JPH03155512A - レンズの製造方法 - Google Patents
レンズの製造方法Info
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- JPH03155512A JPH03155512A JP1295369A JP29536989A JPH03155512A JP H03155512 A JPH03155512 A JP H03155512A JP 1295369 A JP1295369 A JP 1295369A JP 29536989 A JP29536989 A JP 29536989A JP H03155512 A JPH03155512 A JP H03155512A
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明はレンズ枠に固定されたレンズエレメントを鏡筒
内に挿入して組み立てるタイプのレンズの製造方法に係
わり、特に、原板の縮小像ををウェハ上に焼き付けるた
めの超ＬＳＩ製造用ステッパレンズ等の高性能レンズに
最適なレンズの製造方法に関するものである。
内に挿入して組み立てるタイプのレンズの製造方法に係
わり、特に、原板の縮小像ををウェハ上に焼き付けるた
めの超ＬＳＩ製造用ステッパレンズ等の高性能レンズに
最適なレンズの製造方法に関するものである。
「従来の技術」
従来のレンズシステムは、複数のレンズエレメント（例
えば単レンズや接合レンズ）を円筒型金枠に入れ、第８
図（ａ）に示す様な押え環式や第８図（ｂ）に示すカシ
メ式又は接着等により、レンズエレメントを円筒型金枠
内に固定していた。
えば単レンズや接合レンズ）を円筒型金枠に入れ、第８
図（ａ）に示す様な押え環式や第８図（ｂ）に示すカシ
メ式又は接着等により、レンズエレメントを円筒型金枠
内に固定していた。
この場合、レンズエレメントと金枠との固定によりレン
ズ面を歪ませない様に注意する必要がる。
ズ面を歪ませない様に注意する必要がる。
そして金枠外径をレンズの光軸を基準として芯出し切削
を行い、更に、この芯出しされたレンズ部品を精密加工
されたシリンダー内に順次挿入してレンズの組立製造を
行っていた。
を行い、更に、この芯出しされたレンズ部品を精密加工
されたシリンダー内に順次挿入してレンズの組立製造を
行っていた。
このシリンダーは、レンズ枠との間に充分小さい（例え
ば５ミクロン程度）はめ合い隙間を考慮して加工されて
おり、最終的なレンズシステムとして小さな偏心址に抑
えることができる様になっている。
ば５ミクロン程度）はめ合い隙間を考慮して加工されて
おり、最終的なレンズシステムとして小さな偏心址に抑
えることができる様になっている。
「発明の解決しようとする課題」
しかしながら上記従来のレンズの組立方法は、顕微鏡用
対物レンズの様に軽量、小型であって、視野がφｌミリ
メートル前後の小さいレンズ系においては充分な精度を
満足することができたが、現代技術が生み出した最高積
度のレンズの一つである半導体製造用ステッパーレンズ
（原板の縮小像をウェハ上に結像して焼き付けるレンズ
）の様に、大口径、大型でかつ、視野もφ２１ミリメー
トル以上のものでは、充分な精度を保持することができ
ないという問題点があった。特に、昨今の高解像力、拡
フィールドによる高精度化の要求により、下記の様な問
題点が生じる様になってきた。
対物レンズの様に軽量、小型であって、視野がφｌミリ
メートル前後の小さいレンズ系においては充分な精度を
満足することができたが、現代技術が生み出した最高積
度のレンズの一つである半導体製造用ステッパーレンズ
（原板の縮小像をウェハ上に結像して焼き付けるレンズ
）の様に、大口径、大型でかつ、視野もφ２１ミリメー
トル以上のものでは、充分な精度を保持することができ
ないという問題点があった。特に、昨今の高解像力、拡
フィールドによる高精度化の要求により、下記の様な問
題点が生じる様になってきた。
まず、従来のレンズ枠とシリンダーの間に設けられたは
め合い隙間は、組立工作上５ミクロン前後が限界である
が、最近の高精度レンズにおいては、この程度のはめ合
い公差では、要求される精度を維持できないという問題
点がある。更にステッパーレンズ等の大型化により、現
在の加工機械の精度では、シリンダー内径加工精度を要
求精度に対応させることができないという問題点があっ
た。そしてレンズの組立方法が挿入方式であるため、組
立時にレンズ枠に外力が加わり、レンズに歪を生じさせ
てしまうという問題点が生じた。また、シリンダー内に
レンズエレメントを挿入する必要があるため、必然的に
レンズユニットを水平方向（横向き）にして組み立てる
必要があり、この際発生するシリンダー及びレンズ枠の
自重による変形が無視できず、高い組立精度を保持する
ことができないという問題点があった。特にステッパー
レンズは極めて重量が大きいので、自重による変形の影
響は極めて深刻な問題であった。
め合い隙間は、組立工作上５ミクロン前後が限界である
が、最近の高精度レンズにおいては、この程度のはめ合
い公差では、要求される精度を維持できないという問題
点がある。更にステッパーレンズ等の大型化により、現
在の加工機械の精度では、シリンダー内径加工精度を要
求精度に対応させることができないという問題点があっ
た。そしてレンズの組立方法が挿入方式であるため、組
立時にレンズ枠に外力が加わり、レンズに歪を生じさせ
てしまうという問題点が生じた。また、シリンダー内に
レンズエレメントを挿入する必要があるため、必然的に
レンズユニットを水平方向（横向き）にして組み立てる
必要があり、この際発生するシリンダー及びレンズ枠の
自重による変形が無視できず、高い組立精度を保持する
ことができないという問題点があった。特にステッパー
レンズは極めて重量が大きいので、自重による変形の影
響は極めて深刻な問題であった。
従って、レンズシステムの組立時に発生するレンズエレ
メント間の傷心誤差を０．５ミクロン以下に抑え、更に
、シリンダー内径加工精度に関する考慮を必要とせず、
使用条件と同じ縦型に組み立てることができるレンズシ
ステムの製造方法の出現が強く望まれていた。
メント間の傷心誤差を０．５ミクロン以下に抑え、更に
、シリンダー内径加工精度に関する考慮を必要とせず、
使用条件と同じ縦型に組み立てることができるレンズシ
ステムの製造方法の出現が強く望まれていた。
「課題を解決するための手段」
本発明は上記課荘に鑑み案出されたもので、複数のレン
ズ部から構成され、縦型で使用する対物レンズの製造方
法において、前記各レンズ部の光軸に対して所定距離に
レンズ部外周を形成する第１工程と、回転テーブルにこ
の回転軸に対して第１レンズ部を光軸に平行に載せる第
２工程と、前記回転テーブルを回転させながら前記各レ
ンズ部のレンズ外周を前記回転軸に対して一定距離に位
置決めする第３工程と、前記各レンズ部間を固定する第
４工程とから構成されている。
ズ部から構成され、縦型で使用する対物レンズの製造方
法において、前記各レンズ部の光軸に対して所定距離に
レンズ部外周を形成する第１工程と、回転テーブルにこ
の回転軸に対して第１レンズ部を光軸に平行に載せる第
２工程と、前記回転テーブルを回転させながら前記各レ
ンズ部のレンズ外周を前記回転軸に対して一定距離に位
置決めする第３工程と、前記各レンズ部間を固定する第
４工程とから構成されている。
また本発明は、回転テーブルを回転させながら各レンズ
部の外周を回転軸に対して一定距菊に位立法めする第３
工程を、各レンズ部の外周径距離を測定することにより
行うこともできる。
部の外周を回転軸に対して一定距菊に位立法めする第３
工程を、各レンズ部の外周径距離を測定することにより
行うこともできる。
そして本発明は、複数のレンズ部から構成され、縦型で
使用する対物レンズの製造方法において、光軸が基準軸
に一致する様に基台に第１のレンズ部を載置する第１工
程と、各レンズ部の反射又は透過による偏心量を計測す
ることにより、各レンズ部を位置決めする第２工程と、
前記各レンズ部間を固定する第３工程とから構成されて
いる。
使用する対物レンズの製造方法において、光軸が基準軸
に一致する様に基台に第１のレンズ部を載置する第１工
程と、各レンズ部の反射又は透過による偏心量を計測す
ることにより、各レンズ部を位置決めする第２工程と、
前記各レンズ部間を固定する第３工程とから構成されて
いる。
そして本発明は、複数のレンズ部から構成され、縦型で
使用する対物レンズの製造方法において、前記各レンズ
部に枠部材を形成する第１工程と、回転テーブルの回転
軸に対して光軸が平行になる様に、第１１２１部を回転
テーブルに載せる第２工程と、前記回転テーブルを回転
させながら前記各レンズ部の反射又は透過による信心量
を計測することにより、各レンズ部を位置決めする第３
工程と、前記各レンズ部間を固定する第４工程とから構
成されている。
使用する対物レンズの製造方法において、前記各レンズ
部に枠部材を形成する第１工程と、回転テーブルの回転
軸に対して光軸が平行になる様に、第１１２１部を回転
テーブルに載せる第２工程と、前記回転テーブルを回転
させながら前記各レンズ部の反射又は透過による信心量
を計測することにより、各レンズ部を位置決めする第３
工程と、前記各レンズ部間を固定する第４工程とから構
成されている。
そして本発明は、複数のレンズ部から構成され、縦型で
使用する対物レンズの製造方法において、前記各レンズ
部にその光軸に対して所定距離に枠部材を形成する第１
工程と、前記枠部材の外周を計測して各レンズ部をその
光軸が一致するように配置する第２工程と、各レンズ部
間を固定する第３工程とから構成されている。
使用する対物レンズの製造方法において、前記各レンズ
部にその光軸に対して所定距離に枠部材を形成する第１
工程と、前記枠部材の外周を計測して各レンズ部をその
光軸が一致するように配置する第２工程と、各レンズ部
間を固定する第３工程とから構成されている。
「作用」
以上の様に構成された本発明は、各レンズ部の光軸に対
して所定距離にレンズ部外周を形成し、第１１２１部を
この光軸を回転テーブルの回転軸に平行となる様に載置
し、回転テーブルを回転させながら各レンズ部のレンズ
外周を回転軸に対して一定距離に位置決めし、更に各レ
ンズ部間を固定することにより、レンズを製造すること
ができる。なお、各レンズ部の外周径距離を測定するこ
とにより、各レンズ部の外周を、回転テーブルの回転軸
に対して一定距離に位置決めすることもできる。
して所定距離にレンズ部外周を形成し、第１１２１部を
この光軸を回転テーブルの回転軸に平行となる様に載置
し、回転テーブルを回転させながら各レンズ部のレンズ
外周を回転軸に対して一定距離に位置決めし、更に各レ
ンズ部間を固定することにより、レンズを製造すること
ができる。なお、各レンズ部の外周径距離を測定するこ
とにより、各レンズ部の外周を、回転テーブルの回転軸
に対して一定距離に位置決めすることもできる。
また本発明は、第１１２１部を光軸が基準軸に一致する
様に基台に載置し、各レンズ部の反射又は透過による信
心量を計測することにより、各レンズ部を位置決めし、
更に、各レンズ部間を固定することにより、レンズ分製
造することができる。
様に基台に載置し、各レンズ部の反射又は透過による信
心量を計測することにより、各レンズ部を位置決めし、
更に、各レンズ部間を固定することにより、レンズ分製
造することができる。
更に本発明は、各レンズ部に枠部材を形成し、第１１２
１部を、光軸が回転テーブルの回転軸に対して平行にな
る様に載置し、回転テーブルを回転させながら各レンズ
部の反射又は透過による信心量を計測することにより、
各レンズ部を位置決めし、更に、各レンズ部間を固定す
ることにより、レンズを製造することができる。
１部を、光軸が回転テーブルの回転軸に対して平行にな
る様に載置し、回転テーブルを回転させながら各レンズ
部の反射又は透過による信心量を計測することにより、
各レンズ部を位置決めし、更に、各レンズ部間を固定す
ることにより、レンズを製造することができる。
また本発明は、複数のレンズ部から構成され、縦型で使
用する対物レンズの製造方法において、前記各レンズ部
にその光軸に対して所定距離に枠部材を形成し、前記枠
部材の外周を計測して各レンズ部をその光軸が一致する
ように配置させ、各レンズ部間を固定することによりレ
ンズを製造することができる。
用する対物レンズの製造方法において、前記各レンズ部
にその光軸に対して所定距離に枠部材を形成し、前記枠
部材の外周を計測して各レンズ部をその光軸が一致する
ように配置させ、各レンズ部間を固定することによりレ
ンズを製造することができる。
「実施例」
本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図に示す様にレンズ部ｌは、レンズエレメント１１
と、このレンズエレメント１１の外周部に収り付けられ
た金枠１２とから構成されている。
と、このレンズエレメント１１の外周部に収り付けられ
た金枠１２とから構成されている。
金枠１２はレンズ部外周に該当するもので、加工容易性
からは黄銅が適しており、軽量化の点からはアルミニウ
ムがよく、熱膨張を考慮する必要がある場合には、イン
バー等が最適である。このレンズエレメント１１と金枠
１２とは、押え環、カシメ、接着剤等により固定されて
おり、この固定によりレンズエレメント１１に応力が加
わらない様に慎重に取り付けられる。なぜならばレンズ
エレメント１１の表面は、ｐｖで０．０１〜０．０３ミ
クロン程度の高精度な研磨面となっているため、微少な
応力が加わっても表面形状が変化してしまうからである
。この点を鑑みれば、カシメ、接着剤方式が好ましい。
からは黄銅が適しており、軽量化の点からはアルミニウ
ムがよく、熱膨張を考慮する必要がある場合には、イン
バー等が最適である。このレンズエレメント１１と金枠
１２とは、押え環、カシメ、接着剤等により固定されて
おり、この固定によりレンズエレメント１１に応力が加
わらない様に慎重に取り付けられる。なぜならばレンズ
エレメント１１の表面は、ｐｖで０．０１〜０．０３ミ
クロン程度の高精度な研磨面となっているため、微少な
応力が加わっても表面形状が変化してしまうからである
。この点を鑑みれば、カシメ、接着剤方式が好ましい。
そしてレンズ部ｌは、ＦＲ密旋盤により数秒程度の精度
で芯取り加工カ弓区される。
で芯取り加工カ弓区される。
そして通常のレンズシステムは、複数の異なるレンズエ
レメント１１を組み合わせて構成されているので、それ
ぞれのレンズエレメント１１に金枠Ｉ２を収り付ける必
要がある。
レメント１１を組み合わせて構成されているので、それ
ぞれのレンズエレメント１１に金枠Ｉ２を収り付ける必
要がある。
次に、このレンズ部１を第２図に示す回転テーブル２上
に載置して、レンズシステムの組立を行う。この回転テ
ーブル２は、空気軸受等を使用した高精度で剛性の高い
ものが使用される。本実施例で使用される回転テーブル
２は、回転精度が０．０２ミクリン以下のものが採用さ
れている。この回転テーブル２上に、ヤトイ３を介して
レンズシステムの裏蓋４を載置する。この際、ヤトイ３
と裏蓋４は精密１ｒＸ盤で高精度に加工しておく必要が
あり、特に、上面、下面の平行度、平面度は重要となる
。そして裏蓋４の上面が、回転テーブル２の回転軸２１
に対して鉛直となる様に調整し、レンズシステムの内、
最も最下端に位置するレンズ部ＩＡ（第１のレンズ部）
を裏蓋４上に載せる。
に載置して、レンズシステムの組立を行う。この回転テ
ーブル２は、空気軸受等を使用した高精度で剛性の高い
ものが使用される。本実施例で使用される回転テーブル
２は、回転精度が０．０２ミクリン以下のものが採用さ
れている。この回転テーブル２上に、ヤトイ３を介して
レンズシステムの裏蓋４を載置する。この際、ヤトイ３
と裏蓋４は精密１ｒＸ盤で高精度に加工しておく必要が
あり、特に、上面、下面の平行度、平面度は重要となる
。そして裏蓋４の上面が、回転テーブル２の回転軸２１
に対して鉛直となる様に調整し、レンズシステムの内、
最も最下端に位置するレンズ部ＩＡ（第１のレンズ部）
を裏蓋４上に載せる。
そして、このレンズ部ＩＡが傾いていないか否かを第１
の変位センサ５で確認する。更に回転テーブル２を回転
させながら、レンズ部ＩＡの外周壁のフレを第２の変位
センサ６で計測し、この計測値が最小になる様に微調整
を行う、この微調整は、作業者による手動調整でもよい
が、ピエゾ素子等を利用して自動化することもできる。
の変位センサ５で確認する。更に回転テーブル２を回転
させながら、レンズ部ＩＡの外周壁のフレを第２の変位
センサ６で計測し、この計測値が最小になる様に微調整
を行う、この微調整は、作業者による手動調整でもよい
が、ピエゾ素子等を利用して自動化することもできる。
これらの作業によりレンズ部１の芯出し調整は、０．２
〜０゜５ミクロン程度が可能となり、従来の１０分の一
以下の精度で組立が可能となる。
〜０゜５ミクロン程度が可能となり、従来の１０分の一
以下の精度で組立が可能となる。
次に、この芯出し作業が完了した後、接着剤等を利用し
てレンズ部１を裏蓋４に固定する。
てレンズ部１を裏蓋４に固定する。
更に第１のレンズ部ＩＡ上に第２のレンズ部ＩＢを載置
し、回転テーブル２を回転させながら回転テーブル２の
回転軸２１を基準として、金枠１２の外周部を測定する
。この結果レンズエレメント１１の傾きの確認、芯出し
く位置決め）を行うことができ、この調整が完了した後
、第１のレンズ部ＩＡと第２のレンズ部ＩＢを接着剤等
で固定する。同様に第２のレンズ部ＩＢ上に第３のレン
ズＩＣを載置し、調整後固定する。更に第５図に示す様
に、順次レンズ部１．１・・を積み上げ、順次調整を行
った後、第３図に示す様にシリンダー７をかぶせてレン
ズシステムの組立が完了する。
し、回転テーブル２を回転させながら回転テーブル２の
回転軸２１を基準として、金枠１２の外周部を測定する
。この結果レンズエレメント１１の傾きの確認、芯出し
く位置決め）を行うことができ、この調整が完了した後
、第１のレンズ部ＩＡと第２のレンズ部ＩＢを接着剤等
で固定する。同様に第２のレンズ部ＩＢ上に第３のレン
ズＩＣを載置し、調整後固定する。更に第５図に示す様
に、順次レンズ部１．１・・を積み上げ、順次調整を行
った後、第３図に示す様にシリンダー７をかぶせてレン
ズシステムの組立が完了する。
なお本実施例ではシリンダー７をかぶせる前に、レンズ
群全体の偏心調整が完了しているので、従来の様にシリ
ンダー７内径の精度を上げる必要はなく、積み上げられ
たレンズ部ＩＡ、ＩＢ・・・の外周壁にシリンダー７が
接触しない様に加工されていれば足りる。
群全体の偏心調整が完了しているので、従来の様にシリ
ンダー７内径の精度を上げる必要はなく、積み上げられ
たレンズ部ＩＡ、ＩＢ・・・の外周壁にシリンダー７が
接触しない様に加工されていれば足りる。
なおレンズ部ＩＡ、ｌＢ・・・間の固定は接着剤に限る
ことなく、第４図（ａ）に示す様に示す様に金枠１２ネ
ジ六１２１．１２１を形成し、ネジ止め固定する方法や
、第４図（ｂ）に示す様に金枠１２外に固定部１２２．
１２２を形成し、ネジ等で固定することもできる。
ことなく、第４図（ａ）に示す様に示す様に金枠１２ネ
ジ六１２１．１２１を形成し、ネジ止め固定する方法や
、第４図（ｂ）に示す様に金枠１２外に固定部１２２．
１２２を形成し、ネジ等で固定することもできる。
また本実施例では、回転テーブル２を使用して偏心調整
を行っているが、回転テーブル２を使用せず、基台上に
載置したレンズ部１の外周壁を３次元測定機により計測
しながら調整することも可能である。
を行っているが、回転テーブル２を使用せず、基台上に
載置したレンズ部１の外周壁を３次元測定機により計測
しながら調整することも可能である。
以上の様に構成された本実施例は、金枠１２を有するレ
ンズ部ＩＡ、ＩＢ・・・を計測しながらレンズシステム
を組み立てる組立方法であるので、従来の製造方法では
最後まで残っていたシリンダー７とレンズ枠間のはめ合
い隙間によるレンズ（ｉ６量を１０分の１程度に減少さ
せることができるという効果がある。更に最終使用粂件
と同一な縦型でレンズシステムの組立を行うことができ
るので、組立時に発生するシリンダー７、レンズ部ＩＡ
、ＩＢ・・等による自重による変形の影響を除去するこ
とができるという効果がある。即ちレンズシステムを横
型にして組立てた後、縦方向に立たせて使用する従来の
組立方法で生じた性能低下を防止することができるとい
う効果がある。
ンズ部ＩＡ、ＩＢ・・・を計測しながらレンズシステム
を組み立てる組立方法であるので、従来の製造方法では
最後まで残っていたシリンダー７とレンズ枠間のはめ合
い隙間によるレンズ（ｉ６量を１０分の１程度に減少さ
せることができるという効果がある。更に最終使用粂件
と同一な縦型でレンズシステムの組立を行うことができ
るので、組立時に発生するシリンダー７、レンズ部ＩＡ
、ＩＢ・・等による自重による変形の影響を除去するこ
とができるという効果がある。即ちレンズシステムを横
型にして組立てた後、縦方向に立たせて使用する従来の
組立方法で生じた性能低下を防止することができるとい
う効果がある。
次に、本実施例の変形例を第６図に基づいて説明する。
前述の組立調整方法はレンズ部ｌの外壁（枠部材）の変
位量を測定して行っていたが、偏心測定機８を使用して
レンズエレメント１１からの反射又は透過偏心量を計測
することにより、偏心調整を行うこともできる。まず、
第６図に示す反射型偏心測定＠８Ａを使用した場合につ
いて説明する。ｆｉ心測定機８Ａは、光源８１と、ター
ゲラＩ・８２と、ハーフミラ−８３と、対１勿レンズ８
４と、ミラー８５と、カーソル８６と、接眼レンズ８７
とから構成されている。まず回転テーブル２上にレンズ
部ＩＡ、ＩＢ・・・を載置し、回転テーブル２の回転軸
２１（基準軸）を基準に芯出しを行う。即ち、レンズ部
１の光軸を基準軸に平行に設定する９更に、偏心測定機
８の光源８１により照明されたターゲット８２が、対物
レンズ８４及びミラー８５を介してレンズ部ＩＤのレン
ズエレメント１１の曲率中心に結像する様に調整する。
位量を測定して行っていたが、偏心測定機８を使用して
レンズエレメント１１からの反射又は透過偏心量を計測
することにより、偏心調整を行うこともできる。まず、
第６図に示す反射型偏心測定＠８Ａを使用した場合につ
いて説明する。ｆｉ心測定機８Ａは、光源８１と、ター
ゲラＩ・８２と、ハーフミラ−８３と、対１勿レンズ８
４と、ミラー８５と、カーソル８６と、接眼レンズ８７
とから構成されている。まず回転テーブル２上にレンズ
部ＩＡ、ＩＢ・・・を載置し、回転テーブル２の回転軸
２１（基準軸）を基準に芯出しを行う。即ち、レンズ部
１の光軸を基準軸に平行に設定する９更に、偏心測定機
８の光源８１により照明されたターゲット８２が、対物
レンズ８４及びミラー８５を介してレンズ部ＩＤのレン
ズエレメント１１の曲率中心に結像する様に調整する。
即ちターゲット８２がレンズエレメント１１の曲率中心
に結像する様に、レンズ部ＩＤに対して偏心測定＠８Ａ
を調整する。この状態で回転テーブル２を回転させると
、回転テーブル２の回転軸２１上にレンズエレメント１
１の曲率中心が一致（即ち、偏心がない）している場合
には、レンズ部ＩＤに形成されたレンズエレメント１１
によるターゲラ１−８２の反射像は、カーソル８６上で
動かない。しかし、レンズ部ＩＤに形成されたレンズエ
レメント１１が、回転テーブル２の回転軸２１に対して
偏心している場合には、ターゲット８２に形成された反
射像は、回転テーブル２の回転に伴ってカーソル８６上
で回転する。この移動量３カーソル８６に形成された目
盛りで読むことにより、レンズエレメントｌｌ上の偏心
量を計測することができる。そして、この偏心量を最小
になる様に調整すれば、レンズシステムの偏心調整を行
うことができる９本実施例では最上段に位置するレンズ
部ＩＤの偏心調整を行う場合を説明したが、レンズ部Ｉ
Ｃの偏心調整を行う場合には、レンズ部ＩＣに形成され
たレンズエレメント１１の曲率中心に結像する様に偏心
測定ｆｉ８を調整すればよい。
に結像する様に、レンズ部ＩＤに対して偏心測定＠８Ａ
を調整する。この状態で回転テーブル２を回転させると
、回転テーブル２の回転軸２１上にレンズエレメント１
１の曲率中心が一致（即ち、偏心がない）している場合
には、レンズ部ＩＤに形成されたレンズエレメント１１
によるターゲラ１−８２の反射像は、カーソル８６上で
動かない。しかし、レンズ部ＩＤに形成されたレンズエ
レメント１１が、回転テーブル２の回転軸２１に対して
偏心している場合には、ターゲット８２に形成された反
射像は、回転テーブル２の回転に伴ってカーソル８６上
で回転する。この移動量３カーソル８６に形成された目
盛りで読むことにより、レンズエレメントｌｌ上の偏心
量を計測することができる。そして、この偏心量を最小
になる様に調整すれば、レンズシステムの偏心調整を行
うことができる９本実施例では最上段に位置するレンズ
部ＩＤの偏心調整を行う場合を説明したが、レンズ部Ｉ
Ｃの偏心調整を行う場合には、レンズ部ＩＣに形成され
たレンズエレメント１１の曲率中心に結像する様に偏心
測定ｆｉ８を調整すればよい。
なお最下段のレンズ部ｌＡから偏心調整し、順次積み上
げ、調整を繰り返してもよい。
げ、調整を繰り返してもよい。
以上の様な偏心調整が完了した後、接着剤等で各レンズ
部１を固定し、シリンダー７を挿入固定した後、レンズ
システムの組立が完了する。
部１を固定し、シリンダー７を挿入固定した後、レンズ
システムの組立が完了する。
なお偏心測定＠８は、前述した反射型偏心測定機８Ａの
みならず、第７図に示す透過型偏心測定機８Ｂを使用す
ることもできる。この透過型偏心測定機８Ｂは、光源８
１と透過型偏心測定＠８Ｂの光学系を、レンズ部ＩＡ、
ＩＢ・・・を挟んで対向して配置する。そして光源８１
からの光束をレンズ部ＩＡ、ＩＢ・・・を透過させ、対
物レンズ８４で結像された像をカーソル８６上で読み収
るものである。調整方法は反射型偏心測定機８Ａの場合
と同様であるので、説明を省略する。
みならず、第７図に示す透過型偏心測定機８Ｂを使用す
ることもできる。この透過型偏心測定機８Ｂは、光源８
１と透過型偏心測定＠８Ｂの光学系を、レンズ部ＩＡ、
ＩＢ・・・を挟んで対向して配置する。そして光源８１
からの光束をレンズ部ＩＡ、ＩＢ・・・を透過させ、対
物レンズ８４で結像された像をカーソル８６上で読み収
るものである。調整方法は反射型偏心測定機８Ａの場合
と同様であるので、説明を省略する。
なお本実施例においても、回転テーブル２を使用せず、
基台にレンズ部ｌ、１・・・を載置し、（日心量を計測
しながら偏心調整と行うことができる。
基台にレンズ部ｌ、１・・・を載置し、（日心量を計測
しながら偏心調整と行うことができる。
「効果」
以上の様に構成された本発明は、各レンズ部の光軸に対
して所定距離にレンズ部外周を形成する第１工程と、回
転テーブルにこの回転軸に対して第１１７１部を光軸に
平行に栽ぜる第２工程と、前記回転テーブルを回転させ
ながら前記各レンズ部のレンズ外周を前記回転軸に対し
て一定距ｐに位置決めする第３工程と、前記各レンズ部
間を固定する第４工程とから構成されているので、各レ
ンズ部の外周を計測しながら、複数のレンズ部を積み上
げてｇｌすることができるので、従来の製造方法では最
後まで残っていたシリンダーとレンズ枠間のはめ合い隙
間によるレンズ偏心量をゼロとすることができるという
効果がある。そして、シリンダーの内径の加工精度を高
精度に保持する必要がないので、レンズシステム全体と
して高精度な製品が実現できるという効果がある。また
、シリンダーにレンズ枠を挿入して組み立てる必要がな
いので、レンズシステム組立時に各レンズエレメントに
歪を生しさせることがないという効果がある９更に最終
使用条件と同一な縦型でレンズシステムの組立を行うこ
とができるので、組立時に発生する自重による変形の影
響を除去することができるという効果がある。
して所定距離にレンズ部外周を形成する第１工程と、回
転テーブルにこの回転軸に対して第１１７１部を光軸に
平行に栽ぜる第２工程と、前記回転テーブルを回転させ
ながら前記各レンズ部のレンズ外周を前記回転軸に対し
て一定距ｐに位置決めする第３工程と、前記各レンズ部
間を固定する第４工程とから構成されているので、各レ
ンズ部の外周を計測しながら、複数のレンズ部を積み上
げてｇｌすることができるので、従来の製造方法では最
後まで残っていたシリンダーとレンズ枠間のはめ合い隙
間によるレンズ偏心量をゼロとすることができるという
効果がある。そして、シリンダーの内径の加工精度を高
精度に保持する必要がないので、レンズシステム全体と
して高精度な製品が実現できるという効果がある。また
、シリンダーにレンズ枠を挿入して組み立てる必要がな
いので、レンズシステム組立時に各レンズエレメントに
歪を生しさせることがないという効果がある９更に最終
使用条件と同一な縦型でレンズシステムの組立を行うこ
とができるので、組立時に発生する自重による変形の影
響を除去することができるという効果がある。
また本発明は、各レンズ部の外周経距駈をエリ定するこ
とにより、レンズエレメントの（材芯調整と行うことが
できるので、簡便かつ高精度に組立調整を行うことがで
きるという効果がある。
とにより、レンズエレメントの（材芯調整と行うことが
できるので、簡便かつ高精度に組立調整を行うことがで
きるという効果がある。
そして本発明は、光軸が基準軸に一致する様に基台に第
１のレンズ部を載置する第１工程と、各レンズ部の反射
又は透過による偏心ｉｔｆ！：計測することにより、各
レンズ部を位置決めする第２工程と、前記各レンズ部間
を固定する第３工程とから構成されているので、レンズ
部に接触することなく、レンズエレメントの清心調整を
行うことができるので、優れた組立精度と保持すること
ができるという効果がある。
１のレンズ部を載置する第１工程と、各レンズ部の反射
又は透過による偏心ｉｔｆ！：計測することにより、各
レンズ部を位置決めする第２工程と、前記各レンズ部間
を固定する第３工程とから構成されているので、レンズ
部に接触することなく、レンズエレメントの清心調整を
行うことができるので、優れた組立精度と保持すること
ができるという効果がある。
そして本発明は、各レンズ部に枠部材を形成し、回転テ
ーブルを回転させながら各レンズ部の反射又は透過によ
る偏心層を計測することにより、各レンズ部を位置決め
を行うことができるので、各レンズ部の枠部材を利用し
て簡便に偏心位置調整を行うことができるという効果が
ある。
ーブルを回転させながら各レンズ部の反射又は透過によ
る偏心層を計測することにより、各レンズ部を位置決め
を行うことができるので、各レンズ部の枠部材を利用し
て簡便に偏心位置調整を行うことができるという効果が
ある。
そして本発明は、各レンズ部にその光軸に対して所定距
雛に枠部材を形成し、前記枠部材の外周を言１測して各
レンズ部をその光軸が一致するように配置させ、各レン
ズ部間を固定することにより高精度にレンズを組み立て
ることができる。
雛に枠部材を形成し、前記枠部材の外周を言１測して各
レンズ部をその光軸が一致するように配置させ、各レン
ズ部間を固定することにより高精度にレンズを組み立て
ることができる。
図は本発明の実施例を示すもので、第１図は金枠とレン
ズエレメントとからなるレンズ部を説明する図であり、
第２図は回転テーブルにレンズ部を載置した状態を説明
する図、第３図はレンズ部の組立調整後にシリンダーを
かぶせる工程を説明する図、第４図はレンズ部間の他の
固定方法を説明する図、第５図はレンズ部の＄Ａ栽調整
方法と説明する図、第６図は反射型偏心測定機の構成を
説明する図、第７図は透過型偏心測定機の構成を説明す
る図であり、第８図は従来の押え環式及びカシメ方式を
説明する図である。 １・・・レンズ部 １１・・レンズエレメント １２・・金枠 ２・・・回転テーブル 第４図 （２ 第５図
ズエレメントとからなるレンズ部を説明する図であり、
第２図は回転テーブルにレンズ部を載置した状態を説明
する図、第３図はレンズ部の組立調整後にシリンダーを
かぶせる工程を説明する図、第４図はレンズ部間の他の
固定方法を説明する図、第５図はレンズ部の＄Ａ栽調整
方法と説明する図、第６図は反射型偏心測定機の構成を
説明する図、第７図は透過型偏心測定機の構成を説明す
る図であり、第８図は従来の押え環式及びカシメ方式を
説明する図である。 １・・・レンズ部 １１・・レンズエレメント １２・・金枠 ２・・・回転テーブル 第４図 （２ 第５図
Claims (5)
- （１）複数のレンズ部から構成され、縦型で使用する対
物レンズの製造方法において、前記各レンズ部の光軸に
対して所定距離にレンズ部外周を形成する第１工程と、
回転テーブルにこの回転軸に対して第１レンズ部を光軸
に平行に載せる第２工程と、前記回転テーブルを回転さ
せながら前記各レンズ部のレンズ外周を前記回転軸に対
して一定距離に位置決めする第３工程と、前記各レンズ
部間を固定する第４工程とから構成されることを特徴と
するレンズの製造方法。 - （２）回転テーブルを回転させながら各レンズ部の外周
を回転軸に対して一定距離に位置決めする第３工程を、
各レンズ部の外周径距離を測定することにより行うこと
を特徴とする請求項１記載のレンズの製造方法。 - （３）複数のレンズ部から構成され、縦型で使用する対
物レンズの製造方法において、光軸が基準軸に一致する
様に基台に第１のレンズ部を載置する第１工程と、各レ
ンズ部の反射又は透過による偏心量を計測することによ
り、各レンズ部を位置決めする第２工程と、前記各レン
ズ部間を固定する第３工程とから構成されることを特徴
とするレンズの製造方法。 - （４）複数のレンズ部から構成され、縦型で使用する対
物レンズの製造方法において、前記各レンズ部に枠部材
を形成する第１工程と、回転テーブルの回転軸に対して
光軸が平行になる様に、第１レンズ部を回転テーブルに
載せる第２工程と、前記回転テーブルを回転させながら
前記各レンズ部の反射又は透過による偏心量を計測する
ことにより、各レンズ部を位置決めする第３工程と、前
記各レンズ部間を固定する第４工程とから構成されるこ
とを特徴とするレンズの製造方法。 - （５）複数のレンズ部から構成され、縦型で使用する対
物レンズの製造方法において、前記各レンズ部にその光
軸に対して所定距離に枠部材を形成する第１工程と、前
記枠部材の外周を計測して各レンズ部をその光軸が一致
するように配置する第２工程と、各レンズ部間を固定す
る第３工程とから構成されることを特徴とするレンズの
製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1295369A JPH03155512A (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | レンズの製造方法 |
| DE4036295A DE4036295A1 (de) | 1989-11-14 | 1990-11-14 | Verfahren zum herstellen einer linse |
| US07/902,412 US5298096A (en) | 1989-11-14 | 1992-06-19 | Method of producing a lens |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1295369A JPH03155512A (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | レンズの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03155512A true JPH03155512A (ja) | 1991-07-03 |
Family
ID=17819737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1295369A Pending JPH03155512A (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | レンズの製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5298096A (ja) |
| JP (1) | JPH03155512A (ja) |
| DE (1) | DE4036295A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010282151A (ja) * | 2009-06-08 | 2010-12-16 | Fujifilm Corp | 光学素子の偏芯調整組立方法および偏芯調整組立装置 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5880894A (en) * | 1997-07-23 | 1999-03-09 | Blakley; Rick D. | Method and system for mounting optical elements |
| JP3445546B2 (ja) * | 2000-01-26 | 2003-09-08 | ペンタックス株式会社 | レンズの偏心調整装置 |
| US20060191107A1 (en) * | 2000-07-24 | 2006-08-31 | Rose Vincent H | Knob assembly |
| US6710718B2 (en) * | 2000-07-24 | 2004-03-23 | Vincent H. Rose | Slim profile indicating instruments |
| US6710947B1 (en) | 2003-02-10 | 2004-03-23 | Electro Optical Sciences, Inc. | Method for assembling lens elements |
| US7349161B1 (en) * | 2006-10-20 | 2008-03-25 | E-Pin Optical Industry Co., Ltd. | Molding lens with indentation for measuring eccentricity and method for measuring eccentricity thereof |
| DE102017209325B4 (de) | 2016-06-30 | 2021-11-04 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | F-Theta-Objektiv mit zumindest einer ersten und einer zweiten optischen Baugruppe und eine Anordnung zur Lasermaterialbearbeitung mit einem F-Theta-Objektiv |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3427703A (en) * | 1965-09-01 | 1969-02-18 | Bausch & Lomb | Lens centration mounting process and apparatus |
| US3599377A (en) * | 1968-07-22 | 1971-08-17 | Bausch & Lomb | Lens alignment using gas bearings |
| US3924936A (en) * | 1969-12-08 | 1975-12-09 | Bausch & Lomb | Method of and apparatus for aligning optical lenses |
| US3762821A (en) * | 1971-01-25 | 1973-10-02 | Bell Telephone Labor Inc | Lens assembly |
| NL161265C (nl) * | 1974-02-15 | 1980-01-15 | Philips Nv | Werkwijze voor het centreren van een lens in een vatting. |
| DE3211867A1 (de) * | 1982-03-31 | 1983-06-01 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Verfahren und vorrichtung zum justieren und montieren von optischen bauteilen in optischen geraeten |
| JPS59107307A (ja) * | 1982-12-13 | 1984-06-21 | Ricoh Co Ltd | レンズ組付方法 |
| JPH07119866B2 (ja) * | 1985-06-19 | 1995-12-20 | 松下電器産業株式会社 | レンズ体 |
-
1989
- 1989-11-14 JP JP1295369A patent/JPH03155512A/ja active Pending
-
1990
- 1990-11-14 DE DE4036295A patent/DE4036295A1/de not_active Withdrawn
-
1992
- 1992-06-19 US US07/902,412 patent/US5298096A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010282151A (ja) * | 2009-06-08 | 2010-12-16 | Fujifilm Corp | 光学素子の偏芯調整組立方法および偏芯調整組立装置 |
| KR101299509B1 (ko) * | 2009-06-08 | 2013-08-29 | 후지논 가부시키가이샤 | 광학 소자의 편심 조정 조립 방법 및 편심 조정 조립 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4036295A1 (de) | 1991-05-29 |
| US5298096A (en) | 1994-03-29 |
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