーチャとしても、知られている)とそれぞれ調整される。作用f値は、波長と共に、検査中のレンズで提供できる最小の特徴サイズを与える。これは、どちらのシステムも他方の分解能を制限しないように、画素サイズに合わせられている。この用語「作用f値」は、この作用f値が撮像システムの倍率を考慮しているという点で、より一般的な用語「f値」とは異なっている。
以上のように、検査レンズまたはオプティクスとも呼ばれる検査中のレンズは、キュベット28内に、食塩水などのような、溶液中に浸水される。検査レンズを溶液中に浸水させることによって、干渉計12のダイナミックレンジは、増加する。これは、検査オプティクスと周囲の媒質との間での屈折率の差の減少のためである。出力に関して、任意の特定の干渉計に対して正確に検査できる出力の大きさの上限が存在する。この上限は、画素サイズ、画素間隔、および撮像レンズ直径のようなパラメータと相関する。検査オプティクスが浸水されるときに、透過された波面における出力は減少し、これにより、干渉計12のダイナミックレンジは増加する。例示的な実施形態では、高い画素密度と大きいグレースケール分解能の両方を有する高感度カメラは、感度とダイナミックレンジとの両方の許容水準を検査ベッドに提供するために浸水とともに使用される。増加した浸水のダイナミックレンジと干渉法の感度との組み合わせは、広範囲の出力、デザイン、および材料に亘る検査のための実践的技術を供給する。
しかしながら、溶液への浸水があっても、検査レンズのベース出力は、基準波面が平面であるので、多くのフリンジを有する干渉縞を通常生成するだろう。高周波フリンジを記録するために、例示的な実施形態では、サイエンスカメラ34は、4つのメガピクセルのCCD検出器(28mm以上の正方形)を備える。しかしながら、4つのメガピクセルのCCDカメラの実装が例示であり、任意の適切な検出器も利用できることは、強調される。高周波フリンジを分解できるために十分な分解能を有することによって、サイエンスカメラ34は、測定における高空間分解能を提供する。そのような大きいアレイを容易にするために、サイエンスカメラ34のセンサは、フルフレーム構造を利用する。フルフレーム構造は、電荷を適切に読み取るために、外部のシャッターを組み込む。例示的な実施形態では、シャッタリングを提供するために、アコースティック−オプティック(AO)変調器は、ビームクリーニングに使用される空間フィルタに関連して、使用される。変調器は、オンにされそして整列されると、入射レーザ光線の大部分を含む第1次ビームを発生させる。この第1次ビームは、空間フィルタに整列される。変調器がオフにされるとき、(空間フィルタによって遮へいされる)0次ビームだけが存在している。したがって、変調器と空間フィルタは、光を干渉計に入れるためのオン/オフスイッチを形成する。AO変調器は、サイエンスカメラ34によって駆動される。したがって、シャッタリングと読み出しは、同時に起こる。
上述したように、逆光線追跡は、理論上の波面の発生を容易にして、この波面は、透過した波面の性能を評価するために使用される。理論上の波面がどのように発生するかを理解する1つの方法は、何が検出されているか:検出器(例えば、サイエンスカメラ34)の平面における2つの波面によって生成された干渉、を考えることである。位相シフト干渉法(psi)に従って、この干渉は、2つの波面の相対的な光学距離の差(OPD)を明らかにする。しかしながら、所望の波面は、サイエンスカメラ34でのものはなく、検査部品(検査中のレンズ)の検査波面である。所望の波面を得るために、既知の基準波面は、サイエンスカメラ34で未知の検査波面を推論するために、OPDに関連して使用される。検査波面が干渉計12のオプティクスを通して伝播されるとき、収差は誘発される。較正処理は、サイエンスカメラ34でのこの推論された検査波面をコンタクトレンズでの検査波面の最高の推定に変換するために使用される。
誘発された収差の部分は、入射波面に依存している。しかしながら、加えられる収差の大きさは、典型的に波面の強さのわずかな部分である。これは、収差が波面への摂動として扱われることを許容する。数学的に、波面に像を描く操作は、この文脈においては以下のように規定される。
Img{W}=W+A{W} (1)
ここで、Wは元の波面を表し、A{W}は、誘発された収差を表す。記法A{W}は、誘発された収差が波面に依存していることを示すために使用される。撮像レンズ32は、誘発された収差の源である。なぜ異なる波面が異なる収差を受けるのかという理由を理解するための1つの方法は、共役にシフトするときの異なる波面を見ることである。干渉計の撮像レンズ32に対する共役面は、検査面であり、この検査面は、キュベット20、およびサイエンスカメラの検出器34中に位置する検査レンズ直後の平面である。これら共役が変化していないときに、この検査レンズへの任意の変化は、検査平面に存在する異なる波面をもたらし、その結果、撮像レンズ32およびサイエンスカメラの検出器34によって完成される撮像システムを通して移動する異なる波面をもたらす。
検出された干渉縞は、波面自体ではなく、2つの波面の像の差分を表す。したがって、検査波面の像(W)と検出器平面での基準波面の像(W)との間のOPD(検査ビームのOPD)は、数学的に以下のように表される。
OPD=Img{W}−Img{W}=(W+A{W})−(W+A{W}) (2)
撮像処理への逆の操作、逆光線追跡は、レンズでの波面を決定するために使用できる。干渉計の規定が既知であるとき、収差を発生させたシステムは、ブラックボックスではなく、むしろモデル化できるオプティクスの集合である。このモデルは、撮像への逆の操作、すなわち逆光線追跡、を可能にするツールである。逆光線追跡では、典型的に検査オプティクス直後の平面である、検査平面での波面は、システムを通して光線を後方に追跡することによって、OPDと検出器での基準波面から生成される。干渉計光が検査平面から検出器(サイエンスカメラ34)に移動する一方で、光線が検出器(サイエンスカメラ34)から検査平面に追跡されるため、光線は後方に追跡されることが理解される。方程式(1)と方程式(2)を使用して、この逆の操作は、数学的に以下のように定義づけられる。
Figure 2010515024
方程式3は、逆光線追跡の処理を実施する1つの手段を示す。干渉計12に関して、光線は、撮像オプティクス器32、および検出器へのサイエンスカメラ34を通して、基準アーム36に沿ってトレースされる。これは、W (Img{W})の像である。OPDは、次に、光線に加えられる。この地点で、Wの像は、得ることができる。そして、光線は、検査平面に戻るように追跡される。検査平面で、光線は波面に変換され、この波面は、W 、元の検査波面Wの推定値、である。この逆の操作の結果が推定値とラベルされる理由は、干渉計のモデルが修正を提供するために使用されるからである。このモデルと実際の干渉計は、異なりうる。実際の干渉計とより良好に適合するためにモデルを修正または充実させることは、逆最適化として知られる処理を通して達成することができる。このモデルは、撮像レンズ共役の倍率を通して検証される。キュベット28の頂部から撮像レンズ32への距離と、撮像レンズ32から検出器、サイエンスカメラ34への距離との、2つの距離だけが規定からは分からない。実質的に、これらの2つの距離は、撮像レンズ32に対する撮影距離および像距離である。撮像レンズは既知であるので、接合平面間の倍率の知識は、この2つの距離を唯一に測定するために十分な情報を提供する。近軸光線追跡は、最新の倍率測定を与えるモデルをアップデートするために使用される。
図2、図3、図4、および図5は、様々な波面を示す。図2は、例示的な基準波面、W44の像を示す。検査オプティクス46は平凸のメガネレンズであり、そして、その高さの単位は波(543.5nm)である。基準波面(W44)は、平坦であるものと対照的に、相当な量の出力を有するものとして示されている。これは、検出器44、サイエンスカメラ34での基準波面Wが相当な量の出力を有しているためである。図1の干渉計12に示されているように、基準アーム36中のコリメートされた光は、サイエンスカメラ34に発散波面を生成するであろう。これは、基準波面、W44の像であり、これは、撮像レンズがその共役として検査平面と検出器を有するためである。図3は、検査正レンズ50から取り除かれた、ひずみを表す、望ましくない画素を有するOPD48を示す。図4は、検査波面、W52の例示的な像を示す。測定されたOPD48は、W52の像を作り出すためにW44の像に加えられる。W48とW44の像は、OPDだけ異なり、このOPDの大きさは、どちらかの波面よりもかなり小さい。検査正レンズがこの例に対して使用されたので、検査波面の像は、基準波面の像よりも(アパーチャのたわみが少ない)長い曲率半径を有する。逆光線追跡は、検査波面W52の像に適用され、図5に示されるように、検査レンズW54を通して透過された測定波面の評価をもたらす。
逆光線追跡による干渉計12と波面決定を利用して、検査レンズとモデルレンズの間で比較をすることができる。図6は、測定波面56と較正レンズに対してモデル化された波面58を示す。例えば、部分検証の手段を提供して、測定された波面とモデル化された波面の間で比較をすることができる。測定データとモデル化されたデータとの間での比較を確立するために、較正部分は、使用されている。例示的な実施形態では、平凸のメガネレンズは、較正部分として使用される。インデックスや、中心厚さや、曲率半径などのパラメータは、独自に測定され、レンズに対する完全な規定を提供する。検査部品の規定と共に、干渉計の規定は、測定波面と同じ位置でのモデル化された波面の発生を可能にする。同じ位置での、そしてそれ故、同じサイズでの、2つの波面を用いて、差分波面は、測定された波面からモデル化された波面を単純に減算することによって、計算できる。
図7は、測定波面56とモデル化された波面58の差異における差分波面60を示す。この差分は、エッジの影響を避けるために2つの波面の直径の99%で計算される。差分波面60におけるノイズは、要素の組み合わせのため、差分波面60の全体的な形状をあいまいにする。差分波面60におけるノイズは、任意の適切な方法で、軽減できる。例えば、ノイズを取り除くために、ゼルニケ多項式を差分波面60に適用できる。ゼルニケ多項式は、当技術分野で知られている。ゼルニケ多項式の適用が、ひずみをうち消すということが知られている。例示的な実施形態では、ゼルニケの適用は、高い空間周波数ノイズを取り除くために使用され、ゼルニケ係数は、波面の収差情報を計算するために使用される。
図8は、差分波面60に36項のゼルニケ多項式を適用後の、ゼルニケ表面62およびその像64を示す。ゼルニケの表面62は、ピンぼけが、測定された波面とモデル化された波面との間の比較で優位な誤りであるということを示す。特定の理論に結びつけられないように、このような出力における差分が、モデルにおいて使用された値に対する、検査レンズと干渉計中の周囲の食塩水との屈折率の不一致による可能性がもっとも高い、と推定される。この差分に対するゼルニケ係数を使用すると、この出力は、−0.019ジオプトリで測定される。空気中では、この差分は、−0.054ジオプトリになる。薄いレンズモデルを使用すると、出力におけるこの差分は、インデックスの不確実性に変換されうる。レンズの規定に沿った−0.054ジオプトリの差分は、0.0015のインデックスの差分に対する不確実性を与える。両方のインデックス値が約0.001の不確実さであることが現在知られているので、出力誤差は、インデックスの不一致に寄与されうるという概念は、理にかなっている。
レンズのオプティクスの規定に対する検査に加えて、レンズの他の様々な特性と特徴は、検出可能である。例えば、図9の干渉写真は、検査中でのレンズの局在欠陥84を示す。従って、干渉計12を利用する透過された波面の決定が、使用される光の波長の部分のオーダーでの光路中の偏差を引き起こす光の性能における欠陥を検出する能力を提供する。さらに、干渉計12を利用する透過された波面の決定は、任意の球面コンタクトレンズの球面出力(spherical power)を発生させることができる。トーリックレンズに対する、円筒出力(cylindrical power)と軸もまた、得ることができる。さらにまた、レンズの他の部分から逸れる領域も、図10に示されているように、検出可能である。図10は、フリンジがわずかに平坦化されている領域86を示す。この領域68は、欠陥(例えば、図9の欠陥84)として特徴付けることができないが、出力変化、球面収差、または同様のものなどの異なった視覚的影響を発生させるであろう。干渉計12を利用して透過された波面の決定も、図11の領域88に示されているように、レンズの周辺部に生じ得る圧力または他の変化の情報を検出できる。理想的には、光学ゾーンの外では、基準マーク90を通した線の周りに対称な干渉縞が存在しているべきである。2つの基準マーク90の近くのフリンジ88における渦または不整合は、生じ得る圧力、および/または、不整合の領域を示す。
干渉計12を通して集められた透過された波面を分析することによって、豊富な情報が生成できる。この情報は、異なる基準の添加物を有する材料間、異なる量の収差間、および同じ設計であるが異なる材料で作られたレンズ間を区別するために使用できる。例えば、図12は、4つの異なったレンズの周波数に対する、平方ミリメートル(D/mm)あたりのジオプトリでの球面収差(SPHA)のプロット90、92、94、および96を示す。検査された各レンズは、−1.00ジオプトリ(D)の出力を有していた。さらに、波面分析で得られた情報の統計分析は、統計値ブロック82によって示されるように行うことができ、ここで、各レンズ90、92、94、および96に対する球面収差の平均および標準偏差は、示される。
他の多数のレンズの特性とパラメータは、波面分析で得ることができる。例えば、図13に示すように、トーリックレンズの厚さは、測定できる。トーリックコンタクトレンズは、目の乱視を修正するように設計された球面円柱レンズレンズである。図13では、3個のレンズ100、102、104の厚さが示される。より暗い領域は、0.0mmから0.500mmまでの範囲を有する、各レンズに対する、より軽い領域と比べて増加した厚さを示す。
上述したように、検査中のレンズは、それらが溶液(例えば、食塩水)内に浸漬(submerged)されるキュベット内に配置されうる。図14は、図1に示された干渉計12に示されたキュベット28の断面図である。キュベット28を利用すると、レンズは、検査の間、溶液中に残っている。コンタクトレンズの製造で使用される材料は、ヒドロゲルを含み、このヒドロゲルは、吸湿性である。これらのレンズは、それらを水和させて屈折率において安定させるために、キュベット28または水用セル中に配置される。キュベット28は、コーティングされた反反射(AR)である2つの窓を有する区画を備える。検査中のレンズは、2つの窓の間に位置づけられる。窓は、それらの外部の表面にコーティングされたARである。窓ガラスと溶液とのインデックスの適合は、内部表面上のARコーティングの必要性を排除する。
全体的に、さらに詳細に以下で説明するように、全体のキュベットは、例えば、運動学的搭載を介し、そして、干渉計駆動システムならびに電子制御回路および実装回路への機械的結合を含む自動結合システムによる、干渉計12などといった、検査構造に連結する。外側の筐体は、キュベットのすべての構成要素を収容する。この筐体は、検査液を均等に循環させて、検査液が漏れることを防止して、検査液の温度をモニターするように構成されている。レンズホルダーは、検査レンズの配置と方位を維持している間にキュベットの外側の筺体内で動かすことができる、溶液内に浸漬されたレンズを保つように構成された、1または2以上の、検査するセルを備える。第1の窓は、干渉計検査アーム光線がコリメーションまたはコヒーレンス長における変化なしでセルに入ることを可能にするように、構成される。第2の窓は、検査アームの光線がレンズを通り抜けた後に検査アームの光線が何の変化も無くキュベットを出ることを許容するように構成される。2つの光学窓の中心は、間に搭載された可動レンズホルダーに、互いに整列される。このホルダーは、一度に一つ、第1の窓と第2の窓との間で、各セルを位置合わせするために動かされる。
キュベットの運動学的な搭載は、V字型継ぎ手のスライドと、弾性(例えば、ばね荷重の)アームとを用いて達成される。V字型継ぎ手のスライドは、機械的および電気的コネクタおよびセンサへのキュベットの主要な整列を提供し、ロケーターピンの使用によって垂直高さの登録を提供する。弾性アームは、V字型継ぎ手のスライドに平行な平面におけるキュベットに正確にそして一貫してロケーターピンに対する半径方向の力を提供する。機械的な連結は、キュベットの連結への何らの予備調整無しに、キュベットと干渉計との間の、反復可能な、実体的な係合(positive engagement)、および振動絶縁を提供するように設計されている。
レンズホルダー中の各セルは、入射したコリメートされたビームのコリメーションまたはコヒーレンス長を変えず、干渉計のコヒーレント光源の単数または複数の波長に透明である、窓を有している。この窓は、検査レンズが搭載される表面を形成する。レンズホルダー中の各セル中の窓は、レンズホルダー中の他のすべてのセルの窓と同一平面にある。レンズホルダー中の各セルは、セル中の検査レンズの正確でひずみの無い取り付け可能にするように設計された、テーパー付きの壁を有している。各セルは、干渉計の撮像カメラがレンズ全体を撮像できるように、設計されている。レンズホルダー中の各セルは、溶液が流れることを許容するために、少なくとも1個のチャンネルを有している。キュベット内の両方の光学窓は、干渉計のコヒーレント光源の単数または複数の波長に透明である。キュベットを通して循環する検査液は、干渉計のコヒーレント光源の単数または複数の波長に光学的に透明である。実施例の検査液は、食塩水、緩衝生理食塩溶液、脱イオン水、活性調合薬を有する溶液、またはそれらの組み合わせを含んでいる。
キュベットの外側の筐体は、温度制御された検査液源に対する入口および出口接続を含んでいる。外側の筐体は、温度プローブを使用することで検査液の温度をモニターするように構成される。例示的な構成では、温度プローブ調査は、キュベット内の溶液の温度を安定させることを助けるために、外部の温度調節器に情報を供給する抵抗測温体(RTD)を備える。例示的な構成では、キュベットの外側の筐体は、検査液の存在下で機械的に安定した不透明なポリカーボネートの材料で構成される。
キュベットは、例えば、ハードコンタクトレンズ、ハード屈折コンタクトレンズ、ハード回折コンタクトレンズ、ハードハイブリッド屈折/回折コンタクトレンズレンズ、ソフトコンタクトレンズ、ソフト屈折コンタクトレンズ、ソフト回折コンタクトレンズ、ソフトハイブリッド屈折/回折コンタクトレンズ、活性調合薬を含むハードコンタクトレンズ、活性調合薬を含むソフトコンタクトレンズ、単焦点レンズ、トーリックレンズ、二重焦点コンタクトレンズ、多焦点レンズ、美容上の色付きレンズ、自由形状レンズ、人工レンズ、オプティクス内屈折レンズ、オプティクス内回折レンズ、オプティクス内ハイブリッド屈折/回折レンズ、調節性レンズ、メガネレンズ、屈折メガネレンズ、回折メガネレンズ、ハイブリッド屈折/回折メガネレンズ、といった、さまざまな種類のレンズを扱うように構成される。
図14を参照すると、キュベット28は、干渉計12を使用することでレンズを検査できるような方法で、溶液中に浸水されたコンタクトレンズを保持するための容器である。キュベット28は、複数のレンズを収容するように設計されている。例示的な実施形態では、キュベット28は30個のレンズを保持することができる。各レンズは、キュベット28中にそれ自体の位置(セル)を有し、そして、これらのセルは、キュベット28内で移動可能である。レンズは、キュベット28内で検査するために位置づけられることができ、望ましくは、キュベットまたはその内部の任意の搭載物によって変形されない。検査中のレンズ全体が可視であることもまた、望ましい。望ましくは、キュベットのすべての窓は、透過された波面に追加出力を加えるのを防ぐために、平坦度に関して等しい光学的品質のものである。望ましくは、レンズの配置および提示は、レンズ間および試行間において反復可能である。キュベットへのレンズの挿入とキュベット28からのレンズの取り外しは、通常簡単であって、容易である。望ましくは、レンズは、これらのセルの外に自由に動かず、そして、溶液中で形成された気泡は、測定を妨げるべきでない。すなわち、気泡は、セル内で見られるべきではない。
キュベット28は、外側の壁106と108を備える。キュベット28の中央における、部分110またはカルーセルは、複数のレンズセル112を備える。例示的な実施形態では、カルーセル110は、30個のレンズセル112を備える。各セル112は、(レンズに適合できる)テーパー付きの壁114と、流体の流れに対するチャネル116と、レンズを対置するセルの底部での窓118と、を備える。外側の壁106と108は、任意の適切な材料を備えることができる。例示的な実施形態では、外側の壁106と108は、ポリカーボネートを含む。ポリカーボネートは、以下の特性:軽量、不透明性、化学的不活性、低水吸収性をキュベット28に供給し、この特性は、キュベット28を寸法的に安定させる。
図15は、キュベット28の一部の拡張断面の説明図である。干渉計12からの光は、矢印122の向きに頂部窓120を通してキュベット28に入って、レンズセル112内に静止しているレンズを通して移動して、次に、底部窓122を通してキュベットを出る。
例示的な実施形態では、レンズセル壁114の頂部と頂部窓120との間には、図15において124とラベルされた、非常に小さい距離しかない。この小さいギャップ124は、キュベット28を通してずっと維持されて、回転の間、それぞれのセル112中にレンズを保つように設計されている。また、例示的な実施形態では、各レンズセル112内に4つのノッチ116がある。ノッチ116は、各セル112を通して循環溶液を容易に流し、その結果、すべてのセル112を熱平衡で保つことを可能にする。キュベット28内に示されたノッチ116の数は例示的であり、任意の適切な数のノッチも実施できるということが強調される。外側の窓120と122は、各窓120、122の周りに位置させてシールを提供するためのOリングまたはガスケットに対するチャンネル126を提供するために段付きにされる。この構成はまた、窓が固定された搭載スキームに依存するよりもむしろ、窓が傾けおよび/または傾斜されて整列されることを許容する。中央のガラス窓128は、すべてのセル中においてセル112内で一貫した登録を提供するために段付きにされる(領域130を参照)。例示的な実施形態では、中央窓128は、窓128の中心部から溶液中の気泡を離しておくためにカルーセル110の下部から突き出ている。それぞれのセル112のテーパー側面114は、レンズのセンタリングを緩和して、任意の方法においてレンズを変形しない。さらに、壁側面114は、セル112の側面上にレンズを滑らせて、そして、セル112の外でキュベット28から一度取り外すことができるため、レンズを取り外す際に役立つ。レンズの搭載および取り外しは、キュベット28における、ドア151または同様のものを通して、達成できる。例示的な構成では、このドアは、ドアが開いているときに自動カルーセルの回転を防ぐインタロック(図19でのインタロック188を見る)に搭載される。レンズと連動するためにどんな特別なツールも必要とせず、例えば、綿棒はレンズと連動して使用できる。
ユーザ要件無しで複数のレンズにおける測定を干渉計12でするために、例示的な実施形態では、干渉計12は自動指標付与を介してキュベット28を制御する。自動指標付与は、任意の適切な手段を介して達成できる。例えば、キュベット28は、それ自体のモーターとプロセッサを有することができ、そして、干渉計12からの信号を簡便に受信できる。別の例示的な実施形態では、より多くの制御機器が干渉計12中に含まれ、より少ない制御機器がキュベット28中に含まれている。この実施形態では、干渉計12は、キュベット28と適合する回転手段を提供する。これは、例えば、ギヤ、ベルト、チェーン、ラックアンドピニオン、同様のもの、または、これらの組み合わせによって、達成できる。
図16は、単一のモーター132、ギヤボックス134、プーリ136、138、140、および溝付きベルト142を備える例示的なカップリング機構を示す。キュベットプーリ138を通したカルーセル110は、キュベット28内に含まれている。モーター132、ギヤボックス134、ドライブ・プーリ140、およびテンショナプーリ136は干渉計12内に固定された部材である。キュベット28が干渉計12に押し込まれるとき、キュベットプーリ138とギヤベルト142との間に結合が現れる。この種類の結合は、ずれの可能性を減少させて、重要な係合をプーリの周りに提供する。多量の係合が、キュベット回転の開始および停止を容易にする。このシステムにおける圧力は低く、そして、ベルトの可撓性は、モーターとキュベットの間の任意の結合を緩和する。また、ベルトの可撓性は、モーター132によって導入された任意のバックラッシュも抑制する。この設計は、カルーセル110を吊し続ける;カルーセル110は、キュベット28の下部に沿って、乗る部分は無い。このことは、摩擦とスティクション(静止摩擦)とを排除し、その結果、位置精度を改良する。
典型的には設定回転位置は、荷重に対して必要ではなく、ベルト142とプーリ138はこれに構わず適合するであろう。荷重力を一定に維持するために、テンショナプーリ136は、必要に応じて調整できる。ベルトシステムの堅牢性は、複数のキュベット28との使用に対して、好ましい。キュベット28を干渉計12に積み込むために、キュベット28は、キュベット28のV字型継ぎ手144(図14を参照する)に沿って、単に押されるか、または引き抜かれる。キュベット28が干渉計12と自動指標付与を制御する位置センサとに適合されるとき、V字型継ぎ手144は、鉛直安定性を提供する。
図17は、キュベット位置決め機構の説明平面図である。例示的な実施形態では、セル112の位置は、XYロケータ146と半径の位置148の部分である2個のロケーターピンで、それぞれ決定する。緩いV字型継ぎ手144に結合されて、2個のロケーターピンは、キュベットの再現可能な運動学的位置を提供する。設計されたカップリングは、手動の回転を許容する。スプロケット150(図14を参照)は、手動の回転を提供して、安全目的のために握られる;キュベットがシステムに搭載されるとき、ピンチは、スプロケットと干渉計の間を避けて位置づけられる。作動アーム184とクローダーアーム(crowder arm)186は、半径方向の力を通して、XYロケータ146と半径のロケータ148に対してキュベット28を押し続けるばね載荷力とを提供するための組として作用する。したがって、2本のアーム184と186が、干渉計へのキュベット28の運動学的な荷重を可能にする。
自動指標付与(Automatic indexing)は、スプロケット150の直下に位置するフラグ152(図14を参照)でホイールによって提供される。フラグ152は、図18に示されるように、干渉計12に取り付けた位置センサ154と連動する。キュベット28が回転するのに従って、フラグ152は、位置センサ154を始動させ、そして、この位置センサ154は、減速させてその後に停止させる指令をキュベット28に送信する。図18には、簡単にするために、3個のセル位置センサ152だけがラベルされている。キュベット28は、積み込まれたレンズのかく乱を最小化するために、遅くされる。レンズ位置決めは、キュベット28を回転させるために使用される機構から独立している。モーターは、位置センサ154からのオフ信号に基づいて、簡易に始動および停止する。セルの位置を決定するために、カウントまたは他のモーター設定も、使用されない。ホームポジションフラグ156は、干渉計12でキュベット28の整列を初期化するために使用される。
図19は、囲まれたキュベット28の線図である。囲まれたキュベット28は、キュベット28と外部の冷却装置(図19に示されていない外部の冷却装置)の間で溶液を循環させることによって、温度の安定性を供給する。このキュベット内部の設計は、セル112を通してそしてセル112間に流体を流すことを可能にする。キュベットは、流体制御のための3つの要素:温度プローブ158、インテークバルブ160、および排水バルブ162を備える。さらに、オーバーフローカップリング164もまた、提供される。温度プローブ158は、測定窓近くのキュベット28内側の流体の温度の電子表示を供給する。インテークバルブ160とドレーン162は、キュベット28を通して溶液を循環させるポートを提供する。このインテーク部分は、溶液がキュベット28に入ることを許容し、そして、このドレーン部分は、溶液がキュベット28を出ることを許容する。インテークバルブ160とドレーン162は、適切な部品を備えたチューブを通して、外部の冷却装置とポンプと、連動する。
キュベット28を有する干渉計12は、コンタクトレンズを検査するために波面分析を利用する実行可能な方法とシステムを提供する。平面基準波面に対する検査は、絶対レンズ出力(absolute lens power)の決定を可能にする。食塩水中のレンズの浸水によるダイナミックレンジの増加は、ヌル光学またはレンズのバルク出力を取り除く他の手段も使用することなく、幅広い規定に対して検査されることを許容する。この方法とシステムは、球面レンズを含むさまざまなレンズに適用可能である。検査される部分の種類に関しては、どんな仮定も必要ではない。必要とされることは、検査レンズの規定だけである。
図20は、レンズの波面を得るために干渉計構造の検出器を整列するための例示的な処理に関するフローチャートである。例示的な実施形態では、カメラ(例えば撮像カメラ38とサイエンスカメラ34)は、レンズを検査する前に、整列される。整列は、撮像カメラの38座標系をサイエンスカメラの34座標系に変換することを含む。整列を実行するために、撮像カメラの38における撮像位置は選択され、そして、対応する撮像位置は、サイエンスカメラ34で決定される。撮像カメラ38とサイエンスカメラ34は、倍率機能において少なくとも異なる。また、これらのカメラは、対応する像位置における、x軸、y軸、および/または、回転における、それぞれのシフトにおいて異なりうる。
例示的な整列処理では、検査対象(例えば、既知の基準点を有する対象レンズ)は、2個のカメラとの関係を決定するために利用される。図21は、例示的な対象レンズ178を示す。対象レンズ178は、10の同心円を備える。例の撮像地点180は、x軸上の0とy軸上の1の位置を有する。これは、図21において(0、1)として表記される。例の撮像地点182は、x軸上の−2とy軸上の0の位置を有する。これは、図21において(−2、0)として表記される。検出器を較正するために、xおよびy軸と円との交差部の位置が、利用される。例示的な処理では、検査対象を使用して、5つの値が決定される。ステップ166で、第1の検出器(例えば、サイエンスカメラ34)の倍率は、決定される。サイエンスカメラの倍率は、本明細書においてmsと呼ばれ、第2の検出器(例えば撮像カメラ38)の倍率は、ステップ168で決定される。撮像カメラの倍率は、本明細書においてHi1と呼ばれる。ステップ170では、撮像カメラ38上のx軸位置ゼロの位置に対応するサイエンスカメラ34におけるx軸上の位置が、決定される。サイエンスカメラ34のx軸上のこの位置は、本明細書においてxと呼ばれる。ステップ172では、撮像カメラ38上のy軸位置ゼロの位置に対応するサイエンスカメラ34におけるy軸上の位置が、決定される。サイエンスカメラ34のy軸上のこの位置は、本明細書においてyと呼ばれる。サイエンスカメラ34と結像カメラ38の回転角度差は、ステップ174で測定される。この回転角度差は、本明細書においてθと呼ばれる。ステップ176では、m、m、x、y、θの決定された値を使用すると、撮像カメラ38において測定された対象レンズの中心の位置が、サイエンスカメラ34における対応する地点に変換される。より具体的には、m、m、x、y、θの値は、撮像カメラ38の座標系をサイエンスカメラ34の座標系に変換するために利用される。
例示的な実施形態では、サイエンスカメラ34の座標系の座標は、以下の式に従って、サイエンスカメラの座標系の座標から対応する地点に変換される。
=(x*cosθ+y*sinθ)m/m+x (4)
=(−x*sinθ+y*cosθ)m/m+y (5)
ここで、xは、撮像カメラの対応する地点のx軸位置に対応するサイエンスカメラにおけるx軸位置を表し、yは、撮像カメラの対応する地点のy軸位置に対応するサイエンスカメラにおけるy軸位置を表し、mは、サイエンスカメラ34の倍率を表し、mは、撮像カメラ38の倍率を表し、xは、撮像カメラ38におけるx軸位置ゼロのサイエンスカメラ34のx軸上の位置を表し、yは、撮像カメラ38におけるy軸位置ゼロのサイエンスカメラ34のy軸上の位置を表し、θは、サイエンスカメラ38と結像カメラ34との回転角度差を表す。
例示的な実施形態では、サイエンスカメラと結像カメラとから得られたインターフェログラムは、検査中にあるレンズの一部に対する単一の波面に結合される。サイエンスカメラと結像カメラの両方の干渉縞が、捕捉される。この変調は、撮像カメラに対して計算される。変調の計算は、撮像カメラによって得られた干渉縞の各画素に対する値をもたらす。この変調は、レンズの縁部に関連している画素を特定するために使用される。楕円は、特定された画素に適合され、そして、楕円の中心は、決定される。任意の割り当てられた(例えば、予め定められた)マッピング方程式を使用して、決定された中心は、撮像カメラによって捕捉されるようなレンズの中心を表し、サイエンスカメラの中心にマッピングされる。サイエンスカメラによって得られた干渉縞の適切な領域は、レンズの関心領域を残すようにマスクされる。この関心領域の透過された波面は、さらなる分析のために計算される。
本明細書に記載された様々な技術は、ハードウェアまたはソフトウェアと組み合わせて実施でき、または、適切な場合には、両方の組み合わせで実施できる。従って、レンズの検査をする透過波面に対する干渉計を使用するための方法、この方法の特定の態様または部分は、フロッピーディスケット、CD−ROM、ハードドライブ、又は、任意の他の機械読み込み可能な記憶媒体といった、有形的表現媒体に具現化されたプログラムコード(すなわち、使用説明書)の形態をとることができ、ここで、プログラムコードは、コンピュータといった機械にロードされそして実行されるとき、この機械は、レンズの透過波面検査に対する干渉法を使用するための装置になる。
この(単数または複数の)プログラムは、所望であれば、アセンブリまたは機械語で実施できる。どのような場合でも、この言語は、コンパイル型言語またはインタープリタ型言語であることができ、そして、ハードウェア実装に結合されることができる。レンズの透過波面検査のための干渉法を使用するための方法は、ファイバー光学を通した、または、任意の他の通信の形態を介した、電気配線またはケーブル、といった、いくつかの送信媒体に亘って送信されるプログラムコードの形態で具現化された通信を通して実践され、ここで、EPROM、ゲートアレイ、プログラム可能論理回路(PLD)、クライアントコンピュータ、または同様のものといった、機械によって、プログラムコードが、受信され、ロードされ、実行されたときに、この機械は、レンズの透過波面検査のための干渉法の使用のための装置になる。汎用プロセッサ上で実施されるとき、プログラムコードは、プロセッサに結合して、レンズの透過波面検査のための干渉法の使用という機能性を呼び出すために作動するユニークな装置に組み合わせる。さらに、レンズの透過波面検査のための干渉法の使用に関して使用される任意の貯蔵技術は、不変的にハードウェアとソフトウェアの組み合わせであることができる。
様々な特徴の例示的な実施形態に関してレンズの透過波面検査のための干渉法の使用について説明してきたが、そこから逸脱せずに、レンズの透過波面検査のための干渉法の使用のために同じ機能を実行するために、他の同様の実施形態を使用でき、または修正と追加を、説明した実施形態にすることができることを理解するべきである。したがって、本明細書に記載されるようなレンズの透過波面検査のための干渉法は、任意の単一の実施形態に制限されるべきでなく、添付の特許請求の範囲に従う幅および範囲において解釈されるべきである。
図1は、レンズの波面を得るための例示的な干渉計構造を示す線図である。 図2は、例示的な基準波面の像を示す。 図3は、検査正レンズから取り除かれた望ましくない画素との、送信された光学距離の差を示す。 図4は、検査波面の例示的な像を示す。 図5は、検査レンズを通して送信された測定波面の評価を示す。 図6は、較正レンズに対する測定波面とモデル化された波面とを示す。 図7は、測定波面とモデル化された波面との差分における相違波面を示す。 図8は、ゼルニケ表面およびその像を示す。 図9は、検査されたレンズの局在欠陥を示す。 図10は、フリンジがわずかに平坦化されている領域を示す。 図11は、レンズの周辺部に生じうる圧力または他の変化を示した欠陥を示す。 図12は、4つの異なったレンズに対する、周波数対球面収差のプロットを示す。 図13は、トーリックレンズの厚さを示す。 図14は、キュベットの断面図である。 図15は、キュベットの一部の拡張断面の説明図である。 図16は、例示的なカップリング機構を示す。 図17は、キュベット位置決め機構の説明平面図である。 図18は、位置のフラグと位置センサとの説明図である。 図19は、囲まれたキュベットの線図である。 図20は、レンズの波面を得るために干渉計構造の検出器を整列するための例示的な処理に関するフローチャートである。 図21は、検出器の整列に使用される例示的な対象レンズを示す。

Claims (60)

  1. レンズ検査装置において、
    コヒーレント光の光源と、
    基準アームであって、当該基準アーム内で前記コヒーレント光の第1の部分を伝播するように構成されている、基準アームと、
    垂直な検査アームであって、当該垂直な検査アームは、この垂直な検査アーム内で下向きに前記コヒーレント光の第2の部分を伝播するように構成されており、前記検査アームの光学距離が前記基準アームの光学距離と等しい、垂直な検査アームと、
    前記垂直な検査アーム内に位置づけられているキュベットであって、溶液中に浸漬されたレンズを囲み、かつ前記レンズを通して下向きに前記コヒーレント光の第2の部分を伝播するように、構成されている、キュベットと、
    第1の検出器であって、前記基準アームから伝播される前記コヒーレント光の第1の部分および前記検査アームから伝播される前記コヒーレント光の第2の部分の組み合わせの第1の部分を、第1の分解能で記録するように構成された、第1の検出器と、
    第2の検出器であって、前記基準アームから伝播される前記コヒーレント光の第1の部分および前記検査アームから伝播される前記コヒーレント光の第2の部分の組み合わせの第2の部分を、第2の分解能で記録するように構成された、第2の検出器と、
    を備えた、レンズ検査装置。
  2. 請求項1に記載の装置において、
    前記第1の検出器が、カメラを備える、装置。
  3. 請求項2に記載の装置において、
    前記カメラが、CCDカメラ、CMOSカメラ、およびCIDカメラのうちの1つを備える、装置。
  4. 請求項1に記載の装置において、
    前記第2の検出器が、カメラを備える、装置。
  5. 請求項4に記載の装置において、
    前記カメラが、CCDカメラ、CMOSカメラ、およびCIDカメラのうちの1つを備える、装置。
  6. 請求項1に記載の装置において、
    前記第1の検出器が、前記基準アームから伝播される前記コヒーレント光の前記第1の部分と、前記検査アームから伝播される前記コヒーレント光の前記第2の部分との間の干渉を記録するように構成される、装置。
  7. 請求項1に記載の装置において、
    前記第1の分解能が、前記第2の分解能より大きい、装置。
  8. 請求項1に記載の装置において、
    前記第2の検出器が、レンズ全体の像を記録するように構成されたカメラを備える、装置。
  9. 請求項1に記載の装置において、
    前記光源と前記基準アームとの間に位置づけられたコリメートレンズ、
    をさらに備え、
    前記コリメートレンズは、前記光源から伝播される前記コヒーレント光をコリメートし、かつコリメートされた前記光を伝播するように、構成される、装置。
  10. 請求項9に記載の装置において、
    前記コリメートレンズと前記基準アームとの間に位置づけられた第1のビームスプリッタ、
    をさらに備え、
    前記第1のビームスプリッタは、前記コリメート光の第1の部分を前記基準アームに向かって伝播し、かつコリメートされた前記光の第2の部分を前記検査アームに向かって伝播するように、構成される、装置。
  11. 請求項10に記載の装置において、
    前記基準アームの第1の端部に位置づけられた第1の鏡と、
    前記基準アームの第2の端部に位置づけられた第2の鏡と、
    をさらに備える、装置。
  12. 請求項11に記載の装置において、
    前記第1の鏡が、コリメートされた前記光の前記第1の部分の波長の位相を変位させるように構成される、装置。
  13. 請求項11に記載の装置において、
    前記第1の鏡が、PZTの材料を含む、装置。
  14. 請求項11に記載の装置において、
    前記基準アームと前記第1の検出器との間、および、前記検査アームと前記第2の検出器との間に位置づけられた、第2のビームスプリッタ、
    をさらに備え、
    前記第2のビームスプリッタは、
    前記基準アームからの光を受信し、
    前記検査アームからの光を受信し、
    前記基準アームから受信した前記光の少なくとも一部を、前記検査アームから受信した前記光の少なくとも一部に結合し、
    前記結合した光の第1の部分を前記第1の検出器に供給し、
    前記結合した光の第2の部分を前記第2の検出器に供給する、
    ように構成される、装置。
  15. 請求項14に記載の装置において、
    結像レンズをさらに備え、
    前記結像レンズは、
    前記第2のビームスプリッタからの前記結合した光の前記第1の部分を受信し、
    前記結合した光の受信した前記第1の部分を、前記第1の検出器に向かって焦点合わせし、
    前記第2のビームスプリッタからの前記結合した光の第2の部分を受信し、
    前記結合した光の受信した前記第2の部分を、前記第2の検出器に向かって焦点合わせする、
    ように構成される、装置。
  16. 請求項1に記載の装置において、
    前記レンズが、コンタクトレンズである、装置。
  17. 請求項1に記載の装置において、
    前記レンズは、ハードコンタクトレンズ、ハード屈折コンタクトレンズ、ハード回折コンタクトレンズ、ハードハイブリッド屈折/回折コンタクトレンズレンズ、ソフトコンタクトレンズ、ソフト屈折コンタクトレンズ、ソフト回折コンタクトレンズ、ソフトハイブリッド屈折/回折コンタクトレンズ、活性調合薬を含むハードコンタクトレンズ、活性調合薬を含むソフトコンタクトレンズ、単焦点レンズ、トーリックレンズ、二重焦点コンタクトレンズ、多焦点レンズ、美容上の色付きレンズ、自由形状レンズ、人工水晶体、眼内屈折レンズ、眼内回折レンズ、眼内ハイブリッド屈折/回折レンズ、調節性レンズ、メガネレンズ、屈折メガネレンズ、回折メガネレンズ、ハイブリッド屈折/回折メガネレンズ、複数の埋め込み材料を含む合成レンズ、および調光レンズのうちの1つを含む、装置。
  18. レンズ検査装置において、
    拡張コリメートされたコヒーレント光線を提供するように構成された、コヒーレント光源と、
    第1のビーム分割器であって、
    当該第1のビーム分割器は、その上に入射した前記拡張コリメートされたコヒーレント光線を、第1のコリメートされたコヒーレント光線と、第2のコリメートされたコヒーレント光線とに分けるように構成されており、
    前記第1のコリメートされたコヒーレント光線は、前記第1のコリメートされたコヒーレント光線から本質的には光学的に変化していない測定基準アームを形成し、
    前記第2のコリメートされたコヒーレント光線は、検査アームを形成し、
    前記検査アームの光学距離は、前記基準アームの光学距離と本質的に等しく、
    前記検査アームは、当該検査アームを通して下向きに通過する光に対して垂直に向けられる、
    第1のビーム分割器と、
    前記検査アーム内に位置づけられたキュベットであって、
    重力による視覚的効果を緩和するように溶液中に浸漬されたレンズを囲み、
    前記レンズを通して下向きに前記第2のコリメートされたコヒーレント光線を伝播する、
    ように構成された、キュベットと、
    位相変調器であって、前記第1のコリメートされたコヒーレント光線および前記第2のコリメートされたコヒーレント光線のうちの1つの光位相を変更するように構成された、位相変調器と、
    前記測定基準アームから伝播される前記第1のコリメートされたコヒーレント光線と前記検査アームから伝播される前記第2のコリメートされたコヒーレント光線とを結合することによって、第1の結合したビームと第2の結合したビームとを供給するように構成された、第2のビーム分割器であって、
    前記第1の結合したビームは、第1の方向に伝播され、
    前記第2の結合したビームは、第2の方向に伝播され、
    前記第1の結合したビームは、前記測定基準アームから伝播される前記第1のコリメートされたコヒーレント光線と前記検査アームから伝播される前記第2のコリメートされたコヒーレント光線との間の第1の干渉縞を示し、
    前記第2の結合したビームは、前記測定基準アームから伝播される前記第1のコリメートされたコヒーレント光線と前記検査アームから伝播される前記第2のコリメートされたコヒーレント光線との間の第2の干渉縞を示す、
    第2のビーム分割器と、
    前記第1の干渉縞を、第1の分解能および第1の視野で記録するように構成された、第1の検出器と、
    前記第2の干渉縞を、第2の分解能および第2の視野で記録するように構成された、第2の検出器と、
    を備える、装置。
  19. 請求項18に記載の装置において、
    前記レンズ検査装置が、干渉計を備える、装置。
  20. 請求項18に記載の装置において、
    前記位相変調器が、光位相を制御可能に、かつ測定可能に変更するように構成される、装置。
  21. 請求項18に記載の装置において、
    前記拡張コリメートされたコヒーレント光線のコヒーレンス長は、前記測定基準アームと前記検査アームとの間の光学距離の差よりも長い、装置。
  22. 請求項18に記載の装置において、
    前記コリメートされたコヒーレント光線が、350nmと1500nmとの間の少なくとも1つの波長を備える、装置。
  23. 請求項18に記載の装置において、
    前記拡張コリメートされたコヒーレント光線の断面積が、前記レンズの断面積より大きい、装置。
  24. 請求項18に記載の装置において、
    前記第1のビーム分割器は、
    コリメートレンズと前記基準アームとの間に位置づけられ、
    前記拡張コリメートされたコヒーレント光線の第1の部分を、前記基準アームに向かって伝播するように構成され、
    前記拡張コリメートされたコヒーレント光線の第2の部分を、前記検査アームに向かって伝播するように構成された、装置。
  25. 請求項18に記載の装置において、
    前記拡張コリメートされたコヒーレント光線および前記第1のビーム分割器の少なくとも1つは、前記第1のコリメートされたコヒーレント光線に割り当てられた光量と、前記第2のコリメートされたコヒーレント光線に割り当てられた光量とを制御するように調整可能である、装置。
  26. 請求項18に記載の装置において、
    前記測定基準アームは、前記測定基準アームに位置づけられた少なくとも2つの鏡を備え、
    前記検査アームは、前記検査アームに位置づけられた少なくとも2つの鏡を備える、装置。
  27. 請求項26に記載の装置において、
    前記測定基準アームに位置づけられた前記少なくとも2つの鏡、および前記検査アームに位置している前記少なくとも2つの鏡、のうち少なくとも1つは、前記測定基準アームにおける前記第1のコリメートされたコヒーレント光線、および前記検査アームにおける前記第2のコリメートされたコヒーレント光線における位相をそれぞれ、変化させるように構成された位相調整鏡を備える、装置。
  28. 請求項27に記載の装置において、
    前記位相調整鏡が、PZTの材料で調整される、装置。
  29. 請求項18に記載の装置において、
    前記第2のビーム分割器は、前記測定基準アームと前記検査アームの交差部に位置づけられ、
    前記第2のビーム分割器は、
    前記測定基準アームから前記第1のコリメートされたコヒーレント光線を受信し、
    前記検査アームから前記第2のコリメートされたコヒーレント光線を受信し、
    干渉縞を形成するために前記基準アームから受信した前記光の少なくとも一部を前記検査アームから受信した前記光の少なくとも一部に結合し、
    前記干渉縞の第1の部分を前記第1の検出器に供給し、
    前記干渉縞の第2の部分を前記第2の検出器に供給する、
    ように構成される、装置。
  30. 請求項29に記載の装置において、
    前記第2のビーム分割器に入射した光線は、
    前記干渉縞を形成するために前記第2のビーム分割器に入射した前記第2のコリメートされたコヒーレント光線に結合されるべき前記第2のビーム分割器に入射した前記第1のコヒーレント光線、および、
    前記干渉縞を形成するために前記第2のビーム分割器に入射した前記第1のコリメートされたコヒーレント光線に結合されるべき前記第2のビーム分割器に入射した前記第2のコヒーレント光線、
    の量を制御するように調整可能である、装置。
  31. 請求項18に記載の装置において、
    前記第1の検出器が、結像レンズと、前記レンズの中心部の上で前記第1の干渉縞を撮像するように構成されるカメラと、を備える、装置。
  32. 請求項18に記載の装置において、
    前記第1の検出器が、検出器画素あたり1.0〜1000.0ミクロンの分解能を有し、かつ、0.1〜100.0ミリメートルの視野を有するように構成される、装置。
  33. 請求項18に記載の装置において、
    前記第1のカメラが、前記コヒーレント光源のすべての波長を検出するように構成された、CCDカメラ、CMOSカメラ、およびCIDカメラのうちの1つを備える、装置。
  34. 請求項18に記載の装置において、
    前記第2の検出器が、結像レンズと、前記レンズ全体の上に前記第2の干渉縞を撮像するように構成されるカメラと、を備える、装置。
  35. 請求項34に記載の装置において、
    前記第2の検出器のための前記結像レンズは、
    前記第2の検出器上に前記第2の干渉縞を撮像し、
    前記レンズの外側の縁部を撮像し、
    前記レンズの表面上の基準マークおよび基準の少なくとも1つを撮像する、
    ように構成される、装置。
  36. 請求項18に記載の装置において、
    前記第2の検出器が、検出器画素あたり1.0〜1000.0ミクロンの分解能を有し、かつ、0.1〜100.0ミリメートルの視野を有するように構成される、装置。
  37. 請求項18に記載の装置において、
    前記第2のカメラが、前記コヒーレント光源のすべての波長を検出するように構成された、CCDカメラ、CMOSカメラ、およびCIDカメラのうちの1つを備える、装置。
  38. 請求項18に記載の装置において、
    前記装置は、ハードコンタクトレンズ、ハード屈折コンタクトレンズ、ハード回折コンタクトレンズ、ハードハイブリッド屈折/回折コンタクトレンズレンズ、ソフトコンタクトレンズ、ソフト屈折コンタクトレンズ、ソフト回折コンタクトレンズ、ソフトハイブリッド屈折/回折コンタクトレンズ、活性調合薬を含むハードコンタクトレンズ、活性調合薬を含むソフトコンタクトレンズ、単焦点レンズ、トーリックレンズ、二重焦点コンタクトレンズ、多焦点レンズ、美容上の色付きレンズ、自由形状レンズ、人工水晶体、眼内屈折レンズ、眼内回折レンズ、眼内ハイブリッド屈折/回折レンズ、調節性レンズ、メガネレンズ、屈折メガネレンズ、回折メガネレンズ、ハイブリッド屈折/回折メガネレンズの少なくとも1つを検査するように構成される、装置。
  39. レンズ検査装置の検出器を整列するための方法において、
    前記レンズ検査装置の検出器は、
    コヒーレント光の光源、
    基準アームであって、当該基準アーム内で前記コヒーレント光の第1の部分を伝播するように構成される、基準アーム、
    垂直な検査アームであって、当該垂直な検査アームは、この垂直な検査アーム内で下向きに前記コヒーレント光の第2の部分を伝播するように構成されており、前記検査アームの光学距離が前記基準アームの光学距離と等しい、検査アーム、
    前記垂直な検査アーム内に位置づけられたキュベットであって、溶液中に浸漬されたレンズを囲み、かつ前記レンズを通して下向きに前記コヒーレント光の第2の部分を伝播するように、構成される、キュベット、
    前記基準アームから伝播される前記コヒーレント光の第1の部分および前記検査アームから伝播される前記コヒーレント光の第2の部分の組み合わせの第1の部分を、第1の分解能で記録するように構成された、第1の検出器、ならびに、
    前記基準アームから伝播される前記コヒーレント光の第1の部分および前記検査アームから伝播される前記コヒーレント光の第2の部分の組み合わせの第2の部分を、第2の分解能で記録するように構成された、第2の検出器、
    を備え、
    前記方法は、
    前記第1の検出器の倍率を決定することと、
    前記第2の検出器の倍率を決定することと、
    前記第2の検出器におけるゼロのx軸位置に対応する、前記第1の検出器におけるゼロのx軸位置を決定することと、
    前記第2の検出器におけるゼロのy軸位置に対応する、前記第1の検出器におけるゼロのy軸位置を決定することと、
    前記第1の検出器の座標系と前記第2の検出器の座標系との回転の角度差を決定することと、
    前記第1の検出器の決定された倍率、第2の検出器の決定された倍率、決定されたx軸位置、決定されたy軸位置、および決定された回転の角度差に従って、前記第2の検出器の座標系を前記第1の検出器の座標系に変換することと、
    を含む、方法。
  40. 請求項39に記載の方法において、
    以下の式、
    =(x*cosθ+y*sinθ)m/m+x
    および、
    =(−x*sinθ+y*cosθ)m/m+y
    に従って、前記第2の検出器の座標系を前記第1の検出器の座標系に変換すること、
    をさらに含み、
    ここで、
    は、前記第2の検出器の対応する地点のx軸位置に対応する、前記第1の検出器におけるx軸位置を表し、
    は、前記第2の検出器の対応する地点のy軸位置に対応する、前記第1の検出器におけるy軸位置を表し、
    は、前記第1の検出器の倍率を表し、
    は、前記第2の検出器の倍率を表し、
    は、前記第2の検出器におけるx軸位置ゼロの前記第1の検出器のx軸上の位置を表し、
    は、前記第2の検出器におけるy軸位置ゼロの前記第1の検出器のy軸上の位置を表し、
    θは、前記第1の検出器の座標系と前記第2の検出器の座標系との回転角度差を表す、方法。
  41. 請求項40に記載の方法において、
    前記第1の検出器が、カメラを備える、方法。
  42. 請求項41に記載の方法において、
    前記カメラが、コヒーレント光源のすべての波長を検出するように構成された、CCDカメラ、CMOSカメラ、およびCIDカメラのうちの1つを備える、方法。
  43. 請求項39に記載の、方法において、
    前記第2の検出器が、カメラを備える、方法。
  44. 請求項43に記載の方法において、
    前記カメラが、前記コヒーレント光源のすべての波長を検出するように構成された、CCDカメラ、CMOSカメラ、およびCIDカメラのうちの1つを備える、方法。
  45. レンズを検査するための方法において、
    拡張コリメートされたコヒーレント光線を提供することと、
    前記拡張コリメートされたコヒーレント光線を、第1のコリメートされたコヒーレント光線と第2のコリメートされたコヒーレント光線とに分けることと、
    前記第1のコリメートされたコヒーレント光線から測定基準アームを形成することであって、前記測定基準アームは、前記第1のコリメートされたコヒーレント光線から本質的には光学的に変化していない、測定基準アームを形成することと、
    前記第2のコリメートされたコヒーレント光線から検査アームを形成することであって、前記検査アームの光学距離が本質的には基準アームの光学距離と等しい、検査アームを形成することと、
    前記検査アームを通して光を下方に通すように前記検査アームを垂直に向けることと、
    前記検査アーム内にキュベットを位置づけることと、
    前記キュベット内にレンズを囲むことであって、前記レンズが重力による視覚的効果を緩和する溶液中に浸漬されている、囲むことと、
    前記レンズを通して下向きに前記第2のコリメートされたコヒーレント光線を伝播することと、
    前記測定基準アームから伝播される前記第1のコリメートされたコヒーレント光線の部分と前記検査アームから伝播される前記第2のコリメートされたコヒーレント光線の部分とを結合して、第1の結合したビームを供給することと、
    前記測定基準アームから伝播される前記第1のコリメートされたコヒーレント光線の部分と前記検査アームから伝播される前記第2のコリメートされたコヒーレント光線の部分とを結合して、第2の結合したビームを供給することと、
    第1の方向に前記第1の結合したビームを伝播することと、
    第1の方向に前記第1の結合したビームを伝播することであって、
    前記第1の結合したビームは、前記測定基準アームから伝播される前記第1のコリメートされたコヒーレント光線と前記検査アームから伝播される前記第2のコリメートされたコヒーレント光線との間の第1の干渉縞を示し、
    前記第2の結合したビームは、前記測定基準アームから伝播される前記第1のコリメートされたコヒーレント光線と前記検査アームから伝播される前記第2のコリメートされたコヒーレント光線との間の第2の干渉縞を示す、
    伝播することと、
    第1の検出器で、前記第1の干渉縞を第1の分解能および第1の視野で記録することと、
    第2の検出器で、前記第2の干渉縞を第2の分解能および第2の視野で記録することと、
    を含む、方法。
  46. 請求項45に記載の方法において、
    前記第1のコリメートされたコヒーレント光線、および、前記第2のコリメートされたコヒーレント光線の少なくとも1つを位相変調すること、
    をさらに含む、方法。
  47. 請求項46に記載の方法において、
    PZTの材料で位相を調節すること、
    をさらに含む、方法。
  48. 請求項45に記載の方法において、
    前記拡張コリメートされたコヒーレント光線のコヒーレンス長は、前記測定基準アームと前記検査アームとの間の光学距離の差よりも長い、方法。
  49. 請求項45に記載の方法において、
    前記コリメートされたコヒーレント光線が、350nmと1500nmとの間の少なくとも1つの波長を備える、方法。
  50. 請求項45に記載の方法において、
    前記拡張コリメートされたコヒーレント光線の断面積が、前記レンズの断面積より大きい、方法。
  51. 請求項45に記載の方法において、
    前記レンズの中心部の上の第1の干渉縞を、前記第1の検出器を通して撮像すること、
    をさらに含む、方法。
  52. 請求項45に記載の方法において、
    前記第1の検出器が、検出器画素あたり1.0〜1000.0ミクロンの分解能を有し、かつ、0.1〜100.0ミリメートルの視野を有するように構成される、方法。
  53. 請求項45に記載の方法において、
    前記第1の検出器が、前記コヒーレント光源のすべての波長を検出するように構成された、CCDカメラ、CMOSカメラ、およびCIDカメラのうちの1つを備える、方法。
  54. 請求項45に記載の方法において、
    前記レンズ全体の上の前記第2の干渉縞を、前記第2の検出器を通して撮像することをさらに含む、方法。
  55. 請求項45に記載の方法において、
    前記第2の検出器が、前記コヒーレント光源のすべての波長を検出するように構成された、CCDカメラ、CMOSカメラ、およびCIDカメラのうちの1つを備える、方法。
  56. 請求項45に記載の方法において、
    前記第2の検出器を通して、
    前記第2の検出器を通した前記第2の干渉縞、
    前記レンズの外側の縁部、ならびに、
    前記レンズ表面上の基準マークおよび基準の少なくとも1つ、
    を撮像すること、
    をさらに含む、方法。
  57. 請求項45に記載の方法において、
    前記第2の検出器が、検出器画素あたり1.0〜1000.0ミクロンの分解能を有し、かつ、0.1〜100.0ミリメートルの視野を有するように構成される、方法。
  58. 請求項45に記載の方法において、
    ハードコンタクトレンズ、ハード屈折コンタクトレンズ、ハード回折コンタクトレンズ、ハードハイブリッド屈折/回折コンタクトレンズレンズ、ソフトコンタクトレンズ、ソフト屈折コンタクトレンズ、ソフト回折コンタクトレンズ、ソフトハイブリッド屈折/回折コンタクトレンズ、活性調合薬を含むハードコンタクトレンズ、活性調合薬を含むソフトコンタクトレンズ、単焦点レンズ、トーリックレンズ、二重焦点コンタクトレンズ、多焦点レンズ、美容上の色付きレンズ、自由形状レンズ、人工水晶体、眼内屈折レンズ、眼内回折レンズ、眼内ハイブリッド屈折/回折レンズ、調節性レンズ、メガネレンズ、屈折メガネレンズ、回折メガネレンズ、ハイブリッド屈折/回折メガネレンズ、複数の埋め込み材料を含む合成レンズ、および調光レンズの少なくとも1つを検査すること、
    をさらに含む、方法。
  59. 請求項45に記載の方法において、
    前記溶液が、食塩水、緩衝生理食塩溶液、脱イオン水、および活性調合薬を含む溶液の少なくとも1つを含む、方法。
  60. 請求項45に記載の方法において、
    前記第1の検出器が、第1のカメラを備え、
    前記第2の検出器が、第2のカメラを備え、
    前記方法は、
    前記第2の干渉縞から、前記第2のカメラに対する変調を計算することと、
    前記計算された変調から、前記レンズの縁部に関連している画素を特定することと、
    特定された画素を楕円に適合させることと、
    前記楕円の中心を決定することと、
    前記楕円の中心に従って前記レンズの中心を決定することと、
    前記第1のカメラの中心に前記レンズの中心をマッピングすることと、
    前記マッピングされた中心に従って前記第1の干渉縞の対象領域を決定することと、
    予め定められた領域の波面を送信することと、
    をさらに含む、方法。
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