JPH04172213A - 三次元形状測定装置の校正方法 - Google Patents

三次元形状測定装置の校正方法

Info

Publication number
JPH04172213A
JPH04172213A JP29946890A JP29946890A JPH04172213A JP H04172213 A JPH04172213 A JP H04172213A JP 29946890 A JP29946890 A JP 29946890A JP 29946890 A JP29946890 A JP 29946890A JP H04172213 A JPH04172213 A JP H04172213A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coordinates
image
calibrating
calibrator
point
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP29946890A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2623367B2 (ja
Inventor
Takayuki Ohata
大幡 高之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
YUNISUN KK
Original Assignee
YUNISUN KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by YUNISUN KK filed Critical YUNISUN KK
Priority to JP2299468A priority Critical patent/JP2623367B2/ja
Publication of JPH04172213A publication Critical patent/JPH04172213A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2623367B2 publication Critical patent/JP2623367B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明は、光切断法による三次元形状測定装置におけ
るカメラの校正方法に関する。
〈従来の技術〉 光切断法を利用して被測定物の三次元形状を測定する方
法は周知であり、被測定物にスリット光を照射し、被測
定物の表面に生ずる光切断線の形状をスリット光の光源
に対して一定の位置に配置されたカメラで撮像し、得ら
れた光切断像のデータをコンピュータで処理することに
よって被測定物の形状を求めている。カメラとしては例
えばCODカメラが用いられるが、撮像された被測定物
の像情報はレンズを通してCCDに伝えられるため、レ
ンズの性能は測定精度に大きな影響を与える。
〈発明が解決しようとする課題〉 レンズの性能を左右する収差には、単色光の場合でも球
面収差、非点収差、像面湾曲、コマ及び歪曲収差などが
あり、しかもそれらが互いに影響を及ぼし合うためレン
ズの組み合わせで対処するには限界があり、収差を完全
になくすことは非常に困難であった。
この発明はこのような問題点に着目し、得られた画像内
の位置を元の空間内の位置に換算する変換テーブルを用
いることによって、精度よく測定できるようにすること
を目的としてなされたものである。
く課題を解決するための手段〉 上述の目的を達成するために、この発明では、スリット
光が照射される平面状空間における実座標上の位置が既
知である校正点を複数個備えた校正器を用い、これをス
リット光の光源に対して一定の位置に配置されたカメラ
で撮像して各校正点の撮像画面における画面内座漂を検
出するという手順を、校正器を上記平面状空間内で移動
させながら繰り返し行い、検出された実座標と画面的座
標に換算する変換テーブルを作成して測定に供するよう
にしている。
また、校正器としては各校正点が線分の交点によって形
成されているものを用いている。
〈作用〉 校正器をスリット光が照射される平面状空間内で移動さ
せながら撮像することにより、この空間内の実際の位置
、すなわち実座標が、カメラで撮像した場合に得られる
撮像画面内の位置、すなわち画面的座標のどこにそれぞ
れ対応するかが検出できる。従って、検出された実座標
と画面的座標との対応関係のデータから、画面的座標を
実座標に換算する変換テーブルを作成することによりカ
メラの校正がなされたことになり、これを用いて測定す
れば歪のある撮像画面からでも実際の位置を正確に知る
ことができる。
〈実施例〉 次に図示の一実施例について説明する。第1図は校正手
順の要領を説明した図、第2図は校正器の形状の一例を
示す図、第3図は撮像画面の一例を示す図、第4図は校
正点演算の説明図である。
図において、1はスリットレーザ光源、2はCCDカメ
ラ、3は校正器、4は測定台であり、X、Y及びZは被
測定物(図示せず)の移動方向、これに直交する水平方
向及びこれらに垂直な上下方向の直交座標軸をそれぞれ
示している。
スリットレーザ光源1は測定台4のX軸の原点の真上に
配置されたものであって、周知のように内部に例えばロ
ッドレンズ等が組み込まれており、極めて薄く、しかも
Z−Y軸で構成される平面に平行な空間に沿って扇状に
広がるスリットレーザ光11を発射できるように構成さ
れている。
CCDカメラ2は撮像画面を例えばテレビジョンと同様
なビデオ画像に変換して出力するものであり、スリット
レーザ光源lに対して所定の位置関係を保ち、スリット
レーザ光11で照射される平面状空間が撮影視野に入る
ように配置されている。なお、カメラは測定精度向上と
測定範囲拡大のために光源を中心として複数台設けられ
るのが普通であり、この実施例ではCCDカメラ2が光
源1を挾んで2台設けられている。
校正器3は上縁が鋸言状となった薄い板状のもので、複
数個の線分が折れ曲がって連なった山及び谷の各交点が
校正点31となっており、測定台4上にY軸に沿ってス
リットレーザ光源1の真下に配置される。校正器3の形
状は既知であるから、各校正点31のZ−Y座椰におけ
る位置も既知である。
なお、図示の校正器3の形状は一例であり、実座標(こ
こではZ−Y座IK)上の位置が既知である校正点が複
数個備えられていればよい。また、中央の平らな部分3
2は、これを撮影した場合に得られる撮像画面内で各校
正点31が何番目のものであるかを容易に確定できるよ
うにするための基準用として設けられたものであ番ハこ
れは他の手段に置き換えることもできる。
校正作業は、上述のような校正器3をCCDカメラ2で
撮像し、この測定装置に備えられているコンピュータで
データを処理することによって行われる。
測定台4上に配置された校正器3の上縁にはスリットレ
ーザ光11が当たっており、これをCCDカメラ2で撮
像すると第3図のようなビデオ画像3′が得られる。そ
こで、この画面内座標をU−V座標とすると、その時の
各校正点31のZ−Y座標とビデオ画像3′の各校正点
31’のU−■座標との対応関係は次のような手順で検
出することができる。
すなわち、CCDカメラ2の映像を画像処理した場合、
各線分は点の集まりとなって第4図のように線分Aは点
の連続として表示され、それぞれの点の位置はビデオ画
像3′の信号から特定できるから、まずそのU−V座標
を算出し、次に最/JX二乗法によって各点の座標から
線分Aの方程式を導き出す。同様に線分Bの方程式を導
き、それぞれの方程式から交点ABのU−V座標を求め
、この演算を一つのビデオ画像3′の全部の交点につい
て行う。校正器3の各校正点31のZ−Y座標は校正器
3の形状と測定台4上における位置から判明しており、
その位置データを適宜入力することにより、ビデオ画像
3′中のすべての校正点31′の各U−■座標を簡単に
実際の座標、すなわちZ−Y座標に置き換えることがで
きる。
ここで、画面内座標はビデオ画像3′が走査線を横切る
状態となるようにU軸を走査線の方向に一致させである
。従って、各点の座標計算を走査線上の位置に対応させ
て行うことができてプログラムが簡単となり、処理をリ
アルタイムで行うことが容易となる利点があるが、原理
的にはV軸を走査線の方向に一致させても問題はなく、
校正に不都合はない。
以上は校正器3の一つの位置における測定であり、図示
しない移動機構で校正器3を少しずつZ軸に沿って上方
に移動させながらこの手順を繰り返し行う。これにより
、スリットレーザ光11で照射される平面状空間内のZ
−Y座標とCCDカメラ2で撮像した画像のし一■座標
との対応関係が検出でき、Z−Y座標をアドレスにした
U−V座標のテーブルが作成されるので、これを基にし
て逆にU−V座標をアドレスにしたZ−Y座標のテーブ
ル、すなわちU−V座標からZ−Y座標を求める変換テ
ーブルを作成し、コンピュータの記憶装置に適宜記憶さ
せておくのである。
この校正測定作業は、想定される被測定物の大きさに対
応した測定対象域の全範囲について2台のカメラ2につ
いてそれぞれ行う。こうして得られた変換テーブルを被
測定物の形状を測定する際に用いることにより、各カメ
ラ2のレンズの収差による誤差や個体差による歪の影響
は除去され、しかも画面内のU−V座標から直ちに被測
定物表面の測定点のZ−Y座標をリアルタイムで求める
ことが可能となる。
なお、変換テーブルの中間値は補間法を適用して求める
ことができ、その精度は校正測定作業に際して校正器3
を少しずつ移動させる距離で決まるので、要求される精
度に応じて移動距離を選定すればよい。また、校正器3
上に形成できる校正点31の数には限度があるので、Y
軸方向の測定精度を向上させるためには校正器3を実線
矢印のように上下に移動させるだけでなく、@線矢印の
ようにY軸方向にも移動させて校正測定を行えばよく、
これで実質的な校正点31の数が増加して精度を向上す
ることができる。
〈発明の効果〉 上述の実施例から明らかなように、この発明の方法は、
実座標上の位置が既知である校正点を複数個備えた校正
器を用い、これをカメラで撮像して各校正点の撮像画面
における画面内座標を検出するという手順を、校正器を
測定対象域の空間内で移動させながら繰り返し行い、検
出された実座標と画面内座標との対応関係のデータから
、画面内座標を実座標に換算する変換テーブルを作成し
て測定に供するようにしたものである。
従って、レンズの収差に起因する歪の影響が除去されて
、歪のある撮像画面からでも本来の測定対象空間におけ
る実際の位置を正確に知ることが可能となり、高価なレ
ンズでもなくせない収差の問題を簡単に解決して測定精
度を大幅に向上することができる。
また、各校正点が線分の交点によって形成されている校
正器を用いるものでは、校正器の形状が単純なため製作
が容易であると共に、校正測定時のデータ処理を簡単に
行うことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の校正手順の要領を説明した図、第2
図は校正器の形状の一例を示す図、第3図は撮像画面の
一例を示す図、第4図は校正点演算の説明図である。 1・・・スリットレーザ光源、2・・・CCDカメラ、
3・・・校正器、3′・・・ビデオ画像、11・・・ス
リットレーザ光、31.31’・・・校正点。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)被測定物にスリット光を照射し、被測定物の表面
    に生ずる光切断線の形状をスリット光の光源に対して一
    定の位置に配置されたカメラで撮像して被測定物の三次
    元形状を測定する三次元形状測定装置において、 スリット光が照射される平面状空間における実座標上の
    位置が既知である校正点を複数個備えた校正器を用い、
    これをカメラで撮像して各校正点の撮像画面における画
    面内座標を検出する手順を、校正器を上記平面状空間内
    で移動させながら繰り返し行い、検出された実座標と画
    面内座標との対応関係のデータから、画面内座標を実座
    標に換算する変換テーブルを作成して測定に供すること
    を特徴とする三次元形状測定装置の校正方法。
  2. (2)各校正点が線分の交点によって形成されている校
    正器を用いる請求項1記載の三次元形状測定装置の校正
    方法。
JP2299468A 1990-11-05 1990-11-05 三次元形状測定装置の校正方法 Expired - Lifetime JP2623367B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2299468A JP2623367B2 (ja) 1990-11-05 1990-11-05 三次元形状測定装置の校正方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2299468A JP2623367B2 (ja) 1990-11-05 1990-11-05 三次元形状測定装置の校正方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04172213A true JPH04172213A (ja) 1992-06-19
JP2623367B2 JP2623367B2 (ja) 1997-06-25

Family

ID=17872964

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2299468A Expired - Lifetime JP2623367B2 (ja) 1990-11-05 1990-11-05 三次元形状測定装置の校正方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2623367B2 (ja)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2399165A (en) * 2003-03-06 2004-09-08 Aea Technology Plc Calibration of an optical profile scanner
WO2005017450A1 (en) * 2003-08-11 2005-02-24 Multi-Dimension Technology, Llc Calibration block and calibration system for 3d scanner
JP2008533451A (ja) * 2005-03-11 2008-08-21 クリアフォーム インク. 3次元スキャンの自動参照システム及び装置
JP2008224370A (ja) * 2007-03-12 2008-09-25 Mitsubishi Electric Corp 3次元形状計測装置のキャリブレーション方法および3次元形状計測方法
JP2009276150A (ja) * 2008-05-13 2009-11-26 Ihi Corp レーザレーダ及びレーザレーダの据付方向調整方法
JP2010276554A (ja) * 2009-05-29 2010-12-09 Bridgestone Corp 形状測定装置の精度判別方法、精度判別装置及び精度判別基準治具
JP2011247759A (ja) * 2010-05-27 2011-12-08 Seiko Epson Corp 三次元形状計測装置、キャリブレーション方法、およびロボット
US8082120B2 (en) 2005-03-11 2011-12-20 Creaform Inc. Hand-held self-referenced apparatus for three-dimensional scanning
US8284240B2 (en) 2008-08-06 2012-10-09 Creaform Inc. System for adaptive three-dimensional scanning of surface characteristics
CN102944188A (zh) * 2012-10-18 2013-02-27 北京航空航天大学 一种点扫描三维形貌测量系统标定方法
JP2014020919A (ja) * 2012-07-18 2014-02-03 Toshiba Corp 三次元測定装置の校正装置及び校正方法
EP3798570A1 (de) * 2019-09-27 2021-03-31 Stemmer Imaging AG Verfahren zur kalibrierung eines optischen messsystems, optisches messsystem und kalibrierobjekt für ein optisches messsystem

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6230904A (ja) * 1985-08-01 1987-02-09 Hitachi Ltd 物体の位置姿勢検出方式
JPS63108207A (ja) * 1986-10-25 1988-05-13 Sumitomo Rubber Ind Ltd 断面形状の測定方法および装置
JPS6478108A (en) * 1987-09-19 1989-03-23 Toyota Central Res & Dev Three-dimensional coordinate measuring instrument
JPH01233308A (ja) * 1988-03-14 1989-09-19 Yokogawa Electric Corp 光ディスク検査装置
JPH02223810A (ja) * 1989-02-25 1990-09-06 Yunisun:Kk 光切断法による三次元形状測定装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6230904A (ja) * 1985-08-01 1987-02-09 Hitachi Ltd 物体の位置姿勢検出方式
JPS63108207A (ja) * 1986-10-25 1988-05-13 Sumitomo Rubber Ind Ltd 断面形状の測定方法および装置
JPS6478108A (en) * 1987-09-19 1989-03-23 Toyota Central Res & Dev Three-dimensional coordinate measuring instrument
JPH01233308A (ja) * 1988-03-14 1989-09-19 Yokogawa Electric Corp 光ディスク検査装置
JPH02223810A (ja) * 1989-02-25 1990-09-06 Yunisun:Kk 光切断法による三次元形状測定装置

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2399165A (en) * 2003-03-06 2004-09-08 Aea Technology Plc Calibration of an optical profile scanner
GB2399165B (en) * 2003-03-06 2006-01-11 Aea Technology Plc Calibration of optical profile scanner
WO2005017450A1 (en) * 2003-08-11 2005-02-24 Multi-Dimension Technology, Llc Calibration block and calibration system for 3d scanner
US8140295B2 (en) 2005-03-11 2012-03-20 Creaform Inc. Auto-referenced sensing device for three-dimensional scanning
US8082120B2 (en) 2005-03-11 2011-12-20 Creaform Inc. Hand-held self-referenced apparatus for three-dimensional scanning
JP2008533451A (ja) * 2005-03-11 2008-08-21 クリアフォーム インク. 3次元スキャンの自動参照システム及び装置
JP4871352B2 (ja) * 2005-03-11 2012-02-08 クリアフォーム インク. 3次元スキャンの自動参照システム及び装置
US7912673B2 (en) 2005-03-11 2011-03-22 Creaform Inc. Auto-referenced system and apparatus for three-dimensional scanning
US8032327B2 (en) 2005-03-11 2011-10-04 Creaform Inc. Auto-referenced sensing method for three-dimensional scanning
JP2008224370A (ja) * 2007-03-12 2008-09-25 Mitsubishi Electric Corp 3次元形状計測装置のキャリブレーション方法および3次元形状計測方法
JP2009276150A (ja) * 2008-05-13 2009-11-26 Ihi Corp レーザレーダ及びレーザレーダの据付方向調整方法
US8284240B2 (en) 2008-08-06 2012-10-09 Creaform Inc. System for adaptive three-dimensional scanning of surface characteristics
JP2010276554A (ja) * 2009-05-29 2010-12-09 Bridgestone Corp 形状測定装置の精度判別方法、精度判別装置及び精度判別基準治具
JP2011247759A (ja) * 2010-05-27 2011-12-08 Seiko Epson Corp 三次元形状計測装置、キャリブレーション方法、およびロボット
JP2014020919A (ja) * 2012-07-18 2014-02-03 Toshiba Corp 三次元測定装置の校正装置及び校正方法
CN102944188A (zh) * 2012-10-18 2013-02-27 北京航空航天大学 一种点扫描三维形貌测量系统标定方法
EP3798570A1 (de) * 2019-09-27 2021-03-31 Stemmer Imaging AG Verfahren zur kalibrierung eines optischen messsystems, optisches messsystem und kalibrierobjekt für ein optisches messsystem

Also Published As

Publication number Publication date
JP2623367B2 (ja) 1997-06-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8300986B2 (en) Image measurement apparatus for creating a panoramic image
JP5997989B2 (ja) 画像測定装置、その制御方法及び画像測定装置用のプログラム
US11189012B2 (en) Arrangement having a coordinate measuring machine or microscope
US11562478B2 (en) Method and system for testing field of view
CN105953741B (zh) 一种钢结构局部几何变形的测量系统和方法
JPH05504842A (ja) 物体を光電的に測定する方法および装置
JPH04172213A (ja) 三次元形状測定装置の校正方法
JPH1038533A (ja) タイヤの形状測定装置とその方法
JP2005003463A (ja) キャリブレーションチャート画像表示装置、キャリブレーション装置、キャリブレーション方法
JP3435019B2 (ja) レンズ特性測定装置及びレンズ特性測定方法
Li et al. Triangulation-based edge measurement using polyview optics
JP2000205821A (ja) 三次元形状計測装置及びその三次元形状計測方法
JP2007033040A (ja) 光切断法による3次元形状計測装置における光学ヘッド部のキャリブレーション方法及び装置
CN109813531A (zh) 光学系统的调试装置及其调试方法
KR101833245B1 (ko) 위상측정 광선편향법을 이용한 표면 검사 장치의 교정 방법 및 시스템
CN108286960A (zh) 聚焦式光管阵列装置以及摄影检测方法
JP4651550B2 (ja) 三次元座標計測装置および方法
JP3228458B2 (ja) 光学的3次元計測装置
JP3652014B2 (ja) 距離計測装置
JP2002005622A (ja) 複数個の光切断式センサを備えた光学式形状計測装置における配置パラメータの検出方法
US20220398778A1 (en) Lens calibration method for digital imaging apparatus
JP3730322B2 (ja) 形状測定装置及びそれに使用する画像入力装置
JP2005017288A (ja) ズームレンズのキャリブレーション装置及びキャリブレーション方法、撮影装置
JP4003274B2 (ja) 距離測定装置
JP2003148912A (ja) 光学式寸法測定方法