TWI582433B - Kelvin probe and the Kevin test unit with the Kevin probe - Google Patents

Description

克耳文探頭及具備該克耳文探頭之克耳文檢查單元

本發明係有關一種克耳文探頭及具備該克耳文探頭之克耳文檢查單元。

眾所皆知習知之作為用於2端子電路之通電測試的方法，係藉由克耳文連接所形成之測定法(4端子測定法)。於藉由該克耳文連接所形成之測定法中，讓探針各自連接於2端子電路之端子，分別測定電流及電壓。

作為用於藉由克耳文連接所形成之測定法之克耳文檢查單元，譬如可參考專利文獻1所記載者。該克耳文檢查單元係具備複數個由被配置成相互平行之2根探針所構成之克耳文探頭。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本國特開2006-140037號公報

該克耳文探頭係於探針兩端各形成4點接點。惟，該如此之4點接點其形狀較為複雜，故具有不易小型化之問題。

有鑑於前述問題，本發明係以提供一種適於小型化之克耳文探頭及具備該克耳文探頭之克耳文檢查單元為課題。

為解決上述課題，本發明之探針係一種克耳文探頭，其具備有隔著間隔且被配置成平行之第1、第2探針，該第1、第2探針各具有：沿著第1直線伸縮之彈性部；被配置於與該第1直線平行之第2直線上之第1接點；及被配置於該第1直線上之第2接點，該第1、第2接點相互直接導通，且該第1、第2接點之至少一者可透過該彈性部之彈力而支撐為可進行往返移動，於包含該第1、第2直線之平面視圖中，該第1、第2探針之各第1接點係被配置於該第1探針之第1直線及該第2探針之第1直線之間。

根據本發明之探針，於包含第1、第2直線之平面視圖中，第1、第2探針之各第1接點係被配置於第1探針之第2直線及該第2探針之第2直線之間。藉此，以簡單之構造可因應端子之窄間距化，且可獲得適於小型化之克耳文探頭。

作為本發明之實施形態，也可構成為：該彈性部係線圈彈簧，該第1、第2探針係具備：具有被插入到該線圈彈簧之一端的第1插入部及設置該第1接點之第1接觸部的第1柱塞；具有被插入到該線圈彈簧之另一端的第2插入部及設置該第2接點之第2接觸部的第2柱塞。

根據本實施形態，即使將第1、第2探針作成 小型化也可容易獲得設計上所必要之彈簧負載。

根據本實施形態，也可為：該第1、第2柱塞以電鑄法形成之構成。

根據本實施形態，容易獲得適於小型化之克耳文探頭。

根據本實施形態，也可構造為：該彈性部係蛇腹體，其具有複數個直線部及連接有相鄰接之該直線部的圓弧部；該第1、第2探針具有設置有該第1接點之第1接觸部及設置有該第2接點之第2接觸部；該第1、第2接觸部與該彈性部係一體成型。

根據本實施形態，由於第1、第2探針係一體成型，所以可省略組裝步驟且可提高該生產性。

根據本發明之實施形態，也可構成為：該第1、第2探針係以電鑄法形成。

根據本實施形態，可容易獲得適於小型化之克耳文探頭。

根據本發明之實施形態，也可構成為：更進一步具備有讓該第1、第2探針保持成一體之保持部。

根據本實施形態，可藉由保持部讓第1、第2探針保持為一體。藉此，由於能以較高之精度來定位第1、第2探針，所以可容易組裝，且可提高生產性。

本發明之克耳文檢查單元，具備有該克耳文探頭及可收納該克耳文探頭之殼體。

根據本發明之電子裝置，可獲得具備有適於小型化之克耳文探頭之克耳文檢查單元。

1、201、301‧‧‧克耳文檢查單元

2‧‧‧殼體

10‧‧‧殼體本體

11‧‧‧收納部

12‧‧‧接點開口部

20‧‧‧殼蓋

21‧‧‧凹部

22‧‧‧接點開口部

30、230、330‧‧‧克耳文探頭

40、340‧‧‧第1探針

50、350‧‧‧第2探針

60‧‧‧第1柱塞

61‧‧‧被挾持部

62‧‧‧中間部

63‧‧‧接觸部

64‧‧‧導槽

65‧‧‧第1接點

67‧‧‧殼體支撐部

70‧‧‧第2柱塞

71‧‧‧接觸部

72‧‧‧第1彈性片

73‧‧‧第2彈性片

74‧‧‧第2接點

75‧‧‧線圈彈簧支撐部

76‧‧‧導引突起

77‧‧‧接觸突起

80‧‧‧線圈彈簧

360‧‧‧第1接觸部

370‧‧‧第2接觸部

375‧‧‧支撐突起

380‧‧‧蛇腹體

381‧‧‧直線部

382‧‧‧圓弧部

第1圖為表示具備本發明之第1實施形態之克耳文探頭之克耳文檢查單元之其中一例的立體圖。

第2圖為表示沿著第1圖所示之II-II線之剖面圖。

第3圖為表示本發明之第1實施形態之克耳文探頭之立體圖。

第4圖為表示第3圖所示之克耳文探頭之IV箭號視圖。

第5圖為表示第3圖所示之克耳文探頭之V箭號視圖。

第6圖為表示第3圖所示之克耳文探頭之分解立體圖。

第7圖為表示具備本發明之第2實施形態之克耳文探頭之克耳文檢查單元之其中一例的立體圖。

第8圖為表示沿著第7圖所示之VIII-VIII線之剖面圖。

第9圖為表示本發明之第2實施形態之克耳文探頭之立體圖。

第10圖為表示第9圖所示之克耳文探頭之X箭號視圖。

第11圖為表示第9圖所示之克耳文探頭之XI箭號視圖。

第12圖為表示第9圖所示之克耳文探頭之分解立體圖。

第13圖為表示具備本發明之第3實施形態之克耳文探頭之克耳文檢查單元之其中一例的立體圖。

第14圖為表示沿著第13圖所示之XIV-XIV線之剖面圖。

第15圖為表示本發明之第3實施形態之克耳文探頭 之立體圖。

第16圖為表示沿著第15圖所示克耳文探頭之XVI箭號視圖。

第17圖為表示沿著第15圖所示克耳文探頭之XVII箭號視圖。

以下，茲參照附件圖面來說明具備本發明之克耳文探頭之克耳文檢查單元之實施形態。又，於以下說明中，除了說明圖面所示之構造外，雖使用用來表示「上」、「下」、「左」、「右」等方向之用語，及包含此等之其他用語，但使用此等用語之目的係可透過圖面較易理解實施形態。因此，此等之用語並不限定於當實際使用本發明之實施形態時之方向，藉由此等之用語不應解釋限定為記載於專利申請範圍所述之發明之技術範圍。

(第1實施形態)

第1圖為表示具備本發明之第1實施形態之克耳文探頭之克耳文檢查單元之其中一例的立體圖，第2圖為表示沿著第1圖所示之II-II線之剖面圖。

如第1、2圖所示，克耳文檢查單元1具備有：殼體2及被收納於殼體2內之第1實施形態的克耳文探頭30。其中殼體2係以殼體本體10及覆蓋殼體本體之殼蓋20所構成，且於殼體本體10收納有克耳文探頭30。

殼體本體10，如第1圖所示，從俯視中，具有一將正方形之四方的角呈倒角的平面形狀。於該殼體本 體10之大致中央處，設置有一用來收納克耳文探頭30之複數個收納部11。

收納部11係俯視呈圓形狀，其沿著第1圖所示之X、Y方向配置成相互平行且分離。另外，於收納部11之底面，各設置有用來讓克耳文探頭30之其中一端突出之接點開口部12。該接點開口部12係俯視呈比收納部11直徑較小之圓形狀。又，從俯視之中，X方向係與殼體本體10之其中一邊平行之方向，從俯視之中，Y方向係與X方向正交的方向。

殼蓋20，如第1圖所示，於俯視之中，呈與殼體本體10相同之平面形狀。如第2圖所示，於該殼蓋20之底面的大致中央設置有一凹部21。

凹部21具有剖面視圖為矩形狀者，於該底面設置複數個用以使克耳文探頭30之另一端突出之接點開口部22。該接點開口部22係俯視呈圓形狀，且對殼體本體10之收納部11為一對一對應，並與收納部11相同，沿著第1圖所示之X、Y方向相互分離配置。另外，於俯視中，接點開口部22之中心係配置成與對應的殼體本體10之收納部11的中心一致。

第3圖為表示第1實施形態之克耳文探頭30之立體圖。第4圖為表示第3圖所示之克耳文探頭之IV箭號視圖，第5圖為表示第3圖所示之克耳文探頭之V箭號視圖。另外，第6圖為表示第4圖所示之克耳文探頭之立體分解圖。

第1實施形態之克耳文探頭30，如第3~6圖所 示，具備有第1探針40及第2探針50。第1、第2探針40、50各自具有相同構造。因此，關於第2探針50，將引用第1探針40之說明。

如第6圖所示，第1探針40，其係以第1柱塞60、第2柱塞70及線圈彈簧80所構成。第1、第2柱塞60、70各具有導電性，譬如以電鑄法形成。

如第6圖所示，第1柱塞60，具有一延伸成直線狀之平板形狀，且以大致相同之厚度H1來形成。該第1柱塞60係以第1插入部之其中一範例之被挾持部61、連接於被挾持部61之中間部62以及連接於中間部之第1接觸部之其中一範例的接觸部63所構成。又，以與第1柱塞60之厚度H1方向正交之面作為主要面，而將與平行於與此主要面正交之厚度H1方向之面作為側面。

被挾持部61具有一貫通主要面之矩形狀之導槽64。該導槽64係從被挾持部61的前端(茲參考第6圖的下端)，往與中間部62連續之基端(base end)(茲參考第6圖的上端)延伸。另外，該導槽64具有一比第2柱塞70厚度H2還要大的寬度W1。

中間部62係比被挾持部61之寬度W2大且具有一與線圈彈簧80外徑略相同之寬度W3。

接觸點63具有一從該前端(茲參考第6圖的上端)突出之第1接點65。該第1接點65具有從主要面視圖為直角三角形狀者，並被設於位在接觸部63之一側的側面。另外，於接觸部63之基端(茲參考第6圖的下端)側具有一殼體支撐部67。殼體支撐部67係被設置成自與第1接點 65所在之側面對向之另一側的側面突出。設置有接觸部63之殼體支撐部67的部分係具有一大於殼蓋20之接點開口部22之直徑的寬度W4(如第5圖所示)。

如第6圖所示，第2柱塞70，具有一延伸成直線狀之平板形狀，並以略相同之厚度H2形成。該第2柱塞70係以第2接觸部之其中一範例之接觸部71以及被設置於該接觸部71之基端(茲參考第6圖的上端)之第2插入部之其中一範例之第1、第2彈性片72、73所構成。又，將與第2柱塞70之厚度H2方向正交之面作為主要面，將平行於與該主要面正交之厚度H2方向的面作為側面。

接觸部71具有一大致矩形之平板形狀，於該前端(茲參考第6圖的下端)，設置有一從主要面視圖為V字狀的第2接點74。另外，於接觸部71之基端(茲參考第6圖的上端)之側面，突設有一線圈彈簧支撐部75。

第1、第2彈性片72、73，係從接觸部71之基端開始沿著接觸部71之長邊方向，隔著間隔相互地大致平行而延伸。另外，第1、第2彈性片72、73各配置於接觸部71之基端的寬度W5方向兩端，俾具有大於第1柱塞60之厚度H1的間隔。也就是說，第1、第2彈性片72、73係讓外側面間之距離大致等於接觸部71之寬度W5，讓內側面間之距離設置成大於第1柱塞60之厚度H1。再者，第1、第2彈性片72、73之長度不同且第1彈性片72係比第2彈性片73較短。

於第1彈性片72之內側面的前端，沿著第2彈性片73突起設置有一導引突起76。另外，於第2彈性片73 之內側面的前端，沿著第1彈性片72突起設置有一接觸突起77。該接觸突起77，於第1柱塞60之導槽64嵌合有第1彈性片72之導引突起76之狀態下，配置成常時接觸第1柱塞60之被挾持部61。

線圈彈簧80為彈性部之其中一範例，譬如可由碳鋼或不銹鋼來構成。該線圈彈簧80，如第3~5圖所示，具有稍微大於第1柱塞60之被挾持部61的寬度W2(如第6圖所示)及第2柱塞70之寬度W5(如第6圖所示)之內徑。另外，線圈彈簧80係具有與設置第1柱塞60之中間部62之寬度W3(如第6圖所示)及第2柱塞70之線圈彈簧支撐部75的部分之寬度W6(如第5圖所示)大致相同之外徑。

又，線圈彈簧80，如第1、第2圖所示之狀態，也就是說，讓第1柱塞60及第2柱塞70相互組合，於被收納於克耳文檢查單元1之殼體2的狀態下，可調整彈簧長度俾常時被壓縮。

其次，說明有關具備克耳文探頭30之克耳文檢查單元1之組裝步驟。

起先，各自組合第1、第2探針40、50。首先，將第1柱塞60自被挾持部61側至線圈彈簧80之一端側插入線圈彈簧80內部，另一方面，將第2柱塞70自第1、第2彈性片72、73側至線圈彈簧80之另一端側插入線圈彈簧80內部。此時，如第5圖所示，以使第1柱塞60之主要面及第2柱塞70之主要面為正交的方式，插入第1、第2柱塞60、70。

若將第1、第2柱塞60、70插入到線圈彈簧80 內部時，於第2柱塞70之第1、第2彈性片72、73之間插入有第1柱塞60之被挾持部61，被挾持部61會被第1彈性片72和第2彈性片73挾持固定。且，進一步將第1、第2柱塞60、70插入到線圈彈簧80內部時，會讓第2柱塞70之導引突起76嵌合到第1柱塞60之導槽64而連結第1、第2柱塞60、70。藉此，完成第1、第2探針40、50之組裝。

於已被組合之狀態的第1、第2探針40、50中，第2柱塞70之第2彈性片73之接觸突起77係常時與第1柱塞60之被挾持部61的基端側(第6圖之導槽64之上側)接觸。也就是說，於該狀態之第1、第2探針40、50中，第1、第2接點65、74係相互地直接導通。

一旦完成第1、第2探針40、50之組裝，就可將被組裝之第1、第2探針40、50自第2柱塞70側插入殼體本體10之收納部11內而形成克耳文探頭30。此時，如第4圖所示，第1、第2探針40、50係以使第1柱塞60的第1接點65所位於之側面呈對向的方式插入到收納部11內。

也就是說，克耳文探頭30，於第4圖所示之IV箭號視圖之中，於位於第1、第2探針40、50之線圈彈簧80中心線之第1直線L1上，配置有第1、第2探針40、50之第2接點74，於與第1直線L1平行的第2直線L2上，配置有第1、第2探針40、50之第1接點65。另外，第1、第2探針40、50之第2直線L2係被配置於第1、第2探針40、50之第1直線L1之間。

之後，反覆進行組裝第1、第2探針40、50之步驟及將組裝好之第1、第2探針40、50插入到殼體本體 10之收納部11而形成克耳文探頭30的步驟。且，使第1、第2探針40、50插入於殼體本體10所有之收納部11，再使殼蓋20安裝至殼體本體10，如此將完成克耳文檢查單元1之組裝步驟。

接著，將針對被收納於克耳文檢查單元1之克耳文探頭30之動作加以說明。

如第2圖所示，於被收納於克耳文檢查單元1之克耳文探頭30中，包含第1柱塞60之第1接點65的接觸部63的一部分係從殼蓋20的接點開口部22突出。另外，包含第2柱塞70之第2接點74的接觸部71的一部分係從殼體本體10的接點開口部12突出。另外，讓第1、第2探針40、50與殼體本體10之收納部11藉由對應於該收納部11之殼蓋20的接點開口部22，配置成相互隔著間隔且平行。第1、第2探針40、50於如此之初期狀態下，係以各自獨立而不會相互接觸的情況下作動之方式收納到克耳文檢查單元1。

於如此之初期狀態，第1柱塞60係以中間部62來承受線圈彈簧80之回復力，且藉由殼體支撐部67壓接到殼蓋20，第2柱塞70係以線圈彈簧支撐部75來承受線圈彈簧80之回復力，且藉由線圈彈簧支撐部75壓接到殼體本體10。

若於第1、第2探針40、50之第1、第2柱塞60、70的第1、第2接點65、74施加外力，且朝向克耳文檢查單元1之殼體2內推壓第1、第2柱塞60、70，則第2柱塞70之第1彈性片72之導引突起76沿著第1柱塞60之導槽64 開始滑行移動。此時，線圈彈簧80可藉由第1柱塞60之中間部62及第2柱塞70之線圈彈簧支撐部75，來傳達被施加於第1、第2柱塞60、70之外力而逐漸被壓縮。

若朝向克耳文檢查單元1之殼體2內進一步推壓第1、第2柱塞60、70，則會讓第1柱塞60之導槽64與第2柱塞70之導引突起76接觸，而第1、第2柱塞60、70會停止滑行移動。或者，在第1柱塞60之導槽64與第2柱塞70之導引突起76接觸前，第1、第2柱塞60、70的第1、第2接點65、74完全地被推入殼體2內，第1、第2柱塞60、70會停止滑行移動。

第1、第2柱塞60、70之滑行移動停止後，一旦釋放被施加到第1、第2柱塞60、70之第1、第2接點65、74的外力，則藉由線圈彈簧80之回復力，第1柱塞60與第2柱塞70各自朝向殼蓋20與殼體本體10被賦能。藉此，第1、第2柱塞60、70就會回歸到第2圖所示之初期狀態。如此一來，第1柱塞60之第1接點65及第2柱塞70之第2接點74可藉由線圈彈簧80之彈力被支撐為可進行往返移動。

又，第1、第2探針40、50係可藉由對應到該收納部11之殼蓋20之接點開口部22而與殼體本體10之收納部11配置成相互隔著間隔且平行，各自獨立而不會相互接觸的作動。

如第4圖所示，於第1實施形態之克耳文探頭30中，可讓第1、第2探針40、50之第1接點65，從箭號視圖IV，亦即於包含第1直線L1及第2直線L2之平面視圖中 ，係分別被配置於第1探針40之第2直線L2及第2探針50之第2直線L2之間。藉此，可以簡單之構造可因應端子之窄間距化且獲得適用於小型化之克耳文探頭。

另外，第1實施形態之克耳文探頭30，係藉由圈彈簧80而讓第1、第2柱塞60、70之第1、第2接點65、74回復到第2圖所示之初期狀態。因此，即使讓第1、第2探針40、50小型化也可易於獲得設計上所必要的彈簧負載。

另外，於第1實施形態之克耳文探頭30中，第2柱塞70之第2彈片73之接觸突起77，係常時與第1柱塞60之被挾持部61的基端(第6圖之導槽64之上側)接觸。故，於第1、第2柱塞60、70之間可獲得較高之接觸穩定性。

另外，於第1實施形態之克耳文探頭30中，第2柱塞70之導引突起76係可沿著第1柱塞60之導槽64滑行移動。因此，可正確地檢測出第1柱塞60之被挾持部61及第2柱塞70之接觸突起77所接觸之接觸位置。

(第2實施形態)

第7~12圖係表示第2實施形態之克耳文探頭230及具備有第2實施形態之克耳文探頭230之克耳文檢查單元201之其中一例之圖示。於該第2實施形態中，其中於與第1實施形態相同部份者，則附上相同元件符號來省略說明，以下，將針對不同於第1實施形態之相異點加以說明。

具備有第2實施形態之克耳文探頭230之克耳文檢查單元201，如第7圖及第8圖所示，於殼體202之殼蓋220，係設置有俯視為橢圓形狀之接點開口部222，而該 點係不同於具備第1實施形態之克耳文探頭30之檢查單元1。

殼蓋220之接點開口部222，如第7圖及第8圖所示，於俯視時，長軸被配置成具有一往第7圖所示之X方向延伸之橢圓形狀，且沿著第7圖所示之Y方向相互分離。該接點開口部222，於長軸方向中，如第2圖所示，係大於第1、第2探針40、50之接觸部63之寬度W7(如第10圖所示)且於第1、第2探針40、50之接觸部63之寬度W7，具有一小於外加殼體支撐部67之突出長度之寬度W8(如第10圖所示)之直徑。

另外，第2實施形態之克耳文探頭230，具備有一體保持第1、第2探針40、50之保持部90，而該點係不同於第1實施形態之克耳文探頭30。

克耳文探頭230之保持部90係由絕緣性材料所構成，並被設置於第1、第2探針40、50之一側的主要面，且配置成覆蓋第1、第2探針40、50之第1柱塞60的部分接觸部63。藉由該保持部90，第1、第2探針40、50以形成為相互隔著間隔而平行的方式而被保持成一體。

又，保持部90譬如可利用與用於以電鑄法形成第1、第2探針40、50之第1、第2柱塞60、70時之絕緣性構件的相同材料來形成。

如此一來，於第2實施形態之克耳文探頭230，第1、第2探針40、50藉由保持部90被保持為一體。因此，相較於將第1、第2探針40、50各自收納於殼體2之情況，即使小型化也易於收納到殼體2且可容易組合。

另外，於具備有第2實施形態之克耳文探頭230之克耳文檢查單元201，係設置有被一體化之第1、第2探針40、50之一端可突出之接點開口部222。因此，相較於設置有對應到第1、第2探針40、50之各接點的接點開口部之克耳文檢查單元，不但可降低所要形成之接點開口部之數目，同時可形成較大的接點開口部。結果，即使讓克耳文探頭230小型化，也可易於組裝克耳文檢查單元201，且提高其之生產性。

(第3實施形態)

第13圖~第17圖係表示第3實施形態之克耳文探頭330及具備有第3實施形態之克耳文探頭330之克耳文檢查單元301之其中一例之圖示。於該第3實施形態，其中於與第1實施形態相同部份者，將附上相同元件符號來省略說明，以下，將針對不同於第1實施形態之差異點加以說明。

第3實施形態之克耳文探頭330，如第15圖~第17圖所示，具備有第1探針340及第2探針350。第1、第2探針340、350各自具有相同之構造。因此，有關第2探針350，將引用第1探針340之說明。

如第15圖及第16圖所示，第1探針340，具有一延伸成直線狀之平板形狀且以大致相同之厚度H3來加以形成。該第1探針340係以第1接觸部360；第2接觸部370；及連結於第1、第2接觸部360、370之彈性部的其中一範例之蛇腹體380所構成。譬如以電鑄法一體成型。又，將第16圖所示之自箭頭符號XVI方向觀之的面設為主要面，與該主要面正交之面設為側面。

第1接觸部360，具有從該前端(茲參考第16圖的上端)突出之第1接點65，且以大致為相同之寬度W9而形成。另外，於第1接觸部360之基端(茲參考第16圖的下端)之第1直線L1上，連結有蛇腹體380之一端。

第2接觸部370，於該前端(茲參考第16圖的下端)具有一主要面視圖為V字狀的第2接點74，且以大致為相同之寬度W10而形成。另外，於第2接觸部370之基端(茲參考第16圖的上端)之側面，突設有支撐突起375，於第2接觸部370之基端的第1直線L1上，連結有蛇腹體380之另一端。又，第2接觸部370之寬度W10係形成為較第1接觸部360之寬度W9小。另外，支撐突起375，其突出的長度加上第2接觸部370的寬度W10所形成的寬度W11，係形成為大致等於第1接觸部360之寬度W9。

蛇腹體380係以相同之寬度W12形成，具有直線部381及連接有相鄰之直線部381的圓弧部382。直線部381，於第16圖所示之自然狀態中，係被配置成往寬度W12方向平行地延伸。又，蛇腹體380之寬度W12係形成為大致等於第1接觸部360之寬度W9及第2接觸部370之支撐突起部分的寬度W11。

其次，將針對具備有克耳文探頭330之克耳文檢查單元301之組裝步驟加以說明。

首先，從第2接觸部370側將第1、第2探針340、350插入到殼體本體10之收納部11內，而形成克耳文探頭330。

反覆將第1、第2探針340、350插入到殼體本 體10之收納部11內而形成克耳文探頭30之步驟，於殼體本體10所有之收納部11插入第1、第2探針340、350。之後，讓殼蓋20安裝於殼體本體10，就完成克耳文檢查單元301之組合步驟。

此時，如第14圖所示，於被收納到檢查單元301之克耳文探頭330中，包含有第1接點65之第1接觸部360的一部分係從殼蓋20之接點開口部22突出。另外，包含有第2接點74之第2接觸部370的一部分可從殼體本體10之接點開口部12突出。於如此之狀態下，第1、第2探針340、350係被收納到克耳文檢查單元1。

於該初期狀態下，第1、第2探針340、350係藉由第2接觸部370之支撐突起375而被卡合到殼體本體10之收納部11的底面。

接者，將針對被收納到克耳文檢查單元301之克耳文探頭330之動作加以說明。

若將外力施加到初期狀態之第1、第2探針340、350之第1接觸部360的第1接點65，蛇腹體380會被壓縮，而第1接觸部360會朝向克耳文檢查單元301之殼體2內被推入。

一旦外力施加到第1接點65且朝向克耳文檢查單元301之殼體2內進一歩推壓第1接觸部360，則蛇腹體380之相鄰接的直線部381會接觸，而第1接觸部360會停止移動。或者，於蛇腹體380之相鄰接的直線部381接觸之前，第1接觸部360之第1接點65完全地被推入往殼體2內，第1接觸部360會停止移動。

停止第1接觸部360之移動後，一旦釋放施加於第1接觸部360之第1接點65的力，則第1接觸部360會藉由蛇腹體380之回復力，朝向殼蓋20被賦能。藉此，第1接觸部360，就回歸到第14圖所示之初期狀態。如此一來，第1接觸部360之第1接點65可藉由蛇腹體380之彈力被支撐成可進行往返移動。

如此一來，於第3實施形態之克耳文探頭330中，一體形成有第1、第2探針340、350。因此，可省略探針340、350之組合步驟且可提高生產性。另外，即使讓克耳文探頭330小型化，也可易於將探針340、350收納到殼體2內，所以易於來組合克耳文檢查單元301且可提高生產性。

(其他之實施形態)

於第1、第2實施形態中，第1接點65，讓通過該第1接點65之第2直線L2於包含第1直線L1及第2直線L2之平面視圖中，只要位於第1探針40之第1直線L1及第2探針50之第1直線L1之間即可且只要在該範圍內皆可任意來配置。

於第1，第2實施形態中，第1彈性片72之導引突起76係可嵌合到導槽64內且當與導槽64嵌合時，只要將第1，第2柱塞60、70之滑行移動限定於導槽64內即可，形狀，大小等皆可適當選擇。

於第1、第2實施形態中，第2彈性片73之接觸突起77可因應於設計來適當選擇形狀或者大小等。利用改變接觸突起77之形狀等，可調整對第2彈性片73之各被 挾持部之偏置力。

於第1~3實施形態中，雖然係將第1、第2柱塞60、70及第1、第2探針340、350之厚度作成相同，但並不限於此。也可適當改變第1、第2柱塞60、70及第1、第2探針340、350之厚度。另外，也可依據第1、第2柱塞60、70及第1、第2探針340、350之部分的不同而作成不同厚度。

第1~3實施形態之第1、第2柱塞60、70及第1、第2探針340、350，也可因應於設計，進行鍍敷，塗布等之表面處理。

第1~3實施形態之第1、第2柱塞60、70及第1、第2探針340、350，雖係以電鑄法形成，但並不限於此。只要可形成第1~3實施形態之第1、第2柱塞60、70及第1、第2探針340、350的方法的話，皆可任意選擇。

第1、第2實施形態中，雖於第1柱塞60設置具有導槽64的被挾持部61，於第2柱塞70設置有第1、第2彈性片72、73，但並不限於此。譬如於第1、第2實施形態中，也可在第1柱塞設置第1、第2彈性片，在第2柱塞設置具有導槽的被挾持部。

從線圈彈簧80之兩端各插入第1、第2實施形態之第1、第2柱塞60、70時，只要能夠相互滑行移動且導通的話，就不限於具有導槽64之被挾持部61及第1、第2彈性片72、73的組合，可採用任意構造。

第1~3實施形態及變形例中所述之構成要素，可適當組合，又，當然也可適當選擇、置換或者刪除。

[產業上之可利用性]

本發明之克耳文探頭及克耳文檢查單元，譬如可適用於半導體積體電路及半導體裝置等之檢查。

40‧‧‧第1探針

50‧‧‧第2探針

60‧‧‧第1柱塞

61‧‧‧被挾持部

62‧‧‧中間部

63‧‧‧接觸部

64‧‧‧導槽

65‧‧‧第1接點

67‧‧‧殼體支撐部

70‧‧‧第2柱塞

71‧‧‧接觸部

72‧‧‧第1彈性片

73‧‧‧第2彈性片

74‧‧‧第2接點

75‧‧‧線圈彈簧支撐部

76‧‧‧導引突起

77‧‧‧接觸突起

80‧‧‧線圈彈簧

W1、W2、W3、W4、W5‧‧‧寬度

H1、H2‧‧‧厚度

Claims (6)

1. 一種克耳文探頭，係具備有隔著間隔且被配置成平行之第1、第2探針，該第1、第2探針各具有：彈性部，沿著第1直線伸縮；第1接點，被配置於與該第1直線平行之第2直線上；及第2接點，被配置於該第1直線上，該第1、第2接點相互直接導通，且該第1、第2接點之至少一者可藉由該彈性部之彈力而被支撐為可進行往返移動，於包含該第1、第2直線之平面視圖中，該第1、第2探針之各第1接點係被配置於該第1探針之第1直線及該第2探針之第1直線之間，該彈性部係線圈彈簧，該第1、第2探針具備第1柱塞及第2柱塞：該第1柱塞具有被插入到該線圈彈簧之一端的第1插入部、及設置有該第1接點之第1接觸部，該第1插入部為被挾持部；該第2柱塞具有被插入到該線圈彈簧之另一端的第2插入部、及設置有該第2接點之第2接觸部，該第2插入部為第1、第2彈性片；該第1接點在該平面視圖中呈三角形狀，並被設於位在該第1接觸部之一側的側面。
2. 如請求項1之克耳文探頭，其中該第1、第2柱塞係以電 鑄法形成。
3. 如請求項1之克耳文探頭，其中該彈性部係蛇腹體，該蛇腹體具有複數個直線部及連接相鄰接之該直線部的圓弧部；該第1、第2探針具有設置有該第1接點之第1接觸部及設置有該第2接點之第2接觸部；該第1、第2接觸部與該彈性部係一體成型。
4. 如請求項3之克耳文探頭，其中該第1、第2探針係以電鑄法形成。
5. 如請求項1至4中任一項之克耳文探頭，其中進一步具備有將該第1、第2探針保持成一體之保持部。
6. 一種克耳文檢查單元，具備有請求項1至5中任一項之克耳文探頭及殼體，該克耳文探頭收納於該殼體，該殼體係由殼體本體及覆蓋該殼體本體之殼蓋所構成。