TWI434049B - 檢查用治具及檢查用接觸件 - Google Patents

Description

檢查用治具及檢查用接觸件

本發明係關於將預先設定在被檢查物之檢查對象部上的檢查點與實施該檢查的檢查裝置進行電連接的檢查用夾具，尤其有關可輕易地進行4端子測定的檢查用接觸件，及使用該接觸件的檢查用夾具。

本發明之檢查用夾具係對於被檢查物所具有的檢查對象部，從檢查裝置對既定之檢查位置供給電力或電氣信號，並從檢查對象部檢測出電氣信號，藉此可檢測出檢查對象部的電氣特性，或者進行動作試驗。

此種被檢查物可例示如：印刷配線基板、撓性基板、陶瓷多層配線基板、液晶顯示器或電漿顯示器用的電極板、及半導體封裝用的封裝基板或膜式載體等各種基板，或者半導體晶圓、半導體晶片或晶片尺寸封裝(CSP，Chip size package)等之半導體裝置。

本說明書中，將該等上述被檢查物總稱為“被檢查物”，將形成在被檢查物的檢查對象部稱為“檢查部”。又，在檢查部設定用以實際檢查該檢查部之電氣特性的檢查點，並使接觸件壓接於該檢查點，藉此檢測出檢查部的電氣特性。

以往，於被檢查物之一實施形態即電路基板上形成有複數配線。該配線形成用來供給電力或流過電氣信號，以使搭載在電路基板上的電氣、電子零件具有所希望之功能。因此，已知配線不良會導致電路基板的動作不良。

為解決此種問題，已多次有人提出對如形成在電路基板或半導體裝置等被檢查物之配線的對象部是否良好進行判定的檢查裝置的發明。

此種檢查裝置為了對例如為被檢查物之基板上所形成的配線是否良好進行判斷，使用具備與預先設定在配線上之複數檢查點分別連接之複數接觸件(探針)的檢查用夾具來實施檢查。

此種檢查用夾具之接觸件的一端被壓接在配線(檢查部)上的檢查點，另一端被壓接在與基板檢查裝置電連接的電極部。然後，藉由該檢查用夾具，從基板檢查裝置供給用以測定配線之電氣特性的電流或電壓，並往基板檢查裝置發送來自配線的電氣信號。

近年來，由於技術的進步，半導體裝置變小、基板變小，基板上的配線也隨之形成得更加細微且複雜。隨著如此基板之配線不斷細微化及複雜化，檢查用夾具所具有之接觸件也必須進行接觸件本身的細線化、接觸件間的間距狹小化、多針化及簡潔化。

尤其，在對細微化及複雜化之被檢查物的對象部進行測定時，由於對象部與接觸件接觸時所產生之接觸電阻的影響大，因此實施四端子測定法。於該四端子測定法中，必須在檢查點配置電力供給用與電氣信號檢測用之兩個電氣獨立的接觸件。因此，需要比起通常情況更加細線化的接觸件。

在此，例如專利文獻1所揭示之檢查用夾具的接觸件具備：筒構件之第一電極部、及與該第一電極部內部絕緣而配置在其內部的第二電極部，並形成為第一電極部及第二電極部同時與檢查點接觸。

然而，專利文獻1所揭示的檢查用夾具由於以使用繞線的螺旋彈簧形成，因此難以形成具有比繞線直徑之4倍左右小的直徑的線圈，而極難形成外徑在100μm以下的繞線螺旋彈簧，並極難組裝成檢查用夾具。即使能夠形成，就製造成本而言，利用到2000～4000根檢查用夾具也過於昂貴，而有不切實際的問題。

【專利文獻1】日本特開2005-249447號公報

本發明提供檢查用夾具，具備能因應基板之細微化及複雜化，並形成構件個數減少之簡潔化構造的四端子測定用的接觸件。

請求項1所記載之發明提供檢查用夾具，將具有成為被檢查對象之檢查部的被檢查物，與檢查該檢查部之電氣特性的檢查裝置進行電連接，其特徵在於：具備：連接電極體，具有與該檢查裝置電連接的複數個電極部；第一筒體，具導電性並呈筒形狀，且一端壓接於該檢查部，另一端壓接於該電極部；第二筒體，具導電性並呈筒形狀，且與該第一筒體間為非電性接觸，而大致同軸地配置在該第一筒體內，並且一端壓接於該檢查部，另一端壓接於該電極部；第一板狀構件，設有將該第一筒體與該第二筒體各自的一端引導向該檢查點的第一導引孔；及第二板狀構件，設有將該第一筒體與該第二筒體各自的另一端引導向該電極部的第二導引孔，且該第二板狀構件被配置成與該第一板狀構件間具有既定間隔；該第一筒體與該第二筒體上分別隔著中間部而設有2個伸縮部，該伸縮部由筒壁部之螺旋狀缺口部形成，並在長軸方向上進行伸縮，且該第一筒體與該第二筒體在各自的中間部被固定。

請求項2所記載之發明提供檢查用夾具，係於請求項1記載之檢查用夾具中，該第一筒體與第二筒體由以鎳為主成分的合金形成。

請求項3所記載之發明提供檢查用夾具，係於請求項1或2記載之檢查用夾具中，該第一筒體形成為相對於該第一筒體之中央呈大致對稱的形狀，且該第二筒體形成為相對於該第二筒體之中央呈大致對稱的形狀。

請求項4所記載之發明提供檢查用夾具，係於請求項1至3中任一項記載之檢查用夾具中，該檢查用夾具具有第三板狀構件，該第三板狀構件設有供該中間部貫通並加以引導的第三導引孔；且該第三板狀構件具備並列配置的3片板部，藉由配置於中間的一板部相對其他板部在面方向上位移，並被配置在使該第三導引孔從排列的位置上偏離的位置，以夾持該中間部。

請求項5所記載之發明提供檢查用夾具，係於請求項1至3中任一項記載之檢查用夾具中，形成筒形狀的第三筒體，該第三筒體具有比該第一筒體之外徑大的內徑，且該第三筒體將該第一筒體大致同軸地收納在該第三筒體內；該第一導引孔包含：第一導引上孔，具有比該第三筒體之外徑大的孔徑；及第一導引下孔，與該第一導引上孔連通連結，具有比該第三筒體之外徑小且比該第一筒體之外徑大的孔徑。

請求項6所記載之發明提供檢查用夾具，係於請求項1至5中任一項記載之檢查用夾具中，該第一筒體的2個伸縮部與該第二筒體的2個伸縮部未配置於平面看來相鄰的位置。

又，請求項7所記載之發明提供檢查用接觸件，使用於將具有成為被檢查對象之檢查部的被檢查物，與檢查該檢查部之電氣特性的檢查裝置的電極部進行電連接的檢查用夾具，其特徵在於：具備：第一筒體，具導電性並呈筒形狀，且一端壓接於該檢查部，另一端壓接於該電極部；及第二筒體，具導電性並呈筒形狀，且與該第一筒體間為非電性接觸，而大致同軸地配置在該第一筒體內，並且一端壓接於該檢查部，另一端壓接於該電極部；該第一筒體與該第二筒體上分別隔著中間部而設有2個伸縮部，該伸縮部由筒壁部之螺旋狀缺口部形成，並在長軸方向上進行伸縮，且該第一筒體與該第二筒體在各自的中間部被固定。

請求項8所記載之發明提供檢查用接觸件，係於請求項7記載之檢查用接觸件中，該第一筒體與第二筒體由鎳或鎳合金形成。

請求項9所記載之發明提供檢查用接觸件，係於請求項7或8記載之檢查用接觸件中，該第一筒體形成為相對於該第一筒體之中央呈大致對稱的形狀，且該第二筒體形成為相對於該第二筒體之中央呈大致對稱的形狀。

請求項10所記載之發明提供檢查用接觸件，係於請求項7記載之檢查用接觸件中，形成筒形狀的第三筒體，該第三筒體具有比該第一筒體之外徑大的內徑，且該第三筒體將該第一筒體大致同軸地收納在該第三筒體內，並形成為比該第一筒體短的長度。

請求項11所記載之發明提供檢查用接觸件，係於請求項7記載之檢查用接觸件中，該第一筒體的2個伸縮部與該第二筒體的2個伸縮部未配置於平面看來相鄰的位置。

依請求項1或7所記載之發明，檢查用夾具的接觸件或檢查用接觸件，由於利用導電性的第一筒體與收納於該第一筒體內部的導電性的第二筒體將2個端子收納在一個筒體的內部，因此比起習知的四端子測定用的探針係能因應窄間距。又，由於2個接觸件由一體型的筒構件形成，因此能減少零件個數而進行簡潔化。而且，由於2個接觸件上分別隔著中間部形成有2個伸縮部，因此一個伸縮部因應來自檢查點的推壓力進行滑動，另一個伸縮部因應來自電極部的推壓力進行滑動，而各伸縮部能獨立發揮功能。

依請求項2或8所記載之發明，由於以鎳或鎳合金形成，因此具有導電性，能輕易地進行電鍍，也可確保彈性。

依請求項3或9所記載之發明，由於接觸件形成相對於該接觸件之中央呈對稱的形狀，因此容易安裝於保持體上，並藉由設置用以保持接觸件之中間部的第三板狀構件，可輕易地以保持體保持接觸件。

依請求項5或10所記載之發明，由於在第一筒體之外側形成第三筒體，因此可將該第三筒體利用成與板狀構件間卡止的卡止部。

依請求項6或11所記載之發明，由於第一筒體的伸縮部與第二筒體的伸縮部未配置在相鄰的位置，因此能互不受影響地發揮功能。

(實施發明之最佳形態)

以下對用以實施本發明的形態進行說明。圖1係顯示依本發明之檢查用夾具之一實施形態的概略構成圖。依本發明之檢查用夾具1包含：複數之接觸件2；保持體3，將該等接觸件2保持成多針狀；連接電極體4，支撐該保持體3，並具有與接觸件2接觸而成為導通狀態的電極部41(參照圖5)；及導線部5，從電極部41延伸設置而與之電連接。

又，圖1顯示3根接觸件作為複數之接觸件2，並顯示分別對應的3根導線部5，但其等並不限於3根，可根據檢查對象之基板所設定的檢查點而決定。

本發明之主要特徵在於：對於2個導電性的筒狀構件，將一個筒狀構件收納在另一個筒狀構件的內部，而使用作一個接觸件，藉此可實施四端子測定。因此，針對具有本發明之特徵構成的接觸件進行詳細的說明。

又，藉由如此構成，可減少形成用以保持接觸件的保持體之導引孔的數目。

首先說明本發明之第一實施形態的接觸件。圖2係本發明之第一實施形態的接觸件(第一接觸件)的概略剖面圖；圖3係顯示構成第一接觸件之第一筒體及第二筒體的分解剖面圖，(a)顯示第一筒體，(b)顯示第二筒體。

該第一接觸件21具有第一筒體211及第二筒體212，並形成為在第一筒體211之內部收納第二筒體212(參照圖2)。

第一筒體211具有既定之長度，並由導電性的材料形成。該第一筒體211形成為具有兩端開口部之中空狀的圓柱形狀，即筒形狀。第一筒體211之一端部與檢查點接觸，另一端部與電極部41(第一電極部411)接觸，藉此進行檢查點與電極部的電連接。

該第一筒體211具有外側前端部211a、外側第一伸縮部211b、外側中間部211c、外側第二伸縮部211d與外側後端部211e的部位。該等部位(211a～211e)由於以同一筒構件形成，因此具有相同的外徑與內徑。

外側前端部211a抵接於後述的電極部41。外側前端部211a被貫通支撐於後述之第二板狀構件32的第二導孔孔321內部，而被引導向既定之第一電極部411。

外側後端部211e抵接在設定於檢查部上的檢查點。外側後端部211e被貫通支撐於後述之第一板狀構件31的第一導引孔311內部，而被引導向既定之檢查點。

外側第一伸縮部211b沿筒構件之壁部形成螺旋狀的缺口部，藉此形成為在筒構件之長軸方向伸縮的螺旋彈簧形狀。又，該外側第一伸縮部211b所具有的彈力，可藉由適當調整螺旋狀的缺口部之幅寬或長度以改變其彈力的強度。

外側第二伸縮部211d沿筒構件之壁部形成螺旋狀的缺口部，藉此形成為在筒構件之長軸方向伸縮的螺旋彈簧形狀。又，該外側第二伸縮部211d所具有的彈力係與外側第一伸縮部211b相同，可藉由適當調整螺旋狀的缺口部之幅寬或長度以改變其彈力的強度。

外側中間部211c形成在第一筒體211的大致中央處。該外側中間部211c係與後述之第二筒體212的內側中間部212c電性絕緣地固定。該外側中間部211c之一端與外側第一伸縮部211b連通連結，另一端與外側第二伸縮部211d連通連結。又，圖3(a)所示之外側中間部211c上顯示有向內側彎曲的外側凹部211f，且該外側凹部211f係用以於已將第二筒體212收納在第一筒體211內部時固定第一筒體211與第二筒體212所形成，而非預先形成在第一筒體211。又，該外側凹部211f係為了固定第一筒體211與第二筒體212，藉由從外側(第一筒體211)向內側(第二筒體212)進行推壓(斂縫)而加以固定時所形成。該第一及第二筒體的固定方法並不限於該斂縫，也可使用雷射焊接、電弧焊接或黏接劑等其他固定方法。

外側前端部211a之一端與第一電極部411抵接，而另一端與外側第一伸縮部211b之一端連通連結，外側第一伸縮部211b之另一端與外側中間部211c之一端連通連結，外側中間部211c之另一端與外側第二伸縮部211d之一端連通連結，外側第二伸縮部211d之另一端與外側後端部211e之一端連通連結，外側後端部211e之另一端抵接於檢查點。

第一筒體211可由一根導電性的筒狀構件形成，形成為例如外徑40～250μm、內徑30～240μm、壁厚5～50μm。藉由形成此尺寸，對於已細微化及複雜化之基板的配線或半導體裝置等被檢查物，亦可以簡潔化構造的檢查裝置來因應。

如圖3(a)所示，第一筒體211形成為各部位配置成相對於第一筒體211之中心呈點對稱或線對稱。其原因為：藉由如此形成為對稱形狀，可於安裝到後述之檢查用夾具1的保持體3時，無上下之分地利用接觸件2。

第一筒體211之一端接觸於檢查點，另一端接觸於電極部，且為了藉由該第一筒體211實現檢查點與電極部間的電氣導通，第一筒體211以導電性的材料形成。作為該材料，只要是具有導電性的材料則不特別限定，但可例示如鎳、鎳合金或鈀合金。

該第一筒體211如上所述，以具有導電性的材料形成，但因應被檢查物之細微化及複雜化，接觸件2本身也必須實施細線化來形成。尤其為了相對於保持板在直角方向上進行伸縮，必須形成為接觸件2本身具有伸縮功能；但是以往形成如使用有繞線之螺旋彈簧的部位的檢查用夾具，將取決於繞線本身之直徑的大小，難以形成具有比繞線直徑之4倍左右小的直徑的線圈，而極難形成外徑在100μm以下的螺旋彈簧。即使能夠形成，就組裝性及製造成本而言，利用到2000～4000根檢查用夾具也過於昂貴，而有不切實際的問題。

然而，本案發明藉由利用如下所述的製造方法，能夠更廉價且輕易地製造細微的接觸件。該製造方法可揭示如下之2個製造方法。

[製法例1]

(1)首先，準備形成第一筒體211之中空部的芯線(未圖示)。又，該芯線使用限定第一筒體211之內徑的所希望粗細(例如直徑30μm)的SUS線(不銹鋼線)。

(2)接著，於芯線(SUS線)塗佈光阻被膜，包覆該芯線之周面。對該光阻之所希望部分施以曝光、顯影、加熱處理以形成螺旋狀的光罩。此時，例如可使芯線沿中心軸旋轉，以雷射進行曝光，而形成螺旋狀的光罩。為形成本發明之第一筒體211，2個伸縮部(外側第一伸縮部211b與外側第二伸縮部211d)形成為具有既定距離(外側中間部211c之長度量的距離)。

(3)再來，對該芯線實施電鍍鎳。此時，由於芯線具有導電性，因此未形成有光罩的部位被鍍鎳。

(4)然後，去除光罩，抽出芯線，並依所希望之長度切斷筒體，而形成第一筒體211。當然也可在完全抽出芯線前切斷筒體。

又，第一筒體211也可以下述方法而製造。

[製法例2]

(1)首先，準備如上述形成內側筒體2a之中空部的芯線(未圖示)。

對該芯線鍍鎳達到所希望之厚度，以在芯線之周面形成鍍鎳層。

(2)接著，於該鍍鎳層之表面塗佈光阻。對該光阻之所希望部分進行曝光、顯影、加熱處理以形成螺旋狀的遮罩。此時，例如可使芯線沿中心軸旋轉，以雷射進行曝光，而形成螺旋狀的遮罩。為形成本發明之第一筒體211，2個伸縮部(外側第一伸縮部211b與外側第二伸縮部211d)形成為具有規定距離(外側中間部211c之長度量的距離)。

(3)再來，將電鍍鎳蝕刻去除。此時，未形成光罩的部位之電鍍鎳被去除。

(4)然後，去除光罩，抽出芯線，並依所希望之長度切斷筒體，而形成第一筒體211。當然也可在完全抽出芯線前切斷筒體。

以往之使用繞線的螺旋彈簧方式取決於繞線材料之直徑，難以形成具有比該直徑之4倍左右小的直徑的線圈，而極難形成100μm以下的螺旋彈簧。依上述製法而得之本發明的第一筒體211，由於係於對芯線鍍鎳而形成所希望之形狀後，藉由抽出芯線而製造，因此比起以往之使用繞線的螺旋彈簧方式的情況，可使彈簧材料的壁厚減薄，同時可高精度且自如地一併製造細微的外徑及內徑。

接著，對形成第一接觸件21的第二筒體212作說明(參照圖3(b))。該第二筒體212具有既定之長度，且由導電性的材料形成。該第二筒體212形成為具有兩端開口部之中空狀的圓柱形狀，即筒形狀。第二筒體212之一端部接觸於檢查點，另一端部接觸於電極部41(第二電極部412)，藉此進行檢查點與電極部的電連接。該第二筒體212與第一筒體211最大的區別在於：為將第二筒體212收納在第一筒體211內，而第二筒體212之外徑形成得比第一筒體211之內徑稍小。

該第二筒體212具有內側前端部212a、內側第一伸縮部212b、內側中間部212c、內側第二伸縮部212d與內側後端部212e的部位。該等部位(212a~212e)由於以同一筒構件形成，因此具有相同的外徑與內徑。

內側前端部212a抵接於後述的第二電極部412。內側前端部212a在第一筒體211之外側前端部211a的內部空間移動。又，由於外側前端部211a被第二導引孔321引導向第一電極部411，因此內側前端部212a也被引導向第二電極部412。

內側後端部212e抵接於檢查部上所設定的檢查點。內側後端部212e在第一筒體211之外側後端部211e的內部空間移動。又，由於外側後端部211e被第一導引孔311引導向檢查點，因此內側後端部212e也被引導向檢查點。

內側第一伸縮部212b沿筒構件之壁部形成螺旋狀的缺口 部，藉此形成為在筒構件之長軸方向進行伸縮的螺旋彈簧形狀。又，該內側第一伸縮部212b所具有的彈力，可藉由適當調整螺旋狀的缺口部之幅寬或長度以改變其彈力的強度。

內側第二伸縮部212d沿筒構件之壁部形成螺旋狀的缺口部，藉此形成為在筒構件之長軸方向進行伸縮的螺旋彈簧形狀。又，該內側第二伸縮部212d所具有的彈力與內側第一伸縮部212b相同，可藉由適當調整螺旋狀的缺口部之幅寬或長度以改變其彈力的強度。

內側中間部212c形成在第二筒體212的大致中央處。該內側中間部212c係與上述之第一筒體211的外側中間部211c電性絕緣地固定。該內側中間部212c之一端與內側第一伸縮部212b連通連結，另一端與內側第二伸縮部212d連通連結。又，圖3(b)所示之內側中間部212c上顯示有向內側彎曲的內側凹部212f，且該內側凹部212f係用以於已將第二筒體212收納在第一筒體211內部時固定第一筒體211與第二筒體212所形成，而非預先形成在第二筒體212。又，該內側凹部212f係為了固定第一筒體211與第二筒體212，藉由從外側(第一筒體211)向內側(第二筒體212)進行推壓(斂縫)而加以固定時所形成。該第一及第二筒體的固定方法並不限於該斂縫，也可使用雷射焊接、電弧焊接或黏接劑等其他固定方法。

內側前端部212a之一端與第二電極部412抵接，而另一端與內側第一伸縮部212b之一端連通連結，內側第一伸縮部212b之另一端與內側中間部212c之一端連通連結，內側中間部212c之另一端與內側第二伸縮部212d之一端連通連結，內側第二伸縮部212d之另一端與內側後端部212e之一端連通連結，內側後端部212e之另一端抵接於檢查點。

第二筒體212可由一根導電性的筒狀構件形成，形成為例如外徑20~220μm、內徑10~200μm、壁厚5~50μm。藉由形成此尺寸，對於已細微化及複雜化之基板的配線或半導體裝置等被檢查物，亦可以簡潔化構造的檢查裝置來因應。

如圖3(b)所示，第二筒體212形成為各部位配置成相對於第二筒體212之中心呈點對稱或線對稱。其原因為：藉由如此形成為對稱形狀，可於安裝到後述之檢查用夾具1的保持體3時，無上下之分地利用接觸件2。

第二筒體212之一端接觸於檢查點，另一端接觸於電極部，且為了藉由該第二筒體212實現檢查點與電極部間的電氣導通，第二筒體212以導電性的材料形成。作為該材料，只要是具有導電性的材料則不特別限定，但可例示如鎳、鎳合金或鈀合金。該第二筒體212的製造方法與上述第一筒體211的情形相同，故省略說明。

由於第一接觸件21中將第二筒體212收納配置在第一筒體211的內部，因此如圖3(b)所示，較佳係在第二筒體212之外側周緣形成絕緣被膜212g。該絕緣被膜212g可利用例如聚醯亞胺、聚四氟乙烯(PTFE)或環氧樹脂。該絕緣被膜212g之厚度形成為例如1～5μm。

該絕緣被膜212g於圖2之實施形態中形成在第二筒體212之外側周緣，但亦可形成在第一筒體211之內側周緣。又，當在第一筒體211之內側周緣形成絕緣被膜時，係於第一筒體211形成各伸縮部，並抽出芯線而形成為筒形狀後形成。

第二筒體212可如圖2所示，配置成從第一筒體211之兩開口端突出，第二筒體212也可配置成完全不突出。第一筒體211與第二筒體212由於均具有2個伸縮部，因此即便平面上任一方傾向於突出，藉由在受到檢查點或電極部推壓時伸縮部充分進行收縮，第一筒體211與第二筒體212兩者能抵接在一起。

圖4係顯示第一接觸件21安裝在保持體的狀態的剖面圖。

檢查用夾具1具有用以保持第一接觸件21的保持體3。該保持體3具有第一板狀構件31及第二板狀構件32。

第一板狀構件31設有用以將第一接觸件21之一端引導向檢查點的第一導引孔311。第一導引孔311形成得比第一筒體211之外徑稍大。又，該第一板狀構件31之厚度並無特別限定，但較佳係形成得比外側後端部211e之長度短。其原因在於使外側後端部211e能沿第一導引孔311確實地滑動。

第二板狀構件32係配置成與第一板狀構件31間具有既定間隔，並且設有用以將第一接觸件21之另一端引導向電極部41的第二導引孔321。第二導引孔321形成得比第一筒體211之外徑稍大。又，該第二板狀構件32之厚度並無特別限定，但較佳係形成得比外側前端部211a之長度短。其原因在於使使外側前端部211a能沿第二導引孔321確實地滑動。

第一接觸件21係配置成從第一導引孔311及第二導引孔321分別突出到外側。

使用第一接觸件21時，較佳係使用圖4所示的第三板狀構件33。該第三板狀構件33具備：具有既定間隔而並列配置的上板部331、中板部332與下板部333。該等板狀部設有供第一接觸件21貫通插入的第三導引孔334。第三板狀構件33之第三導引孔334係配置在第一導引孔311與第二導引孔321的直線上。

該第三板狀構件33之中板部332相對於其他板部(上板部331與下板部333)在面方向上位移。因此，第三導引孔334在中板部332位移前係第一接觸件21能輕易地貫通之，但是當中板部332位移時，中板部332推壓第一接觸件21之外側中間部211c，而能保持第一接觸件21。依如此方式將第一接觸件21固定於保持體3。

圖5係使用有第一接觸件之檢查用夾具的概略構成圖。檢查用夾具1之連接電極體4形成有與各第一接觸件21對應的電極部41。該電極部41具有：與第一筒體211抵接而成為導通狀態的第一電極部411，及與第二筒體212抵接而成為導通狀態的第二電極部412。又，連接電極體4以絕緣材料形成。

圖5所示的電極部41中，第一電極部411及第二電極部412以銅導線形成，且形成為各自的端面與各筒體的端部接觸。又，在圖5中，第一電極部411及第二電極部412係與各個筒體接觸，並且配置成位於最遠的位置。

圖5所示的第一實施形態中，第一筒體211與第二筒體212在各自的中間部獲得固定，並且第三板狀構件33之中板部332在平面方向位移，藉此將第一接觸件21可裝卸自如地保持。又，在第一實施形態中，使第一接觸件21保持於保持體3而安裝於連接電極體4上時，外側第一伸縮部211b與內側第一伸縮部212b被壓縮而以偏壓狀態安裝。藉由如此進行安裝，外側第一伸縮部211b與內側第一伸縮部212b不斷地推壓各個電極部41，可使第一接觸件21與電極部41的接觸電阻值極為穩定，而不會受到檢查點與第一接觸件21之接觸狀態的影響。

以上係對第一實施形態之檢查用夾具的說明。

接著，對第二實施方式的檢查用夾具1’作說明。圖6係本發明之第二實施形態的接觸件(第二接觸件)的概略剖面圖，圖7係顯示構成第二接觸件的第一筒體、第二筒體及第三筒體的分解剖面圖，(a)顯示第一筒體，(b)顯示第二筒體，(c)顯示第三筒體。其中，於第二實施形態之檢查用夾具與第一實施形態之檢查用夾具為相同構成的情況，標註相同符號並省略說明。

第二實施方式的第二接觸件22具有第一筒體211、第二筒體212及第三筒體223。該第二接觸件22之第一筒體211及第二筒體212，具有與第一接觸件21之第一筒體211及第二筒體212相同的構成，故在此省略說明。

第三筒體223將第一筒體211(及第二筒體212)以同軸的方式收納在內部。因此，第三筒體223形成為具有比第一筒體211之外徑稍大的內徑。該第三筒體223形成為兩端開口的筒形狀，且第一筒體211與第二筒體212係配置為從兩端開口伸出(參照圖6)。

第三筒体223具有用以與第一筒体211(包括第二筒体212)固定的固定凹部223a。該固定凹部223a並非預先形成，係於將第一筒體211收納配置在其內部後形成。該固定凹部223a的形成方法詳如後述。

第三筒體223可以導電性材料形成，也可以非導電性材料形成，但在以導電性材料形成時係依所需對其周緣進行絕緣被覆，俾與相鄰的其他第二接觸件22間成為非電性接觸。又，製造該第三筒體223的方法可利用製造第一及第二筒體的方法。

第二接觸件22中，第二筒體212收納於第一筒體211，然後第三筒體223將該第一筒體211收納於其內部。另外，固定凹部223a係藉由從第三筒體223之外側向內側推壓(斂縫)而加以固定時所形成。該第一及第二筒體的固定方法也可使用雷射焊接、電弧焊接或黏接劑等其他固定方法，而不限於該斂縫。又，可形成為第一至第三筒體全部配置後，再固定所有筒體；也可形成為先固定第一及第二筒體後，再固定第三筒體。

圖8係顯示第二接觸件安裝在保持體的狀態的剖面圖。第二實施形態的檢查用夾具具有第一板狀構件34及第二板狀構件32。第二板狀構件32由於與第一實施形態之檢查用夾具為相同構成，故省略說明。

該第一板狀構件34具有將第二接觸件22引導向檢查點的第一導引孔341。該第一導引孔341具有第一導引上孔34a及第一導引下孔34b。該第一導引上孔34a形成為具有比第三筒體223之外徑稍大的孔徑。

第一導引下孔34b形成為具有比第一筒體211之外徑稍大且比第三筒體223之外徑小的孔徑。如此第一導引孔341以2個孔徑不同的孔形成，藉此第二接觸件22被第三筒體223與第一筒體211的段差所卡止。

圖9係使用有第二接觸件22之檢查用夾具1’的概略構成圖。第二接觸件22係於安裝到保持體3時，從第二板狀構件32之第二導引孔321插入，並引導向第一板狀構件34之第一導引孔341。此時，第二接觸件22之第三筒體223被卡止在第一導引孔341內部之孔徑不同的分界。

使第二接觸件22保持於保持體3後，以第二接觸件22之一端抵靠於電極部41的方式，將第二板狀構件32與連接電極體4抵接。此時，由於第二接觸件22之第一筒體211與第二筒體212分別壓接於第一電極部41a與第二電極部41b，因此各自的外側第一伸縮部211b與內側第一伸縮部212b收縮而成為偏壓狀態，第一筒體211之外側前端部211a及第二筒體212之內側前端部212a係無論是否抵接於檢查點，均始終與各電極部41接觸。又，配置於另一側之內側及外側第二伸縮部211d、212d在自然長的狀態下處於待檢查的狀態，僅於實際檢查時，該等伸縮部才滑動。

以上係對第二實施形態之檢查用夾具的說明。

再來，對第三實施形態之檢查用夾具1”作說明。圖10係本發明之第三實施形態的接觸件(第三接觸件23)的概略剖面圖。圖11係顯示構成第三接觸件之第一筒體及第二筒體的分解剖面圖，(a)顯示第一筒體，(b)顯示第二筒體。其中，於第三實施形態之檢查用夾具與第一實施形態或第二實施形態之檢查用夾具為相同構成的情況，標註相同符號並省略說明。

第三實施形態之檢查用夾具1”的主要特徵在於：第三接觸件23之第一筒體211的外側周緣設有絕緣被覆211g，且第二筒體212的外側周緣設有絕緣被覆212g。

第三接觸件23具有第一筒體211及第二筒體212。第三接觸件23之第一筒體211及第二筒體212的基本構成由於與第一接觸件21相同，故省略說明，只說明不同的構成。第一筒體211之外側第一伸縮部211b及外側第二伸縮部211d係配置於平面看來與第二筒體212之內側第一伸縮部212b及內側第二伸縮部212d不相鄰的位置(參照圖10)。藉由如此各個伸縮部沿第三接觸件23之長軸方向交替配置，即便各個伸縮部滑動，也不會彼此接觸。

第一筒體211在外側前端部211a、外側中間部211c與外側後端部211e的外側周緣形成有絕緣被覆211g。該絕緣被覆211g形成為具有既定之厚度，例如形成為5~20μm。特別是形成於外側後端部211e之周緣的絕緣被覆211g與第二實施形態之檢 查用夾具1’的第三筒體223相同，被卡止於第一板狀構件34的第一導引孔341中。

圖11(a)所例示之第一筒體211的絕緣被覆211g係未設在用以固定第一筒體211與第二筒體212的外側凹部211f的部位。此係為了在從第一筒體211之外側進行推壓時使得第一筒體211與第二筒體212更確實地固定，而未設置絕緣被覆。

第二筒體212在內側前端部212a、內側中間部212c與內側後端部212e的外側周緣形成有絕緣被覆212g。該絕緣被覆212g形成為具有既定之厚度，例如形成為1~10μm。藉由在第二筒體212之上述各部位設置絕緣被覆212g，能將第一筒體211之各伸縮部的滑動方向穩定地限制在第三接觸件23的長軸方向上。

圖12係顯示第三接觸件安裝在保持體的狀態的剖面圖。如該圖12所示，與第二實施形態之第二接觸件相同，利用第一板狀構件34所具有之第一導引孔341的不同的2個孔部(第一導引上孔34a及第一導引下孔34b)，而第三接觸件23被設在外側後端部211e之絕緣被覆211g與第一筒體211的段差所卡止。

圖13係使用有第三接觸件之檢查用夾具的概略構成圖。第三實施形態的檢查用夾具1”與第二實施形態的檢查用夾具1’相同，第三接觸件23被安裝到保持體3時，從第二板狀構件32之第二導引孔321插入，並引導向第一板狀構件34之第一導引孔341。此時，第三接觸件23之絕緣被覆211g被卡止在第一導引孔341內部之孔徑不同的分界。

於使第三接觸件23保持在保持體3後，以第三接觸件23之一端抵靠於電極部41的方式，將第二板狀構件32與連接電極體4抵接。此時，由於第三接觸件23的第一筒體211與第二筒體212分別壓接於第一電極部41a與第二電極部41b，因此各自的外側第一伸縮部211b與內側第一伸縮部212b收縮而成為偏壓狀態，第一筒體211之外側前端部211a及第二筒體212之內側前端部212a係無論是否抵接於檢查點，均始終與各個電極部41接觸。又，配置於另一側之內側及外側第二伸縮部211d、212d在自然長的狀態下處於待檢查的狀態，僅於實際檢查時，該等伸縮部才滑動。

以上係對第三實施形態之檢查用夾具的說明。

接著，進行第四實施形態之檢查用夾具的說明。圖14係本發明之第四實施形態的接觸件(第四接觸件)的概略剖面圖。圖15係顯示構成第四接觸件之第一筒體、第二筒體及第三筒體的分解剖面圖，(a)顯示第一筒體，(b)顯示第二筒體，(c)顯示第三筒體。

第四實施形態之第四接觸件24具有第一筒體211、第二筒體212及第三筒體223，且與第二實施形態之第二接觸件22類似。第四接觸件24與第二接觸件22的不同點在於：相對於第二接觸件22之各伸縮部配置於相鄰位置(參照圖6)，第四接觸件不具有配置在相鄰位置的伸縮部。

圖16係顯示第四接觸件安裝在保持體的狀態的剖面圖。圖17係使用有第四接觸件之檢查用夾具的概略構成圖。如該圖16所示，與第二實施形態之第二接觸件相同，利用第一板狀構件34所具有之第一導引孔341的不同的2個孔部(第一導引上孔34a及第一導引下孔34b)，而第四接觸件24被第四接觸件24之第三筒體223與第一筒體211的段差所卡止。

圖17係使用有第四接觸件之檢查用夾具的概略構成圖。第四實施形態的檢查用夾具1’’’與第二實施形態的檢查用夾具1’相同，第四接觸件24被安裝到保持體3時，從第二板狀構件32之第二導引孔321插入，並引導向第一板狀構件34之第一導引孔341。此時，第四接觸件24之第三筒體223被卡止在第一導引孔341內部之孔徑不同的分界。

於使第四接觸件24保持於保持體3後，以第四接觸件24之一端抵靠於電極部41的方式，將第二板狀構件32與連接電極體4抵接。此時，由於第四接觸件24之第一筒體211與第二筒體212分別壓接於第一電極部41a與第二電極部41b，因此各自的外側第一伸縮部211b與內側第一伸縮部212b收縮而成為偏壓狀態，且第一筒體211之外側前端部211a與第二筒體212之內側前端部212a係無論是否抵接於檢查點，均始終與各個電極部41接觸。又，配置於另一側之內側及外側第二伸縮部211d、212d在自然長的狀態下處於待檢查的狀態，僅於實際檢查時，該等伸縮部才滑動。

以上係對第四實施形態之檢查用夾具的說明。

再來，說明第五實施形態的檢查用夾具。圖18係顯示本發明之第五實施形態的接觸件(第五接觸件25)保持於保持體的狀態的概略剖面圖。其中，第五實施形態之檢查用夾具(或第五接觸件25)與第三實施形態之檢查用夾具(或第三接觸件23)為相同構成的情況，標註相同符號並省略說明。

第五實施形態之檢查用夾具(未圖示)的主要特徵在於：第五接觸件25之第一筒體211的外側第一伸縮部211b與外側第二伸縮部211d在第五接觸件25之伸縮部中係配置於最外側，且第二筒體212的內側第一伸縮部與內側第二伸縮部各設有兩個。

第五接觸件25具有第一筒體211及第二筒體212。第五接觸件25之第一筒體211及第二筒體212的基本構成由於與第三接觸件23相同，故省略說明，只說明不同的構成。第一筒體211之外側第一伸縮部211b及外側第二伸縮部211d係配置於平面看來與第二筒體212之內側第一伸縮部212b1、212b2及內側第二伸縮部212d1、212d2不相鄰的位置(參照圖18)。藉由如此各個伸縮部沿第五接觸件25之長軸方向配置在不相鄰的位置，即便各個伸縮部滑動，也不會彼此接觸。

第二筒體212分別具有內側第一伸縮部及內側第二伸縮部，而該第五接觸件25的實施形態中，以2個伸縮部212b1、212b2形成內側第一伸縮部，並以2個伸縮部212d1、212d2形成內側第二伸縮部。又，2個伸縮部之間形成有用以設既定間隔的筒部，並在該筒部之外側周緣形成有絕緣被覆。藉由如此形成複數個第一伸縮部及第二伸縮部，能抑制配置於內側的第二筒體212出現撓曲。

第五接觸件25在外側前端部211a、外側中間部211c及外側後端部211e的外側周緣形成有絕緣被覆211g。形成於外側後端部211e之周緣的絕緣被覆211g與第二實施形態之檢查用夾具1’的第三筒體223相同，被第一板狀構件34的第一導引孔341卡止。

以上係對第五實施形態之檢查用夾具的第五接觸件之構成的說明。

接著，對第六實施形態之檢查用夾具作說明。圖19係本發明之第六實施形態的接觸件(第六接觸件)的概略剖面圖。

第六實施形態之第六接觸件26具有第一筒體211、第二筒體212及第三筒體223，且與第四實施形態之第四接觸件24類似。該第六接觸件26與第四接觸件24的不同點在於：第六接觸件26之第二筒體212上所形成的內側第一伸縮部212b與內側第二伸縮部212d係分別由2個伸縮部形成。又，第六接觸件26之各伸縮部與第五接觸件25相同，設定為伸縮部不配置於相鄰位置。

在第六接觸件26中，第三筒部223被第一板狀構件34的第一導引孔341卡止，而防止第六接觸件26從保持體3脫出。

以上係對第六實施形態之檢查用夾具所使用的第六接觸件的說明。

本說明書中，電極部41係分別配置成銅導線之端面抵接於各第一筒體及第二筒體的一部分，但該電極部41也可配置形成為具有與第一筒體及第二筒體相同的端面。

又，除了不被覆於第一筒體的兩前端部外，絕緣被膜211g可形成為被覆於伸縮部的表面。而且，用以說明本發明之圖式中所記載的兩伸縮部雖形成為向右旋繞，但也可設定成在第一筒體與第二筒體朝相反方向旋繞。

1、1’、1”、1’’’．．．檢查用夾具

2、21、22、23、24、25、26．．．接觸件

3．．．保持體

4．．．連接電極體

5．．．導線部

31、34．．．第一板狀構件

32．．．第二板狀構件

33．．．第三板狀構件

34a．．．第一導引上孔

34b．．．第一導引下孔

41．．．電極部

41a、411．．．第一電極部

41b、412．．．第二電極部

211．．．第一筒體

211a．．．外側前端部

211b．．．外側第一伸縮部

211c．．．外側中間部

211d．．．外側第二伸縮部

211e．．．外側後端部

211f．．．外側凹部

211g．．．絕緣被覆(絕緣被膜)

212．．．第二筒體

212a．．．內側前端部

212b、212b1、212b2．．．內側第一伸縮部

212c．．．內側中間部

212d、212d1、212d2．．．內側第二伸縮部

212e．．．內側後端部

212f．．．內側凹部

212g．．．絕緣被膜(絕緣被覆)

223．．．第三筒體

223a．．．固定凹部

311、341．．．第一導引孔

321．．．第二導引孔

331．．．上板部

332．．．中板部

333．．．下板部

334．．．第三導引孔

圖1係顯示依本發明之檢查用夾具之一實施形態的概略構成圖。

圖2係本發明之第一實施形態的接觸件(第一接觸件)的概略剖面圖。

圖3(a)、3(b)係顯示構成第一接觸件之第一筒體及第二筒體的分解剖面圖，(a)顯示第一筒體，(b)顯示第二筒體。

圖4係顯示第一接觸件安裝在保持體的狀態的剖面圖。

圖5係使用有第一接觸件之檢查用夾具的概略構成圖。

圖6係本發明之第二實施形態的接觸件(第二接觸件)的概略剖面圖。

圖7(a)~7(c)係顯示構成第二接觸件的第一筒體、第二筒體及第三筒體的分解剖面圖，(a)顯示第一筒體，(b)顯示第二筒體，(c)顯示第三筒體。

圖8係顯示第二接觸件安裝在保持體的狀態的剖面圖。

圖9係使用有第二接觸件之檢查用夾具的概略構成圖。

圖10係本發明之第三實施形態的接觸件(第三接觸件)的概略剖面圖。

圖11(a)、11(b)係顯示構成第三接觸件之第一筒體及第二筒體的分解剖面圖，(a)顯示第一筒體，(b)顯示第二筒體。

圖12係顯示第三接觸件安裝在保持體的狀態的剖面圖。

圖13係使用有第三接觸件之檢查用夾具的概略構成圖。

圖14係本發明之第四實施形態的接觸件(第四接觸件)的概略剖面圖。

圖15(a)~15(c)係顯示構成第四接觸件之第一筒體、第二筒體及第三筒體的分解剖面圖，(a)顯示第一筒體，(b)顯示第二筒體，(c)顯示第三筒體。

圖16係顯示第四接觸件安裝在保持體的狀態的剖面圖。

圖17係使用有第四接觸件之檢查用夾具的概略構成圖。

圖18係顯示第五接觸件安裝在保持體的狀態的剖面圖。

圖19係顯示第六接觸件安裝在保持體的狀態的剖面圖。

1．．．檢查用夾具

4．．．連接電極體

31．．．第一板狀構件

32．．．第二板狀構件

33．．．第三板狀構件

41．．．電極部

211b．．．外側第一伸縮部

211d．．．外側第二伸縮部

212b．．．內側第一伸縮部

212d．．．內側第二伸縮部

331．．．上板部

332．．．中板部

333．．．下板部

411．．．第一電極部

412．．．第二電極部

Claims (11)

1. 一種檢查用夾具，將具有成為被檢查對象之檢查部的被檢查物，與檢查該檢查部之電氣特性的檢查裝置進行電連接，其特徵在於：具備：連接電極體，具有與該檢查裝置電連接的複數個電極部；第一筒體，具導電性並呈筒形狀，且一端壓接於該檢查部，另一端壓接於該電極部；第二筒體，具導電性並呈筒形狀，且與該第一筒體間為非電性接觸，而同軸地配置在該第一筒體內，並且一端壓接於該檢查部，另一端壓接於該電極部；第一板狀構件，設有將該第一筒體與該第二筒體各自的一端引導向檢查點的第一導引孔；及第二板狀構件，設有將該第一筒體與該第二筒體各自的另一端引導向該電極部的第二導引孔，且該第二板狀構件被配置成與該第一板狀構件間具有既定間隔；該第一筒體與該第二筒體上分別隔著中間部而設有2個伸縮部，該伸縮部由筒壁部之螺旋狀缺口部形成，並在長軸方向上進行伸縮，且該第一筒體與該第二筒體在各自的中間部被固定。
2. 如申請專利範圍第1項之檢查用夾具，其中，該第一筒體與第二筒體以鎳或鎳合金形成。
3. 如申請專利範圍第1或2項之檢查用夾具，其中，該第一筒體形成為相對於該第一筒體之中央呈對稱的形狀，且該第二筒體形成為相對於該第二筒體之中央呈對稱的形狀。
4. 如申請專利範圍第1或2項之檢查用夾具，其中，該檢查用夾具具有第三板狀構件，該第三板狀構件設有供該中間部貫通並加以引導的第三導引孔；且該第三板狀構件具備並列配置的3片板部，藉由配置於中間的一板部相對其他板部在面方向上位移，並被配置在使該第三導 引孔從排列的位置上偏離的位置，以夾持該中間部。
5. 如申請專利範圍第1或2項之檢查用夾具，其中，形成筒形狀的第三筒體，該第三筒體具有比該第一筒體之外徑大的內徑，且該第三筒體將該第一筒體同軸地收納在該第三筒體內；該第一導引孔包含：第一導引上孔，具有比該第三筒體之外徑大的孔徑；及第一導引下孔，與該第一導引上孔連通連結，具有比該第三筒體之外徑小且比該第一筒體之外徑大的孔徑。
6. 如申請專利範圍第1或2項之檢查用夾具，其中，該第一筒體的2個伸縮部與該第二筒體的2個伸縮部未配置於平面看來相鄰的位置。
7. 一種檢查用接觸件，使用於將具有成為被檢查對象之檢查部的被檢查物，與檢查該檢查部之電氣特性的檢查裝置的電極部進行電連接的檢查用夾具，其特徵在於：具備：第一筒體，具導電性並呈筒形狀，且一端壓接於該檢查部，另一端壓接於該電極部；及第二筒體，具導電性並呈筒形狀，且與該第一筒體間為非電性接觸，而同軸地配置在該第一筒體內，並且一端壓接於該檢查部，另一端壓接於該電極部；該第一筒體與該第二筒體上分別隔著中間部而設有2個伸縮部，該伸縮部由筒壁部之螺旋狀缺口部形成，並在長軸方向上進行伸縮，且該第一筒體與該第二筒體在各自的中間部被固定。
8. 如申請專利範圍第7項之檢查用接觸件，其中，該第一筒體與第二筒體以鎳或鎳合金形成。
9. 如申請專利範圍第7或8項之檢查用接觸件，其中，該第一筒體形成為相對於該第一筒體之中央呈對稱的形狀，且該第二筒體 形成為相對於該第二筒體之中央呈對稱的形狀。
10. 如申請專利範圍第7項之檢查用接觸件，其中，形成筒形狀的第三筒體，該第三筒體具有比該第一筒體之外徑大的內徑，且該第三筒體將該第一筒體同軸地收納在該第三筒體內，並形成為比該第一筒體短的長度。
11. 如申請專利範圍第7項之檢查用接觸件，其中，該第一筒體的2個伸縮部與該第二筒體的2個伸縮部未配置於平面看來相鄰的位置。