KR20120132391A - 전기 접속 모듈을 신속하게 분리할 수 있는 테스트 소켓 - Google Patents

전기 접속 모듈을 신속하게 분리할 수 있는 테스트 소켓 Download PDF

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Abstract

테스트 소켓은 테스트 베이스 및 적어도 하나의 전기 접속 모듈을 포함한다. 상기 적어도 하나의 전기 접속 모듈은 테스트 베이스에 분리 가능하게 장착되고 상기 적어도 하나의 전기 접속 모듈 각각은 프레임 및 전기 전도 소자를 가진다. 프레임은 IC를 수용해서 테스트하기 위한 수용 홀을 가진다. 전기 전도 소자는 프레임 아래에 분리 가능하게 장착되어 있다. 장시간 사용 후, 유효하지 않은 전기 접속 모듈 또는 이러한 유효하지 않은 전기 접속 모듈의 전기 전도 소자는, 전기 접속 모듈을 테스트 베이스에서 직접 분리함으로써 새거나 유효한 것으로 신속하고 용이하게 교체될 수 있다. 그러므로 테스트 장치의 유휴 시간 또는 정지 시간이 짧아지므로 테스트 효율성이 향상된다.

Description

전기 접속 모듈을 신속하게 분리할 수 있는 테스트 소켓{TEST SOCKET WITH A RAPIDLY DETACHABLE ELECTRICAL CONNECTION MODULE}
본 발명은 테스트 소켓에 관한 것이며, 특히 전기 접속 모듈을 신속하게 분리할 수 있는 테스트 소켓에 관한 것이다.
수동 또는 자동 테스트 장치에 장착된 테스트 소켓은 집적회로(IC)를 수용해서 테스트하는 데 사용된다. 종래의 테스트 소켓은 테스트 베이스 및 전기 전도 소자를 포함한다. 테스트 베이스는 IC를 수용해서 테스트하기 위한 수용 홀(receiving hole)을 포함한다. 전기 전도 소자는 테스트 베이스의 아래에 장착되어 있고 이때 테스트 베이스는 전기 전도 소자를 고정하기 위해 테스트 장치의 로드 보드(load board)에 나사로 고정되어 있다. 전기 전도 소자는 IC와 로드 보드 사이의 전기 전도 매체로서 기능하며 로드 보드의 대응하는 접촉 패드에 전기적으로 각각 접속되어 있는 복수의 입출력 단자를 포함한다.
테스트할 때, IC는 테스트 베이스의 수용 홀에 놓인 다음 오퍼레이터의 손이나 로봇이 누르게 된다. 이러한 상태 하에서, IC의 하단면상의 입출력 단자(예를 들어, 피, 단자 패드, 볼 단자 등)가 전기 전도 소자의 입출력 단자에 접경하게 되고, 로드 부하 상의 접촉 패드와의 전기 접속을 통해 테스트 장치에 전기적으로 접속된다. 그러므로 테스트 장치는 IC를 테스트하여 IC가 정확하게 기능하는지를 판단할 수 있다.
전기 전도 소자는 반복적으로 압력을 받게 된 후에는 더러워지면서 그 탄성 및 전기적 특성을 잃게 될 것이다. 테스트 결과를 정확하게 하기 위해, 전기 전도 소자를 장시간 동안 사용한 후에는 테스트 장치에서 꺼내서 새거나 유효한 것으로 교체해야 한다. 전기 전도 소자를 교체하는 종래의 단계는 먼저 테스트 장치를 중지시키고, 테스트 베이스를 로드 보드에서 떼어낸 다음, 새거나 유효한 전기 전도 소자를 테스트 베이스에 장착하고 마지막으로 테스트 베이스를 로드 보드에 나사로 다시 조이는 것이다. 일반적으로, 테스트 장치는 교체 시간마다 수 십분 동안 중지되어야만 하므로 테스트 효율성이 떨어진다.
이러한 단점을 극복하기 위해, 본 발명은 전기 접속 모듈을 신속하게 분리하여 전술한 문제를 완화하거나 회피할 수 있는 테스트 소켓을 제공한다.
본 발명의 목적은 전기 접속 모듈을 신속하게 분리할 수 있는 테스트 소켓을 제공하여 테스트 효율성을 높이는 것이다.
전술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 테스트 소켓은 테스트 베이스 및 적어도 하나의 전기 접속 모듈을 포함한다. 테스트 베이스는 상단면, 하단면 및 장착 홀을 포함한다. 장착 홀은 테스트 베이스를 관통하면서 테스트 베이스의 상단면으로부터 하단면으로 연장하여 형성되어 있다. 적어도 하나의 전기 접속 모듈은 테스트 베이스에 분리 가능하게 장착되며 적어도 하나의 전기 접속 모듈 각각은 프레임 및 전기 전도 소자를 포함한다. 프레임은 테스트 베이스의 장착 홀에 분리할 수 있게 장착되고, 상단면, 하단면 및 수용 홀을 가진다. 수용 홀은 프레임을 관통하면서, IC를 수용하고 테스트하기 위해 프레임의 상단면으로부터 하단면으로 연장하여 형성되어 있다. 전기 전도 소자는 프레임의 아래에 분리 가능하게 장착된다.
장시간 사용 후, 유효하지 않은 전기 접속 모듈 또는 이러한 유효하지 않은 전기 접속 모듈의 전기 전도 소자는, 전기 접속 모듈을 테스트 베이스에서 직접 분리함으로써 새거나 유효한 것으로 신속하고 용이하게 교체될 수 있다. 그러므로 테스트 장치의 유휴 시간 또는 정지 시간이 짧아지므로 테스트 효율성이 향상된다.
본 발명의 다른 목적, 이점 및 새로운 특징은 첨부된 도면을 참조하는 이하의 상세한 설명으로부터 더 분명하게 될 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 테스트 소켓의 제1 실시예에 대한 전개 사시도이다.
도 2는 도 1의 테스트 소켓의 확대 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 테스트 소켓의 제2 실시예에 대한 확대 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 테스트 소켓의 제3 실시예에 대한 부분 확대 측면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 테스트 소켓의 제4 실시예에 대한 부분 확대 측면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 전기 접속 모듈의 제5 실시예에 대한 확대 저면도이다.
도 7은 로드 보드 상에 장착되고 수동 테스트 장치에 적용되는 도 1의 테스트 소켓에 대한 사시도이다.
도 8은 로드 보드 상에 장착되고 자동 테스트 장치에 적용되는 도 1의 복수의 테스트 소켓에 대한 사시도이다.
도 9는 IC를 테스트 중인 도 1의 테스트 소켓의 부분 확대 측면도이다.
도 10은 전기 접속 모듈이 새거나 유효한 것으로 교체되는 것을 보여주는 도 1의 테스트 소켓의 동작 측단면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 테스트 소켓(1)은 테스트 베이스(2) 및 적어도 하나의 전기 접속 모듈(3)을 포함한다.
테스트 베이스(2)는 상단면, 하단면, 장착 홀(20), 복수의 로케이팅 홀(21), 복수의 접속 컬럼(22) 및 적어도 하나의 포지셔닝 핀(23)을 포함한다. 장착 홀(20)은 테스트 베이스(2)를 관통하면서 테스트 베이스(2)의 상단면으로부터 하단면으로 연장하여 형성되어 있고, 상부(upper portion), 하부(lower portion) 및 단차 표면(step surface)(201)을 가진다. 상부의 내부 직경은 하부의 내부 직경보다 크다. 단차 표면(201)은 상부와 하부 사이에 형성되어 있다. 로케이팅 홀(21)은 장착 홀(20) 주위에서 테스트 베이스(2)를 각각 관통하여 형성되어 있다. 로케이팅 홀(21)과 로드 보드(4)에 나사를 삽입하여 테스트 베이스(2)를 로드 보드(4)에 고정시킨다(도 7 참조). 접속 컬럼(22)은 테스트 장치를 조립하기 위해 테스트 베이스(2)의 상단면으로부터 각각 연장한다. 적어도 하나의 포지셔닝 핀(23) 각각은 장착 홀(20)의 단차 표면(201)으로부터 연장한다.
적어도 하나의 전기 접속 모듈(3)은 테스트 베이스(2)에 분리 가능하게 장착되고 적어도 하나의 전기 접속 모듈(3) 각각은 프레임(30) 및 전기 전도 소자(31)를 포함한다. 프레임(30)은 테스트 베이스(2)의 장착 홀(20)의 상부에 분리 가능하게 장착되고, 상단면, 하단면, 수용 홀(301) 및 적어도 하나의 포지셔닝 홀(302)을 가진다. 수용 홀(301)은 프레임(30)을 관통하면서, IC(7)를 수용하고 테스트하기 위해 프레임(30)의 상단면으로부터 하단면으로 연장하여 형성되어 있다(도 9 참조). 적어도 하나의 포지셔닝 홀(302) 각각은 프레임(30)의 하단면에 형성되어 테스트 베이스(2)의 대응하는 포지셔닝 핀(23)을 수용한다. 바람직한 실시예에서, 테스트 베이스(2)의 포지셔닝 핀(23)은 철로 만들어져 있고 프레임(30)은 적어도 하나의 자석(34)을 더 가진다. 적어도 하나의 자석(34) 각각은 대응하는 포지셔닝 홀(302) 위에서 프레임(30) 상에 장착되어 테스트 베이스(2)의 포지셔닝 핀(23)을 끌어당기도록 되어 있으며, 이에 따라 프레임(30)이 테스트 베이스(2) 상에 확실하게 고정될 수 있게 된다. 또한, 프레임(30)은 나사 또는 후크 수단을 이용하여 테스트 베이스(2) 상에 고정될 수 있다.
전기 전도 소자(31)는 프레임 아래에 분리 가능하게 장착되고, 테스트 베이스(2)의 장착 홀(20)의 하부에 위치하며 복수의 입출력 단자를 가진다. 전기 전도 소자(31)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 복수의 전도 소자를 가지는 캐리어일 수 있고 도 3에 도시된 바와 같이 복수의 리드 와이어를 가지는 전도성 탄성 중합체일 수 있으며, 도 4에 도시된 바와 같이 복수의 원주형 전도성 조각을 가지는 전도성 탄성 중합체일 수 있으며, 도 5에 도시된 바와 같이 어레이로 배치된 복수의 신축 자재형 전도성 프로브를 가지는 캐리어일 수 있으며, 또는 위로부터 아래로의 전기 접속 기능을 가지는 임의의 다른 소자일 수도 있다. 상기 전도성 소자, 리드 와이어, 전도성 조각 및 전도성 프로브는 입출력 단자로서 사용된다. 전기 전도 소자(31)는, 포지셔닝 핀에 의해, 도 1 및 도 5에 도시된 바와 같은 나사(35)에 의해, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같은 돌출부(304, 311)를 수용하기 위한 오목부(312, 303)에 의해, 도 4에 도시된 바와 같이 전기 전도 소자(31)와 맞물리는 프레임(30)의 후크(305)에 의해, 또는 도 6에 도시된 바와 같이 프레임(30)의 하단면에 장착되어 전기 전도 소자(31)의 측면과 접경하고 있는 탄성 중합체(32)에 의해, 프레임(30) 상에 조정될 수 있다.
도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 테스트 소켓(1)이 수동 테스트 장치에 적용되어 있는데, 전기 전도 소자(31)의 입출력 단자의 하부 단부가 로드 보드(4)의 대응하는 접속 패드에 각각 전기적으로 접속되도록, 테스트 소켓(1)이 수동 테스트 장치의 로드 보드(4)에 고정된다. 도 9를 더 참조하면, IC를 테스트할 때, 오퍼레이터는 IC(7)를 프레임(30)의 수용 홀(301)에 놓은 다음 테스트 소켓(1)을 테스트 커버(5)로 덮고 IC(7)에 압력을 가한다. 이러한 상태 하에서, IC(7)의 하단면상에 있는 입출력 단자는 전기 전도 소자(31)의 입출력 단자와 접경하게 되고 로드 보드(4)와의 전기 접속을 통해 수동 테스트 장치에 전기적으로 접속된다. 그러므로 수동 테스트 장치는 IC(7)를 테스트할 수 있다.
도 8을 참조하면, 본 발명에 따른 복수의 테스트 소켓(1)이 자동 테스트 장치에 적용되어 있는데, 전기 전도 소자(31)의 입출력 단자의 하부 단부가 로드 보드(4)의 대응하는 접속 패드에 각각 전기적으로 접속되도록, 테스트 소켓(1)이 자동 테스트 장치의 로드 보드(4)에 고정된다. 각각의 전기 접속 모듈(3)이 접속 보드(6)의 홀(60)에 대응하도록 테스트 소켓(1)의 테스트 베이스(2)가 접속 보드(6)의 하부에 각각 접속된다. 접속 보드(6)는 자동 테스트 장치의 본체에 장착된다. 도 9를 더 참조하면, IC를 테스트할 때, 각각의 IC(7)를 들어올려 프레임(30)의 대응하는 수용 홀(301)에 놓은 다음 자동 테스트 장치의 로봇에 의해 압력을 가한다. 이러한 상태 하에서, IC(7)의 하단면상에 있는 입출력 단자는 전기 전도 소자(31)의 입출력 단자와 접경하게 되고 로드 보드(4)와의 전기 접속을 통해 자동 테스트 장치에 전기적으로 접속된다. 그러므로 자동 테스트 장치는 IC(7)를 테스트할 수 있다.
전기 전도 소자(30)가 반복적으로 압력을 받게 된 후 더러워지면서 그 탄성 및 전기적 특성을 잃게 되면, 전기 전도 소자(31)를 교체해야 한다. 도 10을 참조하면, 유효하지 않은 전기 전도 소자(31)를 가지는 전기 접속 모듈(3)을 손 또는 로봇을 이용하여 테스트 베이스(2)에서 직접 꺼낸 다음 새로운 또는 유효한 전기 접속 모듈(3)을 테스트 베이스(2)에 장착하거나, 또는 전기 접속 모듈(3)을 테스트 베이스(2)에서 직접 꺼낸 다음 유효하지 않은 전기 전도 소자(31)를 새로운 또는 유효한 전기 전도 소자로 교체하고나서 이 새로운 전기 전도 소자(31)를 가지는 전기 접속 모듈(3)을 테스트 베이스(2)에 다시 장착한다. 결과적으로, 오퍼레이터는 테스트 베이스(2)에서 전기 접속 모듈(3)을 용이하고 신속하게 분리할 수 있고 전기 접속 모듈(3)에서 전기 전도 소자(31)를 분리할 수 있으므로, 테스트 장치의 유휴 시간 또는 정지 시간이 짧아져서 테스트 효율성이 향상된다.
본 발명의 여러 특성 및 이점을 발명의 구조 및 특징에 대한 상세한 사항과 함께 전술한 상세한 설명에서 설명하였으나, 이러한 설명은 예시에 지나지 않는다. 첨부된 청구의 범위에 나타나 있는 용어들을 넓은 의미로 해석하여 본 발명의 원리 내에서 상세한 사항, 특히 부품의 형상, 크기, 및 배치에 대한 변형을 수행할 수 있다.

Claims (10)

  1. 테스트 소켓에 있어서,
    테스트 베이스; 및
    상기 테스트 베이스에 분리 가능하게 장착되어 있는 적어도 하나의 전기 접속 모듈
    을 포함하며,
    상기 테스트 베이스는,
    상단면;
    하단면; 및
    상기 테스트 베이스를 관통하면서 상기 테스트 베이스의 상단면으로부터 하단면으로 연장하여 형성되어 있는 장착 홀
    을 포함하며,
    상기 적어도 하나의 전기 접속 모듈 각각은,
    상기 테스트 베이스의 장착 홀에 분리 가능하게 장착되어 있는 프레임; 및
    상기 프레임의 아래에 분리 가능하게 장착되고 복수의 입출력 단자를 가지는 전기 전도 소자
    를 포함하며,
    상기 프레임은,
    상단면;
    하단면; 및
    상기 프레임을 관통하면서 상기 프레임의 상단면으로부터 하단면으로 연장하여 형성되어 있는 수용 홀
    을 포함하는, 테스트 소켓.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 전기 전도 소자는, 돌출부를 수용하는 오목부에 의해 상기 프레임에 고정되는, 테스트 소켓.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 전기 전도 소자는 후크 수단에 의해 상기 프레임에 고정되는, 테스트 소켓.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 전기 전도 소자는 나사에 의해 상기 프레임에 고정되는, 테스트 소켓.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 전기 전도 소자는, 상기 전기 전도 소자의 측면에 접경하는 탄성 중합체에 의해 상기 프레임의 하단면에 고정되는, 테스트 소켓.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 전기 전도 소자는 포지셔닝 핀에 의해 상기 프레임에 고정되는, 테스트 소켓.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레임은 나사에 의해 상기 테스트 베이스에 고정되는, 테스트 소켓.
  8. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레임은 후크 수단에 의해 상기 테스트 베이스에 고정되는, 테스트 소켓.
  9. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레임은 자석에 의해 상기 테스트 베이스에 고정되는, 테스트 소켓.
  10. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레임은, 적어도 하나의 포지셔닝 홀에 삽입되는 적어도 하나의 포지셔닝 핀에 의해 상기 테스트 베이스에 고정되는, 테스트 소켓.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102105874B1 (ko) * 2019-02-21 2020-04-29 주식회사 티에프이 반도체패키지 테스트용 소켓모듈 및 그를 구비하는 반도체패키지 도킹플레이트
KR102119862B1 (ko) * 2019-02-20 2020-06-05 (주)티에스이 테스트 소켓
KR20200122861A (ko) * 2019-04-19 2020-10-28 주식회사 아이에스시 소켓 보드 조립체
KR102312971B1 (ko) * 2021-07-13 2021-10-14 김상주 결합 구조를 간소화한 테스트 보드용 커넥터

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102119862B1 (ko) * 2019-02-20 2020-06-05 (주)티에스이 테스트 소켓
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