TWI639837B - 可交換式接觸單元及檢查輔助具 - Google Patents

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Abstract

一種可附接至檢查輔助具的本體或從檢查輔助具的本體拆下之可交換式接觸單元，包含：設有針對待檢物件設置的接觸部之撓性板；以及直接且電性地連接至該撓性板之同軸連接器。

Description

可交換式接觸單元及檢查輔助具
本發明係關於用來檢查例如半導體積體電路的電氣性能之可交換式接觸單元以及例如探針卡(probe card)之檢查輔助具(inspection jig)。
用來檢查半導體積體電路的電氣性能之例如探針卡之檢查輔助具係包含：主板、以及藉由焊接等而接合(bonded)至該主板之撓性板(flexible board)。該撓性板設有接觸部(contact part)用來與待檢物件(例如晶圓)的電極接觸。撓性板係由彈簧從接觸部的背側將之彈壓向待檢物件，藉此提供與待檢物件緊緊相接之接觸力。具有上述的構成之探針卡有時稱作為膜片型(membrane type)探針卡。
在檢查電氣性能時，係透過同軸纜線在檢查輔助具與檢查裝置(測試機(tester))之間傳輸高頻電子訊號。檢查輔助具設有同軸連接器(coaxial connector)用來以可拆卸的方式與從測試機延伸出的同軸纜線連接。該同軸連接器係藉由焊接等而電性連接至撓性板，且藉由焊接等而固定(接合)至主板。
在重複接觸了例如百萬次之後，撓性板的接 觸部會磨損，因而必須更換撓性板。在撓性板與主板係相焊接之情況，要將撓性板從主板拆下來就必須解焊。因此，必須花費工夫及時間來更換撓性板。日本特開2001-208777號公報揭示了一種：可輕易更換具有與作為待檢物件之晶圓的電極墊(pad)接觸的凸塊(bump)之膜片型探針卡中的膜片組件(亦即撓性板)之技術。
日本特開2001-208777號公報中並未提及同軸連接器。在同軸連接器係固定至主板，且撓性板與同軸連接器之間的電性連接係藉由主板與撓性板之間的壓力接觸而進行之情況，撓性板之更換可輕易進行。但是，在此情況，壓力接觸部的電氣性能卻會顯著地劣化。
本發明係有鑒於上述的技術現況而完成者，本發明的一個目的在提供可輕易附接至例如探針卡之檢查輔助具及拆下，但可抑制檢查輔助具的電氣性能劣化之可交換式接觸單元。
本發明的另一個目的在提供可輕易更換其中的屬於消耗品之撓性板，同時可抑制電氣性能劣化之檢查輔助具。
根據本發明，為了達成上述目的而提供一種可附接至檢查輔助具的本體或從檢查輔助具的本體拆下之可交換式接觸單元，此可交換式接觸單元包括：設有針對待檢物件設置的接觸部之撓性板；以及直接且電性地連接至該撓性板之同軸連接器。
該可交換式接觸單元可再包括：供該同軸連接器固定至其上之支持板。
該撓性板可位於該支持板的一面側，該同軸連接器可包含：位於該支持板的另一面側之主體部(body part)；以及從該主體部延伸出以穿過該支持板及該撓性板，且電性連接至該撓性板之腳部(leg portion)，該接觸單元能以讓該撓性板夾在該檢查輔助具之板與該支持板之間之方式而可拆卸地固定至該檢查輔助具的本體。
可在該撓性板之與該支持板相反側的面上設置與同軸連接器之接地用腳部電性連接且延伸到用來將該撓性板固定至該檢查輔助具的本體之通孔周圍的區域之接地配線圖案(ground pattern)。
根據本發明，為了達成上述目的而提供一種檢查輔助具，包括：接觸單元，此接觸單元包含有設有要與待檢物件接觸的接觸部之撓性板、及直接且電性地連接至該撓性板之同軸連接器；供該接觸單元以可拆卸的方式固定至其上之主板(main board)；以及組構成對該接觸部施加針對待檢物件的接觸力之彈壓構件(urging member)，其中，該撓性板及該同軸連接器並未接合至該主板。
該接觸單元可設有支持板，且該同軸連接器可固定至該支持板。
該撓性板可夾在該主板與該支持板之間。
該主板、該撓性板及該支持板可藉由緊固元件(fastening component)而相固定，該同軸連接器用的接地 配線圖案可分別設在該主板及該撓性板的彼此相向的面上，從而延伸到藉由該緊固元件而固定該主板及該撓性板之處的固定位置周圍，且在該固定位置周圍之區域，兩邊的接地配線圖案可相互做面接觸(face contact)。
該檢查輔助具可再包括：固定至該主板且組構成支持該彈壓構件的一端之單元推壓構件(unit pressing member)。該撓性板可位於該主板與該單元推壓構件之間，且該單元推壓構件可設有彈性構件，用來將該撓性板推壓抵頂在該主板上從而使該兩者相互電性連接。
該單元推壓構件可藉由在該彈性構件的兩側之緊固元件而固定至該主板。
此外，請注意上述構成元件的任意組合、以及在方法及系統之間變換之本發明的說明也都屬於有效的本發明的特徵。
1‧‧‧檢查輔助具
10‧‧‧主板
11‧‧‧接觸用通孔
15,45‧‧‧通孔
16‧‧‧連接器腳穿孔
17,18,47,48,67‧‧‧螺絲孔
19,49,69,93,94‧‧‧定位孔
103,104,109‧‧‧定位銷
106,107,108‧‧‧螺絲
20‧‧‧止動件
21‧‧‧接觸用通孔
22‧‧‧基部
27,28‧‧‧螺絲鎖孔
30‧‧‧接觸單元
40‧‧‧撓性板
41‧‧‧接觸部
42‧‧‧訊號配線圖案
43‧‧‧接地配線圖案
44‧‧‧DC配線圖案
46‧‧‧連接器腳穿孔
50‧‧‧同軸連接器
51‧‧‧主體
51a‧‧‧凸緣部
52‧‧‧訊號用腳部
53‧‧‧接地用腳部
60‧‧‧子板
61‧‧‧中心通孔
62‧‧‧連接器固定連接處
66‧‧‧連接器腳穿孔
70‧‧‧塊體
71‧‧‧中心角錐部
72‧‧‧腳部
73‧‧‧平行度調整螺絲
90‧‧‧單元推壓構件
91‧‧‧彈簧
92‧‧‧彈性構件
95‧‧‧連接器主體穿孔
96‧‧‧彈簧用凹部
第1圖係從下觀看之根據本發明的實施例中之接觸單元30的分解透視圖。
第2圖係從上觀看之接觸單元30的分解透視圖。
第3圖係從下觀看之根據本發明的實施例中之檢查輔助具1的分解透視圖。
第4圖係從上觀看之檢查輔助具1的分解透視圖。
第5圖係從下觀看之去除掉單元推壓構件90之檢查輔助具1的透視圖。
第6圖係從上觀看之去除掉單元推壓構件90之檢查輔助具1的透視圖。
第7圖係檢查輔助具1的平面圖。
第8圖係沿著第7圖中的A-A線剖面圖。
第9圖係沿著第7圖中的B-B線剖面圖。
第10圖係接觸單元30中的子板60的平面圖。
第11圖係將背面之看不到的導體圖案(conductor patterns)也顯示出來之接觸單元30中的撓性板40的平面圖。
第12圖係檢查輔助具1中的主板10的局部放大平面圖。
第13圖係檢查輔助具1中的彈性構件92的周圍區域的放大剖面圖。
第14圖係接觸單元30中的同軸連接器50的周圍區域的放大剖面圖。
以下參照圖式來詳細說明本發明的較佳實施例。其中，將各圖中相同或相等的構成元件、構件等都標以相同的元件符號，並適當地將重複的說明予以省略。而且，本發明並不限定於實施例，實施例只是一個例子，實施例中說明的所有的特徵及其組合並非絕對是本發明所不可或缺的。
第1圖係從下觀看之根據本發明的實施例中之接觸單元30的分解透視圖。第2圖係從上觀看之接觸單 元30的分解透視圖。第3圖係從下觀看之根據本發明的實施例中之檢查輔助具1的分解透視圖。第4圖係從上觀看之檢查輔助具1的分解透視圖。第5圖係從下觀看之去除掉單元推壓構件90之檢查輔助具1的透視圖。第6圖係從上觀看之去除掉單元推壓構件90之檢查輔助具1的透視圖。第7圖係檢查輔助具1的平面圖。第8圖係沿著第7圖中的A-A線剖面圖。第9圖係沿著第7圖中的B-B線剖面圖。第10圖係接觸單元30中的子板60的平面圖。第11圖係將背面之看不到的導體圖案(conductor patterns)也顯示出來之接觸單元30中的撓性板40的平面圖。第11圖中，將形成在撓性板40的下側面之原本應看不到之導體圖案也顯示在撓性板40的上側面。第12圖係檢查輔助具1中的主板10的局部放大平面圖。第13圖係檢查輔助具1中的彈性構件92的周圍區域的放大剖面圖。第14圖係接觸單元30中的同軸連接器50的周圍區域的放大剖面圖。
如第3、4圖等所示，接觸單元30係為例如探針卡之檢查輔助具用的可交換式接觸單元，係可拆卸地固定至檢查輔助具1的主板10。接觸單元30包含：撓性板40；例如SMA連接器之四個同軸連接器50；由例如玻璃環氧樹脂板之硬板所形成之子板(sub board)60；以及由例如樹脂模塑體所形成之塊體(block)70。
撓性板40係為了與例如晶圓之待檢物件接觸而設置。撓性板40位於該子板60的一面(下側面)。在撓性板40的下側面(與子板60相反側之面)設有將與例如 晶圓之待檢物件接觸之接觸部41(第1圖)、訊號配線圖案42(第11圖)、接地配線圖案43(第11圖)、及DC配線圖案44(第11圖)。另外，撓性板40形成有通孔45、連接器腳穿孔46、螺絲孔47,48、及定位孔49。應注意的是，顯示於第11中之訊號配線圖案42及DC配線圖案44在包含有撓性板40之其他圖中都省略了，除了第11圖之外。接地配線圖案43則是在包含有撓性板40之其他圖中都省略了，除了第3及11圖之外。將接觸單元30附接到檢查輔助具1時，並未藉由焊接將撓性板40接合到後述的主板10。
接觸部41係訊號及DC用的凸塊(bump)的組件，位於撓性板40的十字形部的中心。各訊號配線圖案42及DC配線圖案44的一端分別合併於接觸部41的一個凸塊。訊號配線圖案42的另一端係藉由焊接等而直接且電性地連接至同軸連接器50的訊號用腳部52。所設置的訊號配線圖案42的數目係與同軸連接器50的訊號用腳部52的數目相同。DC配線圖案44的另一端係合併於通孔45。接地配線圖案43係在撓性板40的下側面(與主板10相反側之面)形成為延伸到供同軸連接器50的接地用腳部穿過之連接器腳穿孔46、及靠近連接器腳穿孔46而配置之螺絲孔47，以與同軸連接器50的接地用腳部53電性連接。雖未顯示於第11圖中，但各接地配線圖案43的一部分係以形成為沿著延伸到接觸部41之訊號配線圖案42的兩側之共平面的線之方式設成延伸到接近接觸部41之區域。通 孔45係為了建立DC配線圖案44與主板10之間的電性連接而設置。
連接器腳穿孔46係為了讓同軸連接器50的訊號用腳部52及接地用腳部53穿過而形成。螺絲孔47係為了讓用以將接觸單元30固定至檢查輔助具1的主板10之螺絲(緊固元件)107穿過而形成。應指出的是，第1及2圖中所示之螺絲107並非接觸單元30的必要構成元件。螺絲孔48係為了讓用以將檢查輔助具1的單元推壓構件90固定至主板10之螺絲(緊固元件)108穿過而設置。螺絲孔48分別設於通孔45的兩側。定位孔49係為了讓用來使接觸單元30相對於主板10就定位之定位銷109(第4圖)穿過而設置。定位孔49係與螺絲孔48相鄰而設置。
四個同軸連接器50係圍繞撓性板40的接觸部41而設置，且直接且電性連接至撓性板40。從未圖示的檢查裝置(測試機)延伸出之同軸纜線可以可拆卸地連接至同軸連接器50。各同軸連接器50都包含有主體51、一個訊號用的腳部52、及四個接地用的腳部53。同軸纜線的一端係連接至檢查裝置，另一端係可拆卸地連接(附接)至該主體部51。主體部51係位於子板60的另一面(上側面)。主體部51的凸緣部51a藉由焊接等(參見第14圖)而固定至第10圖中顯示的子板60的連接器固定連接處(connector fixing land)62(於第2圖中省略)。訊號用腳部52及接地用腳部53係從主體部51延伸出且穿過子板60中的連接器腳穿孔66及撓性板40中的連接器腳穿孔46，再藉由焊接等 (參見第14圖)而直接且電性地連接至撓性板40之與子板60相反的一側。詳言之，訊號用腳部52係直接且電性地連接至撓性板40的訊號配線圖案42，接地用腳部53係直接且電性地連接至撓性板40的接地配線圖案43。將接觸單元30附接至檢查輔助具1時，同軸連接器50並未藉由焊接而接合至主板10(將在後面說明)。
作為支持板(硬板)之子板60係為了防止在將同軸纜線附接至同軸連接器50或拆除時有大負荷施加於撓性板40與同軸連接器50間的接合部(焊接部)而設置。子板60係設有中心通孔61、連接器固定連接處62(第10圖)、連接器腳穿孔66、螺絲孔67、及定位孔69。中心通孔61係提供用來配置塊體70之空間。連接器固定連接處62係設在子板60的上側面上，用來以焊接等方式固定同軸連接器50。連接器腳穿孔66係為了供同軸連接器50的訊號用腳部52及接地用腳部53插入而設置。螺絲孔67係為了讓用來將接觸單元30固定至檢查輔助具1的主板10之螺絲107穿過而設置。定位孔69係為了讓用來使接觸單元30位於主板10上的定位之定位銷109(第4圖)插入而設置。
塊體70在組裝於檢查輔助具1中之狀態係由彈簧91將之往下彈推，藉此而將撓性板40保持成接觸部41從主板10向下突出之狀態。塊體70在其向下凸出的中心角錐部71的四周具有四個腳部72。塊體70的各個腳部72分別附接有平行度調整螺絲(parallelism adjusting screw)73。平行度調整螺絲73的頂端可與後述之止動件20的阻擋用基部22接觸。當平行度調整螺絲73的頂端與止動件20的阻擋用基部22接觸，受到彈簧91的彈壓之塊體70的垂直位置就決定了。由塊體70保持著的兩個定位銷103向上突出。定位銷103具有使後述之單元推壓構件90相對於接觸單元30就定位之功能。雖然第2圖中將彈簧91顯示成位在塊體70的頂側，但彈簧91並不一定要是接觸單元30的構成元件，亦可藉由接合(bonding)等而由檢查輔助具1的單元推壓構件90固持。
檢查輔助具1係為例如探針卡，用來檢查晶圓狀態之半導體積體電路的電氣性能。檢查輔助具1包含：由例如玻璃環氧樹脂板所形成之主板10、由例如不銹鋼等之金屬所形成之止動件20、上述的接觸單元30、以及由例如樹脂模塑體所形成單元推壓構件90。
主板10係設有：接觸用通孔11、通孔15、連接器腳穿孔16、螺絲孔17,18、及定位孔19(第12圖)。接觸用通孔11係為了讓撓性板40的接觸部41向下突出而設置。通孔15係為了建立與形成撓性板40的DC配線圖案44的一端部之通孔45的電性連接而設置。連接器腳穿孔16係為了避開同軸連接器50的訊號用腳部52及接地用腳部53而設置。螺絲孔17係為了讓用來將接觸單元30固定至主板10之螺絲107穿過而設置。螺絲孔18係為了讓用來將單元推壓構件90固定至主板10之螺絲108穿過而設置。顯示於第12圖中之定位孔19係為了讓用來使接觸 單元30相對於主板10就定位之定位銷109(第4圖)穿過而設置。接地配線圖案13係設在主板10的上側面(與撓性板40相向的面)之連接器腳穿孔16及螺絲孔17的周圍。利用螺絲107將接觸單元30鎖定至主板10，主板10的接地配線圖案13就會與撓性板40的接地配線圖案43相互做面接觸。接地配線圖案13,43係設在螺絲孔17,47的周圍，所以接地配線圖案13,43會緊密地相互做面接觸，尤其在利用螺絲107鎖緊之位置周圍的區域。
止動件(retainer)20係為例如薄片金屬，具有限制接觸單元30從主板10向下突出的量之功能。止動件20係利用螺絲(緊固構件)106而附接(固定)至主板10的下側面。止動件20設有：十字形狀之接觸用通孔21、及螺絲鎖孔27,28。阻擋用基部22(第4圖)係形成在接觸用通孔21的周圍。接觸用通孔21係為了讓撓性板40的接觸部41向下突出而設置。螺絲鎖孔27係用來鎖上螺絲107以將接觸單元30固定至檢查輔助具1的主板10。螺絲鎖孔28係用來鎖上螺絲108以將單元推壓構件90固定至主板10。阻擋用基部22分別位於塊體70的腳部72的下方，承接(支持)如前述之附接至腳部72且從腳部72向下突出之平行度調整螺絲73的頂端。定位銷104及前述之定位銷109係設在止動件20上且從主板10的上側面向上突伸出。定位銷104具有使單元推壓構件90相對於主板10就定位之功能。定位銷109具有使接觸單元30相對於主板10就定位之功能。主板10及止動件20構成檢查輔助具1的本 體。
單元推壓構件90係用來從上方推壓接觸單元30之構件。單元推壓構件90設有：定位孔93,94、連接器主體穿孔95、及彈簧用凹部96(第3圖)。定位孔93係為了讓用來使單元推壓構件90相對於接觸單元30就定位之定位銷103穿過而設置。定位孔94係為了讓用來使單元推壓構件90相對於主板10就定位之定位銷104穿過而設置。連接器主體穿孔95係為了讓同軸連接器50的主體部51向上突伸出而設置。彈簧用凹部96係為了支持第2圖中所示的彈簧91的一端而設置。彈簧91在單元推壓構件90利用螺絲108而固定至主板10之狀態下將塊體70向下彈推(亦即，將撓性板40的接觸部41向下彈推)，從而施加使撓性板40的接觸部41與例如晶圓之待側物件緊緊相接之接觸力。單元推壓構件90的下側面(與撓性板40相向的面)上保持有兩片條狀(線狀)之由矽橡膠(silicone rubber)等所形成之彈性構件92(第3圖)。彈性構件92係設在撓性板40的通孔45及主板10的通孔15的正上方位置，並在單元推壓構件90利用螺絲108而固定至主板10之狀態下將撓性板40的通孔45推壓向主板10的通孔15。螺絲108分別在彈性構件92的兩側將單元推壓構件90固定至主板10，因而增進彈性構件92的推壓效果。彈性構件92使通孔15,45相互做壓力接觸而使兩者電性連接。
以下說明檢查輔助具1的組裝作業流程。
第一個步驟，係預先將接觸單元30組裝起 來。詳言之，係進行以下的步驟。使同軸連接器50的訊號用腳部52及接地用腳部53穿過子板60的連接器腳穿孔66，然後藉由焊接等將同軸連接器50的凸緣部51a固定至子板60的上側面上的連接器固定連接處62。接著，在使同軸連接器50的訊號用腳部52及接地用腳部53穿過已接合有塊體70之撓性板40的連接器腳穿孔46之情況下，將撓性板40設定至子板60的下側面(與固定有同軸連接器50的主體部51之面相反側的面)。然後，藉由焊接等將同軸連接器50的訊號用腳部52及接地用腳部53直接且電性地連接至撓性板40的下側面(與子板60相反側的面)。亦可在預先將同軸連接器50的訊號用腳部52及接地用腳部53電性地連接至撓性板40的下側面之後，將同軸連接器50的凸緣部51a固定至子板60的上側面(連接器固定連接處62)。因為藉由焊接等而將同軸連接器50的訊號用腳部52及接地用腳部53固定至子板60，所以撓性板40並不直接固定至子板60。以此方式，完成接觸單元30的組裝作業。其中，亦可在最後步驟中，使塊體70穿過子板60的中心通孔61，且藉由焊接而將之固定至撓性板40的接觸部41的背面。
然後，利用螺絲107將接觸單元30附接(固定)至主板10。詳言之，係使從主板10突伸出的四支定位銷109分別穿過撓性板40的定位孔49及子板60的定位孔69。同時，使四根螺絲107分別穿過子板60的螺絲孔67、撓性板40的螺絲孔47、及主板10的螺絲孔17，然後鎖入 預先固定在主板10的下側面之止動件20的螺絲鎖孔27。以此方式，使撓性板40夾在主板10與子板60之間。
然後，利用螺絲108將單元推壓構件90固定至主板10。詳言之，係使從塊體70向上突伸出的兩支定位銷103及從主板10向上突伸出的兩支定位銷104分別穿過單元推壓構件90的定位孔93,94。同時，使四根螺絲108穿過單元推壓構件90的螺絲孔、撓性板40的螺絲孔48及主板10的螺絲孔18，然後鎖入止動件20的螺絲鎖孔28。撓性板40的接觸部41的水平度可視需要而藉由轉動水平度調整螺絲73來調整。以此方式，完成檢查輔助具1的組裝作業。應注意的是，可藉由進行相反的步驟而將接觸單元30從主板10拆下。
根據本實施形態，可得到下述的優點：
(1)因為同軸連接器50係直接且電性地連接至具有可與例如晶圓之待檢物件接觸的接觸部41之撓性板40的訊號配線圖案42，所以可高頻地傳輸電氣訊號，無需藉由主板10與撓性板40間之以壓力接觸進行之電性連接，因而可抑制電氣性能之劣化。因此，可實現能夠抑制檢查輔助具1中的電氣性能劣化之接觸單元30、以及可實現能夠抑制電氣性能劣化之檢查輔助具1。
(2)因為接觸單元3係利用穿過子板60及撓性板40之螺絲107而附接(固定)至主板10，另一方面撓性板40及同軸連接器50並未藉由焊接等而接合至主板10。因此，要更換接觸單元30時只需鎖上或拆下螺絲107，不用 進行解焊，容易進行接觸單元的更換(裝上及拆下)作業。因而，可實現能夠輕易附接至檢查輔助具1的本體或拆下之接觸單元30，以及能夠輕易更換其中之屬於消耗品的撓性板40之檢查輔助具1。
(3)因為同軸連接器50係藉由焊接等而固定至子板60，所以可防止撓性板40與同軸連接器50間的接合部(焊接部)在同軸纜線之裝上或拆下時承受到大負荷。就此連接而言，若是藉由焊接等而將同軸連接器50固定至主板10，就會阻礙到接觸單元30之裝上或拆下的容易度。但是，藉由焊接等而將同軸連接器50固定至設成可與主板10分離之子板60，就可確保接觸單元30之裝上或拆下的容易性。另外，若是藉由鎖螺絲等而將同軸連接器50固定至主板10，就需要較大的凸緣部，此點從空間確保的觀點來看並不實際。但是，藉由焊接等而將同軸連接器50固定至子板60，就可在有限的空間中將同軸連接器50穩固地固定至主板10。
(4)因為主板10的接地配線圖案13及撓性板40的接地配線圖案43係延伸到螺絲孔17,47周圍的區域，所以可在將撓性板40夾在主板10與子板60之間且利用螺絲107使之相固定之位置周圍的區域迫使接地配線圖案13,43相互做面接觸。因而，可輕易且確實地進行同軸連接器50的接地用腳部53與主板10的接地配線圖案13之間的電性連接。
(5)因為設在單元推壓構件90上之彈性構件 92係將撓性板40推壓抵頂於主板10從而使撓性板40之通孔45與主板10之通孔15做壓力接觸，所以可輕易且確實地使通孔15,45相互電性連接。在此情況，因為在彈性構件92的兩側設置用來將單元推壓構件90固定至主板10之螺絲108，所以能以更佳的推壓效果利用彈性構件92來推壓撓性板40。
本發明已參照作為例子之實施形態而說明如上。然而，熟習本技術領域者當可輕易瞭解可在實施形態中的構成元件及處理程序加上各種不同的修改變化。將此修改變化簡單說明如下。
亦可使用檢查輔助具1來檢查分為幾個獨立部分之半導體積體電路的電氣性能。接觸單元30並一定要設有子板60。在此情況，雖然接觸單元30對於在同軸纜線之裝上或拆下時所承受的負荷的抵抗能力較弱，但可減少元件數目。此外，例如同軸連接器50的數目、通孔的數目、用來固定各個部分之螺絲的數目、及定位銷的數目等參數並不限於實施形態中作為例子而說明之特定數目，可根據所需要的性能及設計上的方便性而任意決定。
根據本發明的一個態樣，可提供可輕易附接至例如探針卡之檢查輔助具或拆下，且可抑制檢查輔助具的電氣性能劣化之可交換式接觸單元。
根據本發明的一個態樣，可提供可輕易更換其中的屬於消耗品之撓性板，同時可抑制電氣性能劣化之檢查輔助具。

Claims (18)

  1. 一種可交換式接觸單元，係可附接至檢查輔助具的本體或從檢查輔助具的本體拆下之可交換式接觸單元，包括：撓性板，係設有針對待檢物件設置的接觸部；以及同軸連接器，係直接且電性地連接至該撓性板；該同軸連接器包括：主體部，係與同軸纜線可拆卸地連接；以及腳部，係穿過該撓性板，且直接且電性連接至該撓性板之配線圖案。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之可交換式接觸單元，還包括：支持板，係供該同軸連接器固定至其上。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之可交換式接觸單元，其中，該撓性板係位於該支持板的一面側，該主體部係位於該支持板的另一面側；該腳部係從該主體部延伸出以穿過該支持板及該撓性板，該接觸單元係以讓該撓性板夾在該檢查輔助具之板與該支持板之間之方式而可拆卸地固定至該檢查輔助具的該本體。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之可交換式接觸單元，其中，在該撓性板之與該支持板相反側的面上設置有與該同軸連接器之接地用腳部電性連接且延伸到用來將該撓性板固定至該檢查輔助具的該本體之通孔周圍的區域之接地配線圖案。
  5. 一種檢查輔助具，包括：接觸單元，該接觸單元包含有：撓性板，係設有要與待檢物件接觸的接觸部、及同軸連接器，係直接且電性地連接至該撓性板；主板，係供該接觸單元以可拆卸的方式固定至其上；以及彈壓構件，係組構成對該接觸部施加針對該待檢物件的接觸力，其中，該撓性板及該同軸連接器並未接合至該主板；該同軸連接器包括：主體部，係與同軸纜線可拆卸地連接；以及腳部，係穿過該撓性板，且直接且電性連接至該撓性板之配線圖案。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之檢查輔助具，其中，該接觸單元係設有支持板，且該同軸連接器係固定至該支持板。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之檢查輔助具，其中，該撓性板係夾在該主板與該支持板之間。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之檢查輔助具，其中，該主板、該撓性板及該支持板係藉由緊固元件而相固定，該同軸連接器用的接地配線圖案係分別設在該主板及該撓性板的彼此相向的面上，從而延伸到藉由該緊固元件而固定該主板及該撓性板之處的固定位置周圍，且在該固定位置周圍之區域，該等接地配線圖案係相互做面接觸。
  9. 如申請專利範圍第5至8項中任一項所述之檢查輔助具，還包括：單元推壓構件，係固定至該主板且組構成支持該彈壓構件的一端，其中，該撓性板係位於該主板與該單元推壓構件之間，且該單元推壓構件係設有彈性構件，用來將該撓性板推壓抵頂在該主板上從而使該兩者相互電性連接。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之檢查輔助具，其中，該單元推壓構件係藉由在該彈性構件的兩側之緊固元件而固定至該主板。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之可交換式接觸單元，更包括：作為該接觸部而形成在該撓性板之相同面上的複數個配線圖案。
  12. 如申請專利範圍第11項所述之可交換式接觸單元，其中，該等複數個配線圖案中至少二個係相對於該接觸部配置成對稱。
  13. 如申請專利範圍第1項所述之可交換式接觸單元，其中，該撓性板在該接觸部形成處係包含有位在該撓性板中心的凹部。
  14. 如申請專利範圍第1項所述之可交換式接觸單元，其中，該同軸連接器之腳部包含有用於訊號之一支腳、以及用於接地的四支腳。
  15. 如申請專利範圍第5項所述之檢查輔助具，更包括：作為該接觸部而形成在該撓性板之相同面上的複數個配線圖案。
  16. 如申請專利範圍第15項所述之檢查輔助具，其中，該等複數個配線圖案中至少二個係相對於該接觸部配置成對稱。
  17. 如申請專利範圍第5項所述之檢查輔助具，其中，該撓性板在該接觸部形成處係包含有位在該撓性板中心的凹部。
  18. 如申請專利範圍第5項所述之檢查輔助具，其中，該同軸連接器之腳部包含有用於訊號之一支腳、以及用於接地的四支腳。
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