JP4943946B2 - 偏芯量測定装置 - Google Patents
偏芯量測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4943946B2 JP4943946B2 JP2007148253A JP2007148253A JP4943946B2 JP 4943946 B2 JP4943946 B2 JP 4943946B2 JP 2007148253 A JP2007148253 A JP 2007148253A JP 2007148253 A JP2007148253 A JP 2007148253A JP 4943946 B2 JP4943946 B2 JP 4943946B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- images
- unnecessary
- normal
- eccentricity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
前記解析手段は、前記複数の画像のうちの所定の2枚の画像の差画像を求めることにより、前記被検面の焦点面に位置する所定面からの反射光または透過光により前記撮像面上に結像される前記指標の不要像を画像上から消去するように構成されていることを特徴とする。
また、「差画像」とは、2つの画像間の画像濃度値の差をとった画像を意味する。
等の近似手法を用いて、像中心の軌跡(通常、円形となる)を求め、この像中心の軌跡の半径に基づいて上記レンズ面52aの偏芯量を算定する。
5 レンズ体(被検光学素子)
10 測定ヘッド
11 光源
12 レチクル板
13 ビームスプリッタ
14 コリメータレンズ
15 対物レンズ
16 撮像素子
17 撮像カメラ
20 基台
21 載置部材
22 XY軸ステージ
23 回転ステージ
24 Z軸ステージ
30 解析演算部
31 解析装置
32 画像表示装置
33 入力装置
40 Z軸ステージ
41 支持部
42 ガイド部
43 可動部
51,52 レンズ
51a,51b,52a,52b レンズ面
53 鏡筒
61a,61b 断面線
I1〜I12 画像
ΔI2〜ΔI12 正規像位置特定用画像
IUc 不要像除去用画像
Rc1〜Rc12,Rca,Rcb 正規像
Uc1〜Uc12,Uca,Ucb 不要像
P 光収束点
Z,B 光軸
A 回転軸
Claims (4)
- 所定の回転軸を中心として被検光学素子を回転可能に保持する基台と、該基台に保持され前記所定の回転軸を中心として回転せしめられる前記被検光学素子の被検面に対し、光源からの光を所定形状の指標を介して照射するとともに、該指標の像を前記被検面の焦点面に結像させる照射用光学系と、前記被検面からの反射光または透過光を撮像面上に導き該反射光または透過光により形成される前記指標の正規像を前記撮像面上に結像させる結像用光学系と、前記被検光学素子の互いに異なる複数の回転位置毎に、該複数の回転位置各々に対応した前記正規像をそれぞれ担持した複数の画像を取得する撮像手段と、撮像された前記複数の画像に基づき前記被検面の偏芯量を解析する解析手段と、を備えてなる偏芯量測定装置であって、
前記解析手段は、前記複数の画像のうちの所定の2枚の画像の差画像を求めることにより、前記被検面の焦点面に位置する所定面からの反射光または透過光により前記撮像面上に結像される前記指標の不要像を画像上から消去するように構成されていることを特徴とする偏芯量測定装置。 - 前記解析手段は、前記差画像において画像濃度値が正となる領域および負となる領域のどちらか一方の領域の画像濃度値を零とする処理を行なうことにより、前記2枚の画像のうちの一方の画像上の前記正規像のみを担持した正規像位置特定用画像を形成するように構成されていることを特徴とする請求項1記載の偏芯量測定装置。
- 前記解析手段は、前記一方の画像と前記正規像位置特定用画像との差画像を求めることにより、前記指標の不要像のみを担持した不要像除去用画像を形成するように構成されていることを特徴とする請求項2記載の偏芯量測定装置。
- 前記解析手段は、前記正規像位置特定用画像において、画素ライン毎に各画素に対応した画像濃度値を合算し、該合算された値が最大となる画素ラインの座標に基づき、前記正規像の中心位置を特定するように構成されていることを特徴とする請求項2または3記載の偏芯量測定装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007148253A JP4943946B2 (ja) | 2007-06-04 | 2007-06-04 | 偏芯量測定装置 |
TW97118650A TW200907318A (en) | 2007-06-04 | 2008-05-20 | Eccentricity amount measuring device |
CN2008101005223A CN101319960B (zh) | 2007-06-04 | 2008-05-20 | 偏心量测定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007148253A JP4943946B2 (ja) | 2007-06-04 | 2007-06-04 | 偏芯量測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008298739A JP2008298739A (ja) | 2008-12-11 |
JP4943946B2 true JP4943946B2 (ja) | 2012-05-30 |
Family
ID=40172373
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007148253A Expired - Fee Related JP4943946B2 (ja) | 2007-06-04 | 2007-06-04 | 偏芯量測定装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4943946B2 (ja) |
CN (1) | CN101319960B (ja) |
TW (1) | TW200907318A (ja) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5362431B2 (ja) * | 2008-06-10 | 2013-12-11 | 富士フイルム株式会社 | 偏芯量測定方法 |
JP2010230578A (ja) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Fujifilm Corp | 偏芯量測定方法 |
JP5222796B2 (ja) * | 2009-06-08 | 2013-06-26 | 富士フイルム株式会社 | 光学素子の偏芯調整組立方法および偏芯調整組立装置 |
KR101338339B1 (ko) | 2013-04-02 | 2013-12-06 | 라온피플 주식회사 | 렌즈 모듈 검사 장치 |
KR101339463B1 (ko) | 2013-04-02 | 2013-12-06 | 라온피플 주식회사 | 렌즈 모듈 검사 장치 |
CN103940377B (zh) * | 2014-03-26 | 2017-01-04 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 光学镜头球心偏差测量装置 |
CN106471351B (zh) * | 2014-07-03 | 2019-04-19 | 奥林巴斯株式会社 | 偏心量计测方法和偏心量计测装置 |
KR101580177B1 (ko) * | 2014-08-21 | 2015-12-24 | (주)월드옵텍 | 측정 정밀성이 향상된 렌즈 검사 장치 |
CN104833319A (zh) * | 2015-04-15 | 2015-08-12 | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 | 透镜中心偏差测量系统及测量方法 |
CN105157623A (zh) * | 2015-10-14 | 2015-12-16 | 重庆鹰谷光电有限公司 | To光电探测器同轴度检测装置及方法 |
WO2017068813A1 (ja) | 2015-10-23 | 2017-04-27 | 株式会社カツラ・オプト・システムズ | 光学素子特性測定装置 |
CN109425312B (zh) * | 2017-09-01 | 2021-12-03 | 宁波舜宇车载光学技术有限公司 | 偏心测试装置及方法 |
CN107843213B (zh) * | 2017-10-23 | 2020-06-16 | 北京理工大学 | 共焦自准直中心偏和曲率半径测量方法与装置 |
CN109946046B (zh) * | 2017-12-21 | 2022-01-07 | 宁波舜宇车载光学技术有限公司 | 偏心测试装置及方法 |
KR20200053738A (ko) * | 2018-11-08 | 2020-05-19 | 주식회사 에이치케이 | 튜브 부재의 편심 감지방법 |
CN109883361A (zh) * | 2019-02-23 | 2019-06-14 | 西安昂科光电有限公司 | 一种使用高精度导轨实现光学组件中心偏差测试的方法 |
CN109855844B (zh) * | 2019-03-12 | 2021-08-24 | 苏州大学 | 一种光学镜头中心偏差测量装置及方法 |
CN110595736A (zh) * | 2019-08-20 | 2019-12-20 | 扬州辰亚光学科技有限公司 | 一种光学零件的偏心量测量装置 |
CN111060294B (zh) * | 2019-12-31 | 2022-04-12 | 茂莱(南京)仪器有限公司 | 一种荧光显微物镜综合测试平台 |
CN111336918A (zh) * | 2020-03-10 | 2020-06-26 | 深圳市兴华炜科技有限公司 | 一种插件夹爪检测工艺、系统及夹爪 |
WO2022224344A1 (ja) * | 2021-04-20 | 2022-10-27 | オリンパス株式会社 | 偏心測定方法および偏心測定装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000205998A (ja) * | 1999-01-13 | 2000-07-28 | Nikon Corp | 反射偏芯測定装置 |
JP2003344219A (ja) * | 2002-05-29 | 2003-12-03 | Nikon Corp | 偏心測定方法、偏心測定装置、投影光学系の製造方法、及び投影光学系 |
JP4146678B2 (ja) * | 2002-07-05 | 2008-09-10 | Hoya株式会社 | 画像検査方法および装置 |
-
2007
- 2007-06-04 JP JP2007148253A patent/JP4943946B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-05-20 TW TW97118650A patent/TW200907318A/zh not_active IP Right Cessation
- 2008-05-20 CN CN2008101005223A patent/CN101319960B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008298739A (ja) | 2008-12-11 |
CN101319960A (zh) | 2008-12-10 |
TWI369484B (ja) | 2012-08-01 |
CN101319960B (zh) | 2010-09-29 |
TW200907318A (en) | 2009-02-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4943946B2 (ja) | 偏芯量測定装置 | |
JP4774332B2 (ja) | 偏芯量測定方法 | |
JP5222796B2 (ja) | 光学素子の偏芯調整組立方法および偏芯調整組立装置 | |
JP5221614B2 (ja) | 3次元共焦点観察用装置及び観察焦点面変位・補正ユニット | |
TWI292033B (ja) | ||
KR20200063099A (ko) | 파면 기술에 기반한 비구면 렌즈 편심 검출장치 및 그 검출방법 | |
WO2020066042A1 (ja) | 顕微鏡システム、投影ユニット、及び、画像投影方法 | |
KR101652356B1 (ko) | 광학적 웨이퍼 검사 장치 | |
JP4751156B2 (ja) | オートコリメータ及びそれを用いた角度測定装置 | |
JP6217748B2 (ja) | 屈折率測定装置 | |
JP3990177B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
EP1684107B1 (en) | Examination method and examination-assisting tool | |
JP2003294423A (ja) | 球面形状測定解析方法 | |
JP2020071212A (ja) | 偏心計測方法、レンズ製造方法、および偏心計測装置 | |
JP4603177B2 (ja) | 走査型レーザ顕微鏡 | |
JPH04172213A (ja) | 三次元形状測定装置の校正方法 | |
JP5343762B2 (ja) | 制御装置、およびその制御装置を用いた顕微鏡システム | |
JP2008304200A (ja) | 偏芯測定用ヘッドの高さ位置調整方法 | |
JP3992182B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP5317619B2 (ja) | 偏芯量測定方法 | |
JP4524224B2 (ja) | レンズ芯出し装置及びレンズ芯出し方法ならびにレンズ芯出しプログラム | |
JP5300522B2 (ja) | 三次元顕微鏡装置及び同装置を用いた観察・測定法 | |
JPH11211611A (ja) | 偏心測定装置 | |
JP2016142691A (ja) | 形状計測方法、及び形状計測装置 | |
JP2005083981A (ja) | 非球面偏心測定装置と非球面偏心測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100415 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120213 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120222 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120301 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4943946 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150309 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |