JP2009047566A - 電気抵抗測定用コネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置および測定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】大面積でサイズの極めて小さい被検査電極を有する回路基板でも、所要の電気的接続が確実に達成され、高い精度の測定が確実に行われ、小さいコストで製造可能な電気抵抗測定用コネクター、これを用いた回路基板の電気抵抗測定装置および方法の提供。
【解決手段】第１の電極シートと、第１の電極シートの裏面に配置された異方導電性エラストマーシートと、異方導電性エラストマーシートの裏面に配置された第２の電極シートとを有し、第１の電極シートは、被検査電極に対応して貫通孔が形成された柔軟な絶縁性シートと、絶縁性シートの表面に貫通孔を包囲するよう形成された複数のリング状電極と、絶縁性シートの裏面に形成された中継電極とを有し、第２の電極シートは、被検査電極に対応して配置された複数の検査用コア電極と、中継電極に対応して配置された複数の接続用コア電極とを有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、電気抵抗測定用コネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置および測定方法に関する。

近年、電子部品やこれを内蔵した電子機器における信号伝送の高速化の要請に伴って、ＢＧＡやＣＳＰなどのＬＳＩパッケージを構成する回路基板やこれらの半導体装置が搭載される回路基板として、電極間における配線の電気抵抗が低いものが要求されている。そのため、このような回路基板の電気的検査においては、その電極間における配線の電気抵抗の測定を高い精度で行うことが極めて重要である。
従来、回路基板の電気抵抗の測定においては、例えば、図２９に示すように、被検査回路基板９０の互いに電気的に接続された２つの被検査電極９１，９２の各々に対し、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤおよび電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣを押圧して接触させ、この状態で、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤの間に電源装置９３から電流を供給し、このときに電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣによって検出される電圧信号を電気信号処理装置９４において処理することにより、当該被検査電極９１，９２間の電気抵抗の大きさを求める四端子法が採用されている。

しかしながら、上記の方法においては、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤおよび電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣを被検査電極９１，９２に対して相当に大きい押圧力で接触させることが必要であり、しかも当該プローブは金属製であってその先端は尖頭状とされているため、プローブが押圧されることによって被検査電極９１，９２の表面が損傷してしまい、当該回路基板は使用することが不可能なものとなってしまう。このような事情から、電気抵抗の測定は、製品とされるすべての回路基板について行うことができず、いわゆる抜き取り検査とならざるを得ないため、結局、製品の歩留りを大きくすることはできない。

このような問題を解決するため、従来、被検査電極に接触する接続用部材が導電性エラストマーにより構成された電気抵抗測定装置が提案されている。
例えば、（ｉ）特許文献１には、エラストマーにより導電性粒子が結着された導電ゴムよりなる弾性接続用部材を、電流供給用電極および電圧測定用電極の個々に配置してなる電気抵抗測定装置が開示され、（ii）特許文献２には、同一の被検査電極に電気的に接続される電流供給用電極および電圧測定用電極の両方の表面に接するよう設けられた、異方導電性エラストマーよりなる共通の弾性接続用部材を有する電気抵抗測定装置が開示され、（iii ）特許文献３には、表面に複数の検査電極が形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板の表面に設けられた導電性エラストマーよりなる弾性接続用部材とを有し、被検査電極が接続部材を介して複数の検査電極に電気的に接続された状態で、それらの検査電極のうち２つを選択し、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として電気抵抗を測定する電気抵抗測定装置が開示されている。
このような電気抵抗測定装置によれば、被検査回路基板の被検査電極に対し、弾性接続用部材を介して、電流供給用電極および電圧測定用電極が対接されることによって電気的接続が達成されるため、当該被検査電極を損傷させることなく電気抵抗の測定を行うことができる。

しかしながら、上記（ｉ）および上記（ii）の構成の電気抵抗測定装置によって、電極間における電気抵抗の測定を行う場合には、以下のような問題がある。
近年、回路基板においては、高い集積度を得るために電極のサイズおよびピッチもしくは電極間距離が小さくなる傾向がある。而して、上記（ｉ）および上記（ii）の構成の電気抵抗測定装置においては、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における被検査電極の各々に、弾性接続用部材を介して電流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電気的に接続させる必要がある。従って、小さいサイズの被検査電極が高密度で配置された被検査回路基板についての電気抵抗の測定を行うための電気抵抗測定装置においては、小さなサイズの被検査電極の各々に対応して、当該被検査電極が占有する領域と同等若しくはそれ以下の面積の領域内に、互いに離間した状態で電流供給用電極および電圧測定用電極を形成すること、すなわち被検査電極よりも更に小さいサイズの電流供給用電極および電圧測定用電極を極めて小さい距離で離間した状態で形成することが必要である。
また、回路基板の製造方法としては、生産性を向上させるために、一つの基板材料によって、複数の回路基板が連結されてなる回路基板連結体を製造し、その状態で、当該回路基板連結体における各回路基板についての電気的検査を一括して行い、その後、回路基板連結体を切断することにより、分離された複数の回路基板を製造する方法が採用されている。

然るに、検査対象である回路基板連結体は、その面積が相当に大きく、また、被検査電極の数も極めて多いものであり、特に多層回路基板を製造する場合には、その製造プロセスにおける工程数が多く、加熱処理による熱履歴を受ける回数が多いため、被検査電極が所期の配置位置から位置ずれした状態で形成されることが少なくない。このように、大面積で、多数の被検査電極を有し、当該被検査電極が所期の配置位置から位置ずれした状態で形成された被検査回路基板について、上記（ｉ）および上記（ii）の構成の電気抵抗測定装置によって電気抵抗の測定を行う場合には、被検査電極の各々に、電流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電気的に接続させることは極めて困難である。
具体的な一例を挙げて説明すると、図３０に示すように、直径Ｌが３００μｍの被検査電極Ｔに係る電気抵抗を測定する場合には、当該被検査電極Ｔに電気的に接続される電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖの離間距離Ｄは１５０μｍ程度であるが、図３１（イ）および（ロ）に示すように、被検査回路基板の位置合わせにおいて、電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖに対する被検査電極Ｔの位置が、図３０に示す所期の位置から電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖが並ぶ方向に７５μｍずれたときには、電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖのいずれか一方と被検査電極Ｔとの電気的接続が達成されず、所要の電気抵抗測定を行うことができない。
このような問題を解決する手段として、電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖの離間距離Ｄを小さくする、例えば１００μｍ以下にすることが考えられるが、そのような電気抵抗測定装置を作製することは、実際上極めて困難である。

一方、上記（iii ）の電気抵抗測定装置によれば、被検査電極の各々に対応して、電流供給用電極および電圧測定用電極を形成することが不要であるため、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、多数の被検査電極を有し、かつ、小さいサイズの被検査電極が高密度で配置されてなるものであっても、当該被検査回路基板との位置ずれに対する許容度が大きく、また、当該電気抵抗測定装置の作製が容易である。
しかしながら、このような電気抵抗測定装置は、いわば擬似四端子法による測定装置であるため、測定誤差範囲が大きいものであり、従って、電極間における電気抵抗の低い回路基板について、その電気抵抗の測定を高い精度で行うことは困難である。

このような問題を解決するため、絶縁性基板の表面に、コア電極およびこのコア電極を包囲するよう設けられたリング状電極よりなる複数の接続電極対が形成されてなる電気抵抗測定用コネクターが提案されている（特許文献４参照。）。
このような電気抵抗測定用コネクターによれば、電気抵抗を測定すべき回路基板における被検査電極上に、コア電極の少なくとも一部が位置されるよう位置合わせをすれば、当該被検査電極上にはリング状電極の少なくとも一部が位置されるようになる。従って、回路基板が大面積でサイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、被検査電極に対するコア電極およびリング状電極の両方の電気的接続が確実に達成されるので、コア電極およびリング状電極のいずれか一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として使用することにより、回路基板の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる。
しかしながら、上記の電気抵抗測定用コネクターは、全体の構造が複雑で高い歩留りで製造することが困難である、という問題がある。

また、最近においては、被検査電極に対応するパターンに従って形成された複数の貫通孔を有する柔軟な絶縁性シートおよびこの絶縁性シートの貫通孔を包囲するよう形成された複数のリング状電極を有する第１の電極シートと、この第１の電極シートの表面に配置された第１の異方導電性エラストマーシートと、第１の電極シートの裏面に配置された、被検査電極に対応するパターンに従って形成された複数の貫通孔を有する第２の異方導電性エラストマーシートと、第２の異方導電性エラストマーシートの裏面に配置された、被検査電極に対応するパターンに従って配置された複数の検査用コア電極を有する第２の電極シートとよりなる電気抵抗測定用コネクターが提案されている（特許文献５参照。）。 このような電気抵抗測定用コネクターによれば、第１の電極シートおよび第２の電極シートは、それぞれ簡単な構造であるため、電気抵抗測定用コネクター全体を小さいコストで製造することできる。
しかしながら、上記の電気抵抗測定用コネクターにおいては、検査用コア電極およびリング状電極の各々が第１の異方導電性エラストマーシートを介して被検査電極に電気的に接続されるため、以下のような問題があることが判明した。
すなわち、被検査電極のサイズが極めて小さい場合には、検査用コア電極とリング状電極との離間距離が極めて小さくなくため、第１の異方導電性エラストマーシートの面方向に電流が流れて検査用コア電極とリング状電極との間に電気的なリークが生じる結果、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となる。

特開平９−２６４４６号公報 特開２０００−７４９６５号公報 特開２０００−２４１４８５号公報 特開２００３−３２２６６５号公報 特開２００７−４７１５５号公報

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その第１の目的は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズが極めて小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができ、更に、小さいコストで製造することが可能な電気抵抗測定用コネクターを提供することにある。
本発明の第２の目的は、上記の電気抵抗測定用コネクターを使用した回路基板の電気抵抗測定装置および電気抵抗測定方法を提供することにある。

本発明の電気抵抗測定用コネクターは、第１の電極シートと、この第１の電極シートの裏面に配置された異方導電性エラストマーシートと、この異方導電性エラストマーシートの裏面に配置された第２の電極シートとを有してなり、
前記第１の電極シートは、電気抵抗を測定すべき回路基板における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って形成された複数の貫通孔を有する柔軟な絶縁性シートと、この絶縁性シートの表面に当該絶縁性シートの貫通孔を包囲するよう形成された複数のリング状電極と、前記絶縁性シートの裏面に形成され、前記リング状電極に電気的に接続された中継電極とを有してなり、
前記第２の電極シートは、前記被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の検査用コア電極と、前記第１の電極シートにおける中継電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用コア電極と、これらの検査用コア電極および接続用コア電極の各々を支持する絶縁性支持シートとを有してなり、
前記被検査電極に前記異方導電性エラストマーシートを介して前記検査用コア電極が電気的に接続されると共に、当該被検査電極に前記リング状電極が接触して電気的に接続されることを特徴とする。

本発明の電気抵抗測定用コネクターにおいては、第２の電極シートにおける検査用コア電極および接続用コア電極は、絶縁性支持シートの厚み方向に移動可能に設けられていることが好ましい。

本発明の回路基板の電気抵抗測定装置は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面側に配置される、上記の電気抵抗測定用コネクターを具えてなり、
被検査回路基板における一面側被検査電極の各々に、前記電気抵抗測定用コネクターにおける第１の電極シートのリング状電極および第２の電極シートの検査用コア電極が同時に電気的に接続されて測定可能状態とされ、
この測定可能状態において、指定された１つの一面側被検査電極に電気的に接続された検査用コア電極およびリング状電極のうち、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定された１つの一面側被検査電極に係る電気抵抗の測定が実行されることを特徴とする。

本発明の回路基板の電気抵抗測定装置においては、被検査回路基板の他面側に配置される他面側検査用回路基板を具えてなり、
前記他面側検査用回路基板は、その表面にそれぞれ前記被検査回路基板の他面側被検査電極の各々に対応して互いに離間して配置された、それぞれ同一の他面側被検査電極に電気的に接続される電流供給用電極および電圧測定用電極が形成されていることが好ましい。

本発明の回路基板の電気抵抗測定方法は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面に、上記の電気抵抗測定用コネクターを配置し、
当該被検査回路基板の一面側被検査電極の各々に、前記電気抵抗測定用コネクターにおける第１の電極シートのリング状電極および第２の電極シートの検査用コア電極を同時に電気的に接続して測定可能状態とし、
この測定可能状態において、指定された１つの一面側被検査電極に電気的に接続された検査用コア電極およびリング状電極のうち、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定された１つの一面側被検査電極に係る電気抵抗の測定を実行することを特徴とする。

上記の構成の電気抵抗測定用コネクターによれば、第１の電極シートにおける絶縁性シートには、第２の電極シートにおける検査用コア電極が進入する貫通孔が形成され、この貫通孔の周囲には、当該貫通孔を包囲するようリング状電極が形成されているため、電気抵抗を測定すべき回路基板における被検査電極上に、検査用コア電極の少なくとも一部が位置されるよう位置合わせをすれば、当該被検査電極上にはリング状電極の少なくとも一部が位置されるようになり、従って、回路基板が大面積でサイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、被検査電極に対する検査用コア電極およびリング状電極の両方の電気的接続を確実に達成することができる。しかも、検査用コア電極およびリング状電極は互いに電気的に独立したものであるため、被検査電極に電気的に接続された検査用コア電極およびリング状電極のうち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該回路基板についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。
また、第１の電極シートおよび第２の電極シートは、それぞれ簡単な構造であるため、電気抵抗測定用コネクター全体を小さいコストで製造することが可能である。従って、回路基板の電気抵抗測定において、検査コストの低減化を図ることができる。
そして、検査用コア電極は異方導電性エラストマーシートを介して被検査電極に電気的に接続されると共に、リング状電極は被検査電極に接触して電気的に接続され、更に、リング状電極と異方導電性エラストマーシートとの間には、第１の電極シートにおける絶縁性シートが介在して絶縁性が確実に確保されるため、被検査電極のサイズが極めて小さく、従って、検査用コア電極とリング状電極との離間距離が極めて小さい場合でも、検査用コア電極とリング状電極との間に電気的なリークが生じることがないので、高い精度で電気抵抗を測定することができる。

以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
〈電気抵抗測定用コネクター〉
図１は、本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの一例における構成を示す説明用断面図である。この電気抵抗測定用コネクター１は、回路基板における電極間の電気抵抗を測定するために用いられるものであって、第１の電極シート１０と、この第１の電極シート１０の裏面に配置された異方導電性エラストマーシート１７と、この異方導電性エラストマーシート１７の裏面に配置された第２の電極シート２０とにより構成されている。

図２は、第１の電極シート１０の要部を拡大して示す平面図であり、図３は、第１の電極シート１０の要部を拡大して示す説明用断面図である。この第１の電極シート１０は、電気抵抗を測定すべき回路基板（以下、「被検査回路基板」という。）における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って複数の貫通孔１２が形成された柔軟な絶縁性シート１１を有する。この絶縁性シート１１の表面には、当該絶縁性シート１１の貫通孔１２の各々を包囲するよう複数のリング状電極１３が形成されている。また、絶縁性シート１１の裏面には、適宜のパターンに従って複数の中継電極１４が形成されている。図示の例では、中継電極１４の各々は、絶縁性シート１１の貫通孔１２の間の中間に位置するよう配置されている。そして、中継電極１４の各々は、絶縁性シート１１をその厚み方向に貫通して伸びる短絡部１５および絶縁性シート１１の表面に形成された配線部１６を介して、リング状電極１３に電気的に接続されている。

絶縁性シート１１を構成する材料としては、高い機械的強度を有する樹脂材料を用いることが好ましく、その具体例としては、液晶ポリマー、ポリイミドなどが挙げられる。
また、リング状電極１３、中継電極１４、短絡部１５および配線部１６を構成する材料としては、銅、ニッケル、金またはこれらの金属の積層体などを用いることができる。
絶縁性シート１１の厚みは、当該絶縁性シート１１が柔軟性を有するものであれば特に限定されないが、例えば５〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは８〜３０μｍである。
絶縁性シート１１の貫通孔１２の径は、後述する第２の電極シート２０の検査用コア電極２５が移動可能に挿入される得る大きさであればよく、例えば検査用コア電極２５の径の１．０５〜２倍、好ましくは１．１〜１．７倍である。
リング状電極１３の内径は、当該リング状電極１３に電気的に接続される被検査電極の径に応じて設定され、被検査電極に対する電気的接続を確実に達成することができる点で、被検査電極の径の５０〜１１０％であることが好ましく、より好ましくは７０〜１００％である。
また、リング状電極１３の内径は、後述する第２電極シート２０における検査用コア電極２５との絶縁性を確保する観点から、検査用コア電極２５の径の１．１〜２倍であることが好ましく、より好ましくは１．２〜１．７倍である。

このような第１の電極シート１０は、例えば以下のようにして製造することができる。 先ず、図４に示すように、絶縁性シート１１の表面に金属層１６Ａが形成されてなる積層材料１０Ａを用意し、この積層材料１０Ａに、図５に示すように、絶縁性シート１１および金属層１６Ａの各々をその厚み方向に貫通する複数の貫通孔１０Ｈを、形成すべき第１の電極シート１０の短絡部１５のパターンに従って形成する。次いで、貫通孔１０Ｈが形成された積層材料１０Ａに対してフォトリソグラフィーおよびメッキ処理を施すことにより、図６に示すように、絶縁性シート１１の裏面に中継電極１４を形成すると共に、当該中継電極１４と金属層１６Ａとを電気的に接続する、当該絶縁性シート１１の厚み方向に伸びる短絡部１５を形成する。その後、金属層１６に対してフォトリソグラフィーおよびエッチンク処理を施してその一部を除去することにより、図７に示すように、絶縁性シート１１の表面にリング状電極１３および配線部１６を形成する。そして、リング状電極１３をマスクとして絶縁性シート１１にレーザー加工を施すことにより、当該絶縁性シート１１に貫通孔１２を形成し、以て第１の電極シート１０が得られる。

図８は、異方導電性エラストマーシート１７の一部を拡大して示す説明用断面図である。この異方導電性エラストマーシート１７は、絶縁性の弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子Ｐが、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子Ｐによる連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなるものである。
異方導電性エラストマーシート１７を形成する弾性高分子物質としては、架橋構造を有する高分子物質が好ましい。このような弾性高分子物質を得るために用いることのできる硬化性の高分子物質形成材料としては、種々のものを用いることができるが、耐久性、成形加工性および電気特性の観点から、シリコーンゴムを用いることが好ましい。

異方導電性エラストマーシート１７に含有される導電性粒子Ｐとしては、後述する方法により当該粒子を容易に厚み方向に並ぶよう配向させることができることから、磁性を示す導電性粒子が用いられる。このような導電性粒子の具体例としては、鉄、コバルト、ニッケルなどの磁性を有する金属の粒子若しくはこれらの合金の粒子またはこれらの金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウムなどの導電性の良好な金属のメッキを施したもの、あるいは非磁性金属粒子若しくはガラスビーズなどの無機物質粒子またはポリマー粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に、ニッケル、コバルトなどの導電性磁性金属のメッキを施したものなどが挙げられる。
これらの中では、ニッケル粒子を芯粒子とし、その表面に導電性の良好な金のメッキを施したものを用いることが好ましい。
芯粒子の表面に導電性金属を被覆する手段としては、特に限定されるものではないが、例えば化学メッキまたは電解メッキ法、スパッタリング法、蒸着法などが用いられている。

導電性粒子Ｐとして、芯粒子の表面に導電性金属が被覆されてなるものを用いる場合には、良好な導電性が得られることから、粒子表面における導電性金属の被覆率（芯粒子の表面積に対する導電性金属の被覆面積の割合）が４０％以上であることが好ましく、さらに好ましくは４５％以上、特に好ましくは４７〜９５％である。
また、導電性金属の被覆量は、芯粒子の０．５〜５０質量％であることが好ましく、より好ましくは２〜３０質量％、さらに好ましくは３〜２５質量％、特に好ましくは４〜２０質量％である。被覆される導電性金属が金である場合には、その被覆量は、芯粒子の０．５〜３０質量％であることが好ましく、より好ましくは２〜２０質量％、さらに好ましくは３〜１５質量％である。

また、導電性粒子Ｐの数平均粒子径は、３〜２０μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜１５μｍである。この数平均粒子径が過小である場合には、後述する製造方法において、導電性粒子Ｐを厚み方向に配向させることが困難となることがある。一方、この数平均粒子径が過大である場合には、分解能の高い異方導電性エラストマーシートを得ることが困難となることがある。
また、導電性粒子Ｐの粒子径分布（Ｄｗ／Ｄｎ）は、１〜１０であることが好ましく、より好ましくは１．０１〜７、さらに好ましくは１．０５〜５、特に好ましくは１．１〜４である。
また、導電性粒子Ｐの形状は、特に限定されるものではないが、高分子物質形成材料中に容易に分散させることができる点で、球状のもの、星形状のものあるいはこれらが凝集した２次粒子であることが好ましい。

このような導電性粒子Ｐは、異方導電性エラストマーシート中に体積分率で１０〜４０％、特に１５〜３５％となる割合で含有されていることが好ましい。この割合が過小である場合には、厚み方向に十分に高い導電性を有する異方導電性エラストマーシートが得られないことがある。一方、この割合が過大である場合には、得られる異方導電性エラストーシートは脆弱なものとなりやすく、異方導電性エラストマーシートとして必要な弾性が得られないことがある。

また、異方導電性エラストマーシート１７の厚みは、１０〜１００μｍであることが好ましく、より好ましくは１５〜７０μｍである。この厚みが過小である場合には、十分な凹凸吸収能が得られないことがある。一方、この厚みが過大である場合には、高い分解能が得られないことがある。

異方導電性エラストマーシート１７は、以下のようにして製造することができる。
先ず、図９に示すように、それぞれシート状の一面側成形部材３０および他面側成形部材３１と、目的とする異方導電性エラストマーシート１７の平面形状に適合する形状の開口３２Ｋを有すると共に当該異方導電性エラストマーシート１７の厚みに対応する厚みを有する枠状のスペーサー３２とを用意すると共に、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に導電性粒子が含有されてなる導電性エラストマー用材料を調製する。
そして、図１０に示すように、他面側成形部材３１の成形面（図１０において上面）上にスペーサー３２を配置し、他面側成形部材３１の成形面上におけるスペーサー３２の開口３２Ｋ内に、調製した導電性エラストマー用材料１７Ｂを塗布し、その後、この導電性エラストマー用材料１７Ｂ上に一面側成形部材３０をその成形面（図１０において下面）が導電性エラストマー用材料１７Ｂに接するよう配置する。
以上において、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１としては、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂などよりなる樹脂シートを用いることができる。
また、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１を構成する樹脂シートの厚みは、５０〜５００μｍであることが好ましく、より好ましくは７５〜３００μｍである。この厚みが５０μｍ未満である場合には、成形部材として必要な強度が得られないことがある。一方、この厚みが５００μｍを超える場合には、後述する導電性エラストマー用材料層に所要の強度の磁場を作用させることが困難となることがある。

次いで、図１１に示すように、加圧ロール３３および支持ロール３４よりなる加圧ロール装置３５を用い、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１によって導電性エラストマー用材料１７Ｂを挟圧することにより、当該一面側成形部材３０と当該他面側成形部材３１との間に、所要の厚みの導電性エラストマー用材料層１７Ａを形成する。この導電性エラストマー用材料層１７Ａにおいては、図１２に拡大して示すように、導電性粒子Ｐが均一に分散した状態で含有されている。
その後、一面側成形部材３０の裏面および他面側成形部材３１の裏面に、例えば一対の電磁石を配置し、当該電磁石を作動させることにより、導電性エラストマー用材料層１７Ａの厚み方向に平行磁場を作用させる。その結果、導電性エラストマー用材料層１７Ａにおいては、当該導電性エラストマー用材料層１７Ａ中に分散されている導電性粒子Ｐが、図１３に示すように、面方向に分散された状態を維持しながら厚み方向に並ぶよう配向し、これにより、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電性粒子Ｐによる連鎖が、面方向に分散した状態で形成される。
そして、この状態において、導電性エラストマー用材料層１７Ａを硬化処理することにより、弾性高分子物質中に、導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した状態で、かつ、当該導電性粒子Ｐによる連鎖が面方向に分散された状態で含有されてなる異方導電性エラストマーシート１７が製造される。

以上において、導電性エラストマー用材料層１７Ａの硬化処理は、平行磁場を作用させたままの状態で行うこともできるが、平行磁場の作用を停止させた後に行うこともできる。
導電性エラストマー用材料層１７Ａに作用される平行磁場の強度は、平均で０．０２〜２．５テスラとなる大きさが好ましい。
導電性エラストマー用材料層１７Ａの硬化処理は、使用される材料によって適宜選定されるが、通常、加熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、導電性エラストマー用材料層１７Ａを構成する高分子物質用材料などの種類、導電性粒子Ｐの移動に要する時間などを考慮して適宜選定される。

図１４は、第２の電極シート２０の要部を拡大して示す説明用断面図である。この第２の電極シート２０は、被検査回路基板の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の検査用コア電極２５と、第１の電極シート１０における中継電極１４のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用コア電極２６と、検査用コア電極２５および接続用コア電極２６の各々を支持する絶縁性支持シート２１とにより構成されている。具体的には、絶縁性支持シート２１には、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔２２が、被検査回路基板の被検査電極のパターンに対応するパターンおよび第１の電極シート１０における中継電極１４のパターンに対応するパターンに従って形成されており、この絶縁性支持シート２１の各貫通孔２２に、検査用コア電極２５および接続用コア電極２６の各々が当該絶縁性支持シート２１の両面の各々から突出するよう配置されている。
検査用コア電極２５の各々は、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２に挿通された円柱状の胴部２５ａと、この胴部２５ａの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁性支持シート２１の表面に露出する端子部２５ｂとにより構成されている。検査用コア電極２５における胴部２５ａの長さは、絶縁性支持シート２１の厚みより大きく、また、当該胴部２５ａの径は、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径より小さいものとされており、これにより、当該検査用コア電極２５は、絶縁性支持シート２１の厚み方向に移動可能とされている。また、検査用コア電極２５における端子部２５ｂの径は、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径より大きいものとされている。
接続用コア電極２６の各々は、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２に挿通された円柱状の胴部２６ａと、この胴部２６ａの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁性支持シート２１の表面に露出する端子部２６ｂとにより構成されている。接続用コア電極２６における胴部２６ａの長さは、絶縁性支持シート２１の厚みより大きく、また、当該胴部２６ａの径は、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径より小さいものとされており、これにより、当該接続用コア電極２６は、絶縁性支持シート２１の厚み方向に移動可能とされている。また、接続用コア電極２６における端子部２６ｂの径は、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径より大きいものとされている。

絶縁性支持シート２１を構成する材料としては、液晶ポリマー、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアラミド樹脂、ポリアミド樹脂等の樹脂材料、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型ポリエステル樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂等の繊維補強型樹脂材料、エポキシ樹脂等にアルミナ、ポロンナイトライド等の無機材料をフィラーとして含有した複合樹脂材料などを用いることができる。
また、絶縁性支持シート２１の厚みは、１０〜２００μｍであることが好ましく、より好ましくは１５〜１００μｍである。
また、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径は、２０〜８０μｍであることが好ましく、より好ましくは３０〜６０μｍである。

検査用コア電極２５および接続用コア電極２６を構成する材料としては、剛性を有する金属材料を好適に用いることができ、特に、後述する製造方法において、絶縁性支持シート２１に形成される金属薄層よりエッチングされにくいものを用いることが好ましい。このような金属材料の具体例としては、ニッケル、コバルト、金、アルミニウムなどの単体金属またはこれらの合金などを挙げることができる。
検査用コア電極２５および接続用コア電極２６の各々における胴部２５ａ，２６ａの径は、１８μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２５μｍ以上である。この径が過小である場合には、検査用コア電極２５および接続用コア電極２６に必要な強度が得られないことがある。また、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径と検査用コア電極２５および接続用コア電極２６の各々における胴部２５ａ，２６ａの径との差は、１μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２μｍ以上である。この差が過小である場合には、絶縁性支持シート２１の厚み方向に対して検査用コア電極２５および接続用コア電極２６を移動させることが困難となることがある。
検査用コア電極２５および接続用コア電極２６の各々における端子部２５ｂ，２６ｂの径は、被検査電極の径の７０〜１５０％であることが好ましい。また、検査用コア電極２５および接続用コア電極２６の各々における端子部２５ｂ，２６ｂの径と絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径との差は、５μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは１０μｍ以上である。この差が過小である場合には、検査用コア電極２５および接続用コア電極２６が絶縁性支持シート２１から脱落する恐れがある。
絶縁性支持シート２１の厚み方向における検査用コア電極２５および接続用コア電極２６の各々の移動可能距離、すなわち検査用コア電極２５および接続用コア電極２６の各々における胴部２５ａ，２６ａの長さと絶縁性支持シート２１の厚みとの差は、５〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは８〜４０μｍである。これらの移動可能距離が過小である場合には、十分な凹凸吸収能を得ることが困難となることがある。一方、これらの移動可能距離が過大である場合には、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２から露出する検査用コア電極２５の胴部２５ａおよび接続用コア電極２６の胴部２６ａの長さが大きくなり、検査に使用したときに、検査用コア電極２５の胴部２５ａおよび接続用コア電極２６の胴部２６ａが座屈または損傷するおそれがある。

上記の第２の電極シート２０は、例えば以下のようにして製造することができる。
先ず、図１５に示すように、絶縁性支持シート２１の一面に易エッチング性の金属層２３Ａが一体的に積層されてなる積層材料２０Ｂを用意し、この積層材料２０Ｂにおける金属層２３Ａに対してエッチング処理を施してその一部を除去することにより、図１６に示すように、金属層２３Ａに接続すべき電極のパターンに対応するパターンに従って複数の開口２３Ｋを形成する。次いで、図１７に示すように、積層材料２０Ｂにおける絶縁性支持シート２１に、それぞれ金属層２３Ａの開口２３Ｋに連通して厚み方向に伸びる貫通孔２２を形成する。そして、図１８に示すように、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の内壁面および金属層２３Ａの開口縁を覆うよう、易エッチング性の筒状の金属薄層２３Ｂを形成する。このようにして、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔２２が形成された絶縁性支持シート２１と、この絶縁性支持シート２１の一面に積層された、それぞれ絶縁性支持シート２１の貫通孔２２に連通する複数の開口２３Ｋを有する易エッチング性の金属層２３Ａと、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の内壁面および金属層２３Ａの開口縁を覆うよう形成された易エッチング性の金属薄層２３Ｂとを有してなる複合積層材料２０Ａが製造される。
以上において、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２を形成する方法としては、レーザー加工法、ドリル加工法、エッチング加工法などを利用することができる。
金属層２３Ａおよび金属薄層２３Ｂを構成する易エッチング性の金属材料としては、銅、ニッケルなどを用いることができる。
また、金属層２３Ａの厚みは、目的とする検査用コア電極２５および接続用コア電極２６の移動可能距離などを考慮して設定され、具体的には、５〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは８〜４０μｍである。
また、金属薄層２３Ｂの厚みは、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径と形成すべき検査用コア電極２５および接続用コア電極２６の各々における胴部２５ａ，２６ａの径とを考慮して設定される。
また、金属薄層２３Ｂを形成する方法としては、無電解メッキ法などを利用することができる。

そして、この複合積層材料２０Ａに対してフォトメッキ処理を施すことにより、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の各々に検査用コア電極２５および接続用コア電極２６を形成する。具体的に説明すると、図１９に示すように、絶縁性支持シート２１の一面に形成された金属層２３Ａの表面および絶縁性支持シート２１の他面の各々に、形成すべき検査用コア電極２５および接続用コア電極２６における端子部２５ｂ，２６ｂのパターンに対応するパターンに従ってそれぞれ絶縁性支持シート２１の貫通孔２２に連通する複数のパターン孔２４Ｋが形成されたレジスト膜２４を形成する。次いで、金属層２３Ａを共通電極として電解メッキ処理を施して当該金属層２３Ａにおける露出した部分および金属薄層２３Ｂの表面に金属を堆積させ、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２内およびレジスト膜２４のパターン孔２４Ｋ内に金属を充填することにより、図２０に示すように、それぞれ絶縁性支持シート２１の厚み方向に伸びる検査用コア電極２５および接続用コア電極２６を形成する。
このようにして検査用コア電極２５および接続用コア電極２６を形成した後、金属層２３Ａの表面からレジスト膜２４を除去することにより、図２１に示すように、金属層２３Ａを露出させる。そして、エッチング処理を施して金属層２３Ａを除去することにより、第２の電極シート２０が得られる。

上記の電気抵抗測定用コネクター１においては、図２２に示すように、被検査回路基板５の一面に、電気抵抗測定用コネクター１における各検査用コア電極２５が当該被検査回路基板５の各一面側被検査電極６上に位置するよう配置され、更に、適宜の手段によって電気抵抗測定用コネクター１が押圧される。そして、この状態においては、図２３に示すように、第１の電極シート１０におけるリング状電極１３の各々は、被検査回路基板５の一面側被検査電極６の各々に接触して電気的に接続される。また、第２の電極シート２０における検査用コア電極２５の各々は、異方導電性エラストマーシート１７を介して、被検査回路基板５の一面側被検査電極６の各々に電気的に接続される。また、第２の電極シート２０の接続用コア電極２６の各々は、異方導電性エラストマーシート１７を介して、第１の電極シート１０における中継電極１４に電気的に接続される。
このとき、第１の電極シート１０におけるリング状電極１３は、絶縁性シート１１の貫通孔１２を包囲するよう形成されているため、図２４に示すように、絶縁性シート１１の貫通孔１２に進入する検査用コア電極２５の中心位置が一面側被検査電極６の中心位置から位置ずれした場合であっても、一面側被検査電極６に検査用コア電極２５が電気的に接続されていれば、リング状電極１３も必ず一面側被検査電極６に電気的に接続される。
このような状態において、被検査回路基板５における複数の一面側被検査電極６のうち１つの一面側被検査電極６を指定し、この指定された一面側被検査電極６に電気的に接続されている検査用コア電極２５およびリング状電極１３のうち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、指定された一面側被検査電極６に係る電気抵抗の測定が行われる。

ここで、被検査回路基板５としては、図２５（イ）に示すように、一面に形成された一面側被検査電極６のみを有し、当該一面側被検査電極６間に形成された回路８ａのみを有するもの、図２５（ロ）に示すように、一面に形成された一面側被検査電極６および他面に形成された他面側被検査電極７を有し、一面側被検査電極６と他面側被検査電極７との間に形成された回路８ｂのみを有するもの、図２５（ハ）に示すように、一面に形成された一面側被検査電極６および他面に形成された他面側被検査電極７を有し、一面側被検査電極６間に形成された回路８ａおよび一面側被検査電極６と他面側被検査電極７との間に形成された回路８ｂの両方を有するもののいずれであってもよい。

上記の構成の電気抵抗測定用コネクター１によれば、第１の電極シート１０における絶縁性シート１１には、第２の電極シート２０における検査用コア電極２５が進入する貫通孔１２が形成され、この貫通孔１２の周囲には、当該貫通孔１２を包囲するようリング状電極１３が形成されているため、被検査回路基板５における一面側被検査電極６上に、検査用コア電極２５の少なくとも一部が位置されるよう位置合わせをすれば、当該一面側被検査電極６上にはリング状電極１３の少なくとも一部が位置されるようになり、従って、被検査回路基板５が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検査電極６を有するものであっても、一面側被検査電極６に対する検査用コア電極２５およびリング状電極１３の両方の電気的接続を確実に達成することができる。しかも、検査用コア電極２５およびング状電極１３は互いに電気的に独立されているので、当該一面側被検査電極６に電気的に接続された検査用コア電極２５およびリング状電極１３のうち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該被検査回路基板５についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。
また、第１の電極シート１０および第２の電極シート２０は、それぞれ簡単な構造であるため、電気抵抗測定用コネクター１全体を小さいコストで製造することが可能である。従って、検査コストの低減化を図ることができる。
そして、検査用コア電極２５は異方導電性エラストマーシート１７を介して一面側被検査電極６に電気的に接続されると共に、リング状電極１３は一面側被検査電極６に接触して電気的に接続され、更に、リング状電極１３と異方導電性エラストマーシート１７との間には、第１の電極シート１０における絶縁性シート１１が介在して絶縁性が確実に確保されるため、一面側被検査電極６のサイズが極めて小さく、従って、検査用コア電極２５とリング状電極１３との離間距離が極めて小さい場合でも、検査用コア電極２５とリング状電極１３との間に電気的なリークが生じることがないので、高い精度で電気抵抗を測定することができる。

〈回路基板の電気抵抗測定装置〉
図２６は、本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の一例における構成を示す説明図である。この電気抵抗測定装置は、一面に一面側被検査電極６を有すると共に他面に他面側被検査電極７を有する被検査回路基板５について、各配線パターンの電気抵抗測定試験を行うためのものであって、被検査回路基板５を検査実行領域Ｅに保持するためのホルダー２を有し、このホルダー２には、被検査回路基板５を検査実行領域Ｅにおける適正な位置に配置するための位置決めピン３が設けられている。
検査実行領域Ｅの上方には、図１に示す構成の電気抵抗測定用コネクター１およびおよび上部側検査ヘッド５０ａが下からこの順で配置され、更に、上部側検査ヘッド５０ａの上方には、上部側支持板５６ａが配置されており、上部側検査ヘッド５０ａは、支柱５４ａによって上部側支持板５６ａに固定されている。一方、検査実行領域Ｅの下方には、電気抵抗測定用コネクター４０および下部側検査ヘッド５０ｂが上からこの順で配置され、更に、下部側検査ヘッド５０ｂの下方には、下部側支持板５６ｂが配置されており、下部側検査ヘッド５０ｂは、支柱５４ｂによって下部側支持板５６ｂに固定されている。

電気抵抗測定用コネクター４０は、検査用回路基板４１上に異方導電性エラストマー層４５が一体的に形成されて構成されている。
検査用回路基板４１の表面（図２６において上面）には、互いに離間して配置された電流供給用電極４２ａおよび電圧測定用検査電極４２ｂよりなる検査電極対が、被検査回路基板５の他面側被検査電極７の配置パターンに対応するパターンに従って配置されている。検査用回路基板４１の裏面には、適宜のパターンに従って端子電極４３が配置されており、これらの端子電極４３の各々は、電流供給用電極４２ａおよび電圧測定用検査電極４２ｂのいずれかに電気的に接続されている。
検査用回路基板４１における電流供給用電極４２ａと電圧測定用検査電極４２ｂとの間の離間距離は１０μｍ以上であることが好ましい。この離間距離が１０μｍ未満である場合には、異方導電性エラストマー層４５を介して電流供給用電極４２ａと電圧測定用検査電極４２ｂとの間に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となることがある。
一方、この離間距離の上限は、各検査電極のサイズと、関連する他面側被検査電極７の寸法およびピッチによって定まり、通常は５００μｍ以下である。この離間距離が過大である場合には、他面側被検査電極７の１つに対して両検査電極を適切に配置することが困難となることがある。

異方導電性エラストマー層４５は、検査用回路基板４１の検査用電極対のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の導電路形成部４６と、これらを相互に絶縁する絶縁部４７とにより構成されており、導電路形成部４６は、検査用回路基板４１の検査電極対における電流供給用電極４２ａおよび電圧測定用検査電極４２ｂの両方の全面に接するよう配置されている。
異方導電性エラストマー層４５における導電路形成部４６は、弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなるものである。一方、絶縁部４７は弾性高分子物質よりなり、導電性粒子が全く或いは殆ど含有されていないものである。
導電路形成部４６は、その厚み方向における導電性が、厚み方向と直角な面方向における導電性より高いことが好ましく、具体的には、面方向の電気抵抗値に対する厚み方向の電気抵抗値の比が１以下、特に０．５以下であるような電気的特性を有するものであることが好ましい。この比が１を超える場合には、導電路形成部４６を介して電流供給用電極４２ａと電圧測定用検査電極４２ｂとの間に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となることがある。
異方導電性エラストマー層４５を構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、段１の異方導電性エラストマーシート１７を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものと同様のものを用いることができる。
このような異方導電性エラストマー層４５は、適宜の方法例えば特開２０００−７４９６５号公報に記載された方法によって形成することができる。

上部側検査ヘッド５０ａは、板状の検査電極装置５１ａと、この検査電極装置５１ａの下面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性シート５５ａとにより構成されている。検査電極装置５１ａは、電気抵抗測定用コネクター１における検査用コア電極２５および接続用コア電極２６のパターンに対応するパターンに従って配列された複数の電極ピン５２ａを有し、これらの電極ピン５２ａの各々は、電線５３ａによって、上部側支持板５６ａに設けられたコネクター５７ａに電気的に接続され、更に、このコネクター５７ａを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。
下部側検査ヘッド５０ｂは、板状の検査電極装置５１ｂと、この検査電極装置５１ｂの上面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性シート５５ｂとにより構成されている。検査電極装置５１ｂは、電気抵抗測定用コネクター４０における端子電極４３のパターンに対応するパターンに従って配列された複数の電極ピン５２ｂを有し、これらの電極ピン５２ｂの各々は、電線５３ｂによって、下部側支持板５６ｂに設けられたコネクター５７ｂに電気的に接続され、更に、このコネクター５７ｂを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。

上部側検査ヘッド５０ａおよび下部側検査ヘッド５０ｂにおける異方導電性シート５５ａ，５５ｂは、いずれもその厚み方向にのみ導電路を形成する導電路形成部が形成されてなるものである。このような異方導電性シート５５ａ，５５ｂとしては、各導電路形成部が少なくとも一面において厚み方向に突出するよう形成されているものが、高い電気的な接触安定性を発揮する点で好ましい。

このような回路基板の電気抵抗測定置においては、被検査回路基板５がホルダー２によって検査実行領域Ｅに保持され、この状態で、上部側支持板５６ａおよび下部側支持板５６ｂの各々が被検査回路基板５に接近する方向に移動することにより、当該被検査回路基板５が電気抵抗測定用コネクター１および電気抵抗測定用コネクター４０によって挟圧される。
この状態においては、被検査回路基板５の一面側被検査電極６の各々は、図２７に示すように、電気抵抗測定用コネクター１におけるリング状電極１３に接触して電気的に接続接続されると共に、検査用コア電極２５に異方導電性エラストマーシート１７を介して電気的に接続され、この電気抵抗測定用コネクター１における検査用コア電極２５および接続用コア電極２６の各々は、異方導電性シート５５ａを介して検査電極装置５１ａの電極ピン５２ａに電気的に接続されている。一方、被検査回路基板５の他面側被検査電極７は、電気抵抗測定用コネクター４０の検査用回路基板４１の検査用電極対における電流供給用電極４２ａおよび電圧測定用電極４２ｂの両方に、異方導電性エラストマー層４５を介して電気的に接続され、この電気抵抗測定用コネクター４０の端子電極４３の各々は、異方導電性シート５５ｂを介して検査電極装置５１ｂの電極ピン５２ｂに電気的に接続されている。

このようにして、被検査回路基板５の被検査電極６，７の各々が、上部側検査ヘッド５０ａにおける検査電極装置５１ａの検査電極５２ａおよび下部側検査ヘッド５０ｂにおける検査電極装置５１ｂの検査電極５２ｂの各々に電気的に接続されることにより、テスターの検査回路に電気的に接続された状態が達成される。この状態が測定可能状態である。 そして、この測定可能状態において、被検査回路基板５における複数の一面側被検査電極６のうち１つの一面側被検査電極６を指定し、この指定された一面側被検査電極６に電気的に接続されている検査用コア電極２５およびリング状電極１３のうち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、電流供給用電極とされた検査用コア電極２５またはリング状電極１３と、指定された一面側被検査電極６に対応する他面側被検査電極７に電気的に接続された検査電極対における電流供給用電極４２ａとの間に電流を供給すると共に、電圧測定用電極とされた検査用コア電極２５またはリング状電極１３と、指定された一面側被検査電極６に対応する他面側被検査電極７に電気的に接続された検査電極対における電圧測定用検査電極４２ｂとの間の電圧を測定し、得られた電圧値に基づいて、当該指定された一面側被検査電極６とこれに対応する他面側被検査電極７との間に形成された配線パターンの電気抵抗値が取得される。そして、指定する一面側被検査電極６を順次変更することにより、全ての配線パターンの電気抵抗の測定が行われる。

上記の回路基板の電気的検査装置によれば、図１に示す構成の電気抵抗測定用コネクター１を有するため、被検査回路基板５が大面積でサイズの極めて小さい多数の一面側被検査電極６を有するものであっても、一面側被検査電極６に対する電気的接続を確実に達成することができ、当該被検査回路基板５についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。

本発明においては、上記の実施の形態に限定されず、種々の変更を加えることが可能である。
例えば、図２８に示すように、第１の電極シート１０におけるリング状電極１３は、その内縁部に切り込みＺが形成されていてもよい。このようて構成によれば、リング状電極１３の可撓性が向上し、被検査電極が半田ボールなどの突起状のものである場合に、当該被検査電極とリング状電極１３との接触性が向上する、という効果が得られる。

本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの一例における構成を示す説明用断面図である。 図１に示す電気抵抗測定用コネクターにおける第１の電極シートの要部を拡大して示す平面図である。 図１に示す電気抵抗測定用コネクターにおける第１の電極シートの要部を拡大して示す説明用断面図である。 第１の電極シートを得るための積層材料を示す説明用断面図である。 積層材料に貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。 積層材料における絶縁性シートに中継電極および短絡部が形成された状態を示す説明用断面図である。 積層材料における絶縁性シートにリング状電極および配線部が形成された状態を示す説明用断面図である。 異方導電性エラストマーシートの要部を拡大して示す説明用断面図である。 異方導電性エラストマーシートを製造するための一面側成形部材、他面側成形部材およびスペーサーを示す説明用断面図である。 他面側成形部材の表面に導電性エラストマー用材料が塗布された状態を示す説明用断面図である。 一面側成形部材と他面側成形部材との間に導電性エラストマー用材料層が形成された状態を示す説明用断面図である。 図１１に示す導電性エラストマー用材料層を拡大して示す説明用断面図である。 図１１に示す導電性エラストマー用材料層に対して厚み方向に磁場を作用させた状態を示す説明用断面図である。 第２の電極シートの要部を拡大して示す説明用断面図である。 第２の電極シートを製造するための積層材料の構成を示す説明用断面図である。 積層材料における金属層に開口が形成された状態を示す説明用断面図である。 積層材料における絶縁性支持シートに貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。 複合積層材料の構成を示す説明用断面図である。 複合積層材料にレジスト膜が形成された状態を示す説明用断面図である。 複合積層材料における絶縁性支持シートの貫通孔に検査用コア電極および接続用コア電極が形成された状態を示す説明用断面図である。 複合積層材料からレジスト膜が除去された状態を示す説明用断面図である。 本発明に係る電気抵抗測定用コネクターが被検査回路基板の一面に配置された状態を示す説明用断面図である。 電気抵抗測定用コネクターが押圧された状態を示す説明用断面図である。 被検査電極と接続電極対との間に位置ずれが生じた状態を示す説明図である。 被検査回路基板の構成を示す説明用断面図である。 本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の一例における構成の概略を、被検査回路基板と共に示す説明図である。 図２６に示す回路基板の電気抵抗測定装置において、被検査回路基板の一面側被検査電極が検査電極装置の電極ピンに電気的に接続された状態を示す説明用断面図である。 第１の電極シートにおけるリング状電極の変形例を示す平面図である。 電流供給用プローブおよび電圧測定用プローブにより、回路基板における電極間の電気抵抗を測定する装置の模式図である。 従来の回路基板の電気抵抗測定装置において、被検査電極上に電流供給用電極および電圧測定用電極が適正に配置された状態を示す説明図である。 従来の回路基板の電気抵抗測定装置において、被検査電極上に電流供給用電極および電圧測定用電極が位置ずれした状態で配置された状態を示す説明図である。

符号の説明

１ 電気抵抗測定用コネクター
２ ホルダー
３ 位置決めピン
５ 被検査回路基板
６ 一面側被検査電極
７ 他面側被検査電極
８ａ，８ｂ 回路
１０ 第１の電極シート
１０Ａ 積層材料
１０Ｈ 貫通孔
１１ 絶縁性シート
１２ 貫通孔
１３ リング状電極
１４ 中継電極
１５ 短絡部
１６ 配線部
１６Ａ 金属層
１７ 異方導電性エラストマーシート
１７Ａ 導電性エラストマー用材料層
１７Ｂ 導電性エラストマー用材料
２０ 第２の電極シート
２０Ａ 複合積層材料
２０Ｂ 積層材料
２１ 絶縁性支持シート
２２ 貫通孔
２３Ａ 金属層
２３Ｂ 金属薄層
２３Ｋ 開口
２４ レジスト膜
２４Ｋ パターン孔
２５ 検査用コア電極
２５ａ 胴部
２５ｂ 端子部
２６ 接続用コア電極
２６ａ 胴部
２６ｂ 端子部
３０ 一面側成形部材
３１ 他面側成形部材
３２ スペーサー
３２Ｋ 開口
３３ 加圧ロール
３４ 支持ロール
３５ 加圧ロール装置
４０ 電気抵抗測定用コネクター
４１ 検査用回路基板
４２ａ 電流供給用電極
４２ｂ 電圧測定用電極
４３ 端子電極
４５ 異方導電性エラストマー層
４６ 導電路形成部
４７ 絶縁部
５０ａ 上部側検査ヘッド
５０ｂ 下部側検査ヘッド
５１ａ，５１ｂ 検査電極装置
５２ａ，５２ｂ 電極ピン
５３ａ，５３ｂ 電線
５４ａ，５４ｂ 支柱
５５ａ，５５ｂ 異方導電性シート
５６ａ 上部側支持板
５６ｂ 下部側支持板
５７ａ，５７ｂ コネクター
９０ 被検査回路基板
９１，９２ 被検査電極
９３ 電源装置
９４ 電気信号処理装置
ＰＡ，ＰＤ 電流供給用プローブ
ＰＢ，ＰＣ 電圧測定用プローブ
Ａ 電流供給用電極
Ｖ 電圧測定用電極
Ｔ 被検査電極
Ｐ 導電性粒子
Ｚ 切り込み

Claims (5)

1. 第１の電極シートと、この第１の電極シートの裏面に配置された異方導電性エラストマーシートと、この異方導電性エラストマーシートの裏面に配置された第２の電極シートとを有してなり、
   前記第１の電極シートは、電気抵抗を測定すべき回路基板における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って形成された複数の貫通孔を有する柔軟な絶縁性シートと、この絶縁性シートの表面に当該絶縁性シートの貫通孔を包囲するよう形成された複数のリング状電極と、前記絶縁性シートの裏面に形成され、前記リング状電極に電気的に接続された中継電極とを有してなり、
   前記第２の電極シートは、前記被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の検査用コア電極と、前記第１の電極シートにおける中継電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用コア電極と、これらの検査用コア電極および接続用コア電極の各々を支持する絶縁性支持シートとを有してなり、
   前記被検査電極に前記異方導電性エラストマーシートを介して前記検査用コア電極が電気的に接続されると共に、当該被検査電極に前記リング状電極が接触して電気的に接続されることを特徴とする電気抵抗測定用コネクター。
2. 第２の電極シートにおける検査用コア電極および接続用コア電極は、絶縁性支持シートの厚み方向に移動可能に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の電気抵抗測定用コネクター。
3. 電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面側に配置される、請求項１または請求項２に記載の電気抵抗測定用コネクターを具えてなり、
   被検査回路基板における一面側被検査電極の各々に、前記電気抵抗測定用コネクターにおける第１の電極シートのリング状電極および第２の電極シートの検査用コア電極が同時に電気的に接続されて測定可能状態とされ、
   この測定可能状態において、指定された１つの一面側被検査電極に電気的に接続された検査用コア電極およびリング状電極のうち、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定された１つの一面側被検査電極に係る電気抵抗の測定が実行されることを特徴とする回路基板の電気抵抗測定装置。
4. 被検査回路基板の他面側に配置される他面側検査用回路基板を具えてなり、
   前記他面側検査用回路基板は、その表面にそれぞれ前記被検査回路基板の他面側被検査電極の各々に対応して互いに離間して配置された、それぞれ同一の他面側被検査電極に電気的に接続される電流供給用電極および電圧測定用電極が形成されていることを特徴とする請求項３に記載の回路基板の電気抵抗測定装置。
5. 電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面に、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネクターを配置し、
   当該被検査回路基板の一面側被検査電極の各々に、前記電気抵抗測定用コネクターにおける第１の電極シートのリング状電極および第２の電極シートの検査用コア電極を同時に電気的に接続して測定可能状態とし、
   この測定可能状態において、指定された１つの一面側被検査電極に電気的に接続された検査用コア電極およびリング状電極のうち、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定された１つの一面側被検査電極に係る電気抵抗の測定を実行することを特徴とする回路基板の電気抵抗測定方法。

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