JP4031007B2 - 垂直コイルスプリングプローブ及びこれを用いたプローブユニット - Google Patents
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この垂直コイルスプリングプローブBが、上述した垂直コイルスプリングプローブAと相違する点は、筒体200Bの上側筒部210Bにテーパーが設けられず、円錐形状の接続キャップ240Bが取り付けられている点である。
110A 接触子
120A 案内子
130A 鍔部
200A 筒体
210A 上側筒体
220A 下側筒体
230A スプリング
A 垂直コイルスプリングプローブ
Claims (8)
- 接触ピンと、
この接触ピンが取り付けられる筒体とを具備しており、
接触ピンは、測定対象物の導電パッドに接触可能な接触子と、この接触子の一直線上に延設された案内子と、接触子と案内子との間に設けられる鍔部とを有し、
筒体は、上側筒部と、下側筒部と、上側筒部と下側筒部との間に設けられるコイル形状のスプリング部とを有しており、
鍔部は下側筒部に連結され、
案内子は、下側筒部、スプリング部及び上側筒部に挿入されていることを特徴とする垂直コイルスプリングプローブ。 - 前記案内子の上端が、オーバードライブが加えられた際に、前記上側筒部の内面に接触するようになっていることを特徴とする請求項1記載の垂直コイルスプリングプローブ。
- 前記鍔部は、筒体の内径とほぼ等しい径を有する上鍔部と、筒体の内径より大きくかつ筒体の外径と同じか小さい径を有する下鍔部とが二段になっていることを特徴とする請求項1又は2記載の垂直コイルスプリングプローブ。
- 前記案内子の長さは、オーバードライブが加えられても、測定機器の接続パッドと接触しないように設定されていることを特徴とする請求項1、2又は3記載の垂直コイルスプリングプローブ。
- 前記案内子の外径は、筒体の内径より約5〜20μm小さく設定されていることを特徴とする請求項1、2、3又は4記載の垂直コイルスプリングプローブ。
- 前記筒体の上端の外周面には、テーパーが形成されていることを特徴とする請求項1、2、3、4又は5記載の垂直コイルスプリングプローブ。
- 前記筒体の上端に、測定機器の接続パッドと接続される錐形状の接続キャップが取り付けられていることを特徴とする請求項1、2、3、4、5又は6記載の垂直コイルスプリングプローブ。
- 請求項1、2、3、4、5、6又は7記載の垂直コイルスプリングプローブのいずれかを用いたことを特徴とするプローブユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005206511A JP4031007B2 (ja) | 2005-07-15 | 2005-07-15 | 垂直コイルスプリングプローブ及びこれを用いたプローブユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005206511A JP4031007B2 (ja) | 2005-07-15 | 2005-07-15 | 垂直コイルスプリングプローブ及びこれを用いたプローブユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007024664A JP2007024664A (ja) | 2007-02-01 |
JP4031007B2 true JP4031007B2 (ja) | 2008-01-09 |
Family
ID=37785627
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005206511A Active JP4031007B2 (ja) | 2005-07-15 | 2005-07-15 | 垂直コイルスプリングプローブ及びこれを用いたプローブユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4031007B2 (ja) |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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