JP4036226B2

JP4036226B2 - 光学ピックアップ用対物レンズの傾き検出方法、偏芯検出方法、２群対物レンズのレンズ間距離検出方法、傾き検出装置、及び検査装置

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Publication number: JP4036226B2
Application number: JP2005149786A
Authority: JP
Inventors: 史貞前田; 彰鈴木; 義明加藤; 慎一甲斐; 健二山本
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Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2005-05-23
Filing date: 2005-05-23
Publication date: 2008-01-23
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Description

本発明は、光学ピックアップの備える第１のレンズと第２のレンズとからなる２群レンズの第１のレンズに対する第２のレンズの位置を調整する光学ピックアップ用対物レンズの傾き検出方法、光学ピックアップ用対物レンズの偏芯検出方法、光学ピックアップ用２群対物レンズのレンズ間距離検出方法、光学ピックアップ用２群対物レンズの傾き検出装置、及び光学ピックアップ用２群対物レンズの検査装置に関する。

従来、情報信号の記録媒体として、いわゆる光ディスク、光磁気ディスク、或いは光カードの如き種々の光学記録媒体が提案されている。そして、この光学記録媒体上に光源よりの光を照射してこの光学記録媒体に対する情報信号の書き込みや読み出しを行う光学ピックアップが提案されている。

上記光学ピックアップにおいて、対物レンズは開口数（ＮＡ）を大きくすることによって、この光学記録媒体上に集光された光のビーム径を小さくすることができ、光学記録媒体の信号記録密度を向上させることができる。

しかし、いわゆる単玉レンズでは、高開口数を得ようとした場合、屈折パワーが必要になる。屈折パワーを大きくすると、対物レンズの曲率が小さくなり、屈折面同士の位置決め精度が厳しくなる。そのため、単玉レンズでは、開口数を０．６程度にするのが限界であった。

この単玉レンズに対して、２群レンズは、開口数を大きくすることを可能としている。２群レンズは、図１０に示すように、半導体レーザよりのレーザ光が入射される第１の面１０３と第２のレンズ１０２に対向する第２の面１０４とからなる第１のレンズ１０１と、第１のレンズ１０１を透過してきた半導体レーザよりのレーザ光が入射される第３の面１０５と光学記録媒体に対向する面となる第４の面１０６とからなる第２のレンズ１０２とから構成されている。このように構成された２群レンズ１００は、屈折パワーを分散させることができる。さらに、第１のレンズ１０１及び第２のレンズ１０２は製造が容易である。

詳しくは、２群レンズ１００は、第１のレンズ１０１と第２のレンズ１０２との間隔を一定とされ、第１レンズ１０１に対する第２のレンズ１０２の姿勢も精密に位置決めされている。例えば、従来において、第１のレンズ１０１及び第２のレンズ１０２は、金型を用いて成形されていた。そして、第１のレンズ１０１と第２のレンズ１０２との間の距離、及び第１のレンズ１０１に対する第２のレンズ１０２の姿勢に関する位置決めは、各レンズの外形を基準にして行われていた。そのため、高精度のレンズ外形の成形が要求されている。

特開平０８−３２７８７０号公報特開平０８−１２９７６１号公報特開平０６−２５９８０５号公報

しかしながら、上記金型では、ある程度の精度でしか第１のレンズ１０１及び第２のレンズ１０２を成形することができない。よって、誤差分を有する外形をもとにしたのでは、第１のレンズ１０１と第２のレンズ１０２とを精密に位置決めすることはできなかった。

精密に位置決めできないと、第２のレンズ１０２は、第１のレンズ１０１に対して設計と異なった距離になったり、傾き或いは偏芯が生じてしまう。

このように第１のレンズ１０１に対して第２のレンズ１０２の距離が変化し、又は傾き或いは偏芯が生じた場合、２群レンズ１００は、レンズ単体として要求される許容範囲、例えば０．０４ｒｍｓを越えた収差を発生してしまう。

そこで、本発明は、上述の実情に鑑みてなされたものであって、たとえレンズの外形に誤差があっても精密に２群レンズの第１のレンズに対する第２のレンズの位置決めをすることができる光学ピックアップ用対物レンズの傾き検出方法、偏芯検出方法、２群対物レンズのレンズ間距離検出方法、傾き検出装置、及び検査装置の提供を目的とする。

上述の課題を解決するために、本発明は、第１のレンズと、光学記録媒体に対向する対向面を有する第２のレンズとからなる２群レンズと、上記２群レンズが載置される基準面と、レーザー光を出射する光源と、上記光源から発射されたレーザ光を集光状態として上記第２のレンズの上記対向面に照射する集光手段とを備え、第２のレンズの上記対向面に向けて集束状態のレーザを照射し、この対向面によって反射された反射光の焦点付近において、その反射光の光軸方向に対する垂直面上の位置を検出することにより上記第１のレンズに対する上記第２のレンズの傾きを検出することを特徴とする。

また、本発明は、第１のレンズと、光学記録媒体に対向する対向面を有する第２のレンズとからなる２群レンズと、上記２群レンズが載置される基準面と、レーザー光を出射する光源と、上記光源から発射されたレーザ光を平行光状態として上記第１のレンズに照射するコリメータ手段とを備え、上記光源から発射されたレーザ光をコリメータ手段によって平行光として上記第１のレンズに入射させ、上記第１のレンズ及び上記第２のレンズを透過する光の各回折パターンを検出することにより上記第１のレンズに対する上記第２のレンズの偏芯を検出することを特徴とする。

また、本発明は、第１のレンズと、光学記録媒体に対向する対向面を有する第２のレンズとからなる２群レンズと、上記２群レンズが載置される基準面と、レーザー光を出射する光源と、上記光源から発射されたレーザ光を平行光状態として上記第１のレンズに照射するコリメータ手段とを備え、上記光源から発射されたレーザ光をコリメータ手段によって平行光として上記第１のレンズに入射させ、上記第１のレンズを介して上記第２のレンズの上記第１のレンズに対向する面に入射された光の反射が再び上記第１のレンズを介して得られる光のビーム径を検出することにより上記第１のレンズと上記第２のレンズとの間の距離を検出することを特徴とする。

また、本発明は、第１のレンズと、光学記録媒体に対向する対向面を有する第２のレンズとからなる２群レンズの第１のレンズに対する第２のレンズの傾きを調整する光学ピックアップ用２群対物レンズの傾き検出装置において、光源と、上記光源から発射されたレーザ光を集光状態として上記対向面に照射する集光手段と、上記２群レンズが載置される基準面と、上記基準面に載置される上記第２のレンズの上記対向面から遠方に位置されて、上記光源から照射されて上記対向面で反射された反射光をこの反射光の焦点付近において検出する検出手段と、上記検出手段の検出結果に基づいて上記第１のレンズに対する上記第２のレンズの傾きを調整する傾き調整手段とを備え、光軸に対する上記検出手段によって検出された反射光の垂直方向の位置をもとに、上記第１のレンズに対する上記第２のレンズの傾きを検出することを特徴とする。

さらに、本発明は、第１のレンズと、光学記録媒体に対向する対向面を有する第２のレンズとからなる２群レンズの第１のレンズに対する第２のレンズの傾き、偏芯及び距離を調整する光学ピックアップ用２群対物レンズの検査装置において、第１、第２の光源と、上記２群レンズが載置される基準面と、上記第１の光源から出射された光を集光状態で上記第２のレンズの対向面に向けて照射する集光手段と、上記基準面に載置される上記２群レンズの上記対向面から遠方に位置されて、上記第１の光源から照射されて上記対向面で反射された反射光をこの反射光の焦点付近において検出する第１の検出手段と、上記第２の光源から出射された光を平行光として上記第１のレンズに向けて照射するコリメータ手段と、上記第２の光源から上記第１のレンズに向けて出射され、上記第１のレンズ及び上記第２のレンズを透過する光の各回折パターンを検出する第２の検出手段と、上記第２の光源から上記第１のレンズに向けて出射され、上記第１のレンズを介して上記第２のレンズの上記第１のレンズに対向する面に入射された光の反射が再び上記第１のレンズを介して得られる光のビーム径を検出する第３の検出手段とを備え、上記第１の検出手段乃至第３の検出手段によって検出された結果に基づいて上記第１のレンズに対する上記第２のレンズの傾き、偏芯及び距離を検出することを特徴とする。

本発明によれば、２群レンズの第２のレンズのディスクとの対向面に集束光を照射して、その反射光を収束点付近で検出して第２のレンズの傾きを検出することができる。

また、本発明によれば、２群レンズの第１のレンズに平行光を入射し、第１、第２のレンズを透過した光の回折パターンから第２のレンズの第１のレンズに対する偏芯を検出することができる。

さらに、本発明によれば、２群レンズの第１のレンズに平行光を入射し、第１のレンズを介して第２のレンズに照射された光の反射光を検出して第１、第２のレンズの距離を検出することができる。

本発明の実施の形態を図面を用いて詳しく説明する。第１の実施の形態は、光学ピックアップの備える２群レンズを調整する光学ピックアップ用対物レンズの調整方法を適用して構成した装置であって、第１のレンズに対する第２のレンズの傾きを調整する２群レンズの調整装置である。

詳しくは、２群レンズの調整装置は、図１に示すように、２群レンズ２１の第４の面２７にレーザ光を照射して、その反射光を遠方で検出することにより第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の傾きを調整する。

上記２群レンズは、光学ピックアップに備えられて、半導体レーザから発射されたレーザ光を光ディスクの信号記録面上で集束させる対物レンズである。

上記２群レンズは、図２に示すように、半導体レーザから入射されたレーザ光２８が入射される第１の面２４とこの第１の面２４から入射されたレーザ光２８を第２のレンズ２３に対して出射する第２の面２５とからなる第１のレンズ２２と、第１のレンズ２２を透過してきた半導体レーザよりのレーザ光が入射される第３の面２６とこの第３の面２６から入射されたレーザ光を対向して配設された光ディスク２９に出射する第４の面２７とからなる第２のレンズ２３とから構成されている。すなわち、２群レンズ２１は、第１の面２４，第２の面２５，第３の面２６及び第４の面２７の順に半導体レーザよりのレーザ光が入射され、第４の面２７から光ディスク２９に対して集束した光束を出射する。

上記第１のレンズ２２において、第１の面２４は、半導体レーザに向かって凸となるように非球面に形成され、その外周部２４ａが平面に形成されている。また、第２の面２５は、第２のレンズ２３に向かって凸となるように非球面に形成されている。

上記第２のレンズ２３において、第３の面２６は、対向する第１のレンズ２２側に凸となるように球面に形成されている。また、第４の面２７は、平面に形成されている。
を一定にさせている。このように構成された２群レンズ２１は、光ディスク２９の信号記録面２９ａ上にレーザ光を集束させることができる。例えば、この２群レンズ２１は、開口数が０．７〜０．９５となる。

上記２群レンズ２１は、実際には、図示しないスペーサによって第１のレンズ２２と第２のレンズ２３とが離間されている。なお、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３とは、第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２１の傾きを調整した後に、スペーサと接着される。

上記２群レンズの調整装置１は、図１に示すように、レーザ光を発射するレーザ光源２と、２群レンズ２１が配設されるレンズ載置部３と、レーザ光源２とレンズ載置部３との間に配設されているビームエキスパンダ４、集光レンズ５及びビームスプリッタ６と、レンズ載置部３に配設された２群レンズ２１の第４の面２７から遠方に位置されて、レーザ光源２から照射され第４の面２７で反射された反射光を検出するＣＣＤカメラ７と、ＣＣＤカメラ７で受光された映像を映すモニター８と、第１のレンズ２２の位置を調整する第１の位置調整用ステージ９と、第１のレンズ２２に対して第２のレンズ２３を平行又は傾き調整する第２の位置調整用ステージ１０とから構成されている。

上記２群レンズの調整装置１において、ビームエキスパンダ４，集光レンズ５及びビームスプリッタ６の光軸は、レーザ光源２の出射するレーザ光の光軸と一致している。さらに、後述するレンズ載置部３の開口部１３は、中心が上記レーザ光の光軸と一致している。

また、２群レンズの調整装置１において、ビームエキスパンダ４及び集光レンズ５は、レンズ載置部３に載置された２群レンズ２１の第４の面２７よりの反射光がビームスプリッタ６の反射面６ａで反射されてから焦点を形成するように位置決めされている。そして、２群レンズ２１の第４の面２７から上記焦点が形成される位置までの距離が長くなるように、その距離を例えば５ｍとしてビームエキスパンダ４及び集光レンズ５が位置決めされている。

さらに、２群レンズの調整装置１は、集光レンズ５とビームスプリッタ６との間を移動可能になるように支持されているメカニカルシャッター１１を備えている。メカニカルシャッター１１は、レンズ載置部３に対してレーザ光源２よりのレーザ光を遮光するために用いている。

上記レーザ光源２は、Ｈｅ−Ｎｅレーザであって、波長が６３２ｎｍのレーザ光を発射する。このレーザ光源２は、レーザ光の光軸がレンズ載置部３の開口部１３中心と一致して、基準面１２に対し直角になるように位置決めされている。なお、レーザ光源２の位置決めは、例えばマイケルソン干渉計を用いて、十分な精度に追い込んで行っている。

上記レーザ光源２から広がりながら発射されたレーザ光は、ビームエキスパンダ４に入射される。ビームエキスパンダ４は、入射されたレーザ光をさらに広がらせて集光レンズ５に向けて出射する。

上記集光レンズ５では、広がって入射されたビームエキスパンダ４よりのレーザ光をビームスプリッタ６に向けて集束させて出射する。

上記ビームスプリッタ６は、集光レンズ５よりのレーザ光を透過して２群レンズ２１が載置されるレンズ載置部３に向けて出射する。なお、このビームスプリッタ６には、反射面６ａが形成され、ビームスプリッタ６は、後述するように、第２のレンズ２３の第４の面２７よりの反射光を反射面６ａにおいて反射する光学特性を有している。

上記レンズ載置部３は、２群レンズ２１が載置される基準面１２と、２群レンズ２１が載置される部分に位置し、円形に形成された開口部１３とから構成されている。開口部１３は、２群レンズ２１の第１の面２４の球面部の外径とほぼ同じ直径を有している。

上記レンズ載置部３は、第１の面２４を開口部１３によって嵌合して、基準面１２に載置された２群レンズ２１を保持している。

基準面１２に載置された２群レンズ２１には、第４の面２７に対してビームスプリッタ６よりのレーザ光が入射される。第４の面２７は、入射されたレーザ光の一部をビームスプリッタ６に向けて反射する。

上記ビームスプリッタ６は、反射面６ａにおいて第４の面２７よりの反射光をＣＣＤカメラ７に向けて反射する。反射光は、ビームスプリッタ６の反射面６ａにおいて反射された後に焦点を形成する。ＣＣＤカメラ７は、この反射光の焦点付近に位置されて、受光面７ａのよって反射光の焦点を受光する。このＣＣＤカメラ７の受光面７ａは、位置検出分解能が０．５ｍｍ程度の精度を有している。

なお、ＣＣＤカメラ７は、図３に示すように、レンズ載置部３の基準面１２に、いわゆるオプティカルフラットとしての平面部１４ａを有する平板１４を載置して予め位置決めされている。

上記平板１４は、断面がほぼ矩形とされ、基準面１２と平行に形成された平行面１４ａを備えている。ここで、平板１４の断面厚さは、平板１４が基準面１２に載置された際、平面部１４ａの位置が２群レンズ２１の第４の面２７の高さとほぼ同一になるように決定されている。

上記ＣＣＤカメラ７の位置決めは、上述した２群レンズ２１の第４の面２７にレーザ光を照射するのと同様な手順で行い、平板１４の平面部１４ａに対してレーザ光を照射して行う。

すなわち、レーザ光源２よりのレーザ光を、ビームエキスパンダ４，集光レンズ５及びビームスプリッタ６を介して平板１４の平面部１４ａに照射する。

上記平板１４の平面部１４ａに入射されたレーザ光は、ビームスプリッタ４に向けて反射される。ここで、平板１４の平面部１４ａが基準面１２に対して平行に位置されているため、レーザ光の光軸は、平面部１４ａに対する入射と反射で一致している。

上記平板１４の平面部１４ａよりの反射光は、ビームスプリッタ６の反射面６ａで反射された後、焦点が形成される。ＣＣＤカメラ７は、この反射光の焦点付近に予め位置されている。このＣＣＤカメラ７は、この反射光の光軸方向及びこの光軸に対し直角な２軸方向に移動可能に支持されている。

上記ＣＣＤカメラ７の位置決めは、モニター８を見ながら、反射光の光軸中心、すなわち反射光の焦点に受光面７ａの中心が一致するようにＣＣＤカメラ７を移動させて行う。

そして、受光面７ａの中心位置が決定された後、上記反射光の光軸に対して受光面７ａが垂直になるように調整される。

以上のようにしてＣＣＤカメラ７は位置決めされている。

よって、ＣＣＤカメラ７の受光面７ａは、第２のレンズ２２の第４の面２７よりの反射光の焦点を受光することができる位置に配設されている。

例えば、第２のレンズ２２に傾きが生じている場合、基準面１２に載置された２群レンズ２１の第４の面２７よりの反射光の焦点は、光軸に対する垂直方向のずれとなって、受光面７ａの中心からずれて受光される。

そして、第２のレンズ２３の傾きの調整は、モニター８を見ながら、第２の位置調整用ステージ１０によって行い、ＣＣＤカメラ７の受光面７ａの中心に第４の面２７よりの反射光の焦点を一致させる。

よって、２群レンズの調整装置１は、第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の傾きの調整を第２のレンズ２３の第４の面２７からの反射光に基づいて行うため、例え第２のレンズ２３の外形形状の精度がよくなくても、精度良く傾きの調整をすることができる。したがって、第１のレンズ２２及び第２のレンズ２３を成形するために使用する金型の外径精度が出ていなくても、十分な光学特性をもった２群レンズ２１を提供することができる。

また、２群レンズの調整装置１は、第４の面２７よりの反射光の焦点によって、第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の傾きを調整しているために、たとえＣＣＤカメラ７の受光面７ａの位置検出感度が小さくても精度良く傾きの調整をすることができる。

なお、２群レンズの調整装置１は、上述したように、第４の面２７と反射光の焦点位置との距離を５ｍになるように構成されている。これは、第４の面２７と焦点の検出位置の距離を長くすることで、位置検出感度を向上させるためである。

例えば、ＣＣＤカメラ７の受光面７ａの位置検出分解能は、０．５ｍｍ程度であるから、第２のレンズ２３の傾きの検出分解能Ｘは、（１）式で得られるように、０．０５ｍｒａｄになる。

Ｘ＝ｔａｎ-1（０．５＜ｍｍ＞／（５０００＜ｍｍ＞×２））・・・（１）
＝０．０５ｍｒａｄ
２群レンズの調整装置１は、このように第４の面２７からの反射光の焦点を遠方に形成して、第２のレンズ２３に対する上記焦点の変位置を増幅させることで、位置検出感度を良好にし、傾きの調整精度を向上させている。

また、第２のレンズ２３の調整について述べたが、２群レンズの調整装置１は、第１のレンズ２２の傾きを調整してから第２のレンズ２３の傾きを調整することもできる。この場合、第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の傾きの位置決め精度が向上する。

次に第２の実施の形態について説明する。第２の実施の形態は、光学ピックアップの備える２群レンズを調整する光学ピックアップ用対物レンズの調整方法を適用して構成した装置であって、第１のレンズに対する第２のレンズの傾きを調整する２群レンズの調整装置である。

詳しくは、２群レンズの調整装置１は、図４に示すようにレーザ光を第１のレンズ２２及び第２のレンズ２３を透過させ、その透過光の回折パターンの中心位置を遠方で検出することにより第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の偏芯を調整する。

上記２群レンズは、第１の実施の形態において図２を用いて説明したように、第１のレンズ２２と、光ディスク２９に対向する面である第４の面２７を有する第２のレンズ２３とから構成されている。

上記２群レンズの調整装置は、図４及び図５に示すように、レーザ光を発射するレーザ光源３２と、レーザ光源３２から発射されたレーザ光を広げて出射させるビームエキスパンダ３３と、ビームエキスパンダ３３によって広げられて入射されるレーザ光を平行光にするコリメータレンズ３４と、調整の対象となる２群レンズ２１が載置されるとともに、コリメータレンズ３４からの光が入射されるレンズ載置部３５と、レンズ載置部３５に載置された２群レンズ２１を透過した光が入射されるビームスプリッタ３６と、ビームスプリッタ３６の反射面３６ａで反射された光であって、第１のレンズ２２及び第２のレンズ２３を透過する光の回折パターンを検出するＣＣＤカメラ３７と、ＣＣＤカメラ３７で受光された映像を映すモニター３８と、第１のレンズ２２の光軸に対する垂直面内において第１のレンズ２２の位置を調整する第１の位置調整用ステージ３９と、第２のレンズ２３の光軸に対する垂直面内において第２のレンズ２３の位置を調整する第２の位置調整用ステージ４０とから構成される。

上記２群レンズの調整装置３１において、ビームエキスパンダ３３、コリメータレンズ３４及びビームスプリッタ３６の光軸は、レーザ光源３２の出射するレーザ光の光軸と一致している。さらに、後述するレンズ載置部３に設けられたアパーチャ部４３は、中心が上記レーザ光の光軸と一致している。

上記レーザ光源３２は、ＳＨＧのグリーンレーザであって、波長が５３２ｎｍのレーザ光を発射する。このレーザ光源３２は、レーザ光の光軸がレンズ載置部３５のアパーチャ部４３の中心と一致して、レンズ載置部３５の基準面４１に対し直角になるように位置決めされている。なお、レーザ光源３２の位置決めは、例えばマイケルソン干渉計を用いて、十分な精度に追い込んで行っている。そして、レーザ光源３２から広がりながら発射されたレーザ光は、ビームエキスパンダ３３に入射される。

上記ビームエキスパンダ３３は、レーザ光をさらに広げてコリメータレンズ３４に向けて出射する。

上記コリメータレンズ３４は、広がりながら入射されたビームエキスパンダ４よりのレーザ光を平行光にしてレンズ載置部３５に向けて出射する。

上記レンズ載置部３５は、２群レンズ２１が載置される基準面４１と、２群レンズ２１が載置される部分に位置し、円形に形成された貫通孔である円形孔４２とから構成されている。そして、レンズ載置部３５の円形孔４２には、アパーチャ部４３が設けられている。

上記アパーチャ部４３は、円形孔４２よりやや小とされた径に形成されている。詳しくは、アパーチャ部４３の内径は、２群レンズ２１の第１の面２４の球面部の外径よりやや小とされている。このアパーチャ部４３は、上述したように、軸中心がレーザ光源３２から発せされるレーザ光の光軸と一致している。

よって、レンズ載置部３５は、基準面４１に載置される２群レンズ２１の第１の面２４に入射されるコリメータレンズ３４よりレーザ光をアパーチャ部４３において絞っている。これにより、このアパーチャ部４３を介して２群レンズ２１に入射される光は、回折成分を含んだ光となる。後述するように、２群レンズの調整装置３１は、この回折成分によって形成される回折パターンをもとに、第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の偏芯を調整している。

アパーチャ部４３を介して２群レンズ２１を透過した光は、ビームスプリッタ３６に入射される。なお、２群レンズ２１を透過した光が第４の面２７から出射直後に焦点を形成するために、ビームスプリッタ３５には、焦点を形成語の広がった光が入射される。

上記ビームスプリッタ３６には、反射面３６ａが形成され、ビームスプリッタ３６は、２群レンズ２１を透過した光を反射面３６ａによって反射し、ＣＣＤカメラ３７に向けて出射する。

このＣＣＤカメラ３７は、受光面３７ａにおいてビームスプリッタ３６の反射面３６ａで反射された光を受光する。なお、ＣＣＤカメラ３７の受光面３７ａは、位置検出分解能が０．５ｍｍ程度の精度を有している。また、ＣＣＤカメラ３７は、位置決めされるために、光軸方向及びこの光軸に対し直角な２軸方向に移動可能に支持されている。

上記ＣＣＤカメラ３７の受光面３７ａにおいて受光された光は、モニター３８に映し出される。ＣＣＤカメラ３７の受光面３７ａに入射された光は、アパーチャ部４３を介したとで回折成分を含んでいることから、モニター３７には、光の回折パターンが映し出される。

なお、ＣＣＤカメラ３７は、図６に示すように、レンズ載置部３５に形成されたアパーチャ部４３よりレーザ光を透過させて予め位置決めされている。

先ず、レーザ光源３２よりのレーザ光がビームエキスパンダ３３，コリメータレンズ３４を介してレンズ載置部３５に形成されたアパーチャ部４３に入射される。アパーチャ部４３に入射され、ここを介して出射されたレーザ光は、回折成分を含む光となる。回折成分を含んだ光は、ビームスプリッタ３６の反射面３６ａを介して、ＣＣＤカメラ３７の受光面３７ａにおいて受光される。そして、モニター３８には、第１のレンズ２２を透過した光の回折パターンが映し出される。

上記ＣＣＤカメラ３７の位置決めは、この回折パターンの中心がＣＣＤカメラ３７の受光面３７ａの中心と一致するようにして行われる。

なお、ＣＣＤカメラ３７は、２群レンズ２１からの光軸上における距離が長くなるように、例えば光軸上における距離が１ｍとされて配設されている。また、この位置において、回折パターンのピッチは、略１ｍｍになる。

このようにＣＣＤカメラ３７が位置決めされた後、図５に示すように、先ず第１のレンズ２２がレンズ載置部３５の円形部５２に嵌合されて基準面４１上に載置され、レンズ載置部３５に対して位置決めされる。

そして、第１のレンズ２２には、レーザ光源３２よりのレーザ光が、ビームエキスパンダ３３、コリメータレンズ３４及びアパーチャ部４３を介して入射される。

上記第１のレンズ２２に入射された光は、アパーチャ部４３によって回折成分を含んだものとなって、ビームスプリッタ３６の反射面３６ａを介してＣＣＤカメラ３７の受光面３７ａにおいて受光される。第１のレンズ２２は、第１の位置調整用ステージ３９によって行い、ＣＣＤカメラ３７の受光面３７ａの中心に回折パターンの中心を一致させて、レンズ載置部３５において位置決めされる。

よって、２群レンズの調整装置３１は、レンズ載置部３５に対する第１のレンズ２２の位置決めを第１のレンズ２２を透過した光の回折パターンに基づいて行っているために、たとえ第１のレンズ２２の外形形状の精度がよくなくても、精度良く調整を行うことができる。

このように第１のレンズ２２がレンズ載置部３５に対して位置決めされた後、第１のレンズ２２上にスペーサを介して第２のレンズ２３が取り付けられ、上述のように、第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の偏芯の調整が行われる。

例えば、第２のレンズ２３が第１のレンズ２２に対して偏芯している場合、２群レンズ２１の回折パターンの中心は、ＣＣＤカメラ３７の受光面３７ａ中心からずれて受光されることになる。

そして、第２のレンズ２３の偏芯の調整は、モニター３８を見ながら、第２の位置調整用ステージ４０によって行い、ＣＣＤカメラ３７の受光面３７ａの中心に２群レンズ２１を透過してきた光の回折パターンの中心を一致させる。

よって、２群レンズの調整装置３１は、第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の偏芯の調整を第１のレンズ２２及び第２のレンズ２３を透過した光の回折パターンに基づいて行っているために、たとえ第１のレンズ２２及び第２のレンズ２３の外形形状の精度がよくなくても、精度良く偏芯の調整を行うことができる。したがって、第１のレンズ２２及び第２のレンズ２３を成形するために使用する金型の外形精度が出ていなくても、十分な光学特性をもった２群レンズ２１を提供することができる。

上記２群レンズの調整装置３１は、回折パターンの中心によって光軸中心を割り出しているために、従来の光量分布或いはビームパターンから光軸中心を割り出す手段よりも高い検出感度を得ることができる。

例えば、２群レンズの調整装置３１は、上述したように、２群レンズ２１とＣＣＤカメラ３７との光軸上における距離が略１ｍ（Ｌ）になるように構成されている。そして、ＣＣＤカメラ３７の受光面３７ａの位置検出分解能を０．５ｍｍ（ｄ）程度、２群レンズ２１の焦点距離を略２．５ｍｍ（ｆ）としたとき、第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の偏芯量の検出感度Δｅは、（２）式で得られるように、１．２５×１０-3μｍになる。

Δｅ＝ｆ×ｄ／Ｌ・・・（２）
＝２．５＜ｍｍ＞×０．５＜ｍｍ＞／１０００＜ｍｍ＞
＝１．２５×１０-3μｍ
このように、２群レンズの調整装置３１は、２群レンズ２１から遠方でＣＣＤカメラ３７によって回折パターンの中心を検出することで、偏芯量の検出感度が良好になり、偏芯の調整精度を向上させている。

次に本発明の第３の実施の形態について説明する。第３の実施の形態は、光学ピックアップの備える２群レンズを調整する光学ピックアップ用対物レンズの調整方法を適用して構成した装置であって、第１のレンズと第２のレンズとの距離を調整する２群レンズの調整装置である。

詳しくは、２群レンズの調整装置は、図７に示すように、第１のレンズ２２を介して第２のレンズ２３の第１のレンズ２２に対向する第３の面２６に入射された光の反射光が再び第１のレンズ２２を介して得られる光のビーム径を検出して第１のレンズと第２のレンズとの間隔を調整する。

上記２群レンズ２１は、第１の実施の形態において図２を用いて説明したように、半導体レーザからのレーザ光が入射される第１の面２４と第１の面２４から入射されたレーザ光を第２のレンズ２３に向けて出射する第２の面２５とからなる第１のレンズ２２と、第１のレンズ２２を透過してきた半導体レーザよりのレーザ光が入射される第３の面２６と光ディスク２９に対向する面となる第４の面２７とからなる第２のレンズ２３とから構成されている。また、２群レンズ２１は、スペーサを介して第１のレンズ２２と第２のレンズ２３とが対向されている。例えば、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離は、第１のレンズ２２を透過した半導体レーザよりレーザ光が、第２のレンズ２３の第３の面２６に対して垂直に入射されるような最適距離に決定されている。

上記２群レンズの調整装置５１は、図７及び図８に示すように、レーザ光を発射するレーザ光源５２と、レーザ光源５２から発射されたレーザ光の光束径を広げて出射するビームエキスパンダ５３と、ビームエキスパンダ５３によって広がりながら入射されるレーザ光を平行光にするコリメータレンズ５４と、調整の対象となる２群レンズ２１が載置されるとともに、コリメータレンズ５４からの光が入射されるレンズ載置部５５と、コリメータレンズ５４とレンズ載置部５５の間に配設されて、レンズ載置部５５に載置された２群レンズ２１の第３の面２６において反射された光が入射されるビームスプリッタ５６と、第３の面２６で反射された反射光であって、ビームスプリッタ５６の反射面５６ａで反射された光のスポット径を検出するＣＣＤカメラ５７と、ＣＣＤカメラ５７で受光された映像を映すモニター５８と、第１のレンズ２２の光軸に対する垂直面内において第１のレンズ２２の位置を調整する第１の位置調整用ステージ５９と、第２のレンズ２３の光軸方向に第２のレンズ２３を移動調整する第２の位置調整用ステージ６０と、第２の位置調整用ステージ６０の送り量を検出する変位センサー６１とから構成される。

上記２群レンズの調整装置５１において、ビームエキスパンダ５３、コリメータレンズ５４及びビームスプリッタ５６の光軸は、レーザ光源５２が発射するレーザ光の光軸と一致している。さらに、後述するレンズ載置部５５に設けられたアパーチャ６４部は、中心が上記レーザ光の光軸と一致している。

上記レーザ光源５２は、ＳＨＧのグリーンレーザであって、波長が５３２ｎｍのレーザ光を発射する。このレーザ光源５２は、レーザ光の光軸がレンズ載置部５５のアパーチャ部６４の中心と一致して、レンズ載置部５５の基準面６２に対し直角になるように位置決めされている。なお、レーザ光源５２の位置決めは、例えばマイケルソン干渉計を用いて、十分な精度に追い込んで行っている。そして、レーザ光源５２から発射されたレーザ光は、ビームエキスパンダ５３に入射される。

ビームエキスパンダ５３は、光束径が広がりながら入射されたレーザ光をさらに広げてコリメータレンズ５４に向けて出射する。

上記コリメータレンズ５４は、広がりながら入射されたビームエキスパンダ５３よりのレーザ光を、ビームスプリッタ５６に向けて、平行光にして出射する。

上記ビームスプリッタ５６は、コリメータレンズ５４よりのレーザ光を透過する。なお、ビームスプリッタ５６には、反射面５６ａが形成されており、ビームスプリッタ５６は、後述するように、この反射面５６ａによって、第３の面２６よりの反射光をＣＣＤカメラ５７に向けて反射する。したがって、ビームスプリッタ５６は、コリメータレンズ５４よりのレーザ光は透過する。ビームスプリッタ５６を透過したレーザ光は、レンズ載置部５５に載置された２群レンズ２１に入射される。

上記レンズ載置部５５は、２群レンズ２１が載置される基準面６２と、２群レンズ２１が載置される部分に位置して、円形に形成された貫通孔である円形孔６３とから構成されている。そして、レンズ載置部５５の円形孔６３には、アパーチャ部６４が設けられている。

上記アパーチャ部６４は、円形孔６３よりやや小とされた径に形成されている。詳しくは、アパーチャ部６４の内径は、２群レンズ２１の第１の面２４の球面部の外径よりやや小とされている。このアパーチャ部６４は、上述したように、軸中心が上記レーザ光の光軸と一致している。

よって、レンズ載置部５５は、基準面６２に載置される２群レンズ２１の第１の面２４に入射されるレーザ光をアパーチャ部６４において絞っている。

上記２群レンズ２１の第１の面２４に入射された光は、第１のレンズ２２を透過して第２の面２５より出射される。そして、第２の面２５から出射された光は、第２のレンズ２３の第３の面２６に入射される。

第３の面２６は、第２の面２５よりの光の一部を第２の面２５に向けて反射する。２群レンズの調整装置５１は、この第３の面２６で反射された反射光をもとに、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離を調整する。

上記第２の面２５に入射された第３の面２６よりの反射光は、第１のレンズ２２を透過して、第１の面２４からビームスプリッタ５６に向けて出射される。

ビームスプリッタ５６は、反射面５６ａによって２群レンズ２１の第１の面２４より出射された反射光をＣＣＤカメラ５７に向けて反射する。

上記ＣＣＤカメラ５７は、受光面５７ａにおいてビームスプリッタ５６よりの反射光を受光する。なお、ＣＣＤカメラ５７の受光面５７ａは、位置検出分解能が０．５ｍｍ程度の精度を有している。また、ＣＣＤカメラ３７は、光軸方向及びこの光軸に対し直角な２軸方向に移動可能に支持されている。

上記ＣＣＤカメラ５７の受光面５７ａにおいて受光された光は、モニター５８に映し出される。第３の面２６において反射された光は、第１のレンズ２２及びビームスプリッタ５６を介しても略平行光のままＣＣＤカメラ５７の受光面５７ａにおいて受光される。よって、モニター５８には、上記反射光がスポットとして映し出される。

なお、ＣＣＤカメラ５７は、図８に示すように、レンズ載置部５５の基準面６２に載置した、いわゆるオプティカルフラットとされる平板部６５ａを備える平板６５にレーザ光源５２よりレーザ光を照射して予め位置決めされている。

上記平板６５は、断面がほぼ矩形とされ、載置された基準面６２と同一面をなす平面日６５ａを設けている。そして、レーザ光源５２よりのレーザ光は、この平板６５の平面部６５ａに照射される。

すなわち、平板６５の平面部６５ａには、ビームエキスパンダ、コリメータレンズ５４、ビームスプリッタ５６及びアパーチャ部６４を介したレーザ光源５２よりのレーザ光が照射される。

そして、平板６５の平面部６５ａは、照射されたレーザ光を反射する。ここで、レーザ光の光軸は、平板６５の平面部６５ａに対する入射と反射において一致している。

平板６５の平面部６５ａよりの反射光は、ビームスプリッタ５６の反射面５６ａで反射され、ＣＣＤカメラ５７の受光面５７ａにおいて受光される。モニター５８には、ＣＣＤカメラ５７の受光面５７ａに入射された平板６５の平面部６５ａよりの反射光のスポットが映し出される。ＣＣＤカメラ５７の位置決めは、このスポット中心が受光面５７ａの中心と一致するように、モニター５８を見ながらＣＣＤカメラ５７の位置を調整して行う。

そして、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離を調整は、平板６５の平面部６５ａよりの反射光によって形成されたスポットの径を基準面として行う。

なお、ＣＣＤカメラ５７は、２群レンズ２１の第３の面２６からの光軸上における距離が長くなるように、例えば光軸上における距離を０．９ｍとした位置に配設されている。

上述のようにＣＣＤカメラ５７が位置決めされた２群レンズの調整装置５１によって、レンズ載置部５５に載置された２群レンズ２１の第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離が調整される。

例えば、通常の２群レンズ２１においては、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３の間隔は、上述したように、第２の面２５から出射されて光が、第３の面２６に垂直に入射されるように設定されている。よって、第３の面２６において反射された第２の面２５よりの光も第３の面２６に対して垂直に出射されることになる。

しかし、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離が、通常の設定と異なってしまうと、第２の面２５から出射されて光が、第３の面２６に対して垂直に入射されなくなる。すると、第３の面２６において反射された第２の面２５より光も第３の面２６に対して垂直に出射されなくなる。

したがって、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離が上記通常の設定と異なっている場合の第３の面２６よりの反射光は、平板６５の平面部６５ａによって得たスポット径よりも小さい又は大きいスポット径をなしてＣＣＤカメラ５７の受光面５７ａにおいて受光される。

そして、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離の調整は、モニター５８を見ながら、第２の位置調整用ステージ６０によって行い、第３の面２６よりの反射光のスポット径を平板６５によって得た基準となるスポット径と同径になるようにする。

よって、２群レンズの調整装置５１は、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離の調整を第２のレンズ２３の第３の面２６において反射された反射光に基づいて行うため、例え第１のレンズ２２又は第２のレンズ２３の外形形状の精度がよくなくても、精度良く距離の調整をすることができる。したがって、第１のレンズ２２及び第２のレンズ２３を成形するために使用する金型の外形精度がでていなくても、十分な光学特性をもった２群レンズ２１を提供することができる。

例えば、図２に示すように、光ディスクのガラス基板２９ｂが０．１ｍｍ、ガラス基板２９ｂの表面と第４の面２７との間隔、すなわち作動距離が０．１ｍｍに適用して設計され、第３の面２６の球面半径が１．２５ｍｍ及びこの第３の面２６と第４の面２７との間隔、すなわち第２のレンズ２３のレンズ厚さが１．４ｍｍに設計された２群レンズ２１に関して、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離が変化した場合のスポット径の変化は以下のようになる。

なお、光軸上において、ＣＣＤカメラ５７は、第２のレンズ２３の第３の面２６から０．９ｍ離されて配設されている。

例えば、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離が上記最適距離よりも０．５４３ｍｍ大きくなった場合、ＣＣＤカメラ５７の受光部５７ａにおけるスポット径は、４．９ｍｍになる。また、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離が上記最適距離よりも０．５６３ｍｍ大きくなった場合、ＣＣＤカメラ５７の受光部５７ａにおけるスポット径は、８．５ｍｍになる。

よって、ＣＣＤカメラ５７の受光面５７ａの位置検出分解能が０．５ｍｍであることから、第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の距離の分解能Ｙは、（３）式で得られるように、２．８μｍになる。

Ｙ＝（0.563<mm>-0.543<mm>）／（(8.5<mm> -4.9<mm>)／0.5<mm>）・・・（３）
＝２．８μｍ
このように、２群レンズの調整装置５１は、第２のレンズ２３の第３の面２６からの反射光を遠方で検出することで、上記距離の変位量を増幅させて検出感度を良好にし、上記距離の調整精度を向上させている。

また、２群レンズの調整装置５１は、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離を任意に設定することができる。例えば、第２の面２５よりの光が第３の面２６に対して任意の角度で入射させるような場合である。

この場合、先ず第２の面２５よりの光が第３の面２６に対して垂直入射する状態に調整する。そして、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３の距離変化と第３の面２６に入射される第２の面２５よりの光の入射角度変化との関係を計算によって求めたうえで、第２のレンズ２３を第２の位置調整用ステージ６０によって適宜移動させる。これにより、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離を任意に変化させることができる。

そして、検出精度が１μｍ以下の変位センサー６１によって第２の位置調整用ステージ６０の送り量を制御すれば、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離を１μｍ以下の精度で変化することもできる。

次に本発明の第４の実施の形態について説明する。第４の実施の形態は、光学ピックアップの備える２群レンズの第１のレンズに対する第２のレンズの傾き、偏芯及び距離を調整する２群レンズの調整装置である。

上記２群レンズは、第１の実施の形態において図２を用いて説明したように、半導体レーザからのレーザ光が入射される第１の面２４と第１の面２４から入射されたレーザ光を第２のレンズ２３に向けて出射する第２の面２５とからなる第１のレンズ２２と、第１のレンズ２２を透過した半導体レーザよりのレーザ光が入射される第３の面２６と光ディスク２９に対向する面となる第４の面２７とからなる第２のレンズ２３とから構成されている。

また、２群レンズ２１は、スペーサによって第１のレンズ２２と第２のレンズ２３とが離間されている。

上記２群レンズの調整装置は、第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の傾き及び偏芯を検出するため、図９に示すように、２群レンズ２１が載置されるレンズ載置部７２と、レンズ載置部７２に載置される２群レンズ２１の第４の面２７に向けてレーザ光を発射する第１のレーザ光源７３と、第１のレーザ光源７３とレンズ載置部７２との間に配設されている第１のビームエキスパンダ７４、集光レンズ７５及び第１のビームスプリッタ７６と、第１のビームスプリッタ７６の反射面７６ａを介してレンズ載置部７２に載置される２群レンズ２１の第４の面よりの反射光を検出する第１のＣＣＤカメラ７７と、第１のビームスプリッタ７６と第１のＣＣＤカメラ７７の間に配設され、第１のビームスプリッタ７６の反射面７６ａで反射された光であって第１のレンズ２２及び第２のレンズ２３を透過する後述する第２のレーザ光源７９よりのレーザ光の回折パターンを検出する第２のＣＣＤカメラ７８と、集光レンズ７５と第１のビームスプリッタ７６との間に移動可能に支持されて、レンズ載置部７２に載置された２群レンズ２１に対して第１のレーザ光源７３よりのレーザ光を遮光するメカニカルシャッター９０とを備えている。

なお、第１のビームエキスパンダ７４，集光レンズ７５及び第１のビームスプリッタ７６は、光軸が第１のレーザ光源７３の発射するレーザ光の光軸と一致している。

また、２群レンズの調整装置７１は、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離を検出するため、図９に示すように、レンズ載置部７２に載置される２群レンズ２１であって、第１のレンズ２２を介して第３の面２６にレーザ光を照射する第２のレーザ光源７９と、第２のレーザ光源７９とレンズ載置部７２との間に配設されている第２のビームエキスパンダ８０、コリメータレンズ８１及び第２のビームスプリッタ８２と、第３の面２６で反射された第３の面２６よりの反射光のスポット径を検出する第３のＣＣＤカメラ８３とを備えている。

さらに、２群レンズの調整装置７１は、レンズ載置部７２に載置された２群レンズ２１の第１のレンズ２２の位置を調整する第２の位置調整用ステージ８４と、第２のレンズ２３の位置を調整する第２の位置調整用ステージ８５と、第２の位置調整用ステージ８５の送り量を検出する変位センサー８６とを備えている。

また、２群レンズの調整装置７１は、第１のＣＣＤカメラ７７，第２のＣＣＤカメラ７８及び第３のＣＣＤカメラ８３で受光された映像を映し出す第１のモニター８７、第２のモニター８８及び第３のモニター８９とを備えている。

なお、第２のビームエキスパンダ８０，コリメータレンズ８１及び第２のビームスプリッタ８２は、光軸が第２のレーザ光源７９の発射するレーザ光の光軸と一致している。

上記２群レンズの調整装置７１において、第１のレーザ光源７３と第２のレーザ光源７９とは、発射するレーザ光について光軸が一致している。また、第１のレーザ光源７３及び第２のレーザ光源７９のレーザ光の光軸は、後述するレンズ載置部７２に設けられたアパーチャ部９３の軸中心と一致している。

そして、光軸上において、第１のＣＣＤカメラ７７は、レンズ載置部７２に載置された２群レンズ２１の第４の面２７から略５ｍ離された位置に配置され、また、第２のＣＣＤカメラ７７は、レンズ載置部７２に載置された２群レンズ２１から略１ｍ離された位置に配設され、さらに、第３のＣＣＤカメラ８３は、レンズ載置部７２に載置された２群レンズ２１の第３の面２５から略０．９ｍ離された位置に配設されている。

上記２群レンズ２１は、上述のように構成された２群レンズの調整装置７１のレンズ載置部７２において、第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の傾き、偏芯及び距離を調整されながら組み立てられる。

詳しくは、２群レンズ２１の第１のレンズ２２が先ずレンズ載置部７２の基準面９１に載置され、位置決めされる。この位置決めされた第１のレンズ２２上にスペーサを介して第２のレンズ２３が配設される。なお、この時点では、第１のレンズ２２及び第２のレンズ２３は、スペーサに接着されていない。そして、第２のレンズ２３は第１のレンズ２２に対して傾きが調整される。傾きが調整された後、第２のレンズ２３は第１のレンズ２２に対して偏芯が調整される。偏芯が調整された後、第２のレンズ２３は第１のレンズ２２に対して距離が調整される。

以下に、２群レンズの調整装置７１における第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の傾き、偏芯及び距離の調整についてさらに詳しく説明する。

２群レンズの調整装置７１は、第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の傾きを調整するためのレーザ光を第１のレーザ光源７３より発射させる。

上記第１のレーザ光源７３は、Ｈｅ−Ｎｅレーザであって、波長が６３２ｎｍのレーザ光を発射する。このレーザ光源７３は、レーザ光の光軸がレンズ載置部７２の開口部９２の中心と一致し、基準面に対して直角になるように位置決めされている。なお、第１のレーザ光源７３の位置決めは、例えばマイケルソン干渉計を用いて、十分な精度に追い込んで行っている。

上記第１のレーザ光源７３から発射されたレーザ光は、第１のビームエキスパンダ７４及び集光レンズ７５に入射される。第１のビームエキスパンダ７４及び集光レンズ７５は、入射された第１のレーザ光源７３よりのレーザ光を適宜調整して集束させて、第１のビームスプリッタ７６に向けて出射する。

上記第１のビームスプリッタ７６は、第１のビームエキスパンダ７４及び集光レンズ７５によって集束されたレーザ光を２群レンズ２１が載置されるレンズ載置部７２に向けて透過する。

上記レンズ載置部７２は、２群レンズ２１が載置される基準面９１と、２群レンズ２１が載置される部分に位置されて円形に形成された貫通孔である円形孔９２とから構成されている。そして、レンズ載置部７２の円形孔９２には、アパーチャ部９３が設けられている。

上記アパーチャ部９３は、円形孔９２よりやや小とされた径に形成されている。詳しくは、アパーチャ部９３の内径は、２群レンズ２１の第１の面２４の球面部の外径よりやや小とされている。このアパーチャ部９３は、上述したように、軸中心が第１のレーザ光源７３から発せられるレーザ光の光軸と一致している。

上記レンズ載置部７２は、第１の面２４を円形孔９２によって嵌合し、基準面９１に載置された２群レンズ２１を保持している。

上記基準面９１に載置された２群レンズ２１は、第４の面２７に対して第１のビームスプリッタ７６を透過されたレーザ光が入射される。第４の面２７は、入射されたレーザ光の一部を第１のビームスプリッタ７６に向けて反射する。

上記第１のビームスプリッタ７６は、反斜面７６ａによって第４の面２７よりの反射光を第１のＣＣＤカメラ７７に向けて反射する。反射光は、この第１のビームスプリッタ７６の反射面７６ａにおいて反射された後に焦点が形成される。

上記反射光の焦点は、第１のＣＣＤカメラ７７の受光面７７ａによって受光される。

この第１のＣＣＤカメラ７７は、上述の第１の実施の形態において図３を用いて説明したように、レンズ載置部７２に平板１４を載置して行われている。すなわち、第１のＣＣＤカメラ７７は、第１のビームスプリッタ７６の反射面７６ａを反射後に形成される平板１４の平面部１４ａよりの反射光の焦点が受光面７７ａ中心に位置するように位置決めされている。

したがって、２群レンズ２１の第４の面２７において反射された反射光は、上述のように位置決めされた第１のＣＣＤカメラ７７の受光面７７ａにおいて受光されたことになる。

そして、第２のレンズ２３の傾きの調整は、モニター８７を見ながら、第２の位置調整用ステージ８５によって行い、ＣＣＤカメラ７７の受光面７７ａの中心に第４の面２７よりの反射光の焦点を一致させる。

よって、２群レンズの調整装置７１は、第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の傾きの調整を第２のレンズ２３の第４の面２７からの反射光に基づいて行うため、たとえ第２のレンズ２３の外形形状の精度がよくなくても、精度良く傾きの調整をすることができる。

また、２群レンズの調整装置７１は、第４の面２７よりの反射光の焦点によって、第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の傾きを調整しているために、たとえＣＣＤカメラ７７の受光面７７ａの位置検出感度が小さくても精度良く傾きの調整をすることができる。

なお、２群レンズの調整装置７１は、上述したように、第４の面２７と反射光の焦点位置との距離を略５ｍになるように構成されている。これは、第４の面２７と上記焦点の検出位置の距離を長くすることで、位置検出感度を向上させるためである。

例えば第１のＣＣＤカメラ７７の受光面７７ａの位置検出分解能が０．５ｍｍ程度、光軸上の第４の面２７と第１のＣＣＤカメラ７７との間隔が略５ｍであることから、第２のレンズ２３の傾きの検出分解能Ｘは、上記（１）式で得たように０．０５ｍｒｄになる。

上記２群レンズの調整装置７１は、このように第４の面２７からの反射光の焦点を遠方に形成して、上記焦点の変位量を増幅させることで、位置検出感度を良好にし、傾きの調整精度を向上させている。

以上のように第２のレンズ２３の傾きを調整した後、上記２群レンズの調整装置７１は、第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の偏芯を調整する。

上記第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の偏芯の調整は、第１の面２４側から２群レンズ２１に対して第２のレーザ光源７９よりレーザ光を照射して行われる。

上記第２のレーザ光源７９は、ＳＨＧのグリーンレーザであって、波長が５３２ｎｍのレーザ光を発射する。この第２のレーザ光源７９は、レーザ光の光軸がレンズ載置部７２のアパーチャ部９３の中心と一致し、レンズ載置部７２の基準面９１に対し直角になるように位置決めされている。なお、第２のレーザ光源７９の位置決めは、例えばマイケルソン干渉計を用いて、十分な精度に追い込んで行っている。そして、第２のレーザ光源７９から発射されたレーザ光は、第２のビームエキスパンダ８０及びコリメータレンズ８１に入射される。第２のレーザ光源７９から発射されたレーザ光は、この第２のビームエキスパンダ８０及びコリメータレンズ８１において光束径が広げられた後平行光となって、第２のビームスプリッタ８２に向かって出射される。

上記第２のビームスプリッタ８２は、コリメータレンズ８１よりのレーザ光をレンズ載置部７２に向かって透過する。そして、第２のビームスプリッタ８２よりのレーザ光は、レンズ載置部７２に形成されたアパーチャ部９３を介して２群レンズ２１の第１のレンズ２２に入射される。ここで、第１のレンズ２２に入射された光は、アパーチャ部９３によって回折成分を含むものとなる。

第１のレンズ２２に入射した光は、第２のレンズ２３を介して第１のビームスプリッタ７６に向けて出射される。

なお、２群レンズ２１を透過した光は、第４の面２７から出射直後に焦点を形成するために、光束径が広がった光となる。

上記第１のビームスプリッタ７６には、上述したように、反射面７６ａが形成されており、第１のビームスプリッタ７６は、反射面７６ａによって、２群レンズ２１よりの光を第２のＣＣＤカメラ７８に向けて出射する。

上記第２のＣＣＤカメラ７８は、受光面７８ａにおいてビームスプリッタ７６の反射面７６ａで反射された光を受光する。

なお、第２のＣＣＤカメラ７８は、検出時には、第１のビームスプリッタ７６と第１のＣＣＤカメラ７７との間に位置されているが、非検出時には、第１のＣＣＤカメラ７７の検出の妨げにならないように退避される。

この第２のＣＣＤカメラ７８は、上述の第２の実施の形態において図６を用いて説明したように、レンズ載置部７２に設けられたアパーチャ部９３を透過されるレーザ光の回折パターンをもとに位置決めされている。なお、第１のレンズ２２も、上記図５を用いて説明したように、回折パターンをもとにレンズ載置部９３に対して位置決めされている。

よって、２群レンズ２１を透過してきた光は、上述のように位置決めされている第２のＣＣＤカメラ７８の受光面７８ａにおいて受光される。

そして、第２のレンズ２３の偏芯の調整は、第２のモニター８８を見ながら、第２の位置調整用ステージ８５によって行い、第２のＣＣＤカメラ７８の受光面７８ａの中心に２群レンズ２１を透過してきた光の回折パターンの中心を一致させる。

よって、２群レンズの調整装置７１は、第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の偏芯の調整を第１のレンズ２２及び第２のレンズ２３を透過した光の回折パターンに基づいて行っているために、たとえ第１のレンズ２２及び第２のレンズ２３の外形形状の精度がよくなくても、精度良く偏芯の調整を行うことができる。

上記２群レンズの調整装置７１は、回折パターンの中心によって光軸中心を割り出しているために、従来の光量分布或いはビームパターンから光軸中心を割り出す手段よりも高い検出感度を得ることができる。

例えば、第２のＣＣＤカメラ７８の受光面７８ａの位置検出分解能が０．５ｍｍ程度、２群レンズ２１の焦点距離が略２．５ｍｍ、光軸上の２群レンズ２１と第２のＣＣＤカメラ７８との距離が１ｍ程度であるから、第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の偏芯量の検出感度Δｅは、上記（２）式で得たように１．２５×１０-3μｍになる。

このように、２群レンズの調整装置７１は、２群レンズ２１から遠方で第２のＣＣＤカメラ７８によって回折パターンの中心を検出することで、偏芯量の検出感度が良好になり、偏芯の調整精度を向上させている。

以上のように第２のレンズ２３の傾き及び偏芯を調整した後、上記２群レンズの調整装置７１は、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離を調整する。

第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離は、第２のレーザ光源７９よりレーザ光を照射して行われる。第２のレーザ光源７９から発射されたレーザ光は、第２のビームエキスパンダ８０、コリメータレンズ８１及び第２のビームスプリッタ８２を介して２群レンズ２１の第１の面２４に入射される。

第１の面２４に入射されたレーザ光は、第１のレンズ２２内を透過して、第２の面２５から出射される。第２の面２５から出射された光は、第３の面２６に入射される。

なお、通常の２群レンズ２１は、第２の面２５よりの光が第３の面２６に対して垂直に入射されるように、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間隔が設定される。

上記第３の面２６は、第２の面２５よりの光の一部を反射する。第３の面２６において反射された反射光は、第２の面２５に入射され再び第１のレンズ２２内を透過して、第１の面２４より第２のビームスプリッタ８２に向けて出社される。

上記第２のビームスプリッタ８２には、反射面８２ａが形成されており、第２のビームスプリッタ８２は、反射面８２ａによって、第１の面２４より出射された反射光を第３のＣＣＤカメラ８３に向けて出射する。

上記第３のＣＣＤカメラ８３は、受光面８３ａにおいて第２のビームスプリッタ８２の反斜面８２ａで反射された反射光を受光する。

この第３のＣＣＤカメラ８３は、上述の第３の実施の形態において図８を用いて説明したように、レンズ載置部７２に平板６５を載置して位置決めされている。

すなわち、第３のＣＣＤカメラ８３は、レンズ載置面７２に載置された平板６５の平面部６５ａによって反射された光のスポット中心が受光面８３ａ中心と一致するようにして位置決めされている。

よって、ビームスプリッタ８２の反射面８２ａで反射された第３の面２６よりの反射光は、上述のように位置決めされた第３のＣＣＤカメラ８３の受光面８３ａに受光されたことになる。

そして、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離の調整は、第３のモニター８９を見ながら、第２の位置調整用ステージ８５によって行い、第３の面２６よりの反射光のスポット径を平板６５によって得た基準となるスポット径と同径になるようにする。

よって、２群レンズの調整装置７１は、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離の調整を第２のレンズ２３の第３の面２６において反射された反射光に基づいて行うため、例え第１のレンズ２２又は第２のレンズ２３の外形形状の精度がよくなくても、精度良く距離の調整をすることができる。

また、第３のＣＣＤカメラ８３の受光面８３ａの位置検出分解能が０．５ｍｍであることから、第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の距離の分解能Ｙは、上記（３）式で得たように２．８μｍになる。

このように、２群レンズの調整装置７１は、第２のレンズ２３の第３の面２６からの反射光を遠方で検出することで、上記距離の変位量を増幅させて検出感度を良好にし、上記距離の調整精度を向上させている。

以上のように第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の傾き、偏芯及び距離が調整された２群レンズ２１は、第１のレンズ２２及び第２のレンズ２３がスペーサに接着されて固定される。

以上のように、２群レンズの調整装置７１は、２群レンズ２１にレーザ光を照射してその透過光或いは反射光をもとに第１のレンズ２２に対する第２のレンズ２３の傾き、偏芯及び距離を調整しているために、第１のレンズ２２又は第２のレンズ２３の外形形状の精度が良くなくても、精密に上記傾き、偏芯及び距離を調整することができる。

したがって、第１のレンズ２２及び第２のレンズ２３を成形するために使用する金型の外形精度が出ていなくても、十分な光学特性をもった２群レンズ２１を提供することができる。

さらに、２群レンズの調整装置７１は、上記傾き、上記偏芯及び上記距離の調整を各光学部品を共有しているので、コストが安くなる。例えば、レーザ光源を第２のレーザ光源７９のみを備えて構成することもできる。この場合、第２のレーザ光源７９よりのレーザ光を、光学レンズを用いて適宜に分岐、反射させるなどして、２群レンズ２１の第４の面２７に対して照射すればよい。

また、２群レンズの調整装置７１は、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離を任意に設定することもできる。例えば、第２の面２５よりの光が第３の面２６に対して任意の角度で入射させるような場合である。

この場合、先ず第２の面２５よりの光が第３の面２６に対して垂直入射する状態に調整する。そして、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３の距離変化と第３の面２６に入射される第２の面２５よりの光の入射角度変化との関係を計算によって求めたうえで、第２のレンズ２３を第２の位置調整用ステージ８５によって適宜移動させる。これにより、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離を任意に変化させることができる。

そして、検出精度が１μｍ以下の変位センサー８６によって、第２の位置調整用ステージ８５の送り量を制御すれば、第１のレンズ２２と第２のレンズ２３との間の距離を１μｍ以下の精度で変化することもできる。

上述したような本発明の実施の形態によれば、次のような効果を得ることができる。

すなわち、本発明の実施の形態に係る光ピックアップ用対物レンズの調整方法は、第１のレンズと、光学記録媒体に対向する対向面を有する第２のレンズとからなる２群レンズの第１のレンズに対する第２のレンズの傾きを調整する光学ピックアップ用対物レンズの調整方法において、レーザ光を上記第２のレンズの上記対向面に照射し、光軸方向に対するその反射光の垂直面上の位置を上記対向面から遠方で検出することにより上記第１のレンズに対する上記第２のレンズの傾きを調整することによって、第１のレンズ及び第２のレンズの外形形状の精度が良くなくても、第１のレンズに対する第２のレンズの傾きを高精度で調整することができる。

また、本発明の実施の形態に係る光ピックアップ用対物レンズの調整方法は、第１のレンズ及び第２のレンズを透過する光の回折パターンを検出することにより上記第１のレンズに対する上記第２のレンズの偏芯を調整することにより、第１のレンズ及び第２のレンズの外形形状の精度が良くなくても、第１のレンズに対する第２のレンズの偏芯を高精度で調整することができる。

さらに、本発明の実施の形態に係る光ピックアップ用対物レンズの調整方法は、第１のレンズを介して第２のレンズの第１のレンズに対向する面に入射された光の反射が再び第１のレンズを介して得られる光のビーム径を検出することにより第１のレンズと第２のレンズとの間の距離を調整することによって、第１のレンズ及び第２のレンズの外形形状の精度が良くなくても、第１のレンズと第２のレンズとの間の距離を高精度で調整することができる。

そして、本発明の実施の形態に係る光ピックアップ用対物レンズの調整装置は、第１のレンズと、光学記録媒体に対向する対向面を有する第２のレンズとからなる２群レンズの第１のレンズに対する第２のレンズの傾きを調整する光学ピックアップ用対物レンズの調整装置において、光源と、上記２群レンズが載置される基準面と、上記基準面に載置される上記第２のレンズの上記対向面から遠方に位置されて、上記光源から照射されて上記対向面で反射された反射光を検出する検出手段と、上記検出手段の検出結果に基づいて上記第１のレンズに対する上記第２のレンズの傾きを調整する傾き調整手段とを備え、光軸に対する上記検出手段によって検出された反射光の垂直方向の位置をもとに、上記第１のレンズに対する上記第２のレンズの傾きを調整することを特徴としており、基準面に載置される２群レンズの第２のレンズの対向面から遠方に位置されて、光源から照射されて対向面で反射された反射光を検出する検出手段を備えることによって、光軸に対する対向面よりの反射光の垂直面上の位置を対向面から遠方で検出するために、第１のレンズ及び第２のレンズの外形形状の精度が良くなくても、第１のレンズに対する第２のレンズの傾きを高精度で調整することができる。

また、本発明の実施の形態に係る光ピックアップ用対物レンズの調整装置は、第１のレンズと、光学記録媒体に対向する対向面を有する第２のレンズとからなる２群レンズの第１のレンズに対する第２のレンズの傾き、偏芯及び距離を調整する光学ピックアップ用対物レンズの調整装置において、光源と、上記２群レンズが載置される基準面と、上記基準面に載置される上記２群レンズの上記対向面から遠方に位置されて、上記光源から照射されて上記対向面で反射された反射光を検出する第１の検出手段と、上記第１のレンズ及び上記第２のレンズを透過する光の各回折パターンを検出する第２の検出手段と、上記第１のレンズを介して上記第２のレンズの上記第１のレンズに対向する面に入射された光の反射が再び上記第１のレンズを介して得られる光のビーム径を検出する第３の検出手段と、上記第１の検出手段乃至第３の検出手段によって検出された結果に基づいて上記第１のレンズに対する上記第２のレンズの傾き、偏芯及び距離を調整する調整手段とを備えることを特徴としている。従って、基準面に載置される２群レンズの第２のレンズの対向面から遠方に位置されて光源から照射されて対向面で反射された反射光を検出する第１の検出手段と、第１のレンズ及び第２のレンズを透過する光の回折パターンを検出する第２の検出手段と、第１のレンズを介して第２のレンズの第１のレンズに対向する面に入射された光の反射が再び第１のレンズを介して得られる光のビーム径を検出する第３の検出手段とを備えることによって、２群レンズにレーザ光を照射してその透過光或いは反射光をもとに第１のレンズに対する第２のレンズの傾き、偏芯及び距離を調整しているために、第１のレンズ及び第２のレンズの外形形状の精度が良くなくても、高精度でその傾き、偏芯及び距離を調整することができる。

なお、本発明は上述した実施の形態のみに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能であることは勿論である。

本発明の第１の実施の形態となる２群レンズの調整装置であって、２群レンズが載置されたときの構成図である。上記２群レンズの調整装置によって調整される２群レンズの正面図である。上記第１の実施の形態となる２群レンズの調整装置の備えるＣＣＤカメラの位置決めを行う際の構成図である。本発明の第２の実施の形態となる２群レンズの調整装置であって、２群レンズが載置されたときの構成図である。上記第２の実施の形態となる２群レンズの調整装置であって、第１のレンズが載置されたときの構成図である。上記第２の実施の形態となる２群レンズの調整装置の備えるＣＣＤカメラの位置決めを行う際の構成図である。本発明の第３の実施の形態となる２群レンズの調整装置であって、２群レンズが載置されたときの構成図である。上記第３の実施の形態となる２群レンズの調整装置の備えるＣＣＤカメラの位置決めを行う際の構成図である。本発明の第４の実施の形態となる２群レンズの調整装置であって、２群レンズが載置されたときの構成図である。従来の第１のレンズに対する第２のレンズの傾き、偏芯及び距離の調整の説明に用いた２群レンズの正面図である。

符号の説明

１２群レンズの調整装置、２レーザ光源、３レンズ載置部、７ＣＣＤカメラ、１２基準面、２１２群レンズ、２２第１のレンズ、２３第２のレンズ、２４第１の面、２５第２の面、２６第３の面、２７第４の面、２９光ディスク、３１２群レンズの調整装置、３２レーザ光源、３５レンズ載置部、３７ＣＣＤカメラ、４１基準面、５１２群レンズの調整装置、５２レーザ光源、５５レンズ載置部、５７ＣＣＤカメラ、５９第１の位置調整用ステージ、６０第２の位置調整用ステージ、６２基準面、７１２群レンズの調整装置、７２レンズ載置部、７３第１のレーザ光源、７７第１のＣＣＤカメラ、７８第２のＣＣＤカメラ、７９第２のレーザ光源、８３第３のＣＣＤカメラ、８４第１の位置調整用ステージ、８５第２の位置調整用ステージ、９１基準面

Claims

第１のレンズと、光学記録媒体に対向する対向面を有する第２のレンズとからなる２群レンズと、
上記２群レンズが載置される基準面と、
レーザー光を出射する光源と、
上記光源から発射されたレーザ光を集光状態として上記第２のレンズの上記対向面に照射する集光手段とを備え、
第２のレンズの上記対向面に向けて集束状態のレーザを照射し、この対向面によって反射された反射光の焦点付近において、その反射光の光軸方向に対する垂直面上の位置を検出することにより上記第１のレンズに対する上記第２のレンズの傾きを検出すること
を特徴とする光学ピックアップ用対物レンズの傾き検出方法。
第１のレンズと、光学記録媒体に対向する対向面を有する第２のレンズとからなる２群レンズと、
上記２群レンズが載置される基準面と、
レーザー光を出射する光源と、
上記光源から発射されたレーザ光を平行光状態として上記第１のレンズに照射するコリメータ手段とを備え、
上記光源から発射されたレーザ光をコリメータ手段によって平行光として上記第１のレンズに入射させ、
上記第１のレンズ及び上記第２のレンズを透過する光の各回折パターンを検出することにより上記第１のレンズに対する上記第２のレンズの偏芯を検出すること
を特徴とする光学ピックアップ用対物レンズの偏芯検出方法。
上記回折パターンの検出は、上記各回折パターンの中心位置の検出であって、上記第１のレンズ及び上記第２のレンズから遠方で行うことを特徴とする請求項２記載の光学ピックアップ用対物レンズの偏芯検出方法。
第１のレンズと、光学記録媒体に対向する対向面を有する第２のレンズとからなる２群レンズと、
上記２群レンズが載置される基準面と、
レーザー光を出射する光源と、
上記光源から発射されたレーザ光を平行光状態として上記第１のレンズに照射するコリメータ手段とを備え、
上記光源から発射されたレーザ光をコリメータ手段によって平行光として上記第１のレンズに入射させ、
上記第１のレンズを介して上記第２のレンズの上記第１のレンズに対向する面に入射された光の反射が再び上記第１のレンズを介して得られる光のビーム径を検出することにより上記第１のレンズと上記第２のレンズとの間の距離を検出すること
を特徴とする光学ピックアップ用２群対物レンズのレンズ間距離検出方法。
上記ビーム径の検出は、上記第２のレンズの上記第１のレンズに対向する面から遠方で行うことを特徴とする請求項４記載の光学ピックアップ用２群対物レンズのレンズ間距離検出方法。
上記ビーム径が、上記第１のレンズから上記第２のレンズの上記第１のレンズに対向する面に垂直に入射された光の反射が再び上記第１のレンズを介して検出された光の基準ビーム径と同径になるように、上記第１のレンズと上記第２のレンズとの間の距離を調整することを特徴とする請求項４記載の光学ピックアップ用２群対物レンズのレンズ間距離検出方法。
上記第１のレンズから上記第２のレンズの上記第１のレンズに対向する面に垂直に入射された光の反射が再び上記第１のレンズを介して検出された光の基準ビーム径をもとに上記第１のレンズと上記第２のレンズとの間の距離を任意値に設定することを特徴とする請求項４記載の光学ピックアップ用２群対物レンズのレンズ間距離検出方法。
第１のレンズと、光学記録媒体に対向する対向面を有する第２のレンズとからなる２群レンズの第１のレンズに対する第２のレンズの傾きを調整する光学ピックアップ用２群対物レンズの傾き検出装置において、
光源と、
上記光源から発射されたレーザ光を集光状態として上記対向面に照射する集光手段と、
上記２群レンズが載置される基準面と、
上記基準面に載置される上記第２のレンズの上記対向面から遠方に位置されて、上記光源から照射されて上記対向面で反射された反射光をこの反射光の焦点付近において検出する検出手段と、
上記検出手段の検出結果に基づいて上記第１のレンズに対する上記第２のレンズの傾きを調整する傾き調整手段とを備え、
光軸に対する上記検出手段によって検出された反射光の垂直方向の位置をもとに、上記第１のレンズに対する上記第２のレンズの傾きを検出すること
を特徴とする光学ピックアップ用２群対物レンズの傾き検出装置。
上記検出手段は、撮像装置であることを特徴とする請求項８記載の光学ピックアップ用２群対物レンズの傾き検出装置。
第１のレンズと、光学記録媒体に対向する対向面を有する第２のレンズとからなる２群レンズの第１のレンズに対する第２のレンズの傾き、偏芯及び距離を調整する光学ピックアップ用２群対物レンズの検査装置において、
第１、第２の光源と、
上記２群レンズが載置される基準面と、
上記第１の光源から出射された光を集光状態で上記第２のレンズの対向面に向けて照射する集光手段と、
上記基準面に載置される上記２群レンズの上記対向面から遠方に位置されて、上記第１の光源から照射されて上記対向面で反射された反射光をこの反射光の焦点付近において検出する第１の検出手段と、
上記第２の光源から出射された光を平行光として上記第１のレンズに向けて照射するコリメータ手段と、
上記第２の光源から上記第１のレンズに向けて出射され、上記第１のレンズ及び上記第２のレンズを透過する光の各回折パターンを検出する第２の検出手段と、
上記第２の光源から上記第１のレンズに向けて出射され、上記第１のレンズを介して上記第２のレンズの上記第１のレンズに対向する面に入射された光の反射が再び上記第１のレンズを介して得られる光のビーム径を検出する第３の検出手段とを備え、
上記第１の検出手段乃至第３の検出手段によって検出された結果に基づいて上記第１のレンズに対する上記第２のレンズの傾き、偏芯及び距離を検出すること
を特徴とする光学ピックアップ用２群対物レンズの検査装置。
上記第２の検出手段は、上記各回折パターンの中心位置を上記第１のレンズ及び上記第２のレンズから遠方で検出することを特徴とする請求項１０記載の光学ピックアップ用２群対物レンズの検査装置。
上記第３の検出手段は、上記光のビーム径を上記第２のレンズの上記第１のレンズに対向する面から遠方で検出することを特徴とする請求項１０記載の光学ピックアップ用２群対物レンズの検査装置。
上記ビーム径が、上記第１のレンズから上記第２のレンズの上位第１のレンズに対向する面に垂直に入射された光の反射が再び上記第１のレンズを介して上記第３の検出手段によって検出された光の基準ビーム径と同径になるように上記第１のレンズと上記第２のレンズとの間の距離を調整することを特徴とする請求項１０記載の光学ピックアップ用２群対物レンズの検査装置。
上記第１のレンズから上記第２のレンズの上記第１のレンズに対向する面に垂直に入射された光の反射が再び上記第１のレンズを介して上記第３の検出手段によって検出された光の基準ビーム径をもとに上記第１のレンズと上記第２のレンズとの間の距離を任意値に設定することを特徴とする請求項１０記載の光学ピックアップ用２群対物レンズの検査装置。
上記第１の検出手段乃至第３の検出手段は、撮像装置であることを特徴とする請求項１０記載の光学ピックアップ用２群対物レンズの検査装置。