JPH01233308A - 光ディスク検査装置 - Google Patents
光ディスク検査装置Info
- Publication number
- JPH01233308A JPH01233308A JP5995888A JP5995888A JPH01233308A JP H01233308 A JPH01233308 A JP H01233308A JP 5995888 A JP5995888 A JP 5995888A JP 5995888 A JP5995888 A JP 5995888A JP H01233308 A JPH01233308 A JP H01233308A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spindle
- spindle motor
- optical disk
- measured
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 46
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 19
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 14
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光ディスクの振れや反りなど、光ディスクの
特性を測定する光ディスク検査装置に関するものである
。
特性を測定する光ディスク検査装置に関するものである
。
さらに詳しくは、クランプタイプの異なる光ディスクを
測定するために、ディスククランプ機構を含むスピンド
ルモータ部を逐次交換するようにした光ディスク検査装
置に関するものである。
測定するために、ディスククランプ機構を含むスピンド
ルモータ部を逐次交換するようにした光ディスク検査装
置に関するものである。
光ディスクには、クランプ部にハブを有するものやそう
でないもの、あるいはハブの形状が異なるものなど、数
種類のクランプタイプのものが実用化されている。
でないもの、あるいはハブの形状が異なるものなど、数
種類のクランプタイプのものが実用化されている。
このため、これらの光ディスクの特性を測定するために
は、ディスククランプ機構を測定しようとする光ディス
クにあったものに変更(交換)する必要がある0通常、
ディスククランプn横の交換は、スピンドルモータへの
着脱および取付状態の調整などが難しいので、ディスク
クランプn横を取り付けた状態でスピンドルモータごと
交換する方法がとられている。
は、ディスククランプ機構を測定しようとする光ディス
クにあったものに変更(交換)する必要がある0通常、
ディスククランプn横の交換は、スピンドルモータへの
着脱および取付状態の調整などが難しいので、ディスク
クランプn横を取り付けた状態でスピンドルモータごと
交換する方法がとられている。
しかしながら、光ディスク検査装置は高い測定精度が要
求されるものであるので、スピンドルモータを交換した
場合には、その都度軸の傾きなどを測定して、取付状態
に応じた校正データを取り、校正テーブルを作りなおさ
なければならない、このような校正データの収集には多
くの時間が必要となり、作業効率が良くない、このため
、スピンドルモータの交換はメーカ側の手によって行な
われることが多く、ユーザ側で手軽にスピンドルモータ
を交換することはできなかった。
求されるものであるので、スピンドルモータを交換した
場合には、その都度軸の傾きなどを測定して、取付状態
に応じた校正データを取り、校正テーブルを作りなおさ
なければならない、このような校正データの収集には多
くの時間が必要となり、作業効率が良くない、このため
、スピンドルモータの交換はメーカ側の手によって行な
われることが多く、ユーザ側で手軽にスピンドルモータ
を交換することはできなかった。
本発明は、上記のような従来装置の欠点をなくし、スピ
ンドルモータ交換時における校まデータの収集を短時間
で行ない、常に高い測定精度を維持することのできる光
ディスク検査装置を簡単な構成により実現することを目
的としたものである。
ンドルモータ交換時における校まデータの収集を短時間
で行ない、常に高い測定精度を維持することのできる光
ディスク検査装置を簡単な構成により実現することを目
的としたものである。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の光ディスク検査装置は、光ディスクのクランプ
タイプに合わせてそれぞれに専用のディスククランプ機
構が取り付けられた複数のスピンドルモータを有しこれ
らのスピンドルモータを逐次交換して使用するようにし
た光ディスク検査装置において、各スピンドルモータに
ついて正常な取付状態を示す基準取付位置データおよび
この取付状態における校正テーブルを予め記憶しておく
とともに、スピンドルモータの交換時にその取付状態を
測定しこれをそのスピンドルモータに対応した前記基準
取付位置データと比較して所定の許容範囲に入っている
か否かを判別するチェック機能を有し、この判別結果に
応じてそのスピンドルモータに対応した前記校正テーブ
ルを使用して測定動作を行うようにしたものである。
タイプに合わせてそれぞれに専用のディスククランプ機
構が取り付けられた複数のスピンドルモータを有しこれ
らのスピンドルモータを逐次交換して使用するようにし
た光ディスク検査装置において、各スピンドルモータに
ついて正常な取付状態を示す基準取付位置データおよび
この取付状態における校正テーブルを予め記憶しておく
とともに、スピンドルモータの交換時にその取付状態を
測定しこれをそのスピンドルモータに対応した前記基準
取付位置データと比較して所定の許容範囲に入っている
か否かを判別するチェック機能を有し、この判別結果に
応じてそのスピンドルモータに対応した前記校正テーブ
ルを使用して測定動作を行うようにしたものである。
このように、複数のスピンドルモータのそれぞれに対し
て、予め正常な取付状態における基準取付位置データと
校正テーブルとを記憶しておき、スピンドルモータ交換
時に、その取付位置を基準データと比較して、所定の許
容範囲に入っているか否かを判別すると、すでに作っで
ある校正テーブルをそのまま利用することができ、短時
間で校正データを得ることができるとともに、高い測定
精度を維持することができる。
て、予め正常な取付状態における基準取付位置データと
校正テーブルとを記憶しておき、スピンドルモータ交換
時に、その取付位置を基準データと比較して、所定の許
容範囲に入っているか否かを判別すると、すでに作っで
ある校正テーブルをそのまま利用することができ、短時
間で校正データを得ることができるとともに、高い測定
精度を維持することができる。
以下、図面を使用して本発明の光ディスク検査装置を説
明する。
明する。
第1図は本発明の光ディスク検査装置におけるチェック
動作の−★施層側示ずフロー図である。
動作の−★施層側示ずフロー図である。
チェック動作はスピンドルモータが交換された際、測定
動作に入る前に行なわれるものである。
動作に入る前に行なわれるものである。
ここで、光ディスク検査装置においては、その校正時に
、光ディスクの各クランプタイプに応じた複数のスピン
ドルモータを順次検査装置本体に取り付け、各スピンド
ルモータごとに校正テーブルを作るとともに、これをス
ピンドルモータの種類(例えば、スピンドルNo)に対
応させてメモリに記憶しておく、また、このときのスピ
ンドルモータの取付状態を、例えば、スピンドルの位置
(光ヘッドとの相対位置)、高さ、傾きといった項目で
測定し、これを基準取付位置データとして、前記した校
正テーブルとともにスピンドルNoに対応させてメモリ
に記憶しておく。
、光ディスクの各クランプタイプに応じた複数のスピン
ドルモータを順次検査装置本体に取り付け、各スピンド
ルモータごとに校正テーブルを作るとともに、これをス
ピンドルモータの種類(例えば、スピンドルNo)に対
応させてメモリに記憶しておく、また、このときのスピ
ンドルモータの取付状態を、例えば、スピンドルの位置
(光ヘッドとの相対位置)、高さ、傾きといった項目で
測定し、これを基準取付位置データとして、前記した校
正テーブルとともにスピンドルNoに対応させてメモリ
に記憶しておく。
さて、スピンドルモータ交換時のチェック動作において
は、図中に示すような■〜■の5つのステップでチェッ
クが進められる。まず、■のステップでは、自動または
オペレータの入力操作により、取り付けられたスピンド
ルモータのil!i(スピンドルNo)を読み取る。
は、図中に示すような■〜■の5つのステップでチェッ
クが進められる。まず、■のステップでは、自動または
オペレータの入力操作により、取り付けられたスピンド
ルモータのil!i(スピンドルNo)を読み取る。
■のステップでは、そのスピンドルモータの取付状態を
測定する。
測定する。
■のステップでは、■のステップで読み取ったスピンド
ルNOに応じて、メモリから対応する基準取付位置デー
タを読み出す。
ルNOに応じて、メモリから対応する基準取付位置デー
タを読み出す。
■のステップでは、■のステップで測定した取付状態を
この基準取付位置データと比較して、これが基準データ
に対して所定の許容範囲に入っているか否かを判別する
。
この基準取付位置データと比較して、これが基準データ
に対して所定の許容範囲に入っているか否かを判別する
。
■のステップでは、この判別結果に応じて“aOO口”
、 ”No GOOD”を表示する。
、 ”No GOOD”を表示する。
“Gooo“の場合には、そのまま測定を開始すること
ができ、測定値の補正にはスピンドルNoに対応した校
正テーブルが使用される。
ができ、測定値の補正にはスピンドルNoに対応した校
正テーブルが使用される。
また、’No GOOD″の場合には、スピンドルモ
ータの位置決めが不適当であったり、ネジの締め忘れに
より軸が傾いていることなどが考えられるので、スピン
ドルモータの取付けをやり直し、再度チェック動作を行
なう0通常は取付けを正確にやり直せば、“Gooo”
の状態になるが、どうしても許容範囲に入らないときに
は、その取付状態を新たな基準として、校正データを収
り直し、校正テーブルを作り直す、また、このとき、基
準取付位置データも更新される。
ータの位置決めが不適当であったり、ネジの締め忘れに
より軸が傾いていることなどが考えられるので、スピン
ドルモータの取付けをやり直し、再度チェック動作を行
なう0通常は取付けを正確にやり直せば、“Gooo”
の状態になるが、どうしても許容範囲に入らないときに
は、その取付状態を新たな基準として、校正データを収
り直し、校正テーブルを作り直す、また、このとき、基
準取付位置データも更新される。
このように、複数のスピンドルモータに対してそれぞれ
の基準取付位置データを記憶しておき、スピンドルモー
タの交換時に、測定した取付位置をその基準データと比
較して、所定の許容範囲に入っているか否かを判別する
と、スピンドルモータが正確に取り付けられているか否
かを容易に判別することができるとともに、スピンドル
モータを交換した後も、校正時に作成した校正テーブル
を利用することができ、校正動作をやり直すことなく、
高い測定精度を維持することができる。
の基準取付位置データを記憶しておき、スピンドルモー
タの交換時に、測定した取付位置をその基準データと比
較して、所定の許容範囲に入っているか否かを判別する
と、スピンドルモータが正確に取り付けられているか否
かを容易に判別することができるとともに、スピンドル
モータを交換した後も、校正時に作成した校正テーブル
を利用することができ、校正動作をやり直すことなく、
高い測定精度を維持することができる。
次に、スピンドルモータにおける取付状態の測定項目に
ついて説明する。
ついて説明する。
第2図はスピンドルの位置を測定する測定手段の一例を
示す構成図である0図において、1は光ディスク、2は
光ディスク1を支持するディスククランプ機構、3は光
ディスク1を回転させるスピンドルモータ、41は光デ
ィスク1の記録mi 4こレーザ光を照射する集光レン
ズ、4はフォーカスサーボおよびトラッキングサーボを
有し、レーザ光の照射位置(焦点位置)を制御するとと
もに、集光レンズ41の変位量など、各種の測定に利用
する信号を出力する光ヘッド、5は光ヘッド4を光ディ
スク1の半径方向に移動させる送りRW4である。
示す構成図である0図において、1は光ディスク、2は
光ディスク1を支持するディスククランプ機構、3は光
ディスク1を回転させるスピンドルモータ、41は光デ
ィスク1の記録mi 4こレーザ光を照射する集光レン
ズ、4はフォーカスサーボおよびトラッキングサーボを
有し、レーザ光の照射位置(焦点位置)を制御するとと
もに、集光レンズ41の変位量など、各種の測定に利用
する信号を出力する光ヘッド、5は光ヘッド4を光ディ
スク1の半径方向に移動させる送りRW4である。
この場合、光ディスク1には一定の半径値iLSに信号
を書き込んでおき、この信号を読み出したときの光ヘッ
ド4の位’II L Mからスピンドルの取付位置を算
出する。すなわち、光ヘッド4の位・置LMから算出し
た値が信号の書込位置L sと等しくなることが理想で
ある。なお、光ヘッド4の位置1、Hは送り機構5によ
る送り量とトラッキングサーボによる集光レンズ41の
変位量とから求められるもので、光ディスク1の1回転
における平均値である。
を書き込んでおき、この信号を読み出したときの光ヘッ
ド4の位’II L Mからスピンドルの取付位置を算
出する。すなわち、光ヘッド4の位・置LMから算出し
た値が信号の書込位置L sと等しくなることが理想で
ある。なお、光ヘッド4の位置1、Hは送り機構5によ
る送り量とトラッキングサーボによる集光レンズ41の
変位量とから求められるもので、光ディスク1の1回転
における平均値である。
第3図はスピンドルの高さを測定する場合を示したもの
である。11は振れおよび反りが既知のガラス板である
。ここでは、ガラス板11の表面にフォーカスサーボを
かけ、任意の半径(φ120II、φ190n+i )
における振れのデータからスピンドル(カラス板11)
の高さを算出する。
である。11は振れおよび反りが既知のガラス板である
。ここでは、ガラス板11の表面にフォーカスサーボを
かけ、任意の半径(φ120II、φ190n+i )
における振れのデータからスピンドル(カラス板11)
の高さを算出する。
また、スピンドルの傾きについては、上記の振れのデー
タより2点間の反りを求め、傾きを算出する。
タより2点間の反りを求め、傾きを算出する。
なお、上記の説明においては、チェック動作のお1定項
目として、スピンドルの位置、高さ、傾きを測定する場
合を例示したが、これは光ディスクにおける振れや反り
などの機械特性を測定する検査装置を想定したものであ
り、検査装置が光ディスクにおける傷の有無や反射率な
どの記録特性を測定するものであれば、測定項目はスピ
ンドルの位置のみで充分である。
目として、スピンドルの位置、高さ、傾きを測定する場
合を例示したが、これは光ディスクにおける振れや反り
などの機械特性を測定する検査装置を想定したものであ
り、検査装置が光ディスクにおける傷の有無や反射率な
どの記録特性を測定するものであれば、測定項目はスピ
ンドルの位置のみで充分である。
以上説明したように、本発明の光ディスク検査装置では
、光ディスクのクランプタイプに合わせてそれぞれに専
用のディスククランプa横が取り付けられた複数のスピ
ンドルモータを有しこれらのスピンドルモータを逐次交
換して曲用するようにした光ディスク検査装置において
、各スピンドルモータについて正常な取付状態を示す基
準取付位置データおよびこの取付状態における校正テー
ブルを予め記憶しておくとともに、スピンドルモータの
交換時にその取付状態を測定しこれをそのスピンドルモ
ータに対応した前記基準取付位置データと比較して所定
の許容範囲に入っているか否かを判別するチェック動作
を有し、この判別結果に応じてそのスピンドルモータに
対応した前記校正テーブルを使用して測定動作を行うよ
うにしているので、チェック動作の結果に応じて、すで
に作っである校正テーブルをそのまま利用することがで
き、短時間で校正データを得ることができるとともに、
高い測定精度を維持することができる光ディスク検査装
置を簡単な構成により実現することができる。
、光ディスクのクランプタイプに合わせてそれぞれに専
用のディスククランプa横が取り付けられた複数のスピ
ンドルモータを有しこれらのスピンドルモータを逐次交
換して曲用するようにした光ディスク検査装置において
、各スピンドルモータについて正常な取付状態を示す基
準取付位置データおよびこの取付状態における校正テー
ブルを予め記憶しておくとともに、スピンドルモータの
交換時にその取付状態を測定しこれをそのスピンドルモ
ータに対応した前記基準取付位置データと比較して所定
の許容範囲に入っているか否かを判別するチェック動作
を有し、この判別結果に応じてそのスピンドルモータに
対応した前記校正テーブルを使用して測定動作を行うよ
うにしているので、チェック動作の結果に応じて、すで
に作っである校正テーブルをそのまま利用することがで
き、短時間で校正データを得ることができるとともに、
高い測定精度を維持することができる光ディスク検査装
置を簡単な構成により実現することができる。
第1図は本発明の光ディスク検査装置におけるチェック
動作の一実施例を示すフロー図、第2図および第3図は
チェック動作中の測定項目における測定手段の一例を示
す構成図である。 1・・・・・・光ディスク、11・・・・・・ガラス板
、2・・・・・・ディスククランプaim、3・・・・
・・スピンドルモータ、4・・・・・・光ヘッド、41
・・・・・・集光レンズ、5・・・・・・送りm構。 第1図
動作の一実施例を示すフロー図、第2図および第3図は
チェック動作中の測定項目における測定手段の一例を示
す構成図である。 1・・・・・・光ディスク、11・・・・・・ガラス板
、2・・・・・・ディスククランプaim、3・・・・
・・スピンドルモータ、4・・・・・・光ヘッド、41
・・・・・・集光レンズ、5・・・・・・送りm構。 第1図
Claims (1)
- 光ディスクのクランプタイプに合わせてそれぞれに専用
のディスククランプ機構が取り付けられた複数のスピン
ドルモータを有しこれらのスピンドルモータを逐次交換
して使用するようにした光ディスク検査装置において、
各スピンドルモータについて正常な取付状態を示す基準
取付位置データおよびこの取付状態における校正テーブ
ルを予め記憶しておくとともに、スピンドルモータの交
換時にその取付状態を測定しこれをそのスピンドルモー
タに対応した前記基準取付位置データと比較して所定の
許容範囲に入っているか否かを判別するチェック機能を
有し、この判別結果に応じてそのスピンドルモータに対
応した前記校正テーブルを使用して測定動作を行うよう
にしてなる光ディスク検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5995888A JPH01233308A (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 | 光ディスク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5995888A JPH01233308A (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 | 光ディスク検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01233308A true JPH01233308A (ja) | 1989-09-19 |
Family
ID=13128173
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5995888A Pending JPH01233308A (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 | 光ディスク検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01233308A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04172213A (ja) * | 1990-11-05 | 1992-06-19 | Yunisun:Kk | 三次元形状測定装置の校正方法 |
JP2014199198A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 磁気メディアの光学式検査装置及び光学式検査方法 |
-
1988
- 1988-03-14 JP JP5995888A patent/JPH01233308A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04172213A (ja) * | 1990-11-05 | 1992-06-19 | Yunisun:Kk | 三次元形状測定装置の校正方法 |
JP2014199198A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 磁気メディアの光学式検査装置及び光学式検査方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS6367549A (ja) | 光ディスク用レジスト原盤の欠陥検査及び膜厚測定装置 | |
US6792614B1 (en) | Optical disk apparatus and method of installing its spindle motor | |
EP1839298B1 (en) | Focus calibration in an optical drive | |
JP2635608B2 (ja) | 光学的情報記憶媒体検査装置 | |
US5425013A (en) | Relative position sensing calibration for optical storage device | |
JPH01233308A (ja) | 光ディスク検査装置 | |
CN100385528C (zh) | 使用多维执行机构进行倾角校正的方法和设备 | |
JP3988859B2 (ja) | 光ディスク検査装置 | |
TWI238409B (en) | Combined optical sensing assembly and disc testing devices developed thereby | |
US20050002289A1 (en) | Optical pickup moving unit, optical disk apparatus, and method of manufacturing optical disk apparatus | |
JPH0580983B2 (ja) | ||
EP1629469B1 (en) | Disc drive apparatus, and tilt compensation method | |
US7180836B2 (en) | Apparatus and method for automatically adjusting tilting of an optical disc drive | |
JPH0251009A (ja) | 面振れ量、反り角測定装置 | |
US6342707B1 (en) | Laser scatterometer with adjustable beam block | |
JPH02158927A (ja) | 光デッキ対物レンズ | |
KR100718434B1 (ko) | 광디스크 장치의 턴테이블 높이 편차 측정 시스템 및 그방법 | |
KR100227748B1 (ko) | 광 픽업장치의 픽업베이스 측정장치 | |
JP4074767B2 (ja) | 光ディスク装置の検査方法 | |
US20030202433A1 (en) | Method of compensating for variations in track pitches of optical discs | |
JPS63265147A (ja) | デイスクの表面検査方式 | |
JPH10255297A (ja) | 光ディスク装置 | |
JPH04238120A (ja) | 焦点位置制御装置 | |
JPS61280042A (ja) | デイスク偏芯量測定装置 | |
Huang et al. | Novel method for disk run-out testing |