JP5381609B2 - 検査用治具及び接触子 - Google Patents
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Description
請求項2記載の発明によれば、接触子が検査用治具に保持されたときに、その接触子の第一筒体下方端が第一板状部材上面に接触することで接触子が抜け落ちることを防止することができる。
請求項3記載の発明によれば、第三筒体の下方側に設けられる一つの切欠部が、第一案内孔の内部に存在するため、この第一案内孔を形成する第一板状部材が該切欠部の伸縮動作をガイドすることができ、安定して伸縮動作を行うことができる。
請求項4記載の発明によれば、接触子が検査用治具に保持されたときに、その接触子の第一筒体下方端が第一案内下孔を形成する第一板状部材の上面(第一案内上孔と第一案内下孔との境界面)に接触することにより接触子を適正な位置に精度良く保持するとともに、接触子を第二筒体下方端と第三筒体下方端が検査点に接触可能なように保持することができる。
請求項5記載の発明によれば、第三筒体には、第二固定部を挟んで二つの切欠部が形成されているので、上方端側の切欠部は電極部からの押圧力に応じて伸縮し、下方端側の切欠部は検査点からの押圧力に応じて伸縮するため、各切欠部が独立して伸縮機能を果たすことができる。
請求項6記載の発明によれば、第三筒体には、その中心に対して略対称な形状となるように第二切欠部が配置されているので、接触子を組み立てる際に第三筒体の上方端・下方端を区別する必要がないため、接触子の製作に要する時間を短縮することができる。
請求項7記載の発明によれば、導電性の第一筒体とこの第一筒体の開口より突出されて第一筒体の内部に収容される導電性の第二筒体と、この第二筒体内部に収容される導電性の第三筒体により、検査用治具の接触子の上方端及び下方端は同軸上に配置される。また、検査部側には第一筒体内部に収容される第二筒体の下方端と第二筒体内部に収容される第三筒体の下方端が接触し、電極部側には、第二筒体を内部に収容する第一筒体の上方端と第二筒体内部に収容される第三筒体の上方端が接触するため、下方端(検査部側)の2端子のピッチよりも、上方端(電極部側)の2端子のピッチをより広くすることができるので、電極部の狭ピッチ化を回避して、狭ピッチの検査点にも効果的に用いることができる。さらにまた、第二筒体を第一筒体と第三筒体のガイドとすることにより、接触子の強度を確保するとともに双方を確実に垂直に伸縮させることができる。なお、二つの接触子が一体型の筒状部材三点から形成されるため、部品点数を低減し簡素化することができる。
請求項8記載の発明によれば、第三筒体には、その中心に対して略対称な形状となるように第二切欠部が配置されているので、接触子を組み立てる際に第三筒体の上方端・下方端を区別する必要がないため、接触子の製作に要する時間を短縮することができる。
図1は、本発明にかかる検査用治具の一実施形態を示す概略構成図である。本発明に係る検査用治具1は、複数の接触子2、これら接触子2を多針状に保持する保持体3、この保持体3を支持するとともに各接触子2と接触して導通状態となる電極部41(図5参照)を有する接続電極体4、電極部41から電気的に接続されて延設される導線部5を有してなる。
なお、図1では、複数の接触子2として三本の接触子が示されるとともに夫々に対応する三本の導線部5が示されているが、これらは三本に限定されるものではなく、検査対象の基板に設定される検査点に応じて決められる。
このように構成することで、検査点には外側接触子の下方端(第二筒体の下方端)と内側接触子の下方端(第三筒体の下方端)が接触し、電極部には外側接触子の上方端(第一筒体の上方端)と内側接触子の上方端(第三筒体の上方端)が接触することになる。
この第一接触子2は、上述の如く、外側接触子21と内側接触子22を有してなり、外側接触子21の内部に外側接触子21とは絶縁状態で内側接触子22が配置されている。
外側接触子21は、第一筒体211及び第二筒体212を有してなり、内側接触子22は、第三筒体213から形成されている。第一接触子2は、図2で示される如く、最外側に外側接触子21の第一筒体211が配置され、その内側に外側接触子21の第二筒体212が配置され、最内側に第三筒体213が配置されている。このように第一接触子2は径の相違する三つの筒状部材が、同心軸に配置されて構成されている。
第一筒体211の長軸方向の長さは、後述する第一板状部材31と第二板状部材32の間隔と第一案内上孔311の深さを合算した長さより僅かに長く形成されることが好ましい。これは、第一接触子2が保持体3に保持される場合に、第一切欠部211bが収縮して付勢状態となり、第一筒体211上端が定常的に電極部を圧接する状態となるからである。
この絶縁被膜213gは、図4の実施形態において第三筒体213の外側周縁に形成されているが、第二筒体212の内側周縁に形成することもできる。
なお、この第一板状部材31の厚みは、特に限定されないが、第一後端部211dの長さよりも短く形成されることが好ましい。これは、第一後端部211dが第一案内上孔311に沿って確実に伸縮することができるからである。
尚、電極部41の構造は図5に示される他に、例えば、同軸ケーブルのような構造の電線を用いて、筒状の外部導体の内部に内部導体が同軸に配置されている同軸構造とすることもできる。また、内部導体は中実の円柱形状であってもよいし、中空の筒形状であってもよい。この場合、この電極部の外部導体は第一電極部411に対応し、内部導体は第二電極部412に対応することになる。
以上が第一実施形態の検査用治具の構成の説明である。
(1)まず、第一筒体211の中空部を形成する芯線(図示せず)を用意する。なお、この芯線は、第一筒体211の内径を規定する所望の太さの導電性を有する芯線(例えば、直径30μm,ステンレス鋼(SUS))を用いる。
まず、上記の如き第一筒体211の中空部を形成する芯線(図示せず)を用意する。この芯線にニッケルを所望の厚さにめっきして、芯線の周面にニッケルめっき層を形成する。
尚、[製法例1]及び[製法例2]において、筒体の切断の為にフォトレジストマスクを形成しても良いことは言うまでもない。
この第一板状部材33の第一案内孔331は、第一筒体211’の外径より僅かに小さく、第二筒体212の外径よりも僅かに大きい径を有するように形成されている。このように第一案内孔331が形成されることにより、第二接触子2’が第一筒体211’と第二筒体212の段差によって第二接触子2’が係止されることになる。つまり、第一板状部材33の第一案内孔331を第二筒体212は通過することができるが、第一筒体211’は通過することができず、この第一案内孔331により第二接触子2’が抜け出ることを防止することができる。
以上が第二実施形態の検査用治具の説明である。
なお、これらの固定部の固定方法は、上述の方法を利用することができ、説明を省略する。
以上が第三実施形態の検査用治具の説明である。
2・・・・接触子
211・・第一筒体
211b・第一切欠部
211c・第一固定部
212・・第二筒体
212b・第二固定部
213・・第三筒体
213b・第二切欠部
213e・第三切欠部
213d・第三固定部
3・・・・保持体
31・・・第一板状部材
311・・第一案内孔
32・・・第二板状部材
321・・第二案内孔
4・・・・接続電極体
41・・・電極部
5・・・・導線部
Claims (8)
- 被検査対象となる検査部を有する被検査物と、該検査部の電気的特性を検査する検査装置とを電気的に接続する検査用治具であって、
前記検査装置と電気的に接続される電極部を複数備える接続電極体と、
上方端が前記電極部に圧接される導電性の筒形状の第一筒体と、
前記第一筒体の下方端開口部から突出されるとともに該第一筒体内に電気的に接続されて同軸に配置され、上方端が該第一筒体の内部に配置されるとともに下方端が前記検査部に圧接される導電性の筒形状の第二筒体と、
前記第一筒体及び前記第二筒体と電気的に非接続で且つ該第一筒体及び該第二筒体内に同軸で収容され、上方端が前記電極部に圧接されるとともに下方端が前記検査部に圧接される導電性の筒形状の第三筒体と、
前記第二筒体と第三筒体の夫々の下方端を前記検査点へ案内する第一案内孔を有する第一板状部材と、
前記第一筒体と前記第三筒体の夫々の上方端を前記電極部へ案内する第二案内孔を有し、前記第一板状部材と所定間隔を有して配置される第二板状部材とを備え、
前記第一筒体は、
該第一筒体の上方端と下方端の間の筒壁部に螺旋状の第一切欠部が設けられ、
前記第三筒体は、
該第三筒体の上方端と下方端の間の筒壁部に螺旋状の第二切欠部が設けられ、
前記第一筒体は、
前記第一切欠部より該下方端側に前記第二筒体と固定される第一固定部を有していることを特徴とする検査用治具。 - 前記第一案内孔は、前記第一筒体の外径よりも小さく且つ第二筒体の外径よりもわずか
に大きい径を有することを特徴とする請求項1に記載の検査用治具。 - 前記第三筒体は、該第三筒体の下方側に設けられる一つの切欠部が、第一案内孔の内部
に存在することを特徴とする請求項1及び2に記載の検査用治具。 - 前記第一案内孔は、
前記第一筒体の外径よりもわずかに大きい径を有する第一案内上孔と、
前記第一案内上孔と連通連結され、前記第一筒体の外径より小さく、前記第二筒体の
外径よりもわずかに大きい径を有する第一案内下孔を有することを特徴とする請求項1に
記載の検査用治具。 - 前記第三筒体は、上方端と下方端の間の筒壁部に螺旋状の二つの第二切欠部を互いに距
離を有して備えるとともに、該二つの第二切欠部の間に前記第二筒体と固定される第二固
定部を有していることを特徴とする請求項1乃至4いずれかに記載の検査用治具。 - 前記第三筒体は、該第三筒体の中心に対して略対称な形状となるように第二切欠部が配
置されていることを特徴とする請求項1乃至5いずれかに記載の検査用治具。 - 被検査対象となる検査部を有する被検査物と、該検査部の電気的特性を検査する検査装とを電気的に接続する検査用治具に用いる接触子であって、
上方端が前記電極部に圧接される導電性の筒形状の第一筒体と、
前記第一筒体の他方端開口部から突出されるとともに該第一筒体内に電気的に接続されて同軸に配置され、上方端が該第一筒体の内部に配置されるとともに下方端が前記検査部に圧接される導電性の筒形状の第二筒体と、
前記第一筒体及び前記第二筒体と夫々電気的に非接続で且つ該第一筒体及び該第二筒体内部に同軸で収容され、上方端が前記電極部に圧接されるとともに下方端が前記検査部に圧接される導電性の筒形状の第三筒体とを備え、
前記第一筒体は、
該第一筒体の上方端と下方端の間の筒壁部に螺旋状の第一切欠部が設けられ、
前記第三筒体は、
該第三筒体の上方端と下方端の間の筒壁部に螺旋状の二つの第二切欠部が互いに距離を有して設けられ、
前記第一筒体は、
第一切欠部より下方端側に前記第二筒体が固定される第一固定部を有しており、
前記第三筒体は、
前記二つの第二切欠部の間に前記第二筒体と固定される第二固定部を有していることを特徴とする接触子。 - 前記第三筒体は、該第三筒体の中心に対して略対称な形状となるように第二切欠部が配
置されていることを特徴とする、請求項7に記載の接触子。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009241646A JP5381609B2 (ja) | 2009-10-20 | 2009-10-20 | 検査用治具及び接触子 |
TW099134056A TWI418820B (zh) | 2009-10-20 | 2010-10-06 | 檢查用治具及接觸件 |
CN2010105184605A CN102043071B (zh) | 2009-10-20 | 2010-10-18 | 检查用夹具以及触头 |
KR1020100101825A KR101157879B1 (ko) | 2009-10-20 | 2010-10-19 | 검사용 치구 및 접촉자 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009241646A JP5381609B2 (ja) | 2009-10-20 | 2009-10-20 | 検査用治具及び接触子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011089801A JP2011089801A (ja) | 2011-05-06 |
JP5381609B2 true JP5381609B2 (ja) | 2014-01-08 |
Family
ID=43909411
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009241646A Expired - Fee Related JP5381609B2 (ja) | 2009-10-20 | 2009-10-20 | 検査用治具及び接触子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5381609B2 (ja) |
KR (1) | KR101157879B1 (ja) |
CN (1) | CN102043071B (ja) |
TW (1) | TWI418820B (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5845678B2 (ja) * | 2011-07-21 | 2016-01-20 | 日本電産リード株式会社 | 検査用接触子及び検査用治具 |
JP5821432B2 (ja) * | 2011-09-05 | 2015-11-24 | 日本電産リード株式会社 | 接続端子及び接続治具 |
JP6040532B2 (ja) * | 2012-01-26 | 2016-12-07 | 日本電産リード株式会社 | プローブ及び接続治具 |
KR101565992B1 (ko) | 2014-07-16 | 2015-11-06 | 주식회사 새한마이크로텍 | 동축형 프로브 핀을 포함하는 다층기판 검사용 지그 |
JP6411169B2 (ja) * | 2014-10-22 | 2018-10-24 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接触子及び電気的接続装置 |
CN104280580B (zh) * | 2014-10-30 | 2018-01-30 | 通富微电子股份有限公司 | 测试针头和半导体测试治具 |
TWI554763B (zh) | 2015-10-28 | 2016-10-21 | 旺矽科技股份有限公司 | 彈簧式探針頭 |
JP2021128055A (ja) * | 2020-02-13 | 2021-09-02 | オムロン株式会社 | 検査ソケット |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA1038042A (en) * | 1975-03-03 | 1978-09-05 | Motorola | Programmable probe fixture and method of connecting units under test with test equipment |
JP3166028B2 (ja) * | 1995-09-28 | 2001-05-14 | 三菱マテリアル株式会社 | 抵抗値測定装置 |
JP3165066B2 (ja) * | 1997-04-15 | 2001-05-14 | アルファテスト・コーポレーション | 管状ばねを持つ弾性コネクタ |
CN1110706C (zh) * | 1999-09-23 | 2003-06-04 | 陈东汉 | 复合式治具探针 |
DE19951501A1 (de) * | 1999-10-26 | 2001-05-23 | Atg Test Systems Gmbh | Prüfstift für eine Vorrichtung zum Testen von Leiterplatten |
CN2798095Y (zh) * | 2005-04-18 | 2006-07-19 | 颜鸿杰 | 测试治具的探针结构 |
JP2007101373A (ja) * | 2005-10-05 | 2007-04-19 | Renesas Technology Corp | プローブシート接着ホルダ、プローブカード、半導体検査装置および半導体装置の製造方法 |
JP4667253B2 (ja) * | 2006-01-17 | 2011-04-06 | 大西電子株式会社 | 四探針測定用同軸プローブ及びこれを備えたプローブ治具 |
CN1936595A (zh) * | 2006-09-05 | 2007-03-28 | 杭州高特电子设备有限公司 | 同轴多测点测试棒 |
JP2008076268A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Nidec-Read Corp | 検査用治具 |
KR100975808B1 (ko) * | 2007-04-17 | 2010-08-13 | 니혼덴산리드가부시키가이샤 | 기판검사용 치구 |
CN201060213Y (zh) * | 2007-05-25 | 2008-05-14 | 葵谷科技实业有限公司 | 讯号测试接头 |
JP5070956B2 (ja) * | 2007-06-29 | 2012-11-14 | 日本電産リード株式会社 | 基板検査用接触子及び基板検査用治具 |
JP2009156720A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Nidec-Read Corp | 基板検査用治具及び検査用接触子 |
-
2009
- 2009-10-20 JP JP2009241646A patent/JP5381609B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-10-06 TW TW099134056A patent/TWI418820B/zh not_active IP Right Cessation
- 2010-10-18 CN CN2010105184605A patent/CN102043071B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-10-19 KR KR1020100101825A patent/KR101157879B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101157879B1 (ko) | 2012-06-22 |
CN102043071B (zh) | 2013-09-04 |
JP2011089801A (ja) | 2011-05-06 |
TW201142323A (en) | 2011-12-01 |
KR20110043480A (ko) | 2011-04-27 |
CN102043071A (zh) | 2011-05-04 |
TWI418820B (zh) | 2013-12-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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