JP5632650B2 - マルチイメージフェーズシフト解析を用いた検査システム及び方法 - Google Patents
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Description
11 プロセッサ
12 位相シフトプロジェクタ
13 受像器
14 コントローラ
15 モニタ
16 物体表面
20 光源
21 集光光学系、集光レンズ
22 拡散器
23 回折格子
24 第1のリレー光学系、第1の可変焦点リレーレンズ
25 回転透明板
26 第1のミラー、固定ミラー
27 第2のミラー
28 投影光学系、投影レンズ
29 回転ミラー
30 イメージャ
31 第2のリレー光学系、第2の可変焦点リレーレンズ
32 観察光学系、対物レンズ、観察レンズ
33 平面
34 軸
35 入射ビーム
36 透過ビーム
Claims (10)
- 光を発生するように構成された光源(20)と、
前記発生した光の経路内にある回折格子(23)であって、前記光が通過した後に回折格子像を生成するように構成された回折格子(23)と、
前記回折格子像の複数の位相シフトパターンを形成し、それを物体表面(16)上に反射して、複数の投影位相シフトパターンを形成するように構成された位相シフトユニットと、
前記投影位相シフトパターンの像データを取得するように構成されたイメージャ(30)と、
前記像データから前記物体表面(16)を再現するように構成されたプロセッサ(11)と
を備える検査システム(10)。 - 前記位相シフトユニットが、第1の位相シフトユニット又は第2の位相シフトユニットを備え、前記第1の位相シフトユニットが、回転透明板(25)及び1対のミラー(26、27)を備え、前記第2の位相シフトユニットが、1対のミラー(26、29)を備え、前記第1の位相シフトユニットの前記回転透明板(25)が、前記回折格子像の前記位相シフトパターンを形成して、前記第1の位相シフトユニットの前記ミラー(26、27)に伝達するように構成され、前記第1の位相シフトユニットの前記ミラー(26、27)が固定であり、且つ前記位相シフトパターンを前記物体表面(16)上に反射するように構成され、前記第2の位相シフトユニットの前記ミラー(26、29)が、固定ミラー(26)及び回転ミラー(29)を備え、前記固定ミラー(26)が、前記回折格子像を前記回転ミラー(29)上に反射するように構成され、前記回転ミラー(29)が、前記回折格子像の前記位相シフトパターンを形成するように構成される、請求項1記載の検査システム。
- 前記位相シフトユニットを前記位相シフトパターンを形成するように制御するように構成されたコントローラ(14)をさらに備え、前記コントローラ(14)が圧電アクチュエータを備える、請求項1又は2記載の検査システム。
- 前記位相シフトユニットからの前記位相シフトパターンを前記物体表面(16)上に投影するように構成された複数の投影光学系(28)と、
前記物体表面(16)からの前記投影位相シフトパターンを案内して、前記イメージャ(30)上に合焦させるように構成された複数の観察光学系(32)と
をさらに備える、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の検査システム。 - 前記回折格子(23)と前記位相シフトユニットの間にある第1の可変焦点リレーレンズ(24)、及び前記観察光学系(32)と前記イメージャ(30)の間にある第2の可変焦点リレーレンズ(31)をさらに備え、前記観察光学系(32)がテレセントリックレンズを備え、前記投影光学系(28)がマイクロレンズを備える、請求項4記載の検査システム。
- 前記光源(20)と前記回折格子(23)の間にある集光レンズ(21)、及び前記集光レンズ(21)と前記回折格子(23)の間にある拡散器(22)をさらに備える、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の検査システム。
- 前記検査システム(10)が、前記物体表面上の大きさが約10mm未満の長さ寸法を有するエリアを約10μm未満の分解能で検査し、前記位相シフトユニットがさらに、前記投影位相シフトパターンを、前記物体表面の表面法線に対してある角度で形成するように構成され、前記イメージャ(30)がさらに、前記投影位相シフトパターンの前記像データを、前記位相シフトユニットの投影する前記角度とは異なる角度から見て取得するように構成される、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の検査システム。
- 光源(20)から回折格子(23)を通って光を投影して、回折格子像を生成し、
前記回折格子像を位相シフトユニットを通って案内して、前記回折格子像の複数の位相シフトパターンを形成し、それを物体表面の約10mm未満の長さ寸法を有するエリア上に反射して、複数の投影位相シフトパターンを表面法線に対してある角度で形成し、
前記物体表面(16)から前記投影位相シフトパターンの複数の像データを、前記位相シフトパターンを前記物体表面上に投影する前記角度とは異なる角度から見て取得し、
前記像データから前記物体表面を約10μm未満の分解能で再現する
ことを含む検査方法。 - 前記位相シフトユニットが、第1の位相シフトユニット又は第2の位相シフトユニットを備え、前記第1の位相シフトユニットが、回転透明板(25)及び1対のミラー(26、27)を備え、前記第2の位相シフトユニットが、1対のミラー(26、29)を備え、前記第1の位相シフトユニットの前記回転透明板(25)が、前記回折格子像の前記位相シフトパターンを形成し、それを前記第1の位相シフトユニットの前記ミラー(26、27)に伝えるように構成され、前記第1の位相シフトユニットの前記ミラー(26、27)が固定であり、且つ前記位相シフトパターンを前記物体表面(16)上に反射するように構成され、前記第2の位相シフトユニットの前記ミラー(26、29)が、固定ミラー(26)及び回転ミラー(29)を備え、前記固定ミラー(26)が、前記回折格子像を前記回転ミラー(29)上に反射するように構成され、前記回転ミラー(29)が、前記回折格子像の前記位相シフトパターンを形成するように構成される、請求項8記載の検査方法。
- 前記位相シフトパターンを、形成されて前記位相シフトユニットから反射された後に、前記物体表面(16)上に投影するために投影レンズ(28)を通って案内し、前記投影位相シフトパターンを、イメージャ(30)上に結像される前に、観察レンズ(32)を通って案内し、前記光を、前記回折格子(23)を通過する前に、集光レンズ(21)及び第1の可変焦点リレーレンズ(24)を通って案内し、前記投影位相シフトパターンを、前記観察レンズ(32)を通過した後に、第2の可変焦点リレーレンズ(31)を通って案内することをさらに含む、請求項8又は9記載の検査方法。
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