JP5751222B2 - 接続端子及び接続治具 - Google Patents
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Description
該当する。尚、この接続端子は、上記の対象物と装置とを電気的に接続することを目的とすることもでき、更に、インターポーザやコネクタのように電極端と電極端とを接続する接続治具としても採用することができる。
電気的特性を有していることを保証するために、対象点間の電気的特性を測定して、この電子回路の良否を判断する。
定用の接続端子の先端を当接させて、その接続端子の電流供給用端子から対象点に測定用電流を供給するとともに対象点に当接させた接続端子の先端間の配線に生じた電圧を測定し、それらの供給電流と測定した電圧とから所定の対象点間における配線の抵抗値を算出することによって行う。
特許文献2は、線形素材の外周面に金めっき層を形成し、その上にさらにニッケルめっき層を形成した後に、線形素材を引っ張って線形素材の断面積を小さくする等によって、線形素材を除去することによって、ニッケル電鋳パイプを製造する方法を開示する。
を形成してSUS線の外周面を露出させ、そこに絶縁被覆と同じ厚さのニッケル被膜を形成
し、それから、絶縁被覆を除去するとともにSUS線を引きぬいてコイル状スプリング構造
を一部に備えるニッケル電鋳パイプを製造する方法を開示する。
ることなく製造される、絶縁被膜を有する接続治具に取り付けられる接続端子及び接続治具を提供することを目的とする。
を備える接続端子及び接続治具を提供することを目的とする。
なく接続治具に取り付けられる絶縁被膜を有する接続端子の製造方法を提供することを目的とする。
となく接続治具に取り付けられる、絶縁被膜を有する接続端子の高い量産性を有する製造方法を提供することを目的とする。
部の先端面が、前記大径の円筒形状部の先端面から突出し、さらに、前記小径の導電部の先端部が、前記大径の円筒形状部の先端部に接合され、前記ばね部が、サイドエッチングにより形成される側面を有することを特徴とする。
形状部の後端部の後端面に電気的に接続される導線を有する電極部と、前記プローブの前記小径の導電部の前記先端部を前記被検査物の前記対象部の所定の検査点へ案内するためのヘッド部であって、前記プローブの前記大径の円筒形状部の先端面が係止する係止部を備えるヘッド部と、前記プローブの前記小径の導電部又は前記大径の円筒形状部の前記後端部の前記後端面を前記電極部の前記導線に向けて案内するためのベース部とを備え、前記プローブの前記小径の導電部又は前記大径の円筒形状部の前記後端面が、前記電極部の前記導線に向かって移動する距離の大きさによって、前記プローブの前記小径の導電部の前記先端部が前記被検査物の前記対象部の所定の検査点を押圧する力の大きさが決定されることを特徴とする。
端部が突出する側の端面までの長さは、前記電極部の前記導線の端面と前記係止部との間の距離よりも大きく、該プローブを該検査用治具に組み込むと前記ばね部に伸長する方向への付勢力が生じるようにしてもよい。
図1は、本発明の一実施形態に係る検査用治具10の概略の構成を示す一部断面正面図である。検査用治具10は、ヘッド部12、ベース部14及び電極部16を備える。ヘッド部12及びベース部14は、樹脂あるいはセラミックス等の絶縁性の板状部材からなる。ヘッド部12及びベース部14は、棒状の支持部材11及びその周囲に環装されたスペーサ11sによって所定の距離だけ離隔されて保持されている。
図2Aから図2Dは、図1の検査用治具に用いることができる一実施形態に係るプローブ20を説明するための概略構成図である。
(1)まず、円筒形状部22の中空部を形成するための芯線(図示せず)を用意する。なお、この芯線は、円筒形状部22の内径を規定する所望の太さ(上記の実施形態では、直径が約35μm)のSUS線を用いる。
(2)次いで、芯線(SUS線)にフォトレジスト被膜を塗布し、この芯線の周面を覆う。そのフォトレジスト被膜の所望の部分を露光・現像・加熱処理して螺旋状のマスクを形成する。例えば、芯線を中心軸の周りに回転及び上下動させながらレーザにより所定の部分を露光して螺旋状のマスクを形成する。円筒形状部22においては、円筒形状の先端部22fと円筒形状の後端部22rとの間の長さL3のばね部22s及び全長L1に分離する端部に対応する位置にマスクを形成する。
(3)次いで、その芯線にニッケルめっきを実施する。このとき、芯線は導電性であるため、フォトレジストマスクが形成されていない箇所にニッケルめっきが付着する。
(4)次いで、フォトレジストマスクを除去して、芯線を引き抜き、全長L1の円筒形状部22を形成する。
(1)まず、製法例1と同様に、円筒形状部22の中空部を形成するための芯線(図示せず)を用意し、その芯線にニッケルを所望の厚さめっきして、芯線の周面にニッケルめっき層を形成する。
(2)次に、そのニッケルめっき層の表面にフォトレジストを塗布する。そのフォトレジストの所望の部分を露光・現像・加熱処理して螺旋状のマスクを形成する。例えば、芯線を中心軸の周りに回転及び上下動させながら、レーザにより露光して螺旋状のマスクを形成する。円筒形状部22においては、円筒形状の先端部22fと円筒形状の後端部22rとの間の長さL3のばね部22s及び全長L1に分離する端部に対応する位置にマスクを形成する。
(3)次いで、ニッケルめっきをエッチング除去する。このとき、フォトレジストマスクが形成されていない箇所のニッケルめっきが除去される。
(4)次いで、フォトレジストマスクを除去して、芯線を引き抜き、全長L1の円筒形状部22を形成する。
4によって覆われるようにする一方、先端部22f及び後端部22rのそれぞれの一部を円筒形状部24から突出させて露出させる。その際、円筒形状部24から突出させる後端部22rの長さを決める。それにより、ばね部22sがその大きさに応じた変位を行えるようにして、このプローブの円筒形状部22の先端面22feの検査点を押す力(荷重)の大きさを調整し、また、プレート12uからの先端部22fに突出量のばらつきを極力小さくする。
図3は、検査用治具の一部の拡大断面図である。図3に示すように、ヘッド部12の下面には板厚の薄いプレート12uが取り付けられている。ヘッド部12には大径部12h1が形成され、プレート12uには小径部12h2が形成されている。ただし、プレート12uを用いることなく、ヘッド部12自体に大径部12h1と小径部12h2とを一体形成してもよい。
上記の実施形態は基板を被検査物として説明をしたが、それに限定されるものではなく、被検査物として半導体装置も含む。
先鋭形状の突起を持つようなクラウン形状でもよい。また、先端面22feを溶融して半球形状に形成してもよく、先端面及び後端面を絞り込んで尖らせてもよい。
ため、それらのばね部は、同一方向に旋回させた2つの螺旋状のばねを連結した場合に比べると、折れ曲がりにくくまた捻じれにくい。
図7Aから図7Hまでは、本発明に係る一実施形態の接続端子を製造するための各工程の一実施例を示す断面図である。なお、全図において、各部材の厚さ、長さ、形状、部材同士の間隔、隙間等は、理解の容易のために、適宜、拡大・縮小・変形・簡略化等をしている。図の説明の際の上下・左右の表現は、その図に向かった状態でのその図面の面に沿った方向を表すものとする。
用するため、サイドエッチング部が形成されているという特徴を有する(後述する)。
物に設けられた対象点と所定の接続点とを電気的に接続するもので、導電性材料のめっき層からなる円筒形状部81を備える。
部を形成した一例を説明するための走査電子顕微鏡による拡大写真である。その写真に示す接続端子の当接部は、外径が約50μm、内径が約40μm、外側壁面の縁部と内側壁面の縁部との軸線方向の距離が約4μmであり、その写真から明らかなように、外側壁面の縁部と内側壁面の縁部との間の面は湾曲している。
側壁面の縁部の最も低い位置との距離は約18μmであり、内側壁面の縁部の最も突出した位置と内側壁面の縁部の最も低い位置との距離は約15μmである。その写真から明らかなように、外側壁面の縁部と内側壁面の縁部との間の面は湾曲している。
11・・・支持部材
11s・・・スペーサ
12・・・ヘッド部
12h、14h・・・貫通孔
12h1・・・大径部
12h2・・・小径部
14・・・ベース部
16・・・電極部
20・・・プローブ
22・・・小径の円筒形状部
24・・・大径の円筒形状部
22f・・・先端部
22r・・・後端部
22fe,24fe・・・先端面
22re,24re・・・後端面
22s・・・ばね部
70・・・芯材
71,73・・・接続端子
72・・・金めっき層
74・・・ニッケルめっき層
76・・・絶縁膜
Claims (7)
- 対象点間を接続する接続治具に用いられる接続端子であって、
小径の導電部とそれを囲むように配置された大径の円筒形状部とを備え、
前記大径の円筒形状部の一部に、互いに旋回方向が逆の螺旋形状に形成された2つのばね部が形成され、
前記小径の導電部の先端部の先端面が、前記大径の円筒形状部の先端面から突出し、
さらに、前記小径の導電部の一部が、前記大径の円筒形状部の前記ばね部が形成されていない部分であって該ばね部よりも前記先端面に近い部分に接合されていて、
前記小径の導電部の先端部の先端面が、前記対象点に押しあてられて前記2つのばね部が収縮する際に、該小径の導電部の軸線を中心に旋回することができるように構成された、接続端子。 - 対象点間を接続する接続治具に用いられる接続端子であって、
小径の導電部とそれを囲むように配置された大径の円筒形状部とを備え、
前記小径の導電部の先端部の先端面が、前記大径の円筒形状部の先端面から突出し、
前記大径の円筒形状部の一部に、互いに旋回方向が逆の螺旋形状に形成された2つのばね部が形成され、
前記小径の導電部の一部が、前記大径の円筒形状部の前記ばね部が形成されていない部分であって該ばね部よりも前記先端面に近い部分に接合され、
前記対象点に押しあてられて前記ばね部が収縮する際に、前記2つのバネ部は、各々、前記小径の導電部の先端部の先端面が該小径の導電部の軸線を中心に旋回するように作用する、接続端子。 - 請求項1又は2に記載の接続端子において、前記小径の導電部が、円柱形状部又は円筒形状部である、接続端子。
- 請求項1〜3のいずれか1項記載の接続端子において、前記小径の導電部の先端部の先端面が、該小径の導電部の軸線方向を斜めに交差する面で切断した形状である、接続端子。
- 請求項1〜4のいずれか1項記載の接続端子において、前記ばね部の外径は30から100μmである、接続端子。
- 被検査物の対象部の電気的特性を検査するための検査装置用の検査用治具であって、
小径の導電部とそれを囲むように配置された大径の円筒形状部とを備える接続端子であって、前記大径の円筒形状部の一部に、互いに旋回方向が逆の螺旋形状に形成された2つのばね部が形成され、前記小径の導電部の先端部の先端面が、前記大径の円筒形状部の先端面から突出し、さらに、前記小径の導電部の一部が、前記大径の円筒形状部の前記ばね部が形成されていない部分であって該ばね部よりも前記先端面に近い部分に接合されていて、前記小径の導電部の先端部の先端面が、前記対象点に押しあてられて前記2つのばね部が収縮する際に、該小径の導電部の軸線を中心に旋回することができるように構成された接続端子と、
該接続端子の前記大径の円筒形状部の後端部の後端面に電気的に接続される導線を有する電極部と、
前記接続端子の前記小径の導電部の前記先端部を前記被検査物の前記対象部の所定の検査点へ案内するためのヘッド部であって、前記接続端子の前記大径の円筒形状部の先端面が係止する係止部を備えるヘッド部と、
前記接続端子の前記大径の円筒形状部の前記後端部の前記後端面を前記電極部の前記導線に向けて案内するためのベース部とを備える、検査用治具。 - 被検査物の対象部の電気的特性を検査するための検査装置用の検査用治具であって、
小径の導電部とそれを囲むように配置された大径の円筒形状部とを備える接続端子であって、前記小径の導電部の先端部の先端面が、前記大径の円筒形状部の先端面から突出し、前記大径の円筒形状部の一部に、互いに旋回方向が逆の螺旋形状に形成された2つのばね部が形成され、前記小径の導電部の一部が、前記大径の円筒形状部の前記ばね部が形成されていない部分であって該ばね部よりも前記先端面に近い部分に接合され、前記対象点に押しあてられて前記ばね部が収縮する際に、前記2つのバネ部は、各々、前記小径の導電部の先端部の先端面が該小径の導電部の軸線を中心に旋回するように作用する、接続端子と、
該接続端子の前記大径の円筒形状部の後端部の後端面に電気的に接続される導線を有する電極部と、
前記接続端子の前記小径の導電部の前記先端部を前記被検査物の前記対象部の所定の検査点へ案内するためのヘッド部であって、前記接続端子の前記大径の円筒形状部の先端面が係止する係止部を備えるヘッド部と、
前記接続端子の前記大径の円筒形状部の前記後端部の前記後端面を前記電極部の前記導線に向けて案内するためのベース部とを備える、検査用治具。
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