JP3652014B2 - 距離計測装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体ウェハーのパターンの厚み等を測定する際に使用する距離計測装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の距離計測装置として、以下に述べる第1の例と、第2の例と、第3の例が一般に知られている。
第1の例は、X,Y,Zの3軸方向のいずれにも独立に移動できるステージとそれぞれの軸に位置を読み取るためのスケールを備えた顕微鏡を用いるものである。このような構成のものにおいて、測定したい測定点が2点ある場合、一方の測定点にピントを合わせ、その時点でのX,Y,Zの位置をスケールから読み取り記憶する。さらに他方の測定点にピントを合わせ、その時点での位置を記憶する。この記憶内容に基づき、3次元の距離を算出できるように構成したものである。
【0003】
第2の例は、前述の第1の例に合焦位置を明確にするために、光学的にZ方向、つまり、光軸方向に特開平4−25711号公報で示す光学式変位計を装備させたものである。
【0004】
この公知の光学式変位計は、光源と、該光源から放射された光を被測定表面に集光させるための対物レンズと、被測定表面による反射光を結像するための結像レンズと、前記反射光を分割するためのビームスプリッタと、該ビームスプリッタにより分割された各反射光の合焦位置よりも前及び後にそれぞれ配置された、複数の絞りと、各絞りを通過した反射光の光量をそれぞれ検出するための、複数の受光素子とを備え、各受光素子の出力の差に基づいて被測定表面の変位信号を得るものである。
【0005】
第3の例は、図9に示すようにレーザ光源31、光検出器32、1次元走査機構33、反射鏡34、半射鏡35からなるレーザー走査型顕微鏡本体30と、走査制御ユニット36、Z方向移動制御回路37、画像メモリ38、コンピュータ39、モニタ40から構成されたレーザ走査型顕微鏡を利用し、合焦面の極小領域の光量を検出するために工夫を施したものを用いる例である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述した第1の例では、視野内にある測定点に対してでも、光軸方向の位置が異なれば、各々の測定点でピント合わせが必要となり、手間がかかる。
【0007】
第2の例では、一般的に視野の中心部分でしか、前述のような公知の光学式変位計が動作しないため、測定点が視野内であってもX,Y方向の移動を余儀なくされる。
【0008】
第3の例では、図10のようにレーザー光線などの点光源41や、ピンホール45を使って半射体42、レンズ43を介して合焦面44の極小領域の光量を検出する光量検出器46などの特殊な光学系が必要となると共に、X,Y方向に走査する機構、例えばステージを駆動する機構か、レンズ43の入力側に光路を移動させるための機構を持たなければならず、このような機構を必要とすることから高価となる。
【0009】
本発明では、以上のような課題を除去するためなされたもので、その目的とするところは、既存の光学顕微鏡に何等変更を加えずに標本の距離を測定できる距離計測装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、請求項1に対応する発明は、標本に対する合焦位置を調節可能な焦準機構を有する光学顕微鏡と、
前記焦準機構により合焦位置を変化させながら前記標本の複数の画像を撮影する撮影手段と、
前記撮影手段により撮影した複数の画像を記憶する画像記憶手段と、
前記画像記憶手段により記憶された複数枚の画像を加算し、記憶する画像加算記憶手段と、
前記画像加算記憶手段により加算記憶された画像を読出し2次元の画像の回復処理を行う画像処理手段と、
前記画像処理手段により処理された画像を表示する画像表示手段と、
測定したい位置の画像を前記画像表示手段の画面で指示する座標位置指示手段と、
前記画像記憶手段と、前記画像加算記憶手段と、前記座標位置指示手段の制御・演算を行う中央処理手段と、
前記座標位置指示手段で指示した位置において前記撮影手段によって得られた複数の画像のうち最大コントラスト値を有する画像に対応するステージの位置を求め、それらの差から前記標本の距離を検出する合焦位置検出手段と、
を具備したことを特徴とする距離計測装置である。
【0011】
請求項1に対応する発明によれば、顕微鏡のステージを光軸方向に駆動し、標本画像を加算することで深さ方向に複数の合焦面を持つ画像が得られ、測定点毎にピント調整がいらず、視野内にある複数の測定点を1度に指示、測定できる。さらに、取り込んだ画像を1度に1画面で見ることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
<第1の実施の形態>
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る距離計測装置の構成図である。
【0013】
本実施例の距離計測装置は、概略以下の構成からなっている。すなわち、焦準機構として図示しない標本を載置するステージ3を光軸方向にステージ駆動回路4により移動可能に構成した光学顕微鏡1と、
ステージ1の高さ位置を変える毎に標本の画像を撮影する撮影手段例えばCCDカメラ2と、CCDカメラ2により撮影した画像を記憶する画像記憶手段例えばアナログ信号処理回路7、フレームメモリ8からなるものと、
フレームメモリ8により記憶された複数枚の画像をフレーム単位で加算し、記憶する画像加算記憶手段、例えば画像加算器10、加算メモリ12からなるものと、
加算メモリ12により加算記憶された画像を読出し2次元の画像の回復処理を行う画像処理手段、例えば除算器13、空間フィルタ回路14からなるものと、
フレームメモリ8により記憶された複数枚の画像を圧縮し、1画面分の画像に構成する画像構成手段、例えばフレームメモリ制御回路9と、
空間フィルタ回路14により処理された画像、またはフレームメモリ制御回路9により圧縮された画像の何れか1つの画像を表示する画像表示手段、例えば信号切換器15、画像表示メモリ17、信号切換器19、ビデオ信号処理回路20、テレビモニター5からなるものと、
測定したい位置の画像をテレビモニター5の画面で指示する座標位置指示手段、例えばポインティングデバイス6、ポインティングデバイス制御回路25からなるものと、
フレームメモリ制御回路9と、加算メモリ制御回路11と、ポインティングデバイス制御回路25の制御・演算を行う中央処理手段、例えばCPU22からなるものと、
ポインティングデバイス6で指示した位置のCCDカメラ2によって得られた画像のコントラストの最大値に対応するステージ3の位置を求め、それらの差から標本の距離を検出する合焦位置検出手段、例えばRAM23、CPU22からなるものである。
【0014】
以下、以上の構成について具体的に説明する。撮影手段としてのCCDカメラ2から標本画像を入力し、加工した画像を表示するテレビモニター5が装置本体26に接続される。また、装置本体26にポインティングデバイス6が接続されており、ポインティングデバイス6によってテレビモニター5に表示された画像上の任意の位置の座標を指示できるようになっている。
【0015】
装置本体26は、CCDカメラ2、アナログ信号処理回路7、フレームメモリ8、フレームメモリ制御回路9、画像データ加算器10、加算メモリ制御回路11、加算メモリ12、除算器13、空間フィルタ回路14、信号切換器15、表示メモリ制御回路16、画像表示メモリ17、オーバーレイメモリ18、信号切換器19、ビデオ信号処理回路20、ステージ駆動I/F回路21、CPU22、RAM23、ROM24、ポインティングデバイス制御回路25を備えている。
【0016】
CCDカメラ2の映像出力端子に、CCDカメラ2からの映像アナログ信号をデジタル画像に変換するアナログ信号処理回路7が接続され、アナログ信号処理回路7の出力(デジタル画像データ)は、16画面分の画像を格納できる容量を有するフレームメモリ8に接続されている。フレームメモリ8には、書き込みアドレス及び読み出しアドレスを出力するフレームメモリ制御回路9が接続されている。
【0017】
フレームメモリ8に格納されたデジタル画像データは、画像データ加算器10の一方の入力端子と信号切換器15の一方の入力端子に接続される。画像データ加算器10の他方の入力端子には、加算メモリ12の出力端子が接続されている。
【0018】
画像データ加算器10の出力端子は加算メモリ12の入力端子に接続され、画像データ加算器10内では加算メモリ12の内容とフレームメモリ8から入力された画像の加算演算が行われる。
【0019】
加算メモリ12の出力端子は、除算器13の一方の入力端子に接続され、除算器13の他方の入力端子にはCPU22からの画像加算枚数信号が入力され、除算器13で適切なデータ値に加工される。除算器13の出力端子には、公知の空間フィルタ回路14の入力端子が接続され、空間フィルタ回路14内では、画像の回復処理などが行われる。具体的には、例えば予め求めた積算点像強度分布(ある点についてピントがあっている状態から無限に離した状態での全ての点像強度分布を積算したもの)を逆に変換することにより、画像の回復処理が行われ、加算された複数の画像のそれぞれの合焦面の全体に渡ってピントの合った画像を得ることができる。
【0020】
ここで、図2を参照して空間フィルタ回路14について説明する。空間フィルタ回路14は、3×3から7×7のマトリクスからなり、(図2では3×3のマトリックス)、各行は対応するラインの画素データを順次ラッチするデータラッチ回路51〜53が直列に設けられている。各ラッチ回路51〜53でラッチされた画素データは、それぞれ対応して設けられた乗算部54〜56で所定の係数が乗算される。これらの各乗算部54〜56に設定される係数は、係数レジスタ57〜59に記憶されており、各々対応する係数ラッチ回路61〜63を介して各乗算部54〜56に与えられる。各段の行50,70,90には、対応するラインの画素データが入力され、各データラッチ回路51〜53でラッチされた画素値と、対応する各係数レジスタ57〜59に記憶された係数との積が加算器100に入力される。そして、加算器100は入力された全ての積を加算して、その加算値を空間フィルタ回路14の出力とする。
【0021】
このような空間フィルタ回路14では、係数レジスタの記憶する係数値をマトリクスで変更することで入力する画像に対して、エッジ強調や、平均化、ノイズ除去などを施し、処理後の画像として出力することができる。
【0022】
空間フィルタ回路14の出力端子は信号切換器15の一方の入力端子に接続され、信号切換器15の他方の入力端子にフレームメモリ8の出力端子が接続され、空間フィルタ回路14の出力である加算・フィルタ処理された画像と、フレームメモリ8からの何も加工されない画像のいずれかに切換えることが可能になっている。信号切換器15の出力端子は、画像表示メモリ17の入力端子に接続される。また、画像表示メモリ17には読みだしアドレスと書き込みアドレスを画像表示メモリ17またはオーバーレイメモリ18に出力する表示メモリ制御回路16が接続されている。
【0023】
また、オーバーレイメモリ18の出力端子と画像表示メモリ17の出力端子は、それぞれ信号切換器19の入力端子に接続され、信号切換器19により画像表示メモリ17の出力またはオーバーレイメモリ18の出力のどちらか一方が選択されてビデオ信号処理回路20に送られ、ビデオ信号処理回路20によりビデオ信号に処理され、これがテレビモニター5に出力表示される。
【0024】オーバーレイメモリ18には、ポインティングデバイス6の座標位置を示す矢印などの形状データや現在のステージの座標を表す文字データなどを書き込むことで、測定操作を補助することができる。
【0025】
CPU22は、内部バスを介してフレームメモリ制御回路9、加算メモリ制御回路11、表示メモリ制御回路16に接続されると共に、これらを通してそれぞれフレームメモリ8、加算メモリ12、画像表示メモリ17、オーバーレイメモリ18に接続されている。
【0026】
さらに、CPU22は、画像データ加算器10、除算器13、空間フィルタ回路14、ステージ駆動I/F回路21、RAM23、ROM24とポインティングデバイス制御回路25には、内部バスを介して接続されている。ステージ駆動I/F回路21は顕微鏡1のステージ駆動回路4に接続されている。
【0027】
次に、以上のように構成された第1の実施の形態の動作について説明する。
顕微鏡1に取り付けられたCCDカメラ2により、ステージ3に載置されている標本の画像を取り込み、この標本画像信号は、アナログ信号処理回路7でデジタル信号に変換され、画像データとしてフレームメモリ制御回路9から発生する書き込みアドレス及び読みだしアドレスと共に、フレームメモリ8に順次格納される。
【0028】
画像データ加算器10は、加算メモリ制御回路11により加算メモリ12から読み出された画像データとフレームメモリ8から読み出された画像データを加算する。加算された画像データは、加算メモリ制御回路11により生成された加算メモリ12の書き込みアドレスに格納される。また、加算メモリ12から読み出された画像データは次の除算器13で適切なデータ値に加工され、空間フィルタ回路14へ入力される。空間フィルタ回路14では、7行×7列のマトリックスまでの2次元の画像処理が施され、除算器13の出力画像の回復処理が行われる。
【0029】
空間フィルタ回路14は、前記顕微鏡1の結像光学系の射出の開口数、結像光学系の瞳関数及び結像光学系の波長等で決まる受光素子上で積算点像強度分布の広がりと、CCDカメラ2の受光素子の大きさと相対関係によって空間フィルタ回路14のフィルタ特性を変更させる。空間フィルタ特性を変更させるためには、フィルタ係数またはフィルタサイズの一方または両方を変化させる。
【0030】
信号切換器15から出力された画像データは、画像表示メモリ制御回路16によって生成される書き込みアドレスに従って、画像表示メモリ17に記憶される。
【0031】
フレームメモリ制御回路9でフレームメモリ8から1枚ずつ画像を読み出すとき、画素、ラインを間引くことで縦横方向に画像を圧縮することができる。そして、画像表示メモリ制御回路16によって、画像表示メモリ17の格納アドレスを圧縮された画素数、ライン数分だけにして、図3のように1枚ごとに右方向にずらしていくことで、画像表示メモリ17にフレームメモリ8から取り込んだ16枚の画像を1度に表示することができる。
【0032】
画像表示メモリ制御回路16によって生成された読みだしアドレスで画像表示メモリ17から読み出された画像データと、オーバーレイメモリ18から読み出された補足情報データは、信号切換器19で補足情報データが優先的に選択され、ビデオ信号処理回路20で映像信号に変換され、画像と共にテレビモニター5に表示される。
【0033】
CPU22は、フレームメモリ制御回路9を通して、フレームメモリ8を読み書きし、加算メモリ制御回路11を通して、加算メモリ12を読み書きし、画像表示メモリ制御回路16を通して画像表示メモリ17とオーバーレイメモリ18を読み書きする。また、CPU22は3つのフレームメモリ制御回路9、加算メモリ制御回路11、表示メモリ制御回路16を適切にコントロールすると共に、空間フィルタ回路14の設定や2次元の画像処理係数を設定できる。CPU22の動作を記録したプログラム、または、演算に必要な変数等は、RAM23やROM24に記憶される。
【0034】
CPU22は、ポインティングデバイス制御回路25を通して接続されたポインティングデバイス6から指示ポイントの平面上の移動量を検出し、移動量にあった座標位置を矢印などの形状(補足情報データ)をオーバーレイメモリ18に書き込むことで、画面上の座標を指示することができる。
【0035】
CPU22は、ステージ駆動I/F回路21を通してステージ3を上下に駆動すると共に、ステージ3の位置をステージ駆動回路4から読み取ることができる。
【0036】
このような装置本体26は、CPU22によって装置本体26内の動作が管理される。装置本体26を使って、半導体ウェハーのパターン検査工程でシリコンウェハー上に形成されたパターンの厚みを測定する方法について説明する。
【0037】
図4のような厚さの異なるパターンの測定点P0からP2までの高さの差を測定する場合を例にとる。
まず、光軸方向に複数の面にピントのあった画像を取り込む手法から説明する。
【0038】
一般に、光学顕微鏡は、高倍率の対物レンズを使用した場合、焦点深度が浅くなり、焦点が合っていない画像のコントラストは、図5のように低くなる。そこで、予め、使用する顕微鏡の光学性能から低コントラストの場合のコントラスト値を得て、コントラストのしきい値を決定しておく。ステージ3を光軸方向に移動しながらコントラストを求め、しきい値に達した位置を画像取込位置とする。
【0039】
または、CCDカメラ2で取り込んだ画像をテレビモニター5で確認しながらオペレータが画像取込位置を決定するようにしてもよい。
コントラスト測定ライン(コントラストの計算領域)は、図6のようにし、例えば次の(1)式のような計算式で行う。
【0040】
【数1】
【0041】
半導体ウェハーの場合、シリコン面から形成されるパターンの膜厚は、重ねる層ごとの厚さと枚数によっておおよそ決定できる。そこから、ステージ3の光軸方向の移動量と加算する画像の枚数を決める。そこで、画像取込位置から、決定されたステージ3の光軸方向の移動量と加算する画像の枚数に従って、加算メモリ12に加算画像を生成する。加算された画像は、除算器13で加算枚数で画像データを除算し、空間フィルタ回路14で、エッジ強調などの回復処理を施した後に画像表示メモリ17に送り、テレビモニター5で表示する。この光軸方向の複数の面にピントのあった画像で標本全体のイメージをつかむ。
【0042】
次に、測定したい測定点をポインティングデバイス6を使ってテレビモニター5の画面上で指定する。このように指定した測定点を中心にコントラストを求める領域を限定する。測定領域は、図7のようにX,Y方向にパターンを充分含む範囲とする。そして、ステージ3をはじめの画像取込位置に戻し、ステージ3を制御可能な最小の移動量で移動させながら、移動するごとに測定点のコントラスト値とステージ3の移動位置をRAM23に記録する。ステージ3の移動終了点は、メカ的な移動限界点かコントラスト値としきい値とに基づいてCPU22が判断する。
【0043】
ステージ3が移動終了点に達した段階で、RAM23には図8のように測定点毎のステージ位置とそのときのコントラスト値が記録されているので、コントラストの最大値に対応するステージ3の位置(Z0 面、Z1 面)をそれぞれ求め、それらのテージ3の位置の差から測定点の高さが求められる。当然、測定点毎の平面座標も使えば、3次元空間の距離を算出できる。
【0044】
このように本実施形態によれば、予め測定画像の光軸方向の複数の面にピントの合った画像を作り出すことで、視野内の任意の計測点を一度に指定できるとともに計測毎に光軸を移動させる必要がない。
【0045】
また、測定点毎にコントラストを算出する領域を独立に設定することで、より正確に測定点に依存したコントラストが求められ、合焦位置の決定の精度が向上する。
【0046】
<実施形態の変形>
なお、前述した実施形態では、コントラストを求める際の計算領域として縦、横方向のコントラストの測定ラインを選んであるが、対角線上の測定ラインでもよい。
【0047】
また、コントラストの計算式は、(1)式に基づいて行う場合について説明したが、これに限らない。
さらに、顕微鏡1のステージ駆動回路4から、ステージ位置を読み取れる構成としたが、ステージ位置を読み取れる機構がない場合は、ステージ3を移動する際にロータリーエンコーダー等で移動量を測定するようにすればよい。
【0048】
また、テレビモニター5の画面上のXY方向の長さは、長さがあらかじめわかっている標本でテレビモニター5上の1画素当たりの長狭を校正(キャリブレーション)しておけばよい。
【0049】
標本の合焦位置を調節する焦準機構として標本を載置するステージを移動させるようにしているが、ステージは動かずに対物レンズ等の光学系を移動させるようにしてもよい。
【0050】
【発明の効果】
本発明によれば、既存の光学顕微鏡に何等変更を加えずに標本の距離を測定できる距離計測装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の距離計測装置の第1の実施の形態を示すブロック図。
【図2】図1の空間フィルタ回路の機能を説明するための図。
【図3】図1の表示メモリ制御回路16の機能を説明するための図。
【図4】図1の距離計測装置の動作を説明するための図。
【図5】光学顕微鏡における画像のコントラストと光軸の関係を示す図。
【図6】図1のコントラストの計算領域を説明するための図。
【図7】図1のポインティングデバイスを使用して測定領域を限定する場合の説明図。
【図8】図1の測定原理を説明するための図。
【図9】従来のレーザ走査型顕微鏡の概略構成を示す図。
【図10】図9の課題を説明するための図。
【符号の説明】
1…顕微鏡、
2…CCDカメラ、
3…ステージ、
4…ステージ駆動回路、
5…テレビモニター、
6…ポインティングデバイス、
7…アナログ信号処理回路、
8…フレームメモリ、
9…フレームメモリ制御回路、
10…画像データ加算器、
11…加算メモリ制御回路、
12…加算メモリ、
13…除算器、
14…空間フィルタ回路、
15…信号切換器、
16…表示メモリ制御回路、
17…画像表示メモリ、
18…オーバーレイメモリ、
19…信号切換器、
20…ビデオ信号処理回路、
21…ステージ駆動I/F回路、
22…CPU、
23…RAM、
24…ROM、
25…ポインティングデバイス制御回路、
26…装置本体。
Claims (2)
- 標本に対する合焦位置を調節可能な焦準機構を有する光学顕微鏡と、
前記焦準機構により合焦位置を変化させながら前記標本の複数の画像を撮影する撮影手段と、
前記撮影手段により撮影した複数の画像を記憶する画像記憶手段と、
前記画像記憶手段により記憶された複数枚の画像を加算し、記憶する画像加算記憶手段と、
前記画像加算記憶手段により加算記憶された画像を読出し2次元の画像の回復処理を行う画像処理手段と、
前記画像処理手段により処理された画像を表示する画像表示手段と、
測定したい位置の画像を前記画像表示手段の画面で指示する座標位置指示手段と、
前記画像記憶手段と、前記画像加算記憶手段と、前記座標位置指示手段の制御・演算を行う中央処理手段と、
前記座標位置指示手段で指示した位置において前記撮影手段によって得られた複数の画像のうち最大コントラスト値を有する画像に対応するステージの位置を求め、それらの差から前記標本の距離を検出する合焦位置検出手段と、
を具備したことを特徴とする距離計測装置。 - 前記画像記憶手段により記憶された複数枚の画像を圧縮し、1画面分の画像に構成する画像構成手段を有する請求項1記載の距離計測装置。
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