JPH07220287A - 露光装置の光路位置調整方法 - Google Patents
露光装置の光路位置調整方法Info
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- JPH07220287A JPH07220287A JP6009273A JP927394A JPH07220287A JP H07220287 A JPH07220287 A JP H07220287A JP 6009273 A JP6009273 A JP 6009273A JP 927394 A JP927394 A JP 927394A JP H07220287 A JPH07220287 A JP H07220287A
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- objective lens
- adjusting
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- Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ２つのレーザー光の光路位置の調整にかかる
時間を短縮する。 【構成】 レーザー光源１から出射されたレーザー光を
２つのレーザー光に分岐し、分岐されたレーザー光を再
度合成し、合成されたレーザー光を対物レンズ１４にて
ガラス板１６上に集光させる露光装置における２つのレ
ーザー光の光路位置調整方法であって、対物レンズ１４
と合成用偏向ビームスプリッター６との間にビームスプ
リッター２１を配してガラス板１６からの戻り光を集光
レンズ２２を介してＣＣＤカメラ２３に入射させ、ガラ
ス板１６が対物レンズ１４のほぼ焦点位置に来る位置で
アクチュエータ１５にて対物レンズ１４を光軸方向に振
動させ、ＣＣＤカメラ２３によって映し出される戻り光
の像が１点での集光とその点を中心とする発散とを繰り
返すように光路位置を調整する。
時間を短縮する。 【構成】 レーザー光源１から出射されたレーザー光を
２つのレーザー光に分岐し、分岐されたレーザー光を再
度合成し、合成されたレーザー光を対物レンズ１４にて
ガラス板１６上に集光させる露光装置における２つのレ
ーザー光の光路位置調整方法であって、対物レンズ１４
と合成用偏向ビームスプリッター６との間にビームスプ
リッター２１を配してガラス板１６からの戻り光を集光
レンズ２２を介してＣＣＤカメラ２３に入射させ、ガラ
ス板１６が対物レンズ１４のほぼ焦点位置に来る位置で
アクチュエータ１５にて対物レンズ１４を光軸方向に振
動させ、ＣＣＤカメラ２３によって映し出される戻り光
の像が１点での集光とその点を中心とする発散とを繰り
返すように光路位置を調整する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コンパクトディスク、
光ディスクなどの原盤を作成するためにレジストを塗布
したガラス板に２本の光路を通ったレーザー光を単一の
対物レンズを用いてそれぞれ所定位置に集光して露光を
行う露光装置において、２本の光路の位置調整を行う方
法に関するものである。
光ディスクなどの原盤を作成するためにレジストを塗布
したガラス板に２本の光路を通ったレーザー光を単一の
対物レンズを用いてそれぞれ所定位置に集光して露光を
行う露光装置において、２本の光路の位置調整を行う方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、レーザー光を利用してディスクの
原盤を作製する技術は、ディスクの高密度化の要望に伴
って微細化の一途を辿っている。これは記録再生の方式
を問わず、コンティニュアスサーボ方式の場合でも、サ
ンプルサーボ方式の場合でも同様に高密度化が期待され
ている。
原盤を作製する技術は、ディスクの高密度化の要望に伴
って微細化の一途を辿っている。これは記録再生の方式
を問わず、コンティニュアスサーボ方式の場合でも、サ
ンプルサーボ方式の場合でも同様に高密度化が期待され
ている。
【０００３】サンプルサーボ方式のディスクを記録する
には通常２つの光路を用い、その一方をメインビームと
して信号ピットの記録に、他方をサブビームとしてサン
プルピットの記録に用いられる。従って、サンプルサー
ボ方式のディスクの原盤を作製するための原盤露光装置
においては、レーザー光源から出射されたレーザー光を
偏光ビームスプリッター（以下、ＰＢＳと略記する）で
２つの光路に分け、それらを再び合成して単一の対物レ
ンズの光軸に一致するように精度良く位置合わせする必
要がある。
には通常２つの光路を用い、その一方をメインビームと
して信号ピットの記録に、他方をサブビームとしてサン
プルピットの記録に用いられる。従って、サンプルサー
ボ方式のディスクの原盤を作製するための原盤露光装置
においては、レーザー光源から出射されたレーザー光を
偏光ビームスプリッター（以下、ＰＢＳと略記する）で
２つの光路に分け、それらを再び合成して単一の対物レ
ンズの光軸に一致するように精度良く位置合わせする必
要がある。
【０００４】従来、このように２つの光路を通るレーザ
ー光を合成する場合の光路位置調整方法としては、まず
どちらか一方の光路についてその対物レンズに対する入
射光軸を調整し、その後他方の光路位置をガラス板の面
上で焦点を結ぶように調整した後、ガラス板の代わりに
ガラス板と焦点距離が同じになるようにハーフミラーを
置き、その透過光を顕微鏡で拡大し、２本のレーザー光
の相対位置を確認して２つの光路を調整し、さらに最終
的には実際に露光を行い、現像し、スタンパを作製した
上で走査型電子顕微鏡写真を取り、実際のずれ量をピッ
トの中心の距離を計測することによって確認するという
方法が取られていた。
ー光を合成する場合の光路位置調整方法としては、まず
どちらか一方の光路についてその対物レンズに対する入
射光軸を調整し、その後他方の光路位置をガラス板の面
上で焦点を結ぶように調整した後、ガラス板の代わりに
ガラス板と焦点距離が同じになるようにハーフミラーを
置き、その透過光を顕微鏡で拡大し、２本のレーザー光
の相対位置を確認して２つの光路を調整し、さらに最終
的には実際に露光を行い、現像し、スタンパを作製した
上で走査型電子顕微鏡写真を取り、実際のずれ量をピッ
トの中心の距離を計測することによって確認するという
方法が取られていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来方
法ではガラス板を実際に露光・現像し、スタンパを作製
し、走査型電子顕微鏡写真をとって計測してはじめてそ
のずれ量が判るために、調整してからそれが許容できる
誤差内に入っているかどうかを確認するまでに非常に時
間がかかり、しかも許容誤差範囲内になければ、以上の
操作を何回か繰り返す必要があり、この調整だけで何日
も費やすという問題があった。
法ではガラス板を実際に露光・現像し、スタンパを作製
し、走査型電子顕微鏡写真をとって計測してはじめてそ
のずれ量が判るために、調整してからそれが許容できる
誤差内に入っているかどうかを確認するまでに非常に時
間がかかり、しかも許容誤差範囲内になければ、以上の
操作を何回か繰り返す必要があり、この調整だけで何日
も費やすという問題があった。
【０００６】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、２つ
のレーザー光の光路位置の調整にかかる時間を大幅に短
縮することができる露光装置の光路位置調整方法を提供
することを目的としている。
のレーザー光の光路位置の調整にかかる時間を大幅に短
縮することができる露光装置の光路位置調整方法を提供
することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本願の第１発明は、レー
ザー光源と、レーザー光源から出射されたレーザー光を
２つのレーザー光に分岐する分岐用偏光ビームスプリッ
ターと、分岐されたレーザー光を合成する合成用偏向ビ
ームスプリッターと、合成されたレーザー光を対象物上
に集光させる対物レンズと、対物レンズをその光軸方向
に動かすアクチュエータとを備えた露光装置における光
路位置調整方法であって、対物レンズと合成用偏向ビー
ムスプリッターとの間にビームスプリッターを配して対
象物からの戻り光を集光レンズを介してＣＣＤカメラに
入射させ、対象物が対物レンズのほぼ焦点位置に来る位
置でアクチュエータを振動させ、ＣＣＤカメラによって
映し出される戻り光の像が１点での集光とその点を中心
とする発散とを繰り返すように光路位置を調整すること
を特徴とする。
ザー光源と、レーザー光源から出射されたレーザー光を
２つのレーザー光に分岐する分岐用偏光ビームスプリッ
ターと、分岐されたレーザー光を合成する合成用偏向ビ
ームスプリッターと、合成されたレーザー光を対象物上
に集光させる対物レンズと、対物レンズをその光軸方向
に動かすアクチュエータとを備えた露光装置における光
路位置調整方法であって、対物レンズと合成用偏向ビー
ムスプリッターとの間にビームスプリッターを配して対
象物からの戻り光を集光レンズを介してＣＣＤカメラに
入射させ、対象物が対物レンズのほぼ焦点位置に来る位
置でアクチュエータを振動させ、ＣＣＤカメラによって
映し出される戻り光の像が１点での集光とその点を中心
とする発散とを繰り返すように光路位置を調整すること
を特徴とする。
【０００８】また第２発明は、第１発明の光路位置調整
方法にて２つのレーザー光の光路位置調整を行った後、
対象物が対物レンズのほぼ焦点位置に来る位置でアクチ
ュエータの振動を止め、２つのレーザー光のそれぞれの
対象物からの戻り光のＣＣＤ上の位置を求め、それらの
距離が所定の相対距離となるように光路位置を調整する
ことを特徴とする。
方法にて２つのレーザー光の光路位置調整を行った後、
対象物が対物レンズのほぼ焦点位置に来る位置でアクチ
ュエータの振動を止め、２つのレーザー光のそれぞれの
対象物からの戻り光のＣＣＤ上の位置を求め、それらの
距離が所定の相対距離となるように光路位置を調整する
ことを特徴とする。
【０００９】
【作用】本願の第１発明によれば、対象物が対物レンズ
のほぼ焦点に来る近傍でアクチュエータを振動させる
と、対物レンズの光軸が対象物に垂直でアクチュエータ
の駆動方向も光軸方向であるので、ＣＣＤカメラにて映
し出されるレーザー光の像が１点で集光発散を繰り返す
ときには戻り光の光軸と入射レーザー光の光軸が共に対
物レンズの光軸にほぼ一致しているときである。なぜな
ら、もしも入射レーザー光が対物レンズの光軸から離れ
ていると、図２に実線と仮想線で示すように、対物レン
ズ１４がアクチュエータにて矢印Ａの如く動くとガラス
板１６で反射された光の強度の重心が矢印Ｂの如く対物
レンズ１４の半径方向に揺れ、一致すると戻り光は必ず
対物レンズの光軸Ｃに一致するからである。従って、戻
り光をビームスプリッタで分岐してＣＣＤカメラでモニ
ターし、１点で集光発散を繰り返すように光路中のミラ
ーの位置調整によって光路位置を調整することにより、
２つの光路を通るレーザー光を対物レンズの光軸にほぼ
合わせることができる。
のほぼ焦点に来る近傍でアクチュエータを振動させる
と、対物レンズの光軸が対象物に垂直でアクチュエータ
の駆動方向も光軸方向であるので、ＣＣＤカメラにて映
し出されるレーザー光の像が１点で集光発散を繰り返す
ときには戻り光の光軸と入射レーザー光の光軸が共に対
物レンズの光軸にほぼ一致しているときである。なぜな
ら、もしも入射レーザー光が対物レンズの光軸から離れ
ていると、図２に実線と仮想線で示すように、対物レン
ズ１４がアクチュエータにて矢印Ａの如く動くとガラス
板１６で反射された光の強度の重心が矢印Ｂの如く対物
レンズ１４の半径方向に揺れ、一致すると戻り光は必ず
対物レンズの光軸Ｃに一致するからである。従って、戻
り光をビームスプリッタで分岐してＣＣＤカメラでモニ
ターし、１点で集光発散を繰り返すように光路中のミラ
ーの位置調整によって光路位置を調整することにより、
２つの光路を通るレーザー光を対物レンズの光軸にほぼ
合わせることができる。
【００１０】さらに、正確に２つの光路を合わせるには
ＣＣＤカメラで映し出された集光発散する２つの点が一
致するように光路を調整することにより正確に合成する
ことができる。
ＣＣＤカメラで映し出された集光発散する２つの点が一
致するように光路を調整することにより正確に合成する
ことができる。
【００１１】又、第２発明によれば、２つの光路を通っ
たレーザー光の戻り光によりＣＣＤ上で集光発散を繰り
返す２点の間隔から２つの光路を通ったレーザー光の相
対距離を演算することができるので、２つの集光発散点
の間隔が所定のレーザー光の相対距離に相当する間隔に
合致するように光路位置を調整することによりレーザー
光の相対距離を所定値に精度良く設定することができ
る。
たレーザー光の戻り光によりＣＣＤ上で集光発散を繰り
返す２点の間隔から２つの光路を通ったレーザー光の相
対距離を演算することができるので、２つの集光発散点
の間隔が所定のレーザー光の相対距離に相当する間隔に
合致するように光路位置を調整することによりレーザー
光の相対距離を所定値に精度良く設定することができ
る。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図１を参照
しながら説明する。図１は光ディスク原盤作製装置を示
し、１はレーザー光源、２は分岐用の偏光ビームスプリ
ッター（以下分岐用ＰＢＳと略記する）、３は第１の電
気光学変調素子（以下ＥＯと略記する）、４は第２のＥ
Ｏ、５は電気光学偏光素子（以下ＥＯＤと略記する）、
６は合成用ＰＢＳである。７、８、９、１０、１１、１
２、１３はミラーである。１４は対物レンズ、１５はア
クチュエータ、１６は対象物であるガラス板、１７はガ
ラス板１６を一定軸芯回りに回転駆動するスピンドル、
１８はミラー１３及びアクチュエータ１５を回転軸芯に
対して垂直に直動する直動機構としてのスライダであ
る。
しながら説明する。図１は光ディスク原盤作製装置を示
し、１はレーザー光源、２は分岐用の偏光ビームスプリ
ッター（以下分岐用ＰＢＳと略記する）、３は第１の電
気光学変調素子（以下ＥＯと略記する）、４は第２のＥ
Ｏ、５は電気光学偏光素子（以下ＥＯＤと略記する）、
６は合成用ＰＢＳである。７、８、９、１０、１１、１
２、１３はミラーである。１４は対物レンズ、１５はア
クチュエータ、１６は対象物であるガラス板、１７はガ
ラス板１６を一定軸芯回りに回転駆動するスピンドル、
１８はミラー１３及びアクチュエータ１５を回転軸芯に
対して垂直に直動する直動機構としてのスライダであ
る。
【００１３】２１は合成用ＰＢＳ６とミラー１２との間
に介装された戻り光分岐用のビームスプリッター、２２
は戻り光の集光レンズ、２３はＣＣＤカメラ、２４はＣ
ＲＴモニターである。
に介装された戻り光分岐用のビームスプリッター、２２
は戻り光の集光レンズ、２３はＣＣＤカメラ、２４はＣ
ＲＴモニターである。
【００１４】レーザー光源１から出射したレーザー光は
分岐用ＰＢＳ２で２つのレーザー光に分岐される。一方
のレーザー光の光路には第１のＥＯ３が、もう一方のレ
ーザー光の光路には第２のＥＯ４とＥＯＤ５とが配置さ
れている。一方の光路のレーザー光は第１のＥＯ３を通
り、ミラー７、８で反射されて合成用ＰＢＳ６に入る。
他方の光路のレーザー光はミラー９で反射され、第２の
ＥＯ４、ＥＯＤ５を通り、ミラー１０、１１、１２で反
射されて合成用ＰＢＳ６に入る。合成用ＰＢＳ６で合成
されたレーザー光はビームスプリッター２１を通過し、
ミラー１３で反射された後、対物レンズ１４に入り、ガ
ラス板１６の上に集光される。ガラス板１６で反射され
たレーザー光は再び対物レンズ１４に入り、ミラー１３
で反射された後ビームスプリッター２１で一部反射さ
れ、焦点距離の長い集光レンズ２２によって集光され、
ＣＣＤカメラ２３上で結像する。
分岐用ＰＢＳ２で２つのレーザー光に分岐される。一方
のレーザー光の光路には第１のＥＯ３が、もう一方のレ
ーザー光の光路には第２のＥＯ４とＥＯＤ５とが配置さ
れている。一方の光路のレーザー光は第１のＥＯ３を通
り、ミラー７、８で反射されて合成用ＰＢＳ６に入る。
他方の光路のレーザー光はミラー９で反射され、第２の
ＥＯ４、ＥＯＤ５を通り、ミラー１０、１１、１２で反
射されて合成用ＰＢＳ６に入る。合成用ＰＢＳ６で合成
されたレーザー光はビームスプリッター２１を通過し、
ミラー１３で反射された後、対物レンズ１４に入り、ガ
ラス板１６の上に集光される。ガラス板１６で反射され
たレーザー光は再び対物レンズ１４に入り、ミラー１３
で反射された後ビームスプリッター２１で一部反射さ
れ、焦点距離の長い集光レンズ２２によって集光され、
ＣＣＤカメラ２３上で結像する。
【００１５】なお、図１において、第１のＥＯ３を配置
された光路には、レンズ３１、３３とピンホール３２か
ら成るビームエキスパンダー３４が、第２のＥＯ４とＥ
ＯＤ５が配置された光路には、レンズ３５、３７とピン
ホール３６から成るビームエキスパンダー３８がそれぞ
れ介装され、ビームの径を広げて対物レンズ１４にて絞
られるビームの大きさを調整できるように構成されてい
る。
された光路には、レンズ３１、３３とピンホール３２か
ら成るビームエキスパンダー３４が、第２のＥＯ４とＥ
ＯＤ５が配置された光路には、レンズ３５、３７とピン
ホール３６から成るビームエキスパンダー３８がそれぞ
れ介装され、ビームの径を広げて対物レンズ１４にて絞
られるビームの大きさを調整できるように構成されてい
る。
【００１６】ここで、対物レンズ１４の焦点距離を１．
９mm、ビームスプリッター２１とＣＣＤカメラ２３との
間に配置された集光レンズ２２の焦点距離を８００mmと
すると、対物レンズ１４と集光レンズ２２の組合せから
成る拡大鏡は倍率が４２１倍となり、ガラス板１６上で
１μm のものは計算上ＣＣＤカメラ２３上では４２１μ
m となる。ＣＣＤカメラ２３の１画素の大きさを縦９．
８μm 、横１２．７μm とすると、ガラス板１６上での
１μm に対して縦で４３画素分、横で３３画素分に相当
する。この場合、例えば画像認識などを用いて演算をす
れば、ガラス板１６上で０．１μm レベルの分解能を十
分確保できることになる。また、ＣＣＤカメラ２３のサ
イズを１／４インチサイズとして大まかに計算すると、
９インチのＣＲＴモニター２４で約２５倍以上になるこ
とから、ガラス板１６上での１μm がＣＲＴモニター２
４上では約１０mmに相当する。これは、ＣＲＴモニター
２４を見ながら、アクチュエータ１５を振動させ、レー
ザー光の集光発散が一点になる点を十分に確認できる量
である。
９mm、ビームスプリッター２１とＣＣＤカメラ２３との
間に配置された集光レンズ２２の焦点距離を８００mmと
すると、対物レンズ１４と集光レンズ２２の組合せから
成る拡大鏡は倍率が４２１倍となり、ガラス板１６上で
１μm のものは計算上ＣＣＤカメラ２３上では４２１μ
m となる。ＣＣＤカメラ２３の１画素の大きさを縦９．
８μm 、横１２．７μm とすると、ガラス板１６上での
１μm に対して縦で４３画素分、横で３３画素分に相当
する。この場合、例えば画像認識などを用いて演算をす
れば、ガラス板１６上で０．１μm レベルの分解能を十
分確保できることになる。また、ＣＣＤカメラ２３のサ
イズを１／４インチサイズとして大まかに計算すると、
９インチのＣＲＴモニター２４で約２５倍以上になるこ
とから、ガラス板１６上での１μm がＣＲＴモニター２
４上では約１０mmに相当する。これは、ＣＲＴモニター
２４を見ながら、アクチュエータ１５を振動させ、レー
ザー光の集光発散が一点になる点を十分に確認できる量
である。
【００１７】一方、アクチュエータ１５を振動させたと
きにＣＣＤカメラ２３上で戻り光が一点で集光したり、
この一点を中心に発散することが繰り返されるというこ
とは、ガラス板１６からの戻り光の光軸が対物レンズ１
４の位置に関わらず一定であり、戻り光が対物レンズ１
４の光軸にほぼ一致していることを意味し、かつその一
点で集光した位置はガラス板１６上の焦点が合っている
位置を示している。したがって、分岐した２本の光路を
通ったレーザー光によってそれぞれ集光発散を繰り返す
２つの点から、それぞれのレーザー光の焦点位置の相対
位置を求めることができる。つまり、この２つの点を合
致させると２つの光路の光軸が一致し、この２つの点を
任意の方向に任意の距離だけ離すと離した方向と距離に
相当する分だけそれぞれの光軸が離れたことを意味す
る。
きにＣＣＤカメラ２３上で戻り光が一点で集光したり、
この一点を中心に発散することが繰り返されるというこ
とは、ガラス板１６からの戻り光の光軸が対物レンズ１
４の位置に関わらず一定であり、戻り光が対物レンズ１
４の光軸にほぼ一致していることを意味し、かつその一
点で集光した位置はガラス板１６上の焦点が合っている
位置を示している。したがって、分岐した２本の光路を
通ったレーザー光によってそれぞれ集光発散を繰り返す
２つの点から、それぞれのレーザー光の焦点位置の相対
位置を求めることができる。つまり、この２つの点を合
致させると２つの光路の光軸が一致し、この２つの点を
任意の方向に任意の距離だけ離すと離した方向と距離に
相当する分だけそれぞれの光軸が離れたことを意味す
る。
【００１８】従って、画像認識技術を用いて、ＣＣＤカ
メラ２３の各素子から得られる光量信号から最も光量の
大きい位置を求め、又は各素子から得られる光量信号の
重心を求め、又は光量の分布を見て予め用意していた分
布と最も差の少ない位置を求めるなどの手法により、集
光と発散を繰り返す点のＣＣＤカメラ２３上での正確な
位置を求めることができ、正確な位置が求められると、
ミラー７、８及び１０、１１の平行移動やあおり調整し
て２つの光路の調整を行うことにより高精度に光路位置
の調整を行うことができる。
メラ２３の各素子から得られる光量信号から最も光量の
大きい位置を求め、又は各素子から得られる光量信号の
重心を求め、又は光量の分布を見て予め用意していた分
布と最も差の少ない位置を求めるなどの手法により、集
光と発散を繰り返す点のＣＣＤカメラ２３上での正確な
位置を求めることができ、正確な位置が求められると、
ミラー７、８及び１０、１１の平行移動やあおり調整し
て２つの光路の調整を行うことにより高精度に光路位置
の調整を行うことができる。
【００１９】また、精度が要求されないような場合に
は、ＣＲＴモニター２４上に信号を映し出して肉眼で見
ながら２つの光路を調整してもよく、認識技術は援用的
に使用してもよい。その際にコンピュータなどを用いて
補正量を演算してもよい。
は、ＣＲＴモニター２４上に信号を映し出して肉眼で見
ながら２つの光路を調整してもよく、認識技術は援用的
に使用してもよい。その際にコンピュータなどを用いて
補正量を演算してもよい。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、第１発
明の露光装置の光路位置調整方法によれば、対象物が対
物レンズのほぼ焦点に来る近傍でアクチュエータを振動
させ、ＣＣＤカメラにて映し出されるレーザー光の像が
１点で集光発散を繰り返すように光路中のミラーの位置
調整にて光路位置を調整することにより、２つの光路を
通るレーザー光を対物レンズの光軸にほぼ合わせること
ができ、２つのレーザー光の光路位置の調整にかかる時
間を大幅に短縮することができる。
明の露光装置の光路位置調整方法によれば、対象物が対
物レンズのほぼ焦点に来る近傍でアクチュエータを振動
させ、ＣＣＤカメラにて映し出されるレーザー光の像が
１点で集光発散を繰り返すように光路中のミラーの位置
調整にて光路位置を調整することにより、２つの光路を
通るレーザー光を対物レンズの光軸にほぼ合わせること
ができ、２つのレーザー光の光路位置の調整にかかる時
間を大幅に短縮することができる。
【００２１】また、第２発明によれば、２つの光路を通
ったレーザー光の戻り光によりＣＣＤ上で集光発散を繰
り返す２つの集光発散点の間隔が所定のレーザー光の相
対距離に相当する間隔に合致するように光路位置を調整
することによりレーザー光の相対距離を所定値に精度良
く設定することができる。
ったレーザー光の戻り光によりＣＣＤ上で集光発散を繰
り返す２つの集光発散点の間隔が所定のレーザー光の相
対距離に相当する間隔に合致するように光路位置を調整
することによりレーザー光の相対距離を所定値に精度良
く設定することができる。
【図１】本発明の露光装置の光路位置調整方法の一実施
例における適用対象の原盤露光装置の概略構成を示す斜
視図である。
例における適用対象の原盤露光装置の概略構成を示す斜
視図である。
【図２】同実施例におけるアクチュエータ振動時の戻り
光の動きの説明図である。
光の動きの説明図である。
１ レーザー光源 ２ 分岐用ＰＢＳ（偏光ビームスプリッター） ６ 合成用ＰＢＳ（偏光ビームスプリッター） １４ 対物レンズ １５ アクチュエータ １６ ガラス板（対象物） ２１ ビームスプリッター ２２ 集光レンズ ２３ ＣＣＤカメラ
フロントページの続き (72)発明者 阿部 伸也 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザー光源と、レーザー光源から出射
されたレーザー光を２つのレーザー光に分岐する分岐用
偏光ビームスプリッターと、分岐されたレーザー光を合
成する合成用偏向ビームスプリッターと、合成されたレ
ーザー光を対象物上に集光させる対物レンズと、対物レ
ンズをその光軸方向に動かすアクチュエータとを備えた
露光装置における光路位置調整方法であって、対物レン
ズと合成用偏向ビームスプリッターとの間にビームスプ
リッターを配して対象物からの戻り光を集光レンズを介
してＣＣＤカメラに入射させ、対象物が対物レンズのほ
ぼ焦点位置に来る位置でアクチュエータを振動させ、Ｃ
ＣＤカメラによって映し出される戻り光の像が１点での
集光とその点を中心とする発散とを繰り返すように光路
位置を調整することを特徴とする露光装置の光路位置調
整方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の光路位置調整方法にて２
つのレーザー光の光路位置調整を行った後、対象物が対
物レンズのほぼ焦点位置に来る位置でアクチュエータの
振動を止め、２つのレーザー光のそれぞれの対象物から
の戻り光のＣＣＤ上の位置を求め、それらの距離が所定
の相対距離となるように光路位置を調整することを特徴
とする露光装置の光路位置調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6009273A JPH07220287A (ja) | 1994-01-31 | 1994-01-31 | 露光装置の光路位置調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6009273A JPH07220287A (ja) | 1994-01-31 | 1994-01-31 | 露光装置の光路位置調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07220287A true JPH07220287A (ja) | 1995-08-18 |
Family
ID=11715860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6009273A Pending JPH07220287A (ja) | 1994-01-31 | 1994-01-31 | 露光装置の光路位置調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07220287A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100431021C (zh) * | 2003-03-07 | 2008-11-05 | 三星电子株式会社 | 光学头和调整其光路的方法 |
| CN104393486A (zh) * | 2014-12-22 | 2015-03-04 | 厦门大学 | 一种外腔半导体激光器光路调整装置及调整方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS526492Y2 (ja) * | 1973-02-21 | 1977-02-10 | ||
| JPS55152129U (ja) * | 1979-04-19 | 1980-11-01 | ||
| JPS57186531U (ja) * | 1981-05-25 | 1982-11-26 | ||
| JPS6137820U (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-08 | モミジヤ鞄有限会社 | ランドセル用背環取付具 |
| JPH063122U (ja) * | 1992-06-29 | 1994-01-18 | 株式会社セイバン | 背負い鞄の肩掛けベルト上端取付具 |
| JPH0819414A (ja) * | 1994-07-05 | 1996-01-23 | Osaka Houzai Kk | 背負いかばん用のベルト留め具 |
-
1994
- 1994-01-31 JP JP6009273A patent/JPH07220287A/ja active Pending
Patent Citations (6)
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