KR101299509B1 - 광학 소자의 편심 조정 조립 방법 및 편심 조정 조립 장치 - Google Patents

광학 소자의 편심 조정 조립 방법 및 편심 조정 조립 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101299509B1
KR101299509B1 KR1020100053640A KR20100053640A KR101299509B1 KR 101299509 B1 KR101299509 B1 KR 101299509B1 KR 1020100053640 A KR1020100053640 A KR 1020100053640A KR 20100053640 A KR20100053640 A KR 20100053640A KR 101299509 B1 KR101299509 B1 KR 101299509B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
optical element
eccentricity
lens
assembly
amount
Prior art date
Application number
KR1020100053640A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20100131945A (ko
Inventor
핑 선
Original Assignee
후지논 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 후지논 가부시키가이샤 filed Critical 후지논 가부시키가이샤
Publication of KR20100131945A publication Critical patent/KR20100131945A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101299509B1 publication Critical patent/KR101299509B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02—Testing optical properties
    • G01M11/0221—Testing optical properties by determining the optical axis or position of lenses
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses

Abstract

[과제] 피검 광학 소자 조체가 복수매의 광학 소자를 공축상에 배치한 것인 경우에 광학 소자의 편심량의 측정, 편심의 조정 및 광학 소자의 조립을 계전체로 해서 고정밀하게 그리고 효율적으로 행할 수 있게 한다. [해결 수단] 가장 측정광 입사측에 위치하는 제 1 렌즈만을 세팅한다(S1). 이어서, 제 1 렌즈의 편심량을 측정하고(S2), 그 측정값에 의거하여 제 1 렌즈의 위치 조정량을 산출한다(S3). 이어서, 이 편심량이 0에 근접하도록 제 1 렌즈의 편심을 조정하고(S4), 다시, 제 1 렌즈의 편심량을 측정하고(S5), 역치 이하로 되었는지의 여부를 판단한다(S6). 역치보다 큰 경우에는 스텝3으로 리턴되지만, 역치 이하인 경우에는 제 1 렌즈를 렌즈 경통(61)의 내부에 접착 유지한다(S7). 이 후, 세팅해야 할 다음 렌즈의 유무를 판단하고(S8), 다음 렌즈가 있으면 그 렌즈에 대해서 상기 스텝1∼7의 처리를 반복한다.

Description

광학 소자의 편심 조정 조립 방법 및 편심 조정 조립 장치{ECCENTRICITY ADJUSTING AND ASSEMBLING METHOD, AND ECCENTRICITY ADJUSTING AND ASSEMBLING DEVICE OF OPTICAL ELEMENT}
본 발명은 조(組)렌즈 등의 광학 소자의 피검면에 대하여 측정광을 조사해서 형성되는 지표상의 좌표 데이터에 의거하여 피검 광학 소자의 편심량을 측정하고, 이 편심을 조정하면서 피검 광학 소자 조체(組體)를 조립하는 광학 소자의 편심 조정 조립 방법 및 편심 조정 조립 장치에 관한 것이다.
종래로부터 렌즈를 사용한 장치를 제조하는 공정에 있어서는 각 렌즈의 편심량을 측정하고, 이 측정값에 의거하여 편심을 경감하도록 해서 렌즈를 렌즈 프레임(렌즈 경통)내에 유지하게 하는 방법이 알려져 있다. 그 중에서 렌즈의 편심량을 측정하는 방법으로서는 오토콜리메이션(autocollimation)법이라 불리는 측정 방법을 적용한 것이 알려져 있다(하기 특허문헌 1∼특허문헌 3 참조).
이들 편심량 측정 방법에서는 피검 광학 소자를 소정의 축둘레에서 회전시키면서 소정 형상의 지표 패턴을 투영하는 측정광을 피검면에 조사하고, 피검면으로부터의 반사광 또는 투과광에 의해 형성된 지표상을 촬상면상에 결상시킨다. 이 지표상은 피검면의 회전 위치마다 촬상되어 그 상 중심점의 좌표가 회전 위치마다 구해진다. 이 회전 위치마다 촬상된 지표상의 각 상 중심점은 피검면이 편심되어 있으면 촬상면에 대하여 설정된 좌표계에 있어서 1개의 원을 따르도록 분포되므로 그 분포 상황으로부터 피검면의 편심량을 구할 수 있다.
구체적으로 각 상 중심점에 피팅하는 원(이하, '근사원'이라 칭함)을 구해서 그 중심을 측정 기준점으로서 설정하고, 이 측정 기준점으로부터 임의의 상 중심점까지의 거리나 근사원의 반경을 피검면의 편심량으로서 구할 수 있다.
또한, 피검 렌즈의 편심량은 그 표리 각 면에 대해서 구한 상기 원의 중심점끼리의 거리에 의거하여 산출된다.
이와 같은 방법을 사용하여 피검 렌즈의 편심량을 측정하고, 이 측정값에 의거하여 편심량이 0이 되도록 피검 렌즈의 위치를 조정하는 처리가 이루어지게 된다.
일본 특허 공개 2005-55202호 공보 일본 특허 공개 2007-17431호 공보 일본 특허 공개 2007-327771호 공보
그런데, 상기 방법에서는 피검 렌즈가 단렌즈로 된 경우에 대해서 설명한 것이지만 다양한 렌즈계에 있어서는 복수매의 렌즈를 공축에 배치한 조렌즈 타입의 것도 알려져 있다. 그러나, 이들 조렌즈에 있어서 각 렌즈마다 렌즈의 편심량의 측정, 편심의 조정 및 렌즈의 조립을 어떻게 진행시키면 고정밀하고 효율적일지라는 점에 대해서는 명확한 방법이 확립되어 있지 않았다.
본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 피검 광학 소자가 복수매의 광학 소자를 공축에 배치한 것인 경우에 광학 소자의 편심량의 측정, 편심의 조정 및 광학 소자의 조립을 계 전체로 해서 고정밀하고 효율적으로 행할 수 있는 광학 소자의 편심 조정 조립 방법 및 편심 조정 조립 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 의한 광학 소자의 편심 조정 조립 방법은,
복수개의 광학 소자가 경통내에서 공축상에 배열되어서 이루어진 피검 광학 소자 조체에 있어서 이 광학 소자 각각의 편심량을 측정하고, 이 편심량을 조정하면서 이 피검 광학 소자 조체의 조립을 행하는 광학 소자의 편심 조정 조립 방법으로서:
우선, 상기 피검 광학 소자 조체를 구성해야 할 각 광학 소자 중 배열 방향 중 어느 한쪽의 단부에 배치되어야 할 제 1 광학 소자만을 상기 공축상에 배치하고, 이 제 1 광학 소자에 있어서의 편심량을 측정하고, 이 측정값에 의거해서 이 제 1 광학 소자에 있어서의 편심량이 작아지도록 이 제 1 광학 소자의 설정 위치를 조정하고, 이 조정된 위치에서 이 제 1 광학 소자를 경통에 유지시키고,
이어서, 이 제 1 광학 소자에 대하여 상기 측정광의 입사측과 반대측에 인접해서 배치되어야 할 제 2 광학 소자를 상기 공축상에 배치하고, 이 제 2 광학 소자에 있어서의 편심량을 측정하고, 이 측정값에 의거해서 이 제 2 광학 소자에 있어서의 편심량이 작아지도록 이 제 2 광학 소자의 설정 위치를 조정하고, 이 조정된 위치에서 이 제 2 광학 소자를 경통에 유지시키고,
이후, 마찬가지로 하여 상기 측정광의 입사측과 반대측에 인접해서 배치되어야 할 광학 소자에 대하여 순차적으로 상기 편심량을 측정함과 아울러 상기 설정 위치를 조정해서 경통에 유지시키는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 상기 편심량의 측정은 소정의 지표 패턴을 투영하는 측정광을 피검면에 조사하고, 이 피검면으로부터의 반사광 또는 투과광에 의해 촬상면상에 형성된 지표상을 상기 피검면을 소정의 축둘레에서 회전시키면서 상이한 3개 이상의 회전 위치마다 또는 서로 180° 떨어진 2개의 회전 위치마다 촬상하고, 이 회전 위치마다 촬상된 각 지표상의 상 중심점의 좌표를 상기 촬상면에 대하여 설정된 좌표계에 있어서 각각 특정하고, 이 특정된 각 상 중심점의 좌표 데이터에 의거하여 상기 피검면의 편심량을 측정함으로써 행해지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 광학 소자의 편심량의 측정은 상기 광학 소자의 표리면 각각에 대해서 소정의 상기 회전 위치마다 촬상된 각 지표의 상을 통하는 원을 특정하고, 특정된 이 원의 중심점의 좌표를 구하고,
이 후, 구해진 상기 광학 소자의 표리면 각각에 관한 상기 원의 중심점 좌표의 차를 산출하고, 이 산출된 값을 상기 광학 소자의 편심량으로 하는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명에 의한 광학 소자의 편심 조정 조립 장치는,
복수매의 광학 소자가 경통내에서 공축상에 배열되어 이루어진 피검 광학 소자 조체에 있어서 이 광학 소자 각각의 편심량을 측정하고, 이 편심량을 조정하면서 이 피검 광학 소자 조체의 조립을 행하는 광학 소자의 편심 조정 조립 장치로서:
상기 피검 광학 소자 조체를 구성해야 할 각 광학 소자를 상기 측정광의 입사측으로부터 순차적으로 상기 공축상에 배치하는 광학 소자 배치 수단과,
상기 공축상에 상기 광학 소자가 배치될 때마다 해당 배치된 상기 광학 소자의 편심량을 상기 측정광을 이용하여 측정하는 편심량 측정 수단과,
이 측정 결과에 따라 해당 광학 소자에 있어서의 편심량이 작아지도록 해당 광학 소자의 설정 위치를 조정하는 설정 위치 조정 수단과,
이 조정된 위치에서 해당 광학 소자를 경통에 유지시키는 광학 소자 유지 수단을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 상기 광학 소자 배치 수단은 상기 광학 소자 각각을 반송하는 광학 소자 흡착 수단을 구비하고 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 광학 소자 배치 수단은 상기 광학 소자의 주위에 배치되고, 이 광학 소자의 편심량을 조정하기 위해 해당 광학 소자의 측면을 미소량만큼 가압하는 피에조 소자를 복수개 구비하고 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 복수개의 피에조 소자가 동일한 광학 소자에 대하여 협동해서 조정하는 조를 이루는 것이며, 상기 복수개의 광학 소자 각각에 대해서 순차적으로 편심량을 조정할 수 있도록 상기 피에조 소자를 이 광학 소자 각각에 대응한 위치로 이동시키는 압전소자 이동 수단을 구비하고 있고, 이 압전소자 이동 수단은 상기 피에조 소자를 상기 광학 소자의 배열 방향으로 이동시키는 압전소자 상하 방향 이동 수단, 및 상기 피에조 소자를 상기 광학 소자의 직경 방향으로 출입시키는 조작을 행하는 압전소자 수평 방향 이동 수단을 구비하고 있는 것이 바람직하다.
[발명의 효과]
본 발명에 의한 광학 소자의 편심 조정 조립 방법에 있어서는 피검 광학 소자 조체를 구성해야 할 각 광학 소자 중 광학 소자 배열 방향 중 어느 한쪽의 단부에 배치되어야 할 제 1 광학 소자만을 상기 공축상에 배치하고, 이 제 1 광학 소자에 있어서의 편심량을 측정하고, 이 측정값에 의거하여 이 제 1 광학 소자에 있어서의 편심량이 작아지도록 이 제 1 광학 소자의 설정 위치를 조정하고, 이 조정된 위치에서 이 제 1 광학 소자를 경통에 유지시키고, 이어서 이 제 1 광학 소자에 대하여 상기 측정광의 입사측과 반대측에 인접해서 배치되어야 할 제 2 광학 소자를 상기 공축상에 배치하고, 이 제 2 광학 소자에 있어서의 편심량을 측정하고, 이 측정값에 의거하여 이 제 2 광학 소자에 있어서의 편심량이 작아지도록 이 제 2 광학 소자의 설정 위치를 조정하고, 이 조정된 위치에서 이 제 2 광학 소자를 경통에 유지시키고, 이후 마찬가지로 하여 상기 측정광의 입사측과 반대측에 인접해서 배치되어야 할 광학 소자에 대하여 순차적으로 상기 편심량을 측정함과 아울러 상기 설정 위치를 조정해서 경통에 유지시키도록 하고 있다.
따라서, 각 광학 소자는 측정광의 입사측으로부터 순서대로 편심량이 조정되면서 경통에 유지되어 가는 것으로 되기 때문에 예를 들면, 제 2 광학 소자에 있어서의 편심량을 측정할 때에는 이미 유지되어 있는 제 1 광학 소자의 편심량을 고려하지 않아도 좋고, 이 때에 측정된 편심량은 제 2 광학 소자에 기인하는 것으로서 취급할 수 있다. 마찬가지로 이후에 편심량이 측정되는 광학 소자는 그때까지 조정, 유지된 광학 소자의 편심량의 영향을 전혀 고려하지 않고, 해당 광학 소자만의 편심량으로 할 수 있다.
따라서, 조립 대상이 복수매의 광학 소자를 공축에 배치한 피검 광학 소자 조체인 경우에 광학 소자의 편심량의 측정, 편심의 조정 및 광학 소자의 조립을 계전체로 하여 고정밀하고 효율적으로 행할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 광학 소자의 편심 조정 조립 장치에 있어서는 피검 광학 소자 조체를 구성해야 할 각 광학 소자를 측정광의 입사측으로부터 순차적으로 공축상에 배치하는 광학 소자 배치 수단과, 상기 공축상에 상기 광학 소자가 배치될 때마다 해당 배치된 상기 광학 소자의 편심량을 상기 측정광을 이용하여 측정하는 편심량 측정 수단과, 이 측정 결과에 따라 해당 광학 소자에 있어서의 편심량이 작아지도록 해당 광학 소자의 설정 위치를 조정하는 설정 위치 조정 수단과, 이 조정된 위치에서 해당 광학 소자를 경통에 유지시키는 광학 소자 유지 수단을 구비하고 있다. 따라서, 조립 대상이 복수매의 광학 소자를 공축에 배치한 피검 광학 소자 조체인 경우에 광학 소자의 편심량의 측정, 편심의 조정 및 광학 소자의 조립을 계전체로 하여 고정밀하고 효율적으로 행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시형태에 의한 광학 소자의 편심 조정 조립 방법의 순서를 나타낸 플로우차트이다.
도 2는 도 1에 도시된 편심 조정 조립 방법에 사용된 편심 조정 조립 장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 3은 도 1에 도시된 실시형태 방법에 있어서 편심 조정 조작을 행하기 위한 방법을 설명하기 위한 개략도[(A)는 2점 조정법,(B)는 3점 조정법]이다.
도 4는 도 1에 도시된 실시형태 방법의 요부를 설명하기 위한 개략도(하방으로부터의 측정)이다.
도 5는 도 1에 도시된 실시형태 방법의 요부를 설명하기 위한 개략도(상방으로부터의 측정)이다.
도 6은 본 실시형태 장치의 압전소자 이동 수단을 설명하기 위한 개념도이다.
도 7은 상방으로부터의 측정을 행하는 편심 조정 조립 장치를 나타낸 개략도이다.
이하, 본 발명에 의한 실시형태에 대해서 도면을 참조하면서 상세히 설명한다. 도 2는 본 발명의 일실시형태에 의한 광학 소자의 편심 조정 조립 방법에 사용된 장치의 개략 구성도이다.
즉, 이 편심 조정 조립 장치(1)는 피검 렌즈 조체(5)의 각 피검 렌즈의 편심량을 측정하고, 그 측정된 편심량이 거의 0이 되도록 조정하고, 이 상태에서 측정 헤드(10)와 피검 렌즈 조체(5)를 회전 가능하게 유지하는 기대(基臺)(20)와, 편심량을 산출하기 위한 각종 연산 등을 행하는 해석 연산부(30)와, 측정 헤드(10)를 도면 중 상하 방향으로 이동 가능하게 유지하는 Z축 스테이지(40)를 구비하여 이루어진다.
상기 측정 헤드(10)는 상기 피검 렌즈 조체(5)에 조사되는 광속을 출력하는 광원(11)과, 광원(11)으로부터 출력된 광속을 통과시키는, 예를 들면 십자 형상의 슬릿(이하, 「레티클(reticle)」이라 칭함)을 가진 레티클판(12)과, 레티클판(12)으로부터의 광속을 도면 중 상방을 향해서 반사하는 빔 스플리터(13)와, 입사된 광속을 평행 광속으로 하는 콜리메이터 렌즈(14)와, 평행 광속을 광 수렴점(F)에 수렴시키는 대물 렌즈(15)와, CCD나 CMOS 등의 촬상 소자(16)를 탑재한 촬상 카메라(17)를 구비하고 있다.
한편, 상기 피검 렌즈 조체(5)는 2매의 렌즈(51, 52)를 경통(53)내에 유지해서 이루어지고[본 실시형태에 있어서는 설명의 편의를 위해 조체(5)가 2매의 렌즈로 이루어진 경우에 대해서 설명하지만, 조체(5)가 3매 이상의 렌즈로 이루어진 경우에 대해서도 마찬가지로 처리 가능함], 이 렌즈(51, 52)의 각 렌즈면(51a, 51b, 52a, 52b) 중 렌즈(52)의 도면 중 하측의 렌즈면(52a)의 초점면[렌즈면(52a)의 초점(근축(近軸)의 곡률 중심)(C3)이 위치하는 면; 도시 생략]이 렌즈(51)의 도면 중 하측의 렌즈면(51a)보다도 도면 중 하방에 위치하도록 구성되어 있다.
상기 기대(20)는 상기 피검 렌즈 조체(5)가 탑재되는 탑재 부재(21)와, 이 탑재 부재(21)를 지지하는 XY축 스테이지(22) 및 회전 스테이지(23)를 구비하여 이루어진다. XY축 스테이지(22)는 탑재 부재(21)에 탑재된 피검 렌즈 조체(5)와 측정 헤드(10)의 위치 조정을 행할 때에 사용되는 것이며, 탑재 부재(21)에 탑재된 피검 렌즈 조체(5)를 이 피검 렌즈 조체(5)의 광축(L)과 수직인 방향으로 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 회전 스테이지(23)는 탑재 부재(21)에 탑재된 피검 렌즈 조체(5)를 도시된 회전축(E)을 중심으로 해서 회전시킬 수 있도록 구성되어 있다. 또한, XY축 스테이지(22) 및 회전 스테이지(23)의 각 중앙부에는 탑재 부재(21)에 이어지는 관통 구멍이 천설(穿設)되어 있고, 이 관통 구멍에 의해 측정 헤드(10)와 피검 렌즈(51, 52) 사이의 광속의 입출사가 가능하게 되어 있다.
또한, 상기 해석 연산부(30)는 측정시에 촬상된 각 화상의 해석 등을 행하는 컴퓨터 등으로 이루어진 해석 장치(31)와, 해석 결과나 각 화상 등을 표시하는 화상 표시 장치(32)와, 해석 장치(31)에 대한 각종 입력을 행하기 위한 입력 장치(33)를 구비하여 이루어진다.
또한, 피검 렌즈 조체(5)를 구성하는 각 피검 렌즈(51, 52)는 경통(53)내에서 순차적으로 공축상에 배치되지만 이 각 피검 렌즈(51, 52)의 반송 및 설치는 자동 장치에 의해 행해지도록 구성하는 것이 바람직하다. 이러한 경우에 있어서, 자동 장치가 예를 들면 플렉서블한 흡반(吸盤)에 의해 렌즈 표면을 진공 흡착할 수 있는 렌즈 흡착 수단을 구비하고 있는 것이 바람직하다. 또한, 렌즈 흡착 수단을 유지해서 이동시키는 이동 암 수단 등을 구비하고 있는 것이 바람직하다.
또한, 피검 렌즈 조체(5)는 도 3(A)나 도 3(B)에 도시된 편심량 조정 수단에 의해 상기 측정된 편심량이 0에 근접하도록(바람직하게는 0이 되도록) 편심 조정이 행해진다.
즉, 도 3(A)는 2개의 압전소자를 이용하여 편심 조정을 행하는 2점 조정법을 실시하기 위한 실시형태를 나타낸 것이며, 각 렌즈(51, 52)를 소정 위치에 유지해서 이루어진 렌즈 경통(61)의 외주면을 따라 가요성을 가진 원통상의 조정 지그(65)가 배치된다. 렌즈 경통(61)의 각 렌즈 배치 위치에 대응하여 그 둘레 방향 90°마다 벽부를 관통하는 구멍부(66)가 형성되어 있고, 조정 지그(65)에는 이들 구멍부(66)와 감합(嵌合)되어 렌즈(51, 52)에 접하는 볼록부(67)가 형성되어 있다. 또한, 이들 볼록부(67) 중 인접하는 2개의 볼록부(67)를 가압할 수 있도록 가압 선단부(62Aa, 62Ba)를 가진 압전소자(62A, 62B)가 설치되어 있다.
또한, 도 3(B)는 3개의 압전소자를 이용하여 편심 조정을 행하는 3점 조정법을 실시하기 위한 실시형태를 나타낸 것이며, 각 렌즈(51, 52)를 소정 위치에 유지해서 이루어진 렌즈 경통(61A)의 둘레 방향 120°마다 벽부를 관통하는 구멍부(66A)가 형성되어 있고, 이들 구멍부(66A)의 각각과 감합되어 렌즈(51)의 측면에 접하는 압전소자(62C, 62D, 62E)의 가압 선단부(62Ca, 62Da,62Ea)가 설치되어 있다.
또한, 도 3(A) 및 도 3(B)에 도시된 어느쪽의 실시형태에 있어서도 압전소자(62A, 62B, 62C, 62D, 62E)는 피검 렌즈 조체(5)를 구성하는 각 피검 렌즈(51, 52)마다 각각 설치하도록 해도 좋고, 압전소자(62A, 62B, 62C, 62D, 62E)를 1개의 피검 렌즈(51, 52)에 대응하는 분만큼 설치함과 아울러 이것을 렌즈 배열 방향으로 이동시키는 압전소자 상하 방향 이동 수단을 구비하도록 해도 좋다. 또한, 이들 압전소자(62A, 62B, 62C, 62D, 62E)의 이동, 구동 등의 제어는 상기 해석 장치(31)에 병설된 제어부에 격납된 프로그램에 따라서 행해지도록 하면 좋다. 또한, 상술한 바와 같이 압전소자(62A, 62B, 62C, 62D, 62E)를 렌즈 배열 방향으로 이동시키는 압전소자 상하 방향 이동 수단을 설치하는 경우에는 일단, 압전소자(62A, 62B, 62C, 62D, 62E)를 렌즈의 직경 방향으로 출입시키는 조작을 압전소자 수평 방향 이동 수단에 의해 행하는 것이 필요하기 때문에 이러한 압전소자(62A, 62B, 62C, 62D, 62E)의 출입 조작에 의한 제어도 상기 해석 장치(31)에 병설된 제어부에 격납된 프로그램에 따라서 행해지도록 구성하는 것이 바람직하다.
이하, 본 실시형태에 의한 광학 소자의 편심 조정 조립 방법을 도 1의 플로우차트를 이용해서 설명한다.
이 광학 소자의 편심 조정 조립 방법은 우선, 가장 측정광 입사측에 위치하는 제 1 렌즈만을 세팅한다(S1).
이어서, 도 2에 도시된 편심 조정 조립 장치(1)를 이용해서 이 제 1 렌즈의 편심량을 측정한다(S2).
이어서, 상기 스텝2(S2)에 있어서 측정된 편심량에 의거하여 후술하는 식(A), (B) 등을 이용하여 제 1 렌즈의 위치 조정량을 산출한다(S3).
이어서, 도 3(A), (B) 등에 도시된 편심 조정 수단 등을 이용하여 이 편심량이 0에 근접하도록 제 1 렌즈의 편심을 조정한다(S4).
이어서, 상기 스텝2(S2)에 있어서의 편심량의 측정과 마찬가지로 하여 다시 제 1 렌즈의 편심량을 측정한다(S5).
이어서, 상기 스텝5(S5)에 있어서 측정된 편심량이 소정의 역치 이하가 되었는지의 여부 즉, 예를 들면 무시할 수 있는 정도로 작은 값으로 되어 있는지를 판단한다(S6).
이어서, 상기 스텝6(S6)에 있어서의 판단의 결과, 소정의 역치 이하라고 판단되면 스텝7(S7)로 진행되고, 소정의 역치보다 크다고 판단되면 스텝3(S3)으로 리턴되고, 상기 스텝3(S3)에 있어서의 위치 조정량의 산출과 마찬가지로 하여 측정된 편심량에 의거하여 제 1 렌즈의 위치 조정량을 산출(S3)하도록 한다.
한편, 상기 스텝6(S6)에 있어서의 판단의 결과, 소정의 역치 이하라고 판단되어 스텝7(S7)로 나아가면 이 스텝7(S7)에 있어서는 도 4에 도시하도록 하고, 제 1 렌즈를 위치 조정된 상태에서 렌즈 경통(61)의 내부에 접착 유지한다.
이 후, 세팅해야 할 다음 렌즈의 유무를 판단하고, 이 판단 결과, 다음 렌즈가 없으면 이 루틴을 종료하고, 한편 다음 렌즈가 아직 있으면 그 렌즈에 관한 스텝1∼7(S1∼7)의 처리를 행하도록 한다.
이 결과, 피검 렌즈 조체(5)를 구성하는 모든 렌즈에 대해서 순차적으로 편심 조정 및 경통(61)내로의 접착 유지가 되어 조립이 종료된다.
이하, 도 4를 이용하여 각 렌즈(51A, 51B, 51C)의 조정 순서에 대해서 설명한다.
또한, 이 예에 있어서는 3매의 렌즈에 의해 피검 렌즈 조체(5)가 구성되어 있다.
이 도 4의 개념도에 도시된 바와 같이, 하방에 배치된 측정 헤드(10)의 대물 렌즈(15)로부터의 측정광은 렌즈(51A), 렌즈(51B), 렌즈(51C)의 배치 위치순으로 진행하게 된다.
본 실시형태의 방법에 있어서는 측정광이 입사하는 순서대로 렌즈(51A, 51B, 51C)의 편심량 측정, 편심 조정, 및 렌즈(51A, 51B, 51C)의 경통(61)내에서의 접착 유지라는 일련의 처리가 행해진다[도 4에 있어서,(A),(B),(C)의 순]. 또한, 각 렌즈간의 처리 스위칭은 Z축 스테이지(40)를 도면 중 상하 방향으로 구동하여 각 렌즈의 측정 기준이 되는 위치에 맞추어 고침으로써 이루어진다. 즉, 예를 들면 측정해야 할 렌즈면의 초점 위치(예를 들면 C3)에 대물 렌즈(15)의 초점 위치(F)를 맞춤으로써 이루어진다.
이러한 순번으로 렌즈를 조립해 가면 렌즈(51A)의 편심 조정이 이루어진 후에 렌즈(51B)의 편심량 측정이 행해지므로 이 때 측정된 편심량에는 렌즈(51A)의 편심량은 거의 포함되어 있지 않고, 이 측정값에 의거해서 렌즈(51B)의 편심 조정만을 행하면 좋다. 또한, 이어서 렌즈(51C)의 편심량 측정이 행해지게 되지만 이 때 측정된 편심량에는 렌즈(51A)나 렌즈(51B)의 편심량은 거의 포함되어 있지 않고, 이 때의 측정값에 의거해서 렌즈(51C)의 편심 조정만을 행하면 좋다. 또한, 이와 같이 측정 헤드(10)를 하방에 배치한 경우에는 도 5에 도시된 바와 같은 간격 유지용의 간격 링(63)을 설치하지 않아도 좋다.
또한, 상기와는 반대로 측정광이 입사하는 순서와는 역의 순서로 렌즈(51A, 51B, 51C)의 편심량 측정, 편심 조정, 및 렌즈(51A, 51B, 51C)의 경통(61)내에서의 접착 유지를 행하도록 하면 일단 편심 조정한 렌즈이어도 그 다음 렌즈의 편심량 측정시에 편심을 갖도록 측정되게 되고, 조 렌즈를 구성하는 각 렌즈의 편심 조정이나 렌즈 조립이 극히 번잡해지므로 바람직하지 못하다.
또한, 상기 렌즈(51A, 51B, 51C)의 경통(61A)내에서의 접착 유지는 자외선 경화형 접착제 등을 이용하는 것이 바람직하고, 이 경우에는 경통(61)의 근방에 자외선조사 광원을 배치하고, 접착 고정을 요하는 타이밍에만 광원이 구동되도록 제어하는 것이 바람직하다. 또한, 이 경우의 제어도 상기 해석 장치(31)에 병설된 제어부에 격납된 프로그램에 따라서 행해지도록 구성하는 것이 바람직하다.
본 실시형태 방법에 의하면, 렌즈 편심량의 측정, 편심의 조정 및 렌즈의 접착 유지라는 일련의 처리가 행해지는 렌즈의 순서를 측정광의 입사측으로부터로 함으로써 간이하게 그리고 효율적으로 피검 렌즈의 편심 조정 및 접착 유지를 행할 수 있다.
또한, 본 발명 방법은, 도 4에 도시된 바와 같이, 측정 헤드(10)를 하방에 배치한 경우에 한정되는 것이 아니고, 예를 들면 도 5에 도시된 바와 같이, 측정 헤드(10)를 상방에 배치하고, 이 측정 헤드(10)의 대물 렌즈(15)로부터 출사된 측정광을 이용해도 행할 수 있고, 거의 마찬가지 작용 효과를 달성할 수 있다. 또한, 이 경우에는 각 렌즈(51A, 51B, 51C) 사이에 간격 유지용의 주지의 간격 링을 배치하는 것이 중요하다.
또한, 상기의 경우에는 측정광이 입사하는 순서, 즉 렌즈(51A), 렌즈(51B), 렌즈(51C)인 바와 같이 도면 중 상방측으로부터 순서대로 편심량 측정, 편심 조정, 및 렌즈(51)의 경통(61)내에서의 접착 유지의 각 처리가 행해진다[도 5에 있어서, (A), (B), (C)의 순].
또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 본 실시형태 장치는 압전소자 이동 수단으로서 압전소자(62A, 62B, 62C, 62D, 62E)를 렌즈 배열 방향으로 이동시키는 압전소자 상하 방향 이동 수단(41B) 및 압전소자(62A, 62B, 62C, 62D, 62E)를 렌즈의 직경 방향으로 출입시키는 조작을 행하는 압전소자 수평 방향 이동 수단(41A)을 구비하고 있다. 도 6은 이들 수단에 있어서의 구체적인 동작 실시형태를 설명하기 위한 개략도이다. 또한, 실제로는 렌즈(51A, 51B, 51C) 주위의 3방향으로부터, 도 3(B)에 도시된 바와 같이, 압전소자(62C, 62D, 62E)를 각 렌즈(51A, 51B, 51C)에 대하여 작용시키는 것이지만 도 6에서는 설명의 편의를 위해 주로 압전소자(62C)의 조작에 착안해서 설명한다.
즉, 도 6(A)에 도시된 바와 같이, 렌즈 경통(61A)의 최하단에 위치하는 렌즈(51A)의 측면에 대향하는 압전소자(62C)의 가압 선단부(헤드)(62Ca)가 렌즈 경통(61A)의 구멍부(66A)에 삽입되고, 이 가압 선단부(62Ca)의 렌즈(51A)에 대한 가압 위치 조정 조작은 이 렌즈(51A)가 정규 위치에 고정밀하게 설정되도록 상술한 해석 장치(31)에 병설된 제어부에 격납된 프로그램에 따라서 가압 선단부(62Ca)를 미소량만큼 조작하게 함으로써 행해진다. 또한, 압전소자(62D, 62E)[도 3(B)를 참조]의 가압 선단부(헤드)(62Da, 62Ea)에 대해서도 가압 선단부(62Ca)와 마찬가지의 조작이 이루어지게 되므로 결국, 가압 선단부(62Ca, 62Da, 62Ea)를 이용하여 렌즈(51A)를 그 주위의 3방향으로부터 위치 조정하게 된다.
이와 같이 하여 렌즈(51A)의 가압 위치 조정 조작이 종료되면 이어서 렌즈(51B), 렌즈(51C)에 있어서의 마찬가지 가압 위치 조정 조작이 순차적으로 행해진다. 도 6(B)는 렌즈(51B)의 가압 위치 조정 조작이 행해질 때의 모양을 나타내는 것이며, 이 가압 위치 조정 조작 자체는 상기 렌즈(51A)의 가압 위치 조정 조작과 마찬가지로 행해지지만 도 6(A)의 상태로부터 도 6(B)의 상태로의 압전소자(62C)의 이동 조작에 있어서 압전소자(62C)를 수평 방향(예를 들면, X방향)으로 이동시키지 않고 그대로의 상태에서 상방향(도면 Z방향)으로 이동시킬 수 없으므로 압전소자(62C)를 수평 방향으로 이동시키는 압전소자 수평 방향 이동 수단(41A)을 구비하고 있다. 즉, 도 6(A)에 도시된 상태로부터 압전소자 수평 방향 이동 수단(41A)이 압전소자(62C)를 수평 방향(도면중 좌측 방향)으로 이동시킴으로써 압전소자(62C)의 가압 선단부(62Ca)가 렌즈 경통(61A)의 구멍부(66A)로부터 발거(拔去)된다. 이 상태에서 압전소자 상하 방향 이동 수단(41B)이 압전소자(62C)를 상방향(Z방향)으로 미리 정해진 소정 거리만큼 이동시킴으로써 압전소자(62C)의 가압 선단부(62Ca)가 렌즈(51B)에 대응하는 구멍부(66A)에 대향하는 위치까지 이동한다. 이어서, 압전소자 수평 방향 이동 수단(41A)이 압전소자(62C)를 렌즈(51B)에 근접하는 방향으로 이동시킴으로써 압전소자(62C)의 가압 선단부(62Ca)가 렌즈(51B)에 대응하는 구멍부(66A)에 삽입되어 도 6(B)의 상태로 설정되게 된다.
이와 같이, 본 실시형태 장치에 있어서는 압전소자(62C, 62D, 62E)를 렌즈의 직경 방향으로 출입시키는 조작을 행하는 압전소자 수평 방향 이동 수단(41A)과, 압전소자(62C, 62D, 62E)를 렌즈 배열 방향으로 이동시키는 압전소자 상하 방향 이동 수단(41B)을 구비하고 있으므로 1개의 렌즈 위치 조정 수단에 의해 복수매의 렌즈 조정을 간이하게 그리고 원활하게 행할 수 있다.
또한, 이 후 렌즈(51C)의 위치 조정을 행하는 위치까지 압전소자(62C)를 이동시키게 되지만 이 경우의 렌즈 위치 조정 수단의 이동 조작도 상기 조작과 마찬가지로 해서 행할 수 있다. 또한, 도 3(A)에 도시된 실시형태에 있어서도 각 압전소자(62A, 62B)[각 가압 선단부(62Aa, 62Ba)]에 대해서 압전소자 수평 방향 이동 수단(41A)과, 압전소자 상하 방향 이동 수단(41B)에 의해 이동시킴으로써 마찬가지로 이동 조작을 행할 수 있다. 또한, 도 3(A)에 도시된 실시형태와 같이, 각 렌즈(51A, 51B, 51C)에 접하는 볼록부(67)가 형성되어 있는 바와 같은 경우, 또는 상술한 가압 선단부(62Ca, 62Da,62Ea)의 일부에 상당하는 봉상 헤드 부재가 독립적으로 하여 각 렌즈(51A, 51B, 51C)에 대응하는 구멍부(66)내에 각각 이미 삽입되어 있는 바와 같은 경우는 상기 볼록부(67)나 상기 봉상 헤드 부재의 외측 단부를 압전소자(62A, 62B, 62C, 62D, 62E)에 의해 외측으로부터 가압하면 좋으므로 그러한 경우에는 상술한 압전소자 수평 방향 이동 수단(41A)은 반드시 필요하지 않고, 압전소자(62A, 62B, 62C, 62D, 62E)의 스트로크에 따라서는 압전소자 상하 방향 이동 수단(41B)만에 의해 압전소자 이동 수단을 구성하는 것도 가능하다.
또한, 도 6에 도시된 실시형태에 있어서는 렌즈의 조정을 하방의 렌즈로부터 순차적으로 행하도록 하고 있지만 렌즈의 조정을 상방의 렌즈로부터 순차적으로 행하도록 하는 것도 물론 가능하다.
또한, 도 7은 도 5에 도시된 바와 같은 상방측으로부터 측정광을 조사하는 측정 헤드(210)를 구비한 편심 조정 조립 장치(201)를 나타낸 것이다. 또한, 도 2에 도시된 부재에 대응하는 부재에는 도 2에 도시된 부호에 200을 더한 부호로 나타내는 것으로 하고, 그들 각각의 부재에 관한 상세한 설명은 생략한다.
여기서, 도 2에 도시된 장치(1)를 이용해서 행해지는 각 렌즈의 편심량 측정에 대해서 일례를 들어 보충 설명을 한다.
또한, 이하에서는 상기 피검 렌즈 조체(5)의 각 렌즈면(51a, 51b, 52a, 52b) 중 렌즈면(52a)를 피검면으로 하여 그 편심량을 측정하는 경우를 예로 들어서 설명한다. 이 경우, 측정 준비로서 측정 헤드(10)의 광 수렴점(F)이 렌즈면(52a)의 초점면에 위치하도록 Z축 스테이지(40)를 이용해서 측정 헤드(10)의 높이 조정이 행해진다. 이 조정 완료후의 피검 렌즈 조체(5)의 위치를 초기 위치로 한다.
<1> 우선, 측정점수(N)(N은 3 이상의 임의인 정수. 예를 들면 N=18)를 설정한다.
<2> 이어서, 측정 헤드(10)로부터 피검 렌즈 조체(5)에 대하여 소정의 지표 패턴(레티클에 의한 십자 형상의 패턴)을 투영하는 측정 광속을 조사해서 최초의 화상을 촬상하고, 촬상후에 회전 스테이지(23)를 이용하여 피검 렌즈 조체(5)[렌즈면(52a)]를 회전축(E)의 주변에서 360/N°(N=18인 경우는 20°)만큼 회전시킨다.
<3> 이어서, 촬상된 지표상의 상 중심점의 좌표를 촬상 소자(16)의 촬상면에 대하여 설정된 좌표계(직교 좌표계나 극 좌표계 등 적절히 설정 가능)에 있어서 구한다. 이 상 중심점의 좌표를 구하는 방법(십자선의 중심점 좌표의 특정 방법)은 예를 들면, 전술한 특허문헌 3에 기재된 것과 마찬가지로 하면 좋다.
<4> 피검면[렌즈면(52a)]이 초기 위치로부터 회전축(E)의 주변에서 합계 360° 회전하였는지의 여부를 판정하고, 부로 판정되면 상기 순서 <1>∼<3>을 반복하고, 회전 위치마다 촬상된 지표상의 상 중심점의 좌표를 구한다. 또한, 각 상 중심점의 좌표를 구하기 위해서 필요한 화상 처리나 연산 처리는 해석 장치(31)에 있어서 행해지고, 구해진 각 상 중심점의 좌표는 해석 장치(31)의 기억부에 순차적으로 기억된다.
이 후, 각 상 중심점에 피팅(fitting)하는 근사 원을 구해서 그 중심을 측정 기준점으로서 설정하고, 이 측정 기준점으로부터 임의의 상 중심점까지의 거리나 근사 원의 반경을 피검면의 편심량으로서 구한다. 또한, 이 경우의 연산 처리도 해석 장치(31)에 있어서 행해진다.
이어서, 전술한 도 3(A), (B)를 이용하여 편심을 조정하는 경우의 각각의 계산 방법에 대해서 보충 설명을 더한다.
즉, 도 3(A)에 도시된 바와 같이, 2개의 압전소자(피에조 소자)를 이용한 조정 지그로 X방향 및 Y방향의 편심을 조정할 수 있지만 이 경우의 편심 조정량은 수식을 이용하여 산출된다.
즉, 편심 측정값을 (ex, ey)로 하면 서로 90°의 각도로 설치한 2개의 압전소자(62A, 62B)의 편심 조정량(LP1, LP2)은 예를 들면 이하의 식(A)에 의해 산출된다(P1은 Y방향에 일치하는 방향을 나타내고, P2는 X방향에 일치하는 방향을 나타냄).
Figure 112010036557764-pat00001
또한, 도 3(B)에 도시된 바와 같이, 3개의 압전소자를 이용하여 X 방향 및 Y방향의 편심을 조정할 수 있지만 이 경우의 편심 조정량도 수식을 이용하여 산출된다.
즉, 편심 측정값을 (ex, ey)로 하면 서로 120°의 각도로 설치한 3개의 압전소자(62A, 62B, 62C)의 편심 조정량(LP1, LP2, LP3)은 예를 들면 이하의 식(B)에 의해 산출된다(P1은 Y방향에 일치하는 방향을 나타내고, P2는 Y방향으로부터 반시계 방향으로 120° 회전한 방향을 나타내고, P3은 Y방향으로부터 반시계 방향으로 240° 회전한 방향을 나타냄).
Figure 112010036557764-pat00002
이상, 본 발명의 광학 소자의 편심 조정 조립 방법의 실시형태에 대해서 설명했지만 본 발명은 상기 실시형태의 것에 태양(態樣)이 한정되는 것이 아니고, 여러가지 태양의 것을 실시형태로 하는 것이 가능하다. 예를 들면, 상기 실시형태의 것에서는 피검면으로부터의 반사광에 의해 촬상면상에 형성되는 지표상을 상기 피검면을 소정의 축주변에서 회전시키면서 상이한 3개 이상의 회전 위치마다(예를 들면, 120° 떨어진 회전 위치마다) 촬상하고, 이 회전 위치마다 촬상된 각 지표상의 상 중심점의 좌표에 의거해서 측정 기준점(각 상 중심점이 이루는 근사 원의 중심점)을 구하도록 하고 있지만 본 발명의 방법에 있어서는 이것 대신에 피검면으로부터의 반사광에 의해 촬상면상에 형성되는 지표상을 서로 180° 떨어진 2개의 회전 위치마다 촬상하고, 촬상된 각 지표상의 상 중심점 좌표의 평균을 구함으로써 상기 측정 기준점을 구하도록 해도 좋다.
또한, 1개의 렌즈를 조정하는 피에조 소자를 4개 이상 설치하도록 해도 좋다.
또한, 상기 배치 부재(21)로서는 그 상방 끝면 가장자리부에 있어서 피검 렌즈 조체(5)를 지지하는 원통 형상의 것을 이용해도 좋지만, 전술한 특허문헌 3의 도 3에 도시된 바와 같은 V 블록과 회전 원판으로 이루어진 지퍼(zipper) 기구를 이용해도 좋다.
또한, 상기 실시형태의 것에서는 피검 광학 소자로서 피검 렌즈를 예로 들고 있지만 복수매가 공축상에 배열되는 다양한 광학 소자(예를 들면, 필터나 프리즘 등)의 조체에 대하여 적용 가능하다.
또한, 상기 실시형태에 있어서는 지표 패턴을 투영하기 위해서 십자 형상의 레티클을 이용하고 있지만 이것 대신에 핀홀 등의 다른 형상의 것을 지표 패턴을 투영하기 위해서 이용하는 것도 가능하다.
또한, 상기 실시형태에서 사용하는 편심량을 측정하는 장치는 피검면으로부터의 반사광에 의해 형성되는 지표상을 관찰하는 광반사 타입의 것이지만 피검면으로부터의 투과광에 의해 형성되는 지표상을 관찰하는 광투과 타입의 것을 사용해서 편심량을 측정하는 경우에도 본 발명을 적용하는 것이 가능하다.
1, 201 : 편심 조정 조립 장치 5, 5A, 5B, 205 : 피검 렌즈 조체
10, 210 : 측정 헤드 11, 211 : 광원
12, 212 : 레티클판 13, 213 : 빔 스플리터
14, 214 : 콜리메이터 렌즈 15, 215 : 대물 렌즈
16, 216 : 촬상 소자 17, 217 : 촬상 카메라
20, 220 : 기대 21, 221 : 탑재 부재
22, 222 : XY축 스테이지 23, 223 : 회전 스테이지
30, 230 : 해석 연산부 31, 231 : 해석 장치
32, 232 : 화상 표시 장치 33, 233 : 입력 장치
40, 240 : Z축 스테이지 41, 241 : 지지부
41A : 수평 방향 이동 수단 41B : 상하 방향 이동 수단
42, 242 : 가이드부 43, 243 : 가동부
51, 51A∼C, 52, 251, 252 : 렌즈
51a, 51b, 52a, 52b, 251a, 251b, 252a, 252b : 렌즈면
53, 61A, 61B, 253 : 렌즈 경통(렌즈 테두리)
62A∼62E : 압전소자(피에조 소자) 62Aa∼62Ea : 가압 선단부
63 : 간격 링 F : 광 수렴점
Z, L : 광축 E : 회전축

Claims (7)

  1. 복수개의 광학 소자가 경통내에서 공축상에 배열되어 이루어진 피검 광학 소자 조체가 있어서 상기 광학 소자 각각의 편심량을 측정광의 조사에 의해 측정하고, 상기 편심량을 조정하면서 상기 피검 광학 소자 조체의 조립을 행하는 광학 소자의 편심 조정 조립 방법으로서:
    우선, 상기 피검 광학 소자 조체를 구성해야 할 각 광학 소자 중 배열 방향 중 어느 한쪽의 단부에 배치되어야 할 제 1 광학 소자만을 상기 공축상에 배치하고, 상기 제 1 광학 소자에 있어서의 편심량을 측정하고, 상기 편심량의 측정에 의한 측정값에 의거해서 상기 제 1 광학 소자에 있어서의 편심량이 작아지도록 협동하는 조를 이루는 복수개의 피에조 소자에 의해 상기 제 1 광학 소자의 측면을 미소량 만큼 가압하여 설정 위치를 조정하고, 상기 설정 위치의 조정에 의해 조정된 위치에서 상기 제 1 광학 소자를 상기 경통 내에 유지시키고,
    이어서, 상기 제 1 광학 소자에 대하여 상기 측정광의 입사측과 반대측에 인접해서 배치되어야 할 제 2 광학 소자를 상기 공축상에 배치하고, 상기 제 2 광학 소자에 있어서의 편심량을 측정하고, 상기 복수개의 피에조 소자를 상기 광학 소자 각각에 대응한 위치로 이동시키는 압전소자 이동 수단에 의해 상기 제 2 광학 소자에 대응한 위치로 이동시키고, 상기 편심량의 측정에 의한 측정값에 의거해서 상기 제 2 광학 소자에 있어서의 편심량이 작아지도록 상기 복수개의 피에조 소자에 의해 상기 제 2 광학 소자의 설정 위치를 조정하고, 상기 설정 위치의 조정에 의해 조정된 위치에서 상기 제 2 광학 소자를 상기 경통 내에 유지시키고,
    이후, 상기 제 2 광학 소자의 조립 방법과 동일한 조립 방법으로 해서 상기 측정광의 입사측과 반대측에 인접해서 배치되어야 할 광학 소자에 대하여 순차적으로 상기 편심량을 측정하고, 상기 복수개의 피에조 소자를 각 광학 소자에 대응한 위치로 이동시킴과 아울러 상기 설정 위치를 조정해서 상기 경통 내에 유지시키는 것을 특징으로 하는 광학 소자의 편심 조정 조립 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 편심량의 측정은 소정의 지표 패턴을 투영하는 측정광을 피검면에 조사하고, 상기 피검면으로부터의 반사광 또는 투과광에 의해 촬상면상에 형성되는 지표상을 상기 피검면을 소정의 축주변으로 회전시키면서 상이한 3개 이상의 회전 위치마다 또는 서로 180° 떨어진 2개의 회전 위치마다 촬상하고, 상기 회전 위치마다 촬상된 각 지표상의 상 중심점의 좌표를 상기 촬상면에 대하여 설정된 좌표계에 있어서 각각 특정하고, 상기 좌표계에 있어서 특정된 각 상 중심점의 좌표 데이터에 의거하여 상기 피검면의 편심량을 측정함으로써 행해지는 것을 특징으로 하는 광학 소자의 편심 조정 조립 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 광학 소자의 편심량의 측정은 상기 광학 소자의 표리면 각각에 대해서 소정의 상기 회전 위치마다 촬상된 각 지표의 상을 지나는 원을 특정하고, 특정된 상기 원의 중심점의 좌표를 구하고,
    이 후, 구해진 상기 광학 소자의 표리면 각각에 관한 상기 원의 중심점 좌표의 차를 산출하고, 상기 좌표의 차의 산출에 의해 산출된 값을 상기 광학 소자의 편심량으로 하는 것을 특징으로 하는 광학 소자의 편심 조정 조립 방법.
  4. 복수개의 광학 소자가 경통내에서 공축상에 배열되어 이루어진 피검 광학 소자 조체가 있어서 상기 광학 소자 각각의 편심량을 측정광의 조사에 의해 측정하고, 상기 편심량을 조정하면서 상기 피검 광학 소자 조체의 조립을 행하는 광학 소자의 편심 조정 조립 장치로서:
    상기 피검 광학 소자 조체를 구성해야 할 각 광학 소자를 상기 측정광의 입사측으로부터 순차적으로 상기 공축상에 배치하는 광학 소자 배치 수단과,
    상기 공축상에 상기 광학 소자가 배치될 때마다 해당 배치된 상기 광학 소자의 편심량을 상기 측정광을 이용하여 측정하는 편심량 측정 수단과,
    상기 광학 소자의 주위에 배치되고 협동하는 조를 이루는 복수개의 피에조 소자를 갖고, 상기 편심량 측정수단에 의한 측정결과에 따라 해당 광학 소자에 있어서의 편심량이 작아지도록 상기 복수개의 피에조 소자에 의해 해당 광학 소자의 측면을 미소량 만큼 가압하여 설정 위치를 조정하는 설정 위치 조정 수단과,
    상기 설정 위치의 조정에 의해 조정된 위치에서 해당 광학 소자를 상기 경통 내에 유지시키는 광학 소자 유지 수단과,
    상기 복수개의 광학 소자 각각에 대해서 순차적으로 편심량을 조정할 수 있도록 상기 복수개의 피에조 소자를 상기 광학 소자 각각에 대응한 위치로 이동시키는 압전소자 이동 수단을 구비하고,
    상기 압전소자 이동 수단은 상기 복수개의 피에조 소자를 상기 광학 소자의 배열 방향으로 이동시키는 압전소자 상하 방향 이동 수단, 및 상기 복수개의 피에조 소자를 상기 광학 소자의 직경 방향으로 출입시키는 조작을 행하는 압전소자 수평 방향 이동 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 광학 소자의 편심 조정 조립 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 광학 소자 배치 수단은 상기 광학 소자 각각을 반송하는 광학 소자 흡착 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 광학 소자의 편심 조정 조립 장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
KR1020100053640A 2009-06-08 2010-06-08 광학 소자의 편심 조정 조립 방법 및 편심 조정 조립 장치 KR101299509B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2009-137585 2009-06-08
JP2009137585A JP5222796B2 (ja) 2009-06-08 2009-06-08 光学素子の偏芯調整組立方法および偏芯調整組立装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100131945A KR20100131945A (ko) 2010-12-16
KR101299509B1 true KR101299509B1 (ko) 2013-08-29

Family

ID=43263261

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100053640A KR101299509B1 (ko) 2009-06-08 2010-06-08 광학 소자의 편심 조정 조립 방법 및 편심 조정 조립 장치

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP5222796B2 (ko)
KR (1) KR101299509B1 (ko)
CN (1) CN101907758B (ko)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102879882B (zh) * 2012-09-21 2015-01-07 长春理工大学 基于同轴度转换的透镜组装校装置
CN104406547B (zh) * 2014-12-09 2017-11-07 上海新跃仪表厂 一种光学零件的偏心量测量装置及其测量方法
EP3037800B1 (de) * 2014-12-24 2018-04-04 Trioptics GmbH Messung der Positionen von Krümmungsmittelpunkten optischer Flächen eines ein-oder mehrlinsigen optischen Systems
CN105445888B (zh) 2015-12-21 2020-04-03 宁波舜宇光电信息有限公司 可调光学镜头和摄像模组及其校准方法
CN105445885B (zh) * 2015-10-30 2019-06-18 宁波舜宇光电信息有限公司 可调光学镜头和摄像模组及其制造方法
CN105445889B (zh) * 2015-12-02 2019-01-01 宁波舜宇光电信息有限公司 采用分体式镜头的摄像模组及其组装方法
US10732376B2 (en) 2015-12-02 2020-08-04 Ningbo Sunny Opotech Co., Ltd. Camera lens module and manufacturing method thereof
TWI636291B (zh) * 2017-02-03 2018-09-21 國立虎尾科技大學 透鏡安裝裝置
CN107577027A (zh) * 2017-10-13 2018-01-12 南京工业职业技术学院 镜头和电路板自动对焦装置
CN109702467B (zh) * 2018-12-07 2023-11-03 上海蔚来汽车有限公司 一种车轮自动安装方法及车轮自动安装装置
JP7446714B2 (ja) * 2019-02-01 2024-03-11 株式会社荏原製作所 基板処理装置、および基板処理方法
CN109916299A (zh) * 2019-03-11 2019-06-21 东莞市凯融光学科技有限公司 一种接触式测量自由曲面结构产品偏心的方法
CN113064264A (zh) * 2019-12-31 2021-07-02 长春长光华大智造测序设备有限公司 显微光学系统像质补偿方法及装置
CN113093399A (zh) * 2020-01-08 2021-07-09 三营超精密光电(晋城)有限公司 透镜组装装置及透镜组装方法
CN112114424A (zh) * 2020-10-19 2020-12-22 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 一种用于显微物镜装调及检测的显微成像系统
CN112484609A (zh) * 2020-11-16 2021-03-12 凌卫岚 一种比值压电式转轴偏心检测预警设备
CN114001931B (zh) * 2021-11-02 2024-04-30 Oppo广东移动通信有限公司 成像组件的测试装置及测试方法
CN114967024B (zh) * 2022-06-24 2024-04-12 江西弘耀光学水晶有限公司 一种高精度光学镜头偏心调整结构及方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60150016A (ja) * 1984-01-17 1985-08-07 Ricoh Co Ltd レンズ系調整組立装置
JPH03155512A (ja) * 1989-11-14 1991-07-03 Topcon Corp レンズの製造方法
JP2007327771A (ja) * 2006-06-06 2007-12-20 Fujinon Corp 偏芯量測定方法

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58200126A (ja) * 1982-05-18 1983-11-21 Canon Inc レンズ系の偏心量測定方法
JPS5963316U (ja) * 1982-10-22 1984-04-26 株式会社リコー レンズ鏡枠
CN2031931U (zh) * 1988-01-26 1989-02-01 中国科学院长春光机所 透镜光电自动定心装置
JP2000121902A (ja) * 1998-10-19 2000-04-28 Canon Inc レンズ系光軸調整方法およびレンズ系光軸調整装置
JP2002333563A (ja) * 2001-05-08 2002-11-22 Ricoh Co Ltd 結像レンズ、光学ユニット、画像読取装置及び画像形成装置
JP4370064B2 (ja) * 2001-07-23 2009-11-25 オリンパス株式会社 レンズの心取り装置
JP2003225852A (ja) * 2001-11-28 2003-08-12 Olympus Optical Co Ltd レンズ貼付方法及びレンズ貼付装置
JP2005055202A (ja) * 2003-08-06 2005-03-03 Mitsutoyo Corp 偏芯測定装置、レンズ取付方法およびレンズ偏芯検査方法
CN100588934C (zh) * 2005-06-07 2010-02-10 富士能株式会社 偏芯量测量方法
JP2007049873A (ja) * 2005-08-12 2007-02-22 Fujinon Corp アクチュエータ
JP2008096197A (ja) * 2006-10-10 2008-04-24 Olympus Corp 偏心測定装置
JP4943946B2 (ja) * 2007-06-04 2012-05-30 富士フイルム株式会社 偏芯量測定装置
JP2008304200A (ja) * 2007-06-05 2008-12-18 Fujinon Corp 偏芯測定用ヘッドの高さ位置調整方法
KR100930169B1 (ko) * 2007-09-28 2009-12-07 삼성전기주식회사 렌즈 조립 장치
CN101387761B (zh) * 2008-10-08 2011-10-12 上海微电子装备有限公司 光学系统对心装调的装置和方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60150016A (ja) * 1984-01-17 1985-08-07 Ricoh Co Ltd レンズ系調整組立装置
JPH03155512A (ja) * 1989-11-14 1991-07-03 Topcon Corp レンズの製造方法
JP2007327771A (ja) * 2006-06-06 2007-12-20 Fujinon Corp 偏芯量測定方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP5222796B2 (ja) 2013-06-26
JP2010282151A (ja) 2010-12-16
CN101907758B (zh) 2013-11-06
KR20100131945A (ko) 2010-12-16
CN101907758A (zh) 2010-12-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101299509B1 (ko) 광학 소자의 편심 조정 조립 방법 및 편심 조정 조립 장치
KR100923059B1 (ko) 편심량 측정 방법
CN1932432B (zh) 光波干涉装置
US20050041241A1 (en) Machine and method for inspecting ferrule of optical connector
US8810799B2 (en) Height-measuring method and height-measuring device
EP2395317A1 (en) Lightwave interference measurement apparatus
CN114593897B (zh) 一种近眼显示器的测量方法及装置
CN111707450A (zh) 光学镜头焦平面与机械安装面位置关系检测装置及方法
CN102538707A (zh) 一种对工件进行三维定位的装置及方法
US11774233B2 (en) Method and system for measuring geometric parameters of through holes
US20130120762A1 (en) Diaphragm position measuring method, diaphragm position measuring apparatus, diaphragm positioning method and diaphragm positioning apparatus
CN110174240B (zh) 用于测量至少一个光学有效的物体的设备和方法
KR20140078621A (ko) 기판의 형상 변화 측정 방법
CN111076813B (zh) 一种真空紫外光机系统装调方法及装置
CN106461382B (zh) 五轴光学检测系统
CN110726919B (zh) 阵列apd光电参数测试系统
CN114001676A (zh) 用于刀口仪检测光学元件的光轴自动对准方法
JP2006275971A (ja) レンズメータ
JP2007069283A (ja) 加工装置および加工装置を用いた製造方法
EP2333501B1 (en) Apparatus and method for automatic optical realignment
WO2013051147A1 (ja) 画像取得装置の調整方法、画像取得装置および画像取得装置の製造方法
JP2007046971A (ja) レンズ偏心測定装置及びレンズ偏心測定方法
CN211740569U (zh) 一种偏心仪
JP2019060850A (ja) レンズ特性測定装置及びレンズ特性測定装置の作動方法
JP2018072375A (ja) 光学部品保持枠の偏心量測定方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee