JP2009145081A - 回転非対称収差の発生要因誤差量測定方法および装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被検レンズの回転非対称収差の発生要因となる誤差量を互いに分離しつつ高精度に測定することが可能な回転非対称収差の発生要因誤差量測定方法および装置を得る。
【解決手段】被検レンズ１の面倒れおよび面ずれに対し線形の関係式が成立するザイデルの３次および５次のコマ収差を選択し、コンピュータシミュレーションにより、その線形の関係式における各係数の値を求める。ヌルミラー６を備えた干渉計により被検レンズ１に対する透過波面測定を行い、３次および５次のコマ収差の各発生量を求める。求められた各係数の値と３次および５次のコマ収差の各発生量の値を、上記線形の関係式に代入してなる連立方程式を解くことにより、被検レンズ１の面倒れおよび面ずれの各値を求める。
【選択図】図１

Description

本発明は、デジタルカメラや光学センサ等の各種光学機器に用いられる被検レンズにおいて、コマ収差やアス収差（非点収差）等の回転非対称収差の発生要因となる、被検レンズの面倒れや面ずれあるいは干渉計の測定光軸と被検レンズの光軸との傾きずれや位置ずれといった各種の誤差量を測定する方法および装置に関し、特に、開口数（ＮＡ）の大きい非球面レンズの面倒れと面ずれを、互いに分離して測定するのに好適な回転非対称収差の発生要因誤差量測定方法および装置に関する。

モールド成形により非球面レンズを作製する場合、成形用の金型同士の相対的な位置ずれによって、成形された非球面レンズに面ずれ（非球面レンズを構成する２つのレンズ面それぞれの軸同士の相対的な位置ずれ）や面倒れ（非球面レンズを構成する２つのレンズ面それぞれの軸同士の相対的な傾きずれ）が発生することがある。このような面ずれや面倒れは、金型の機構上、完全に無くすことは極めて困難であるが、成形された非球面レンズの収差（特に、コマ収差等の回転非対称収差）を増大させる要因となるので、減少させる方向で金型の修正を図ることが望ましく、そのために発生している面倒れ量や面ずれ量を把握しておくことは重要となる。

従来、非球面レンズの面ずれ（偏心）を測定するための偏心検査機が各種実用化されている。また、レンズの光軸に対し垂直に設置された鍔状の張出部を有している非球面レンズの面ずれや面倒れを、オートコリメータを用いて測定する手法も知られている（下記特許文献１参照）。

一方、非球面レンズの収差は、干渉計を用いた透過波面測定により求めることが可能である。例えば、透過波面測定により得られた波面収差を、ツェルニケ（ゼルニケ）多項式等により展開することにより、ザイデルの５収差を個別に数値化する手法が知られている（下記特許文献２参照）。

特許第３１２７００３号公報 特許第２９５１３６６号公報

近年、開口数（ＮＡ）の大きい非球面レンズの需要が高まっている。このような高ＮＡの非球面レンズにおいては、かつては問題とされなかった数μｍオーダでの面ずれや数十秒オーダでの面倒れの発生が問題視されるようになっている。

また、発生している面ずれと面倒れを、互いに分離しつつ高精度に測定したいという要望もある。光学系の種類によっては、使用する非球面レンズの面ずれに対する感度は高いが、面倒れに対する感度は低いといった場合もあり、面ずれと面倒れを互いに分離して測定することができれば、それぞれの光学系で使用し得るか否かを判定したり、実際に使用する際に面ずれや面倒れに対する補正処置を講じたりすることが可能になる等の理由による。

しかしながら、これまでの偏心検査機では、面ずれと面倒れを分離することができず、また偏心の測定誤差も２μｍ程度と大きいのが実状である。また、上記特許文献１に記載された手法を用いた場合でも、近年要望されているレベルに応え得るような高精度な面ずれ量の測定を行うことは困難である。

さらに、上記特許文献１に記載された手法は、鍔状の張出部を有していない被検レンズの測定には適用することができないという問題もある。

本発明は、このような事情に鑑みなされたものであり、被検レンズの回転非対称収差の発生要因となる誤差量を互いに分離しつつ高精度に測定することが可能であり、かつ被検レンズが鍔状の張出部を有していない場合にも測定可能な回転非対称収差の発生要因誤差量測定方法および装置を提供することを目的とする。

本発明に係る回転非対称収差の発生要因誤差量測定方法は、被検レンズの回転非対称な収差の発生要因となる所定のＮ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎ（Ｎは２以上の整数）を測定する方法であって、
前記Ｎ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎに対し下式（１）の線形関係をそれぞれ有するとみなせる少なくともＮ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎを選択し、コンピュータシミュレーションにより、下式（１）における各係数ａ_ｊｋおよび各定数ｂ_ｊｋ（ｊ、ｋは１〜Ｎまでの任意の整数）の値をそれぞれ求める係数算定ステップと、
ヌル光学素子を備えた干渉計を用いて前記被検レンズに対する透過波面測定を行い、該透過波面測定により得られた干渉縞画像に基づき、前記少なくともＮ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎの各発生量を求める回転非対称収差測定ステップと、
前記係数算定ステップにおいて求められた前記各係数ａ_ｊｋおよび各定数ｂ_ｊｋの値と、前記回転非対称収差測定ステップにおいて求められた前記少なくともＮ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎの各発生量の値とを、下式（１）に代入してなる連立方程式を解くことにより、前記Ｎ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎの各値を求める誤差量算定ステップと、をこの順に行うことを特徴とする。

本発明に係る回転非対称収差の発生要因誤差量測定方法において、前記被検レンズは、該被検レンズの２つのレンズ面のうち少なくとも一方が非球面で形成された非球面レンズであり、前記Ｎ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎは、前記２つのレンズ面それぞれの軸同士の相対的な位置ずれである面ずれと、前記２つのレンズ面それぞれの軸同士の相対的な傾きずれである面倒れとを含むものである、とすることができる。

また、前記少なくともＮ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎは、ザイデルの３次のコマ収差と５次のコマ収差とを含むものである、とすることができる。

一方、本発明に係る回転非対称収差の発生要因誤差量測定装置は、被検レンズの回転非対称な収差の発生要因となる所定のＮ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎ（Ｎは２以上の整数）を測定する装置であって、
ヌル光学素子を備えた干渉計と、解析装置とを備え、
該解析装置は、
被検レンズの回転非対称な収差の発生要因となる所定のＮ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎ（Ｎは２以上の整数）を測定する装置であって、
ヌル光学素子を備えた干渉計と、解析装置とを備え、
該解析装置は、
前記Ｎ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎに対し上式（１）の線形関係をそれぞれ有するとみなせるものとして選択された少なくともＮ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎに基づき、該少なくともＮ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎの各々に対応する値としてコンピュータシミュレーションにより求められた上式（１）における各係数ａ_ｊｋおよび各定数ｂ_ｊｋ（ｊ、ｋは１〜Ｎまでの任意の整数）の値をそれぞれ出力する係数出力手段と、
前記ヌル光学素子を備えた干渉計による、前記被検レンズに対する透過波面測定により得られた干渉縞画像に基づき、前記少なくともＮ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎの各発生量を求める回転非対称収差測定手段と、
前記係数出力手段から出力された前記各係数ａ_ｊｋおよび各定数ｂ_ｊｋの値と、前記回転非対称収差測定手段において求められた前記少なくともＮ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎの各発生量の値とを、上式（１）に代入してなる連立方程式を解くことにより、前記Ｎ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎの各値を求める誤差量算定手段と、を備えてなることを特徴とする。

本発明に係る回転非対称収差の発生要因誤差量測定装置において、前記被検レンズと前記ヌル光学素子との相対的な傾き姿勢を変化させる傾き姿勢可変手段と、前記被検レンズと前記ヌル光学素子との、互いに直交する３軸方向の相対的な位置を変化させる３軸方向位置可変手段と、を備えることができる。

また、求められた前記Ｎ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎの方向および／または大きさに係る識別情報を、前記被検レンズにマーキングするマーキング手段を備えることが好ましい。

また、前記ヌル光学素子は、反射型のヌル光学素子または透過型のヌル光学素子とすることができる。

なお、上記「式（１）の線形関係をそれぞれ有するとみなせる」とは、厳密には線形関係とはならないものの、相互間の関係を表すグラフに直線をフィッティングすることにより、上式（１）と同等の関係が得られるものを含む意である。

本発明に係る回転非対称収差の発生要因誤差量測定方法および装置によれば、上述の構成を備えたことにより得られる連立方程式を解くことにより、被検レンズの回転非対称収差の発生要因となるＮ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎを互いに分離しつつ高精度に測定することが可能となる。

また、Ｎ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎを求める際に必要となる上式（１）の各係数ａ_ｊｋおよび各定数ｂ_ｊｋはコンピュータシミュレーションにより、またＮ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎと上式（１）の線形関係を有する少なくともＮ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎの各発生量は、ヌル光学素子を備えた干渉計による被検レンズ（詳細には、そのレンズ本体部分）に対する透過波面測定により、それぞれ得ることができるので、鍔状の張出部を有していない被検レンズに対しても適用することが可能である。

以下、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態に係る回転非対称収差の発生要因誤差量測定装置（以下、単に「誤差量測定装置」と称することがある）の主要部の概略構成図である。また、図２は図１に示す解析装置の概略構成を示すブロック図であり、図３は図２に示す係数テーブルの概略構成図である。また、図４は被検レンズの形状を示す図（（Ａ）は正面図、（Ｂ）は平面図）である。

本実施形態に係る誤差量測定装置は、被検レンズ１に対する透過波面測定により求められるコマ収差等を含むＮ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎの発生要因となる、被検レンズ１の面ずれや面倒れを含む所定のＮ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎ（Ｎは２以上の整数）を測定するものであり、図１に示すように、干渉計本体部２０と被検体ポジショニング部３０とを備えてなる。なお、上記Ｎ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎは、上記Ｎ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎに対し上式（１）の線形関係を有するものとして選択されたものである。

上記干渉計本体部２０は、レーザ光源等の可干渉距離の長い光源２１を搭載したフィゾー型の干渉計装置であり、ビーム径拡大用レンズ２２、ビームスプリッタ２３、コリメータレンズ２４、結像レンズ２５、および光検出面を有する撮像手段２６を備えている。また、この干渉計本体部２０は、撮像手段２６により撮像された画像についての画像処理、各種演算処理および各種調整部の駆動制御を行う、コンピュータ等からなる解析装置２７と、干渉縞画像等を表示するモニタ装置２８と、解析装置２７に対する各種入力を行うための入力装置２９とを備えている。なお、図１に示す透過型基準板４およびヌルミラー６は、通常、干渉計本体部２０に含まれるが、本明細書では、説明の便宜上、被検体ポジショニング部３０に含めて説明する。

一方、被検体ポジショニング部３０は、干渉計本体部２０からの測定用光束の進行方向（図１では上方向）に向かって、透過型基準板４、被検レンズ１、およびヌルミラー６を、この順に支持し、かつ位置調整するように構成されたものである。

すなわち、透過型基準板４は、手動２軸チルトステージ１１によって支持され、かつＸ軸（図１の左右方向に延びる軸）およびＹ軸（図１の紙面に対し垂直に延びる軸）を中心とした回転角度（傾き）を、予備調整段階において調整されるようになっている。また、被検レンズ１は、レンズ搭載治具５を介してθステージ１３および電動２軸チルトステージ１４によって支持され、かつ測定光軸（図中一点鎖線で示す）を中心とした回転角度、およびＸ軸およびＹ軸を中心とした回転角度（傾き）を、各被検レンズ１の測定時において自動調整されるようになっている。また、ヌルミラー６は、手動２軸チルトステージ１２により支持され、さらに電動Ｘ軸ステージ１５、電動Ｙ軸ステージ１６および電動Ｚ軸ステージ１７により順次支持されている。また、電動２軸チルトステージ１４には、マーキング手段としてのレーザマーカ１８が設置されている。

本実施形態において被検レンズ１は、光センサ等のレンズとして搭載され、入力された平面波を所定の非球面波に変換して出力するように設計されたものであり、図４に示すように、レンズ部２および張出部３からなる。レンズ部２は、その第１レンズ面２ａおよび第２レンズ面２ｂが共に非球面とされており、張出部３は鍔状に形成され、その上面３ａおよび下面３ｂが共にレンズ部２の光軸に対し垂直となるように設計されている。

上記レンズ搭載治具５は、図１に示すように、被検レンズ１のレンズ部２に対する透過波面測定を行うための中央窓５ａと、中央窓５ａの外側に位置する張出部用窓５ｂ、さらに、張出部用窓５ｂの外側に位置するヌルミラー反射平面部用窓５ｃとを備えてなり、被検レンズ１の張出部３を図中下側より支持するようになっている。

また、上記ヌルミラー６は、反射型のヌル光学素子を構成するものであり、被検レンズ１のレンズ部を透過した後、一旦収束して発散する光束を再帰反射させる反射非球面部６ａと、該反射非球面部６ａの中心軸に対し垂直に配された反射平面部６ｂとを備えてなり、手動２軸チルトステージ１２によって、透過型基準板４の基準面４ａに対し反射平面部６ｂが平行となるように、Ｘ軸およびＹ軸を中心とした回転角度（傾き）を、予備調整段階において調整されるとともに、電動Ｘ軸ステージ１５、電動Ｙ軸ステージ１６および電動Ｚ軸ステージ１７により、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸（図１の上下向に延びる軸）の各方向に平行に移動調整が可能とされ、これにより各被検レンズ１の測定時において自動的に位置調整されるようになっている。

なお、本実施形態においては、上記手動２軸チルトステージ１２により、被検レンズ１とヌルミラー６との相対的な傾き姿勢を変化させる傾き姿勢可変手段が構成されており、上記電動Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸ステージ１５，１６，１７により、被検レンズ１とヌルミラー６との３軸方向の相対的な位置を変化させる３軸方向位置可変手段が構成されている。

また、図２に示すように上記解析装置２７は、該解析装置２７内に搭載されるＣＰＵやハードディスク等の記憶部および該記憶部に格納されたプログラム等により構成される係数出力手段３１、回転非対称収差測定手段３２および誤差量算定手段３３と、上記記憶部に設定された係数テーブル３４を備えてなる。

上記係数テーブル３４は、上記Ｎ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎと上記Ｎ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎとの間に成立する線形関係をコンピュータシミュレーションにより予め特定することによって得られた上式（１）における各係数ａ_ｊｋおよび各定数ｂ_ｊｋ（ｊ、ｋは１〜Ｎまでの任意の整数）の値を記憶するものであり、上記係数出力手段３１は、上記Ｎ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎを求める際に係数テーブル３４を検索して、上記Ｎ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎそれぞれに対応した上記各係数ａ_ｊｋおよび各定数ｂ_ｊｋの値を出力するようになっている。

上記回転非対称収差測定手段３２は、被検レンズ１に対する透過波面測定により得られた干渉縞画像に基づき、上記Ｎ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎの各発生量を求めるものであり、上記誤差量算定手段３３は、上記係数出力手段３１から出力された上記各係数ａ_ｊｋおよび各定数ｂ_ｊｋの値と、上記回転非対称収差測定手段３２において求められたＮ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎの各発生量の値とを、上式（１）に代入してなる連立方程式を解くことにより、Ｎ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎの各値を求めるようになっている。

さらに、図示されていないが本実施形態の誤差量測定装置は、被検レンズ１のロード/アンロード操作を自動的に行うためのサンプルステージ移動機構を備えている。このサンプルステージ移動機構は、本願出願人による特願２００５−２６９２１７号明細書（特開２００７−７８５９３号公報参照。以下「先願明細書１」と称する）および特願２００６−２２３６６８号明細書（以下「先願明細書２」と称する）に記載されたものと同様のものであり、その詳細な説明は省略する。

次に、本発明の一実施形態に係る回転非対称収差の発生要因誤差量測定方法（以下、単に「誤差量測定方法」と称することがある）について説明する。なお、本実施形態の誤差量測定方法は、上述した誤差量測定装置を用いて行われる。また、上記Ｎ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎの例として、被検レンズ１の面倒れおよび面ずれを取り上げ、かつこれら面倒れおよび面ずれに対し上式（１）の線形関係を有する上記Ｎ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎの例として、ザイデルの３次のコマ収差および５次のコマ収差を取り上げて説明する。

ここで、本実施形態における面倒れと面ずれの定義を示す。図５は面倒れと面ずれについての説明図であり、同図（Ａ）は面倒れのみが生じている状態を示し、同図（Ｂ）は面ずれのみが生じている状態を示している。また、同図（Ｃ）は面倒れと面ずれが共に生じている状態を示している。なお、図５に示す非球面レンズ５０は上記被検レンズ１とは異なるものであるが、上記被検レンズ１や下述するシミュレーション用被検レンズの面倒れと面ずれについても同様に定義される。また、図５では簡略化のため、非球面レンズ５０の２つレンズ面（第１レンズ面５１および第２レンズ面５２）が互いに分離しているように示してある。

図５（Ａ）に示すように、本実施形態においては、第１レンズ面５１の中心軸Ｃ_１（第１レンズ面５１の非球面式によって決定される）と、第２レンズ面５２の中心軸Ｃ_２（第２レンズ面５２の非球面式によって決定される）との相対的な傾き角α（２つの中心軸Ｃ_１，Ｃ_２のなす角；２つの中心軸Ｃ_１，Ｃ_２が互いに交わらない場合は、それぞれの方向ベクトルのなす角）を、非球面レンズ５０の面倒れ（傾き角αの大きさを面倒れ量、中心軸Ｃ_２に対する中心軸Ｃ_１の傾き方向を面倒れ方向）と定義する。また、第１レンズ面５１およびその中心軸Ｃ_１は、第１レンズ面５１の中心点Ｐ_１（中心軸Ｃ_１と第１レンズ面５１との交点）を回転中心として傾き、第２レンズ面５２およびその中心軸Ｃ_２は、第２レンズ面５２の中心点Ｐ_２（中心軸Ｃ_２と第２レンズ面５２との交点）を回転中心として傾くと仮定する。

図５（Ｂ）に示すように、本実施形態においては、第１レンズ面５１の中心軸Ｃ_１と第２レンズ面５２の中心軸Ｃ_２との相対的な位置ずれ（中心軸Ｃ_１，Ｃ_２は互いに平行）を、非球面レンズ５０の面ずれ（２つの中心軸Ｃ_１，Ｃ_２の間の距離βを面ずれ量、中心軸Ｃ_２に対して中心軸Ｃ_１の位置する方向を面ずれ方向）と定義する。

なお、２つの中心軸Ｃ_１，Ｃ_２を面倒れの回転中心とする上述の仮定を考慮すれば、この面ずれの定義は、第２レンズ面５２の中心軸Ｃ_２に対する第１レンズ面５１の中心点Ｐ_１の位置ずれ（中心軸Ｃ_２と中心点Ｐ_１との距離を面ずれ量、中心軸Ｃ_２を中心として中心点Ｐ_１の位置する方向を面ずれ方向）を面ずれと定義した場合と同じ内容を表す。すなわち、図５（Ｃ）に示すように、非球面レンズ５０に面倒れと面ずれが共に生じている場合には、図５（Ｃ）に示す状態から面倒れを取り除いた状態（第１レンズ面５１および中心軸Ｃ_１を、中心点Ｐ_１を回転中心として回転させて、２つの中心軸Ｃ_１，Ｃ_２が互いに平行となるようにした状態）において残存する、２つの中心軸Ｃ_１，Ｃ_２同士の相対的な位置ずれを、非球面レンズ５０の面ずれと定義するが、これは、図５（Ｃ）に示す状態において、中心軸Ｃ_２に対する中心点Ｐ_１の位置ずれと同じことを表している。

以下、本実施形態の誤差量測定方法の手順を説明する。

〈１〉まず、コンピュータシミュレーションにより、上記被検レンズ１の面ずれと、該面ずれに起因して被検レンズ１に発生するザイデルの３次および５次のコマ収差との関係（具体的には、後述する下式（４）、（５）における係数ａ_３Ｚ，ａ_５Ｚの各値）を求める。

このコンピュータシミュレーションでは、被検レンズ１を模したシミュレーション用被検レンズ（以下、「模擬レンズ」と称する）と、上記ヌルミラー６を模したシミュレーション用ヌル光学素子（以下、「模擬ヌルミラー」と称する）とを設定してコンピュータシミュレーションを行うが、模擬レンズと模擬ヌルミラーの中心軸との相対位置の設定方法に関して、次のような２つの手法（手法Ａと手法Ｂ）が考えられる。そこで以下においては、手法Ａによる場合と手法Ｂによる場合とに分けて、コンピュータシミュレーションの手順について説明する。

手法Ａ
（ａ）模擬レンズをコンピュータ上に設定されたＸＹ平面の原点位置にセットする（模擬レンズの第２レンズ面（下面）の中心軸が、ＸＹ平面の原点位置においてＸＹ平面と垂直となるようにする）。
（ｂ）模擬レンズに所定の面ずれ量（面ずれ方向は、例えばＸ方向とする）を入力する（第２レンズ面は固定したまま、第１レンズ面（上面）を、その中心軸が第２レンズ面の中心軸と平行な状態を維持したままずらす）。

（ｃ）模擬ヌルミラーの中心軸の位置を入力する。このとき、模擬ヌルミラーの中心軸と、模擬レンズの第２レンズ面の中心軸とが互いに所定量ずれるようにする（ずらす方向については、模擬レンズの第１レンズ面のずれ方向がＸ方向の場合は、同じくＸ方向とする）。
（ｄ）上述の設定条件において、模擬レンズの透過波面測定のシミュレーションを行い、模擬レンズの透過波面収差Φ（ｘ，ｙ）を求める。
（ｅ）求められた透過波面収差Φ（ｘ，ｙ）に対し、下式（２）で示される２次のべき級数関数Ｆ（ｘ，ｙ）により最小２乗フィッティングを行い、下記の係数Ａ、Ｂ、Ｃの値を求める。

（ｆ）上記手順（ｃ）で入力された値とは異なるように、模擬ヌルミラーの中心軸の位置をずらして入力し、この条件下において、上記手順（ｄ）、（ｅ）と同様にして、係数Ａ、Ｂ、Ｃの値を求める。
（ｇ）上記手順（ｅ）、（ｆ）で得られた結果より、上式（２）においてチルト成分を示す係数（Ｘ方向にずらした場合は係数Ｂ）と、模擬ヌルミラーの中心軸の位置（Ｘ方向にずらした場合は座標ｘ）との対応関係を示すグラフ（１次関数）を求める。

（ｈ）求められたグラフから、係数Ｂが０となるときの模擬ヌルミラーの中心軸の位置を算定する。
（ｉ）上記手順（ｈ）で算定された模擬ヌルミラーの中心軸位置を入力するとともに、上記手順（ｂ）において面ずれ量が設定された模擬レンズの透過波面測定のシミュレーションを行って模擬レンズの透過波面収差を求め、そこから模擬レンズの３次および５次のコマ収差（またはコマ収差ＲＭＳ）をそれぞれ求める。

（ｊ）上記手順（ｂ）で入力された値とは異なるように模擬レンズに別の面ずれ量を入力した後、上記手順（ｃ）〜（ｉ）を行って、上記別の面ずれ量が与えられたときの模擬レンズの３次および５次のコマ収差をそれぞれ求める。
（ｋ）上記手順（ｉ）と上記手順（ｊ）（複数回行ってもよい）との結果により、上記係数Ｂが０となる条件においての、模擬レンズの面ずれと該面ずれに起因する３次および５次のコマ収差との関係を求める。

手法Ｂ
（ａ´）模擬レンズをコンピュータ上に設定されたＸＹ平面の原点位置にセットする（模擬レンズの第２レンズ面（下面）の中心軸が、ＸＹ平面の原点位置においてＸＹ平面と垂直となるようにする）。
（ｂ´）模擬レンズに所定の面ずれ量を入力する（第２レンズ面は固定したまま、第１レンズ面（上面）を、その中心軸が第２レンズ面の中心軸と平行な状態を維持したままずらす）。

（ｃ´）模擬ヌルミラーの中心軸の位置を入力する。このとき、模擬ヌルミラーの中心軸と、模擬レンズの第２レンズ面の中心軸とが互いに所定量ずれるようにする。
（ｄ´）上述の設定条件において、模擬レンズの透過波面測定のシミュレーションを行い、模擬レンズの透過波面収差Φ´（ｘ，ｙ）を求める。
（ｅ´）求められた透過波面収差Φ´（ｘ，ｙ）を、所定のべき級数(例えば、ツェルニケ多項式)を用いて展開する。

（ｆ´）上記手順（ｅ´）により得られた展開式から、ザイデルの３次収差のチルト係数とコマ係数の各値を求める。
（ｇ´）上記手順（ｃ´）で入力された値とは異なるように、模擬ヌルミラーの中心軸の位置をずらして入力するとともに、この条件において、上記手順（ｄ´）〜（ｆ´）を行い、新たにチルト係数の値を求める。

（ｈ´）上記手順（ｆ´）、（ｇ´）でそれぞれ得られた結果より、チルト係数の値と模擬ヌルミラーの中心軸の位置との対応関係を示すグラフ（１次関数）を求める。
（ｉ´）上記手順（ｆ´）で求められたチルト係数の値とコマ係数の値との差の２分の１の値を、下式（３）により求める。

（ｊ´）上式（３）で求められた値をシフト係数として、模擬ヌルミラーの中心軸の位置をずらして入力するとともに、この条件において、上記手順（ｄ´）〜（ｆ´）を行い、上記手順（ｇ´）で求めたチルト係数の値を更新する。
（ｋ´）更新されたチルト係数の値と、上記手順（ｆ´）で求められたコマ係数の値との差の２分の１の値を、上式（３）により求める。
（ｌ´）上記手順（ｊ´）、（ｋ´）を複数回繰り返して行い、チルト係数の値とコマ係数の値とが互いに略等しくなるときの模擬ヌルミラーの中心軸の位置を、上記手順（ｈ´）で得られたグラフから求める。

（ｍ´）チルト係数の値とコマ係数の値とが互いに略等しくなるときの模擬ヌルミラーの中心軸の位置を入力するとともに、上記手順（ｂ´）において面ずれ量が設定された模擬レンズの透過波面測定のシミュレーションを行って模擬レンズの透過波面収差を求め、これより模擬レンズの３次および５次のコマ収差（またはコマ収差ＲＭＳ）をそれぞれ求める。

（ｎ´）上記手順（ｂ´）で入力された値とは異なるように模擬レンズに別の面ずれ量を入力した後、上記手順（ｃ´）〜（ｍ´）を行って、上記別の面ずれ量が与えられたときの模擬レンズの３次および５次のコマ収差をそれぞれ求める。
（ｏ´）上記手順（ｍ´）と上記手順（ｎ´）（複数回行ってもよい）との結果により、チルト係数の値とコマ係数の値とが互いに略等しくなるときの条件においての、模擬レンズの面ずれと該面ずれに起因する３次および５次のコマ収差との関係を求める。

〈２〉続いて、同様のコンピュータシミュレーションにより、上記被検レンズ１の面倒れと、該面倒れに起因して被検レンズ１に発生するザイデルの３次および５次のコマ収差との関係（具体的には、後述する下式（４）、（５）における係数ａ_３Ｔ，ａ_５Ｔの各値）を求める。

このコンピュータシミュレーションにおいても、模擬レンズと模擬ヌルミラーの中心軸との相対位置の設定方法に関して、上記手法Ａ，Ｂにそれぞれ準じた２つの手法が考えられる。詳細な手順については、上記手法Ａ，Ｂの各手順に記載された「面ずれ」、「面ずれ量」および「面ずれ方向」を、「面倒れ」、「面倒れ量」および「面倒れ方向」にそれぞれ読み替えればよい。また、模擬レンズに面倒れ量を入力する場合、第２レンズ面は固定したまま、第１レンズ面を、その中心軸が第１レンズ面の中心点を回転中心として傾動するように傾けるようにすればよい。

なお、上記手法Ａ，Ｂを用いて、それぞれ複数のケースについてシミュレーションした結果、被検レンズ１の面倒れ（Ｅ_Ｔと表記する）および面ずれ（Ｅ_Ｚと表記する）と、ザイデルの３次のコマ収差（Ω_３Ｃと表記する）および５次のコマ収差（Ω_５Ｃと表記する）（いずれも大きさおよび方向を有するベクトルとして扱う）との間には、下式（４）、（５）の線形関係が成立することが確かめられた。そこで、上述のコンピュータシミュレーションの結果に基づき、下式（４）、（５）における各係数ａ_３Ｔ，ａ_３Ｚ，ａ_５Ｔ，ａ_５Ｚの値をそれぞれ求める（係数算定ステップ）。

なお、下式（４）、（５）は、上式（１）に対応するものであり、上式（１）における定数ｂ_ｊｋに相当する各定数の値は、本実施形態ではいずれも０（面倒れＥ_Ｔと３次のコマ収差Ω_３Ｃ、面倒れＥ_Ｔと５次のコマ収差Ω_５Ｃ、面ずれＥ_Ｚと３次のコマ収差Ω_３Ｃ、および面ずれＥ_Ｚと５次のコマ収差Ω_５Ｃは、いずれも比例関係）となっている。また、下式（４）、（５）では、ザイデルの３次のコマ収差Ω_３Ｃおよび５次のコマ収差Ω_５Ｃと、被検レンズ１の面倒れＥ_Ｔおよび面ずれＥ_Ｚとの間に成立する線形関係を、Ｘ方向およびＹ方向の各方向成分に分解して表している。また、求められた各係数ａ_３Ｔ，ａ_３Ｚ，ａ_５Ｔ，ａ_５Ｚの値は、上記係数テーブル３４に格納される。

ここで、Ω_３Ｃｘ，Ω_３Ｃｙはザイデルの３次のコマ収差Ω_３ＣのＸ、Ｙの各方向成分を示し、Ω_５Ｃｘ，Ω_５Ｃｙはザイデルの５次のコマ収差量Ω_５ＣのＸ、Ｙの各方向成分を示し、Ｅ_Ｔｘ，Ｅ_Ｔｙは被検レンズ１の面倒れＥ_ＴのＸ、Ｙの各方向成分を示し、Ｅ_Ｚｘ，Ｅ_Ｚｙは被検レンズ１の面ずれＥ_ＺのＸ、Ｙの各方向成分を示している。

なお、上述のザイデルの３次のコマ収差Ω_３Ｃの大きさ（３次のコマ収差量｜Ω_３Ｃ｜）および方向（３次のコマ角度θ_３Ｃ）と、ザイデルの５次のコマ収差Ω_５Ｃの大きさ（５次のコマ収差量｜Ω_５Ｃ｜）および方向（５次のコマ角度θ_５Ｃ）は、透過波面測定により得られる透過波面収差を、例えば１０次のツェルニケ多項式により展開したときの係数Ａ_６，Ａ_７，Ａ_１３，Ａ_１４を用いて、それぞれ下式（６）〜（９）により求められる。

ここで、図６に、１０次のツェルニケ多項式の係数Ａ_６，Ａ_７に対応した波面形状の一例を示す。同図（ａ）は係数Ａ_６に対応した波面形状を示し、同図（ｂ）は係数Ａ_７に対応した波面形状を示している。また、同図（ｃ）は同図（ａ）の波面のＸ方向（図中左右方向）に沿った断面形状を示すグラフ（縦軸は任意単位、横軸は画素を単位とする。このことは、以下の図７（ｃ）、図８（ｃ）、図９（ｃ）についても同様）である。

また、図７に、１０次のツェルニケ多項式の係数Ａ_１３，Ａ_１４に対応した波面形状の一例を示す。同図（ａ）は係数Ａ_１３に対応した波面を示し、同図（ｂ）は係数Ａ_１４に対応した波面を示している。また、同図（ｃ）は同図（ａ）に対応した波面のＸ方向（図中左右方向）に沿った断面形状を示すグラフである。

〈３〉上述のコンピュータシミュレーションにより、被検レンズ１の面倒れＥ_Ｔおよび面ずれＥ_Ｚとザイデルの３次および５次のコマ収差Ω_３Ｃ，Ω_５Ｃとの関係を求めた後（上記各係数ａ_３Ｔ，ａ_３Ｚ，ａ_５Ｔ，ａ_５Ｚの値を求めた後）、被検レンズ１の透過波面測定に移るが、この透過波面測定に先立って、上記誤差量測定装置の予備調整を行う。例えば、図１に示す透過型基準板４の基準面４ａと測定用光束の軸とが、互いに垂直となるように設定する基準面傾き調整や、レンズ搭載治具５のレンズ搭載面（図中上面）と基準面４ａとが互いに平行となるように設定するレンズ搭載治具５の傾き調整を行う。これら調整の具体的手順については、上記先願明細書２に記載されており、詳細な説明は省略する。

〈４〉上記予備調整完了後、レンズ搭載治具５に被検レンズ１をセットし、被検レンズ１のレンズ部２に対する透過波面測定を行い、該測定により得られた干渉縞画像に基づき、被検レンズ１の３次および５次のコマ収差Ω_３Ｃ，Ω_５Ｃの各発生量を求める（回転非対称収差測定ステップ）。このコマ収差の測定は、以下の手順で行われる。

まず、手動２軸チルトステージ１２により、ヌルミラー６の中心軸と透過型基準板４の基準面４ａとが互いに垂直となるように、ヌルミラー６の傾きを調整する。この傾き調整は、透過型基準板４を透過してヌルミラー６の反射平面部６ｂに照射された光束の戻り光と、透過型基準板４の基準面４ａからの戻り光との干渉により得られる干渉縞が、ヌル縞となるように行われる。

次いで、電動Ｘ軸ステージ１５および電動Ｙ軸ステージ１６により、被検レンズ１に対するヌルミラー６の中心軸の相対位置を決定する。この相対位置の決定は、被検レンズ１とヌルミラー６の中心軸との相対位置を複数回ずらしながら、被検レンズ１のレンズ部２に関する波面収差測定を行うとともに、各波面収差測定の結果から、被検レンズ１に対するヌルミラー６の中心軸の位置と被検レンズ１の波面収差との関係を求め、この求められた関係に基づき行われる。より具体的には、上記手順〈１〉、〈２〉で行うコンピュータシミュレーションで用いられる手法Ａ，Ｂを適用して、ヌルミラー６の中心軸の位置を決定することができる。

決定された位置にヌルミラー６を設置して、被検レンズ１のレンズ部２に対する透過波面測定を行う。すなわち、透過型基準板４およびレンズ部２を透過してヌルミラー６の反射非球面部６ａに照射された光束の戻り光（反射非球面部６ａで反射された後、再びレンズ部２を透過する）と、透過型基準板４の基準面４ａからの戻り光との干渉により得られる干渉縞を解析して、被検レンズ１に実際に生じているザイデルの３次および５次のコマ収差Ω_３Ｃ，Ω_５Ｃの各発生量を求める。

〈５〉上記手順〈２〉で求められた各係数ａ_３Ｔ，ａ_３Ｚ，ａ_５Ｔ，ａ_５Ｚの値と、上記手順〈４〉で求められた３次および５次のコマ収差Ω_３Ｃ，Ω_５Ｃの各発生量の値とを、上式（４）、（５）に代入してなる連立方程式を解くことにより、被検レンズ１の面倒れＥ_Ｔおよび面ずれＥ_Ｚの各値（面倒れＥ_Ｔの方向と大きさ、および面ずれＥ_Ｚの方向と大きさ）を求める（誤差量算定ステップ）。

〈６〉上記手順〈５〉で求められた面倒れＥ_Ｔの方向と大きさ、および面ずれＥ_Ｚの方向と大きさに係る識別情報を、上記レーザマーカ１８により被検レンズ１にマーキングする。具体的には、例えば、面倒れＥ_Ｔについては、面倒れＥ_Ｔの方向線上に位置する被検レンズ１の張出部３の外周面の部位に所定のマーク（例えば縦線「｜」）を刻印し、その脇に面倒れＥ_Ｔの大きさを示す数値や大きさの程度を示すマーク（例えば「○」、「△」、「□」）等を刻印する。面ずれＥ_Ｚについても同様に、面ずれＥ_Ｚの方向線上に位置する被検レンズ１の張出部３の外周面の部位に、面倒れＥ_Ｔの方向とは区別し得る所定のマーク（例えば矢印「↑」）を刻印し、その脇に面倒れＥ_Ｔの大きさを示す数値や大きさの程度を示すマーク（例えば「◎」、「▽」、「◇」）等を刻印する。なお、マーキングすべき位置とレーザマーカ１８との位置調整は、上記θステージ１３等を用いて行うことができる。

以上の手順により、被検レンズ１の面倒れＥ_Ｔおよび面ずれＥ_Ｚを、互いに分離して高精度に測定することが可能となる。また、面倒れＥ_Ｔおよび面ずれＥ_Ｚの方向および大きさを識別可能なマーク等を被検レンズ１に刻印しておくことにより、被検レンズ１を鏡胴等に組み込む際の作業が容易となる。

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、種々の態様のものを実施形態とすることができる。

例えば、上記実施形態では、所定のＮ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎの例として、被検レンズ１の面倒れＥ_Ｔおよび面ずれＥ_Ｚを挙げているが、この他の例として、被検レンズ１の干渉計本体部２０の光軸に対する位置ずれや傾きずれ、ヌルミラー６の干渉計本体部２０の光軸に対する位置ずれや傾きずれ等の誤差量を挙げることができる。

また、上記実施形態では、所定のＮ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎと上式（１）の線形関係を有する少なくともＮ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎの例として、被検レンズ１の面倒れＥ_Ｔおよび面ずれＥ_Ｚと上式（４）、（５）の線形関係を有するザイデルの３次および５次のコマ収差Ω_３Ｃ，Ω_５Ｃを挙げているが、この他の例として、ザイデルの７次および９次のコマ収差や、３次、５次、７次および９次のアス収差を挙げることができる。

なお、上述のザイデルの７次のコマ収差（Ω_７Ｃと表記する）の大きさ（７次のコマ収差量｜Ω_７Ｃ｜）と、ザイデルの９次のコマ収差（Ω_９Ｃと表記する）の大きさ（９次のコマ収差量｜Ω_９Ｃ｜）は、１０次のツェルニケ多項式の係数Ａ_２２，Ａ_２３，Ａ_３３，Ａ_３４を用いて、それぞれ下式（１０）、（１１）により求められる。

ここで、図８に、１０次のツェルニケ多項式の係数Ａ_２２，Ａ_２３に対応した波面形状の一例を示す。同図（ａ）は係数Ａ_２２に対応した波面形状を示し、同図（ｂ）は係数Ａ_２３に対応した波面形状を示している。また、同図（ｃ）は同図（ａ）の波面のＸ方向（図中左右方向）に沿った断面形状を示すグラフである。

また、図９に、１０次のツェルニケ多項式の係数Ａ_３３，Ａ_３４に対応した波面形状の一例を示す。同図（ａ）は係数Ａ_３３に対応した波面形状を示し、同図（ｂ）は係数Ａ_３４に対応した波面形状を示している。また、同図（ｃ）は同図（ａ）の波面のＸ方向（図中左右方向）に沿った断面形状を示すグラフである。

また、上記実施形態では、求めたい誤差量（面倒れおよび面ずれ）と、これらと線形関係にある回転非対称収差（３次および５次のコマ収差）との数が一致し、このため連立方程式の解を一意的に求められる好ましい態様を示しているが、求めたい誤差量の数よりも回転非対称収差の数が多くても構わない。この場合、得られる方程式の数が未知数（誤差量）の数を上回ることになるが、例えば、全体の方程式の中から解（誤差量の値）を得るのに必要な方程式の組を複数選択し、各組における連立方程式の各々の解の平均値を求める誤差量の値とすることができる。

また、上記実施形態では、張出部３を備えた被検レンズ１を測定する場合について説明しているが、本発明は、前掲の特許文献１に記載されている手法とは異なり、被検レンズ１がこのような張出部３を備えていることを必要としない。このため、このような張出部３を備えていない被検レンズ（例えば、両凹形状のレンズやメニスカス形状のレンズ）を測定することも可能である。

また、上記実施形態では、両面が共に非球面で構成された非球面レンズを測定対象として例示しているが、本発明は、一方のレンズ面が非球面、他方のレンズ面が球面で構成された非球面レンズを測定対象とすることも可能である。

また、本発明は、本願出願人による特願２００６−２６８７４５号明細書において開示されているような透過型のヌル光学素子（ヌルレンズ）を用いた測定に対しても適用することが可能である。

一実施形態に係る回転非対称収差の発生要因誤差量測定装置の概略構成図 図１に示す解析装置の概略構成図 図２に示す係数テーブルの概略構成図 被検レンズの形状を示す概略図 面倒れと面ずれの説明図 １０次のツェルニケ多項式の係数Ａ_６，Ａ_７に対応した波面形状を示す図 １０次のツェルニケ多項式の係数Ａ_１３，Ａ_１４に対応した波面形状を示す図 １０次のツェルニケ多項式の係数Ａ_２２，Ａ_２３に対応した波面形状を示す図 １０次のツェルニケ多項式の係数Ａ_３３，Ａ_３４に対応した波面形状を示す図

符号の説明

１ 被検レンズ
２ レンズ部
２ａ （被検レンズの）第１レンズ面
２ｂ （被検レンズの）第２レンズ面
３ 張出部
３ａ （張出部の）上面
３ｂ （張出部の）下面
４ 透過型基準板
４ａ （透過型基準板の）基準面
５ レンズ搭載治具
５ａ 中央窓
５ｂ 張出部用窓
５ｃ 反射平面部用窓
６ ヌルミラー（反射型のヌル光学素子）
１１ 手動２軸チルトステージ（透過型基準板調整用）
１２ 手動２軸チルトステージ（ヌルミラー調整用）
１３ θステージ
１４ 電動２軸チルトステージ
１５ 電動Ｘ軸ステージ
１６ 電動Ｙ軸ステージ
１７ 電動Ｚ軸ステージ
１８ レーザマーカ
２０ 干渉計本体部
２１ 光源
２２ ビーム径拡大用レンズ
２３ ビームスプリッタ
２４ コリメータレンズ
２５ 結像レンズ
２６ 撮像手段
２７ 解析装置
２８ モニタ装置
２９ 入力装置
３０ 被検体ポジショニング部
３１ 係数出力手段
３２ 回転非対称収差測定手段
３３ 誤差量算定手段
３４ 係数テーブル
５０ 非球面レンズ
５１ （非球面レンズの）第１レンズ面
５２ （非球面レンズの）第２レンズ面
Ｃ_１ （第１レンズ面の）中心軸
Ｃ_２ （第２レンズ面の）中心軸
Ｐ_１ （第１レンズ面の）中心点
Ｐ_２ （第２レンズ面の）中心点

Claims (8)

1. 被検レンズの回転非対称な収差の発生要因となる所定のＮ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎ（Ｎは２以上の整数）を測定する方法であって、
   前記Ｎ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎに対し下式（１）の線形関係をそれぞれ有するとみなせる少なくともＮ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎを選択し、コンピュータシミュレーションにより、下式（１）における各係数ａ_ｊｋおよび各定数ｂ_ｊｋ（ｊ、ｋは１〜Ｎまでの任意の整数）の値をそれぞれ求める係数算定ステップと、
   ヌル光学素子を備えた干渉計を用いて前記被検レンズに対する透過波面測定を行い、該透過波面測定により得られた干渉縞画像に基づき、前記少なくともＮ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎの各発生量を求める回転非対称収差測定ステップと、
   前記係数算定ステップにおいて求められた前記各係数ａ_ｊｋおよび各定数ｂ_ｊｋの値と、前記回転非対称収差測定ステップにおいて求められた前記少なくともＮ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎの各発生量の値とを、下式（１）に代入してなる連立方程式を解くことにより、前記Ｎ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎの各値を求める誤差量算定ステップと、
   をこの順に行うことを特徴とする回転非対称収差の発生要因誤差量測定方法。
   

   
2. 前記被検レンズは、該被検レンズの２つのレンズ面のうち少なくとも一方が非球面で形成された非球面レンズであり、
   前記Ｎ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎは、前記２つのレンズ面それぞれの軸同士の相対的な位置ずれである面ずれと、前記２つのレンズ面それぞれの軸同士の相対的な傾きずれである面倒れとを含むものである、ことを特徴とする請求項１記載の回転非対称収差の発生要因誤差量測定方法。
3. 前記少なくともＮ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎは、ザイデルの３次のコマ収差と５次のコマ収差とを含むものである、ことを特徴とする請求項１または２記載の回転非対称収差の発生要因誤差量測定方法。
4. 被検レンズの回転非対称な収差の発生要因となる所定のＮ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎ（Ｎは２以上の整数）を測定する装置であって、
   ヌル光学素子を備えた干渉計と、解析装置とを備え、
   該解析装置は、
   前記Ｎ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎに対し下式（１）の線形関係をそれぞれ有するとみなせるものとして選択された少なくともＮ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎに基づき、該少なくともＮ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎの各々に対応する値としてコンピュータシミュレーションにより求められた下式（１）における各係数ａ_ｊｋおよび各定数ｂ_ｊｋ（ｊ、ｋは１〜Ｎまでの任意の整数）の値をそれぞれ出力する係数出力手段と、
   前記ヌル光学素子を備えた干渉計による、前記被検レンズに対する透過波面測定により得られた干渉縞画像に基づき、前記少なくともＮ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎの各発生量を求める回転非対称収差測定手段と、
   前記係数出力手段から出力された前記各係数ａ_ｊｋおよび各定数ｂ_ｊｋの値と、前記回転非対称収差測定手段において求められた前記少なくともＮ個の回転非対称収差Ω_１〜Ω_Ｎの各発生量の値とを、下式（１）に代入してなる連立方程式を解くことにより、前記Ｎ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎの各値を求める誤差量算定手段と、
   を備えてなることを特徴とする回転非対称収差の発生要因誤差量測定装置。
   

   
5. 前記被検レンズと前記ヌル光学素子との相対的な傾き姿勢を変化させる傾き姿勢可変手段と、
   前記被検レンズと前記ヌル光学素子との、互いに直交する３軸方向の相対的な位置を変化させる３軸方向位置可変手段と、
   を備えたことを特徴とする請求項４記載の回転非対称収差の発生要因誤差量測定装置。
6. 求められた前記Ｎ個の誤差量Ｅ_１〜Ｅ_Ｎの方向および／または大きさに係る識別情報を、前記被検レンズにマーキングするマーキング手段を備えたことを特徴とする請求項４または５記載の回転非対称収差の発生要因誤差量測定装置。
7. 前記ヌル光学素子は、反射型のヌル光学素子であることを特徴とする請求項４〜６までのうちいずれか１項記載の回転非対称収差の発生要因誤差量測定装置。
8. 前記ヌル光学素子は、透過型のヌル光学素子であることを特徴とする請求項４〜６までのうちいずれか１項記載の回転非対称収差の発生要因誤差量測定装置。
   

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