JPS60150016A - レンズ系調整組立装置 - Google Patents

レンズ系調整組立装置

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JPS60150016A
JPS60150016A JP606784A JP606784A JPS60150016A JP S60150016 A JPS60150016 A JP S60150016A JP 606784 A JP606784 A JP 606784A JP 606784 A JP606784 A JP 606784A JP S60150016 A JPS60150016 A JP S60150016A
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JP
Japan
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lens
light
lens system
image
pinhole
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JP606784A
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English (en)
Inventor
Tsutomu Katogi
勉 加藤木
Toshio Kobayashi
俊夫 小林
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Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G01B11/27Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
    • G01B11/272Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/62Optical apparatus specially adapted for adjusting optical elements during the assembly of optical systems
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/023Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses permitting adjustment

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、レンズ系調整組立装置に関すひ。
従来技術 一般に、レンズ光学系の組立ては、第1図に示すように
複数枚のレンズLL、L2.L3をレンズセル1に組付
けるものであるが、各単品レンズの光軸を一致させる必
要がある。特に、光デイスク用ピックアップレンズのよ
うに、レンズが7φ以下で組立総合偏心1〜2′以下1
組立総合焦点距離7+nm以下、透過波面収差λ/2等
の高精度なレンズ系組立てにあっては、各単品レンズの
光軸をいかにして同軸上に合わせるかが重要なポイント
である。
この点、従来方式によれば、第2図に示すように、高倍
率顕微鏡2の下にレンズ組立て中のレンズセル1をおき
、焦点位置に1μφ程度のピンホール3をおき、その直
下に拡散板(又はNDフィルタ)4をおき、下方から集
束レンズ5を介して光源6からの光を当てるようにした
ものがある。
これにより、ピンホール3の点像をレンズセル1内のレ
ンズ系を通過させてその収差形状を高倍率顕微鏡2によ
って観察するものである。今、レンズL1〜L3の光軸
が一致していれば、ピンホール3の点像がレンズ系を通
過した際、高倍率顕微鏡2において像点の収差形状は第
3図(a)又は(b)の如く中心に観察される(同図(
a)は焦点が合っており、同図(b)は焦点がずれてい
ることを示す)。一方、レンズL1〜L3の光軸が一致
していなければ、光軸上の点像の不具合である収差形状
が第3図(c)又は(d)の如く観察される。そこで、
第3図(、)又は(b)のような像の状態となるように
レンズL1又はL2を細い棒で移動調整し、レンズLL
、L2をレンズセル1に接着剤等で固定するものである
つまり、従来方式によれば、ピンホール点像の歪み状態
を観察しながら人的に調整を行なっているものであり、
熟練を要するとともにレンズの微動調整が難しく、量産
性に欠けるものである。
目的 本発明は、このような点に鑑みなされたもので、レンズ
系の光軸合わせを自動的に行なうことができ、レンズ組
立ての量産性を図ることができるレンズ系調整組立装置
を得ることを目的とする。
構成 本発明の一実施例を第4図ないし第8図に基づいて説明
する。第1図ない−し第3図で示した部分と同一部分は
同一符号を用い説明も省−する。まず、レンズセル1が
組立用治具7に保持されており、レンズセル1内のレン
ズ系にはレーザ管8からのレーザ光がミラー9、拡散板
(又はNDフィルタ)4、ピンホール3を介して照射さ
れる。一方、高倍率顕微鏡2の上には4分割受光素子(
例えば、4分割フォトダイオード)10が一体化されて
いる。この4分割受光素子10には差動増幅器等による
検知器11が接続され、その検知信号が演算制御部とな
るマイコン12に入力されている。このマイコン12の
出力により駆動手段としてのピエゾ素子13を動作させ
るものである。
ここで、レンズセル1付近の構造を第5図及び第6図に
示す、まず、組立用治具7内にレンズセル1が入り込む
ものであり、レンズセル1に対しクリアランス14を設
けて配置されたレンズL1゜L2の端面に対し制御棒1
5八〜15o、’16^〜16oが接触できるように組
立用治具7、レンズセル1には滑合自在とする穴17.
18が形成されている。ここで、レンズL3は予めレン
ズセル1に接着剤で固定されている。一方、レンズL1
、L2はレンズセル1とレンズ球面部との近くに接着剤
が塗布しであるが、接着剤が硬化していないので、レン
ズLl 、L2は制御棒15,16により自由に変位さ
せることができる。ここに、制御棒15^〜15o、1
6八〜16oの配列は4分割受光素子10の分割状態(
第7図に示す分割受光領域A−D)と対応するように設
定されている。そして、制御棒15^〜L5o、16八
〜16oの端部には各々独立駆動されるピエゾ素子13
が一体的に設けられ、その変位が制御棒15゜16に伝
えられるように1されている。このピエゾ素子13は電
気信号(荷電)に応じて制御棒15゜16のスライド方
向に十又は−の微小伸縮変位するものである。
このような構成において、レーザ光を照射し、ピンホー
ル3の点像をレンズセル1内のレンズ系を通過させ、高
倍率顕微鏡2を介して4分割受光素子10上に結像させ
る。この4分割受光素子10上の点像の結像状態は検知
器11により光量として検知されるものであり、レンズ
L1〜L3の光軸が一致していれば第3図(a)又は(
b)に示したような結像状態となり、4分割受光素子I
Oの各受光領域A−Dの受光量は等しくなる。
一方、レンズ組立精度が悪い場合には、例えば第8図(
、)に示すような楕円状の点像となる。このとき検知器
11により4分割受光素子10の各受光領域A−Dの光
量を検知し、これに基づき光軸差に応じたレンズL1又
はL2のずれ、即ち、収差状態をマイコン12で算出す
る。この算出検束により、マイコン12から必要なピエ
ゾ素子13に駆動信号を与えて制御棒15,16を動か
すものである。ここに、制御手順として、第8図(、)
に示すような結像状態のとき、まず、レンズL1を変位
させるためピエゾ素子13により制御棒15^を微小進
出させ制御棒15aを微小退避させる。これにより、第
8図(b)に示すように4分割受光素子10上で各領域
A−Dの光量が等量になれば、レンズL1がずれていた
ことになり、その調整がなされたことになる。なお、こ
こで、4分割受光素子10上での第8図(b)の如き大
きな点像を小さくするには、高倍率顕微鏡2の焦点位置
をフォーカシングすることにより、同図(C)を経て同
図(d)の如く最小になるように調整する。
一方、制御棒15^、15cによりレンズL1を微小変
位させても第8図(、)の如き結像状態のままであれば
、レンズL1のずれではなく、ピエゾ素子13により制
御棒15^、15Cは元の位置に戻され、レンズL2の
変位調整に移行する。即ち、レンズL2を微小変位させ
るため、ピエゾ素子13により制御棒16^を微小進出
させ制御棒16aを微小退避させる。これにより、第8
図(b)に示すように4分割受光素子10上で各領域A
−Dの光量が等量になれば、レンズL1〜L3の光軸が
一致したことになる。このようにして、自動的に光軸合
わせが行なわれ〜た一部、レンズL1゜L2のレンズセ
ル1への接着、即ち5接着剤の硬化処理がなされ、レン
ズ組立とが完了する。
なお、本実施例ではレンズL3を予め固定し、レンズL
t、Lzを調整したが、レンズLx、L2を予め固定し
てレンズL3を前述したように調整固定するようにして
もよい。
又、ピエゾ素子13は第9図に示すように対となる制御
棒15A 、 15a 、 15B 、 15oの一方
15^、15Bに対してのみ設け、制御棒15a、15
oはレンズLl側へ付勢させておいてもよい(制御棒1
6八〜16D側についても同様)、。
効果 本発明は、上述したように構成したので5レンズ系の光
軸合わせ組立てを自動的に行なうことができ、顕微鏡の
観察、熟練技術等を要することがなく、レンズ組立ての
量産性を図ることができ、又、駆動手段としてピエゾ素
子等を用いればサブミクロン単位で変位可能なため、適
切な微調整を行なうことができるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は縦断側面図、第2図は従来例を示す側面図、第
3図(a)〜(d)は結像状態を示す平面図、第4図は
本発明の一実施例を示す側面図、第5図はその一部を拡
大して示す縦断側面図、第6図は水平断面図、第7図は
平面図、第8図(、)〜(d)は調整過程における結像
状態を示す平面図、第9図は変形例を示す水平断面図で
ある。 1・・・レンズセル、3・・・ピンホール、10・・・
4分割受光素子、11・・・検知器(検知手段)、12
・・・マイコン(演算制御部)、13・・・ピエゾ素子
(Im駆動手段、L1〜L3・・・レンズ 出 願 人 株式会社 リ コ − 、7)緒図 、J ○送 ・ Jq図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. レンズセルに組込まれたレンズ系を通過させたピンホー
    ルの点像が結像される4分割受光素子と、この4分割受
    光素子における点像の結像状態を光景により検知する検
    知手段と、この検知手段による検知信号に応じて光軸上
    の点像の不具合である収差状態を算出する演算制御部と
    、この演算制御部の出力により駆動されてピンホール点
    像が前記4分割受光素子上で等電光の像として結像され
    るよう前記レンズを微小変位させる駆動手段とを設けた
    ことを特徴とするレンズ系調整組立装置。
JP606784A 1984-01-17 1984-01-17 レンズ系調整組立装置 Pending JPS60150016A (ja)

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Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6284938A (ja) * 1985-10-09 1987-04-18 Kazuo Ishihara 光学レンズ芯出し接着装置
DE4400869C1 (de) * 1994-01-14 1995-03-02 Jenoptik Jena Gmbh Vorrichtung zur lateralen Justierung von Linsen innerhalb eines Hochleistungsobjektives
US5453606A (en) * 1993-03-11 1995-09-26 Minolta Co. Ltd. Apparatus for adjusting the optical axis of an optical system
FR2772475A1 (fr) * 1997-12-17 1999-06-18 Cilas Procede et dispositif pour corriger automatiquement des erreurs de positionnement d'elements optiques d'une chaine optique
JP2006103090A (ja) * 2004-10-04 2006-04-20 Bridgestone Corp Oaローラの製造方法
EP1387218B1 (en) * 2002-07-31 2008-09-03 ASML Holding N.V. Laser beam expansion without unchanged spatial coherence
JP2010282151A (ja) * 2009-06-08 2010-12-16 Fujifilm Corp 光学素子の偏芯調整組立方法および偏芯調整組立装置
JP4775503B1 (ja) * 2010-11-01 2011-09-21 富士ゼロックス株式会社 ゴムロールの製造装置及び製造方法
CN103529557A (zh) * 2013-10-21 2014-01-22 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种柱面镜组件胶合设备及方法
CN104062771A (zh) * 2014-06-19 2014-09-24 浙江大学 亚微米级控制精度的光学镜头镜片偏心装调方法
KR20200076520A (ko) * 2018-12-19 2020-06-29 주식회사 세코닉스 렌즈 조심 장치 및 그 방법
CN112484609A (zh) * 2020-11-16 2021-03-12 凌卫岚 一种比值压电式转轴偏心检测预警设备

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6284938A (ja) * 1985-10-09 1987-04-18 Kazuo Ishihara 光学レンズ芯出し接着装置
US5453606A (en) * 1993-03-11 1995-09-26 Minolta Co. Ltd. Apparatus for adjusting the optical axis of an optical system
DE4400869C1 (de) * 1994-01-14 1995-03-02 Jenoptik Jena Gmbh Vorrichtung zur lateralen Justierung von Linsen innerhalb eines Hochleistungsobjektives
FR2715233A1 (fr) * 1994-01-14 1995-07-21 Jenoptik Jena Gmbh Dispositif de réglage latéral de lentilles à l'intérieur d'un objectif de grande puissance.
NL9402089A (nl) * 1994-01-14 1995-08-01 Jenoptik Jena Gmbh Inrichting voor het lateraal justeren van lenzen binnen een objectief van hoge kwaliteit.
US5521764A (en) * 1994-01-14 1996-05-28 Jenoptik Gmbh Device for lateral adjustment of lenses in a high-performance lens system
US6188652B1 (en) 1997-12-17 2001-02-13 Compagnie Industrielle Des Lasers Cilas Method and device for automatically correcting positioning errors of optical elements of an optical system
EP0926529A1 (fr) * 1997-12-17 1999-06-30 Compagnie Industrielle Des Lasers Cilas Procédé et dispositif pour corriger automatiquement des erreurs de positionnement d'éléments optiques d'une chaíne optique
FR2772475A1 (fr) * 1997-12-17 1999-06-18 Cilas Procede et dispositif pour corriger automatiquement des erreurs de positionnement d'elements optiques d'une chaine optique
EP1387218B1 (en) * 2002-07-31 2008-09-03 ASML Holding N.V. Laser beam expansion without unchanged spatial coherence
JP2006103090A (ja) * 2004-10-04 2006-04-20 Bridgestone Corp Oaローラの製造方法
JP2010282151A (ja) * 2009-06-08 2010-12-16 Fujifilm Corp 光学素子の偏芯調整組立方法および偏芯調整組立装置
KR101299509B1 (ko) * 2009-06-08 2013-08-29 후지논 가부시키가이샤 광학 소자의 편심 조정 조립 방법 및 편심 조정 조립 장치
JP4775503B1 (ja) * 2010-11-01 2011-09-21 富士ゼロックス株式会社 ゴムロールの製造装置及び製造方法
CN103529557A (zh) * 2013-10-21 2014-01-22 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种柱面镜组件胶合设备及方法
CN104062771A (zh) * 2014-06-19 2014-09-24 浙江大学 亚微米级控制精度的光学镜头镜片偏心装调方法
KR20200076520A (ko) * 2018-12-19 2020-06-29 주식회사 세코닉스 렌즈 조심 장치 및 그 방법
CN112484609A (zh) * 2020-11-16 2021-03-12 凌卫岚 一种比值压电式转轴偏心检测预警设备

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