TWI586966B - Probe and electronic device with probe - Google Patents

Description

探針及具備探針的電子裝置

本發明係有關一種探針及具備此探針的電子裝置。

就半導體裝置或LSI(Large Scale Integration；大型積體電路)等而言，於其製造工序中，使用具備探針的電子裝置進行通電試驗，以進行是否能正常運作之確認。此通電試驗所用的電子裝置，一般採用所謂兩端接點是沿著同一直線往復移動的直線型探針。

然而，前述的通電試驗係以探針將半導體裝置等之檢查對象物和檢查裝置電性連接而進行。但是伴隨著檢查裝置及檢查對象物的多樣化，難以將檢查對象物和檢查裝置進行直線地連接，難以用直線型的探針來對應的情況增加。關於解決此種課題的一個方法，有提案一種兩端的接點分別沿著不同直線往復移動之所謂的偏移型探針。

前述偏移型的探針方面，例如，有專利文獻1所記載者。此探針具備：和外部端子接觸之接觸部、和接觸 部連接之蛇腹形狀的彈性部、和彈性部連接之連接部、及設置於連接部之連接端子。而且，接觸部和連接端子是以不在同一直線上往復移動之方式透過連接部將連接端子偏移，亦即挪移。

先前技術文獻 專利文獻

專利文獻1 日本國特開2004-138405號公報

然而，就前述的探針而言，當小型化時彈性部的間隔窄，若欲獲得足夠的行程(stroke)則彈性部變長，故而有所謂不適於小型化的問題。

本發明有鑒於前述問題，以提供一種適合於小型化的探針，及具備此探針的電子裝置為課題。

本發明的探針為解決前述課題而具備如下構成：沿著中心線伸縮的至少1個螺旋彈簧；配置在平行於前述中心線的第1直線上的第1接點；及配置在和前述中心線一致的第2直線上的第2接點，且前述第1、第2接點係藉由前述螺旋彈簧的彈簧力被支持成可往復移動並相互地直接導通。

依據本發明的探針，具備：沿著中心線伸縮的至少1個螺旋彈簧；配置在平行於中心線的第1直線上的第1接點；及配置在和中心線一致的第2直線上的第2接點，且第1、第2接點係藉由螺旋彈簧的彈簧力被支持成可往復移動並相互地直接導通。藉此，可獲得適合於小型化的探針。

作為本發明的實施形態，亦可建構成具備：1個前述螺旋彈簧；第1柱塞，其具有：第1插入部，沿著前述第2直線設置且被插入前述螺旋彈簧的一端；第1接觸部，具有前述第1接點；中間部，以和前述第1插入部及前述第1接觸部交叉的方式連結；及支持部，設於前述第1插入部和前述中間部之間且與前述螺旋彈簧的中心線方向的一端接觸；及第2柱塞，其具有：第2插入部，被插入前述螺旋彈簧的另一端且沿著前述第2直線設置；第2接觸部，具有前述第2接點；及支持部，設於前述第2插入部和前述第2接觸部之間且與前述螺旋彈簧的中心線方向的另一端接觸。

依據本實施形態，第1柱塞具有以與第1插入部及第1接觸部交叉的方式連結的中間部。藉此，可獲得適合於小型化的探針。

作為本發明的實施形態，亦可建構成：前述第1插入部及前述第1接觸部與前述中間部是以大於0度且45度以下的角度交叉。

依據本實施形態，相較於第1插入部及第1接觸部和中間部是以大於45度的角度交叉的探針，可在將探針收納於檢查單元的外殼時不干涉鄰接的其他探針之下窄化可配置的間隔。又，在已收納於檢查單元的外殼之狀態下將第1柱塞朝外殼內推壓時，可減低施加於第1柱塞的負載，可獲得具有按照設計的動作特性之探針。

作為本發明的實施形態，亦可建構成：前述中間部是具有彎曲的形狀。

依據本實施形態，可將中間部建構成彎曲的形狀。因此，可增大探針的設計自由度。

作為本發明的實施形態，亦可建構成：具備沿著2條平行的中心線伸縮的第1、第2螺旋彈簧，前述第1螺旋彈簧的中心線是前述第1直線，前述第2螺旋彈簧的中心線是前述第2直線。

依據本實施形態，由於具備2個螺旋彈簧，所以相較於具有1個螺旋彈簧的探針，可獲得高的彈簧荷重。

作為本發明的實施形態，亦可建構成：具備：第1柱塞，具有：第1插入部，沿著前述第1直線設置且被插入前述第1螺旋彈簧的一端；第1接觸部，備有配置在前述第1直線上的前述第1接點；及支持部，設於前述第1插入部和前述第1接觸部之間且與前述第1螺旋彈簧的中心線方向的一端接觸；第2柱塞，具有：第2插入部，沿著前述第2直線設置且被插入前述第2螺旋彈簧的一端；第2接觸部，備有配置在前述第2直線上的前述第2接點；及支持部，設於前述第2插入部和前述第2接觸部之間且與前述第2螺旋彈簧的中心線方向的一端接觸；及第3柱塞，具有：第3插入部，沿著前述第1直線設置且被插入前述第1螺旋彈簧的另一端；第4插入部，沿著前述第2直線設置且被插入前述第2螺旋彈簧的另一端；及中間部，以和前述第3插入部及前述第4插入部交叉的方式連結。

依據本實施形態，具備第3柱塞，其具有：第3插入部，沿著第1直線設置且被插入第1螺旋彈簧的另一端；第4插入部，沿著第2直線設置且被插入第2螺旋彈簧的另一端；及中間部，以和第3插入部及第4插入部交叉的方式連結。藉此，可獲得適合於小型化的探針。

作為本發明的實施形態，亦可建構成：前述第3插入部及前述第4插入部與前述中間部是以大於0度且45度以下的角度交叉。

依據本實施形態，與第3插入部及第4接觸部和中間部是以大於45度的角度交叉的探針相較下，在將探針收納於檢查單元的外殼時，可在不干涉鄰接的其他探針之下窄化可配置的間隔。又，在已收納於檢查單元的外殼之狀態下將第1、第2柱塞朝外殼內推壓時，可減低施加於第3柱塞的負載，藉此，可獲得具有按照設計的動作特性之探針。

作為本發明的實施形態，亦可建構成：前述柱塞是具有比前述螺旋彈簧高的剛性。

依據本實施形態，可獲得具有按照設計的動作特性之探針。

作為本發明的實施形態，亦可建構成：前述柱塞是利用電鑄法所形成。

依據本實施形態，可易於獲得適合於小型化的探針。

又，本發明的電子裝置具備前述探針和可收納此探針的外殼，前述第1、第2柱塞是藉由前述螺旋彈簧，而分別朝前述外殼偏置。

依據本發明的電子裝置，可獲得具備適合於小型化的探針之電子裝置。

1、201、301、401、501‧‧‧檢查單元(電子裝置)

10‧‧‧外殼本體

11‧‧‧凹部

12‧‧‧收納部

13‧‧‧接點開口部

20、420‧‧‧外殼蓋

21‧‧‧凹部

22‧‧‧接點開口部

423‧‧‧收納部

30、230、330、430、530‧‧‧探針

40、140、240‧‧‧第1柱塞

41‧‧‧被挾持部(第1插入部)

42‧‧‧中間部

43‧‧‧接觸部(第1接觸部)

44‧‧‧導引溝

45‧‧‧螺旋彈簧支持部(支持部)

46‧‧‧接點(第1接點)

47‧‧‧外殼支持部

50‧‧‧第2柱塞

51‧‧‧接觸部(第2接觸部，請求 項8中為第1接觸部)

52‧‧‧第1彈性片(第2插入部、 請求項8中為第1插入部與 第2插入部)

53‧‧‧第2彈性片(第2插入部、請求項8中為第1插入部與第2插入部)

54‧‧‧接點(第2接點、請求項8中為第1接點與第2接點)

55‧‧‧螺旋彈簧支持部(支持部)

56‧‧‧導引突起

57‧‧‧接觸突起

60‧‧‧螺旋彈簧

61‧‧‧螺旋彈簧

62‧‧‧螺旋彈簧

70‧‧‧第1柱塞

80‧‧‧第2柱塞

90、190‧‧‧第3柱塞

91‧‧‧第1被挾持部(第3插入部)

92、192‧‧‧中間部

93‧‧‧第2被挾持部(第4插入部)

A1‧‧‧被挾持部41的中心線(第2直線)

A2‧‧‧中間部42的中心線

A3‧‧‧接觸部43的中心線(第1直線)

A4‧‧‧接觸部51、第1被挾持部91的中心線

A5‧‧‧中間部92的中心線

A6‧‧‧接觸部51、第2被挾持部93的中心線

A7‧‧‧中間部242的中心線

A8‧‧‧中間部192的中心線

C1‧‧‧螺旋彈簧60的中心線

C4‧‧‧螺旋彈簧61的中心線(第1直線)

C6‧‧‧螺旋彈簧62的中心線(第2直線)

圖1具備本發明第1實施形態的探針之檢查單元的一例之斜視圖。

圖2顯示移除圖1所示的檢查單元之一部份後的狀態之斜視圖。

圖3沿著圖1的III-III線之剖面圖。

圖4本發明第1實施形態的探針之斜視圖。

圖5圖4所示的探針之V箭號視圖。

圖6圖4所示的探針之VI箭號視圖。

圖7圖4所示的探針之分解斜視圖。

圖8具備本發明第2實施形態的探針之檢查單元的一例之斜視圖。

圖9顯示移除圖8所示的檢查單元之一部份後的狀態之斜視圖。

圖10本發明第2實施形態的探針之斜視圖。

圖11圖10所示的探針之XI箭號視圖。

圖12圖10所示的探針之XII箭號視圖。

圖13圖10所示的探針之分解斜視圖。

圖14具備本發明第3實施形態的探針之檢查單元的一例之斜視圖。

圖15顯示移除圖14所示的檢查單元之一部份後的狀態之斜視圖。

圖16本發明第3實施形態的探針之斜視圖。

圖17圖16所示的探針之XVII箭號視圖。

圖18圖16所示的探針之XVIII箭號視圖。

圖19圖16所示的探針之分解斜視圖。

圖20具備本發明第4實施形態的探針之檢查單元的一例之斜視圖。

圖21顯示移除圖20所示的檢查單元之一部份後的狀態之斜視圖。

圖22沿著圖20所示的XXII-XXII線之剖面圖。

圖23本發明第4實施形態的探針之斜視圖。

圖24圖23所示的探針之XXIV箭號視圖。

圖25圖23所示的探針之XXV箭號視圖。

圖26圖23所示的探針之分解斜視圖。

圖27具備本發明第5實施形態的探針之檢查單元的一例之斜視圖。

圖28顯示移除圖27所示的檢查單元之一部份後的狀態之斜視圖。

圖29本發明第5實施形態的探針之斜視圖。

圖30圖29所示的探針之XXX箭號視圖。

圖31圖29所示的探針之XXXI箭號視圖。

圖32圖29所示的探針之分解斜視圖。

以下，參照附件圖面來說明具備本發明的探針之檢查單元的實施形態。此外，在以下的說明中，在說明圖面所呈現的構成上，使用表示「上」、「下」、「左」、「右」等方向之用語及含有其等之別的用語，使用其等用語之 目的係為了透過圖面能更容易理解實施形態。因此，其等用語不限於表示本發明的實施形態被實際使用時的方向者，不應藉由其等用語來限定解釋申請專利範圍所記載之發明的技術範圍。

(第1實施形態)

圖1係具備本發明第1實施形態的探針之檢查單元的一例之斜視圖，圖2係顯示移除圖1所示的檢查單元之一部份後的狀態之斜視圖，圖3係沿著圖1的III-III線之剖面圖。

如圖1~圖3所示，作為電子裝置的一例之檢查單元1係具備：外殼及收納在外殼內之第1實施形態的探針30。外殼係利用外殼本體10和覆蓋外殼本體10的外殼蓋20所構成，於外殼本體10收納有探針30。

外殼本體10係如圖2所示，於俯視圖中具有正方形的四方的角倒角之平面形狀。於此外殼本體10的上表面的大致中央設有凹部11。

在凹部11的底面，設有複數個用以收納探針30之收納部12。此收納部12在從外殼本體10的上面所見的平面視圖中具有圓形狀，沿著圖2所示的X、Y方向彼此分離地配置。又，在收納部12的底面分別設有用以使探針30的一端突出的接點開口部13。此接點開口部13 在俯視圖中，具有比收納部12小的徑。此外，X方向在俯視圖中係和外殼本體10的一邊平行的方向，Y方向係和X方向正交的方向。

外殼蓋20係如圖1所示，於俯視圖中具有和外殼本體10相同平面形狀。如圖3所示，在此外殼蓋20之底面的大致中央設有凹部21。

凹部21係具有和外殼本體10的凹部11相同形狀的開口，以於外殼本體10安裝有外殼蓋20的狀態下和外殼本體10的凹部11是一致的方式配置。又，在此凹部21的底面設有複數個用以使探針30的另一端突出的接點開口部22。此接點開口部22係和外殼本體10的凹部11的收納部12同樣，沿著圖2所示的X、Y方向彼此分離地配置。又，如圖3所示，接點開口部22，係以於外殼本體10安裝有外殼蓋20的狀態下，通過接點開口部22的中心而和外殼蓋20的上表面正交之直線，是與通過設於外殼本體10的底面之接點開口部13的中心而和外殼本體10的底面正交之直線平行，且具有間隔L1的方式配置。

圖4係第1實施形態的探針30之斜視圖。圖5係圖4的探針的V箭號視圖，圖6係圖4的探針的VI箭號視圖。又，圖7係圖4的探針的分解斜視圖。

第1實施形態的探針30係如圖4~圖7所示，備有第1柱塞40、第2柱塞50、及螺旋彈簧60。第1、第2柱塞40、50係各自具有導電性，例如以電鑄法形成。

如圖7所示，第1柱塞40具有：被挾持部41；和被挾持部41連接之中間部42、及和中間部連接之接觸部43，以大致相同的厚度H1所形成。此外，被挾持部41為第1插入部的一例，接觸部43為第1接觸部的一例。

被挾持部41係具有矩形的平板形狀，在其寬廣面設有矩形狀的導引溝44。此導引溝44係從被挾持部41的前端(圖7的下端)朝向與中間部42連接的基端(圖7的上端)延伸。又，如圖7所示，導引溝44具有比第2柱塞50的厚度H2還大的寬度W7。

中間部42係在相對於被挾持部41之長邊方向的45度方向延伸。亦即，如圖5所示，被挾持部41的中心線A1和中間部42的中心線A2係呈θ1=45度角。於中間部42的被挾持部41側，設有和螺旋彈簧60的一端(圖7的上端)接觸之支持部的一例的螺旋彈簧支持部45。此螺旋彈簧支持部45具有比被挾持部41的寬度W1還大的寬度W2。又，在中間部42的接觸部43側設有外殼支持部47。此外，如圖3所示，殼支持部47係從接觸部43 的寬度W3方向的兩側突出，具有比外殼蓋20的接點開口部22的直徑還大的寬度W6。此外，被挾持部41的中心線A1係和螺旋彈簧60的中心線C1一致。

接觸部43係具有大致呈矩形的平板形狀，在其前端設有作為第1接點的一例之具有倒V字形狀的接點46。此接觸部43係相對於被挾持部41之長邊方向平行地延伸，且在相對於中間部42之長邊方向的45度方向延伸。亦即，如圖5所示，被挾持部41的中心線A1與接觸部43的中心線A3係平行，且中間部42的中心線A2與接觸部43的中心線A3係呈θ2=45度角，中間部42是以與被挾持部41和接觸部43斜向交叉的方式被連結。此外，圖7所示的接觸部43的寬度W3係具有和被挾持部41的寬度W1大致相同的尺寸。

如圖7所示，第2柱塞50係具有接觸部51和設於此接觸部51的基端(圖7的上端)之第1、第2彈性片52、53，以大致相同的厚度H2形成。此外，接觸部51為第2接觸部的一例，第1、第2彈性片52、53為第2插入部的一例。

接觸部51係具有大致呈矩形的平板形狀，在其前端(圖7的下端)設有作為第2接點的一例之具有V字形狀的接點54。又，在接觸部51的基端，和螺旋彈簧60的另一端(圖7的下端)接觸之支持部的一例的螺旋彈簧支持部55是突設於接觸部51的寬度W4方向的兩側。

此外，接觸部51係其接點54被配置在第1柱塞40的被挾持部41的中心線A1上。亦即，如圖5所示，在平行於螺旋彈簧60的中心線C1的第1直線即接觸部43的中心線A3上，配置有作為第1接點之第1柱塞40的接點46，在和螺旋彈簧60的中心線C1一致的第2直線即接觸部51的中心線A1上，配置有作為第2接點之第2柱塞50的接點54。

第1、第2彈性片52、53係從接觸部51的基端(圖7的上端)沿著接觸部51的長邊方向隔有間隔而相互平行地延伸。又，第1、第2彈性片52、53係以具有比第1柱塞40的厚度H1還大的間隔之方式分別被配置在接觸部51的基端的寬度W4方向的兩端。亦即，於接觸部51的寬度W4方向，第1、第2彈性片52、53係以外向面間的距離和接觸部51的寬度W4大致相等，內向面間的距離比第1柱塞40的厚度H1大的方式設置。再者，第1、第2彈性片52、53係長度不同，第1彈性片52比第2彈性片53短。

在第1彈性片52的前端，導引突起56是朝向第2彈性片53突設。又，在第2彈性片53的前端，接觸突起57是朝第1彈性片52突設。此接觸突起57係以在第1柱塞40的導引溝44嵌合有第1彈性片52的導引突起56的狀態下，始終接觸於第1柱塞40的被挾持部41之方式配置。

螺旋彈簧60係例如由碳鋼或不鏽鋼所構成，如圖5、圖6所示，具有比起第1柱塞40的被挾持部41的寬度W1(圖7所示)及第2柱塞50的寬度W4(圖7所示)稍大的內徑。又，螺旋彈簧60係具有和第1柱塞40的螺旋彈簧支持部45的寬度W2(圖7所示)及設有第2柱塞50的螺旋彈簧支持部55的部分的寬度W5(圖7所示)大致相同的外徑。

此外，螺旋彈簧60在圖3所示的狀態，亦即以在第1柱塞40與第2柱塞50相互組合並收納於檢查單元1的外殼之初期狀態中成為被壓縮的狀態之方式調整彈簧長度。

接著，針對具備第1實施形態的探針30之檢查單元1的組裝工序作說明。

一開始，將探針30組裝。首先，從螺旋彈簧60的一端側向螺旋彈簧60的內部，將第1柱塞40自被挾持部41側插入，另一方面，從螺旋彈簧60的另一端側向螺旋彈簧60的內部，將第2柱塞50自第1、第2彈性片52、53側插入。此時，第1、第2柱塞40、50係如圖6所示，以第1柱塞40的寬廣面和第2柱塞50的寬廣面正交之方式被插入。

當將第1、第2柱塞40、50往螺旋彈簧60的內部繼續插入時，第1柱塞40的被挾持部41被插入於第2柱塞50的第1、第2彈性片52、53之間，被挾持部41是由第1彈性片52和第2彈性片53所挾持。接著，當將第1、第2柱塞40、50再繼續朝螺旋彈簧60的內部插入時，第2柱塞50的導引突起56被嵌合於第1柱塞40的導引溝44使第1、第2柱塞40、50被連結。藉此，結束探針30的組裝。就已被組裝的狀態的探針30而言，第2柱塞50的第2彈性片53的接觸突起57始終和第1柱塞40的被挾持部41的基端側(圖7的導引溝44的上側)接觸著。

當探針30的組裝一完了，將此探針30從第2柱塞50側向外殼本體10的收納部12插入。之後，反復組裝探針30之工序及將已組裝的探針30插入外殼本體10的收納部12之工序，當外殼本體10的所有的收納部12被探針30插入時，外殼蓋20被安裝於外殼本體10，檢查單元1的組裝工序終了。

接著，針對收納於檢查單元1之探針30的動作作說明。

初期狀態的探針30係如圖3所示，在第1柱塞40的接點46從外殼蓋20的接點開口部22突出，第2柱塞 50的接點54從外殼本體10的接點開口部13突出的狀態下被收納於檢查單元1的外殼。於此初期狀態中，第1柱塞40係利用螺旋彈簧支持部45承受螺旋彈簧60的復歸力而透過外殼支持部47被壓接於外殼蓋20。又，第2柱塞50係利用螺旋彈簧支持部55承受螺旋彈簧60的復歸力而透過螺旋彈簧支持部55被壓接於外殼本體10。

此外，第1柱塞40的接觸部43的中心線A3係與通過外殼蓋20的接點開口部22的中心和外殼蓋20的上表面正交的直線一致，第1柱塞40的被挾持部41(第2柱塞50的接觸部51)的中心線A1係與通過外殼本體10的收納部12的中心和外殼本體10的底面正交的直線一致。

當第1、第2柱塞40、50的接點46、54被推壓，第1、第2柱塞40、50被朝向檢查單元1的外殼內推入，則第1彈性片52的導引突起56沿著第1柱塞40的導引溝44開始滑移。此時，第1柱塞40的接點46沿著接觸部43的中心線A3移動，第2柱塞50的接點54沿著接觸部51的中心線A1移動。又，螺旋彈簧60透過第1柱塞40的螺旋彈簧支持部45及第2柱塞50的螺旋彈簧支持部55被傳達施加於第1、第2柱塞40、50的力而被壓縮。

當將第1、第2柱塞40、50朝檢查單元1的外殼內再推入時，第1柱塞40的導引溝44與第2柱塞50的導引突起56接觸，或是第1柱塞40的接點46及第2柱塞50的接點54被推入外殼內，第1、第2柱塞40、50停止滑移。之後，當釋放施加於第1、第2柱塞40、50的接點46、54的力時，藉由螺旋彈簧60的復歸力，第1柱塞40係朝向外殼蓋20，第2柱塞50係朝向外殼本體10分別被偏置，復歸成圖3所示的初期狀態。如此，第1柱塞40的接點46及第2柱塞50的接點54係透過螺旋彈簧60的彈簧力被支持成可往復移動。

在第1實施形態的探針30中，第1、第2柱塞40、50各自具有比螺旋彈簧60高的剛性，將第1、第2柱塞40、50的移動量藉由螺旋彈簧60吸收。因此，即使第1柱塞40的接點46和第2柱塞50的接點54不在同一直線上，亦可將施加於各接點46、54的力照原樣傳送於螺旋彈簧60。

此外，較佳為，被挾持部41的中心線A1及接觸部43的中心線A3與中間部42的中心線A2所成的角θ1、θ2係大於0度且為45度以下。當被挾持部41的中心線A1及接觸部43的中心線A3與中間部42的中心線A2所成的角θ1、θ2超過45度時，在第1柱塞被朝外殼內推壓時，施加於第1柱塞40的負載(彎曲力距)變大。因此，導致被挾持部41和中間部42的連結部分變形，第 1柱塞和外殼本體的凹部的表面接觸，無法獲得探針在設計上必要的荷重之可能性變高。

在第1實施形態的探針30的第1柱塞40中，被挾持部41的中心線A1與接觸部43的中心線A3係平行，且被挾持部41的中心線A1及接觸部43的中心線A3與中間部42的中心線A2是分別呈45度角。因此，在第1柱塞40是被朝向外殼內推壓時，可減低施加於第1柱塞40的負載，可避免第1柱塞40與外殼本體10的凹部11的表面之接觸。藉此，可獲得具有按照設計的動作特性之探針30。又，例如，與被挾持部41的中心線A1及接觸部43的中心線A3與中間部42的中心線A2是呈90度角之情況相比，在將探針30收納於檢查單元1的外殼時，可在不和干涉鄰接的其他探針30之下將可配置的間隔窄化。

又，在第2柱塞50的導引突起56被嵌合於第1柱塞40的導引溝44而成為組裝狀態的探針30中，第2柱塞50的第2彈性片53的接觸突起57始終和第1柱塞40的被挾持部41的基端側(圖7的導引溝44的上側)接觸著。因此，在第1、第2柱塞40、50之間可獲得高的接觸穩定性。

又，第1、第2柱塞40、50的移動係透過第2柱塞50的導引突起56沿著導引溝44滑移來進行。因此，可 正確地檢測出第1柱塞40的被挾持部41與第2柱塞50的接觸突起57會接觸的接觸位置。

又，第1實施形態的探針30係藉由螺旋彈簧60使第1、第2柱塞40、50的接點46、54復歸成圖3所示的初期狀態。因此，即便將探針30小型化亦變得容易獲得在探針30的設計上必要之彈簧的荷重。再者，因為可縮短第1、第2柱塞40、50間的導通路徑，故相較於具有柱塞是蛇腹形狀的彈性部之探針，可減低導通時的阻力。

(第2實施形態)

圖8~圖13係顯示第2實施形態的探針230及具備第2實施形態的探針230的檢查單元201的一例之圖。在此第2實施形態中，賦予和第1實施形態相同的部分相同的參考編號並省略說明，針對和第1實施形態的相異點作說明。此外，檢查單元201係電子裝置的一例。

第2實施形態的探針230係如圖10~圖13所示，第1柱塞140的中間部242是在有關相對於被挾持部41之長邊方向的90度方向延伸，且接觸部43是在相對於中間部142之長邊方向的90度方向延伸這點上與第1實施形態的探針30不同。亦即，探針230建構成：被挾持部41的中心線A1和中間部242的中心線A7呈θ1=90度角，中間部242的中心線A7和接觸部43的中心線A3呈θ2=90度角。

如此，由於第1柱塞240具有θ1=90度，θ2=90度的中間部242，故可抑制圖11所示的探針230的長度L3並拉長第1柱塞240的接點46與第2柱塞50的接點54之間的距離L4。

此外，在第2實施形態的探針230中，第1柱塞140係具有導電性，例如以電鑄法形成。

又，在第2實施形態的探針230中，於既將探針230收納於檢查單元201的外殼內之初期狀態，中間部242接觸於外殼蓋20。亦即，第1柱塞240係承接螺旋彈簧60的復歸力而透過中間部242被壓接於外殼蓋20。因此，並無設置相當於第1實施形態的探針30的外殼支持部47的構成。

(第3實施形態)

圖14~圖19係顯示第3實施形態的探針330及具備第3實施形態的探針330的檢查單元301的一例之圖。在此第3實施形態中，賦予和第1實施形態相同的部分相同的參考編號並省略說明，針對和第1實施形態的相異點作說明。此外，檢查單元301係電子裝置的一例。

第3實施形態的探針330係如圖16~圖19所示，第1柱塞340的中間部342在圖16的XVII視圖中具有波形的平面形狀(亦即，彎曲的形狀)，這點與第1實施形態不同。

中間部342係由連接於被挾持部41之第1彎曲部347、及連接於第1彎曲部347且連接於接觸部43之第2彎曲部348所構成。第1、第2彎曲部347、348係建構成：在圖17所示的Z方向，第1彎曲部347的頂點P1及第2彎曲部348的頂點P2是位在中間部342的螺旋彈簧支持部45和外殼支持部47之間。

如此，由於將第1、第2彎曲部347、348的頂點P1，P2配置在外殼支持部47和螺旋彈簧支持部45之間，所以在推壓第1柱塞340的接點46而將第1柱塞340推入檢查單元301的外殼內時，即便中間部342彈性變形，亦可避免外殼本體10的凹部11，或，外殼蓋20的凹部21的表面與中間部342接觸。

此外，在第3實施形態的探針330中，第1柱塞340係具有導電性，例如以電鑄法形成。

(第4實施形態)

圖20~圖26係顯示第4實施形態的探針430及具備第4實施形態的探針430的檢查單元401的一例之 圖。在此第4實施形態中，賦予和第1實施形態相同的部分相同的參考編號並省略說明，針對和第1實施形態的相異點作說明。此外，檢查單元401係電子裝置的一例。

檢查單元401係如圖20~圖22所示，備有外殼本體10、覆蓋外殼本體10的外殼蓋420、及收納於外殼本體10內的第4實施形態的探針430。利用外殼本體10和外殼蓋420構成外殼。

外殼蓋420係如圖20所示，於俯視圖中具有和外殼本體10相同的平面形狀。此外殼蓋420係如圖22所示，在其底面的大致中央，具有用以收納探針430的複數個收納部423。此收納部423係在將外殼蓋420從底面方向觀看的平面視圖中具有圓形狀，沿著圖21所示的X、Y方向彼此分離地配置。又，於此收納部423的底面設置各個接點開口部22。此接點開口部22具有比收納部423小的徑。又，如圖22所示，接點開口部22，係以於外殼本體10安裝有外殼蓋420的狀態下，通過接點開口部22的中心而和外殼蓋420的上表面正交之直線，是與通過設於外殼本體10的底面之接點開口部13的中心而和外殼本體10的底面正交之直線平行，且具有間隔L2的方式配置。

第4實施形態的探針430係如圖23~圖26所示，具備第1柱塞70、第2柱塞80、第3柱塞90、及第1、第2螺旋彈簧61、62。第1~第3柱塞70、80、90係各自具有導電性，例如以電鑄法形成。

第1、第2柱塞70、80係如圖26所示，具有接觸部51和第1、第2彈性片52、53，且具有和第1實施形態的第2柱塞50相同的形狀及構成。此外，第1柱塞70的接觸部51、接點54及第1、第2彈性片52、53係分別為第1接觸部、第1接點及第1插入部的一例，第2柱塞80的接觸部51、接點54及第1、第2彈性片52、53係分別為第2接觸部、第2接點及第2插入部的一例。又，第1柱塞70的接觸部51的中心線A4係和第1螺旋彈簧61的中心線C4一致，第2柱塞80的接觸部51的中心線A6係和第2螺旋彈簧62的中心線C6一致。

如圖26所示，第3柱塞90具有第1被挾持部91、連接於第1被挾持部91之中間部92、及連接於中間部92之第2被挾持部93。第1、第2被挾持部91、93係具有和第1實施形態的第1柱塞40的被挾持部41相同形狀及構成，相互平行地延伸。亦即，第1被挾持部91的中心線A4與第2被挾持部93的中心線A6係呈平行。此外，第1被挾持部91為第3插入部的一例，第2被挾持部93為第4插入部的一例。

中間部92係以和第1、第2被挾持部91、93斜交叉的方式被連結。亦即，如圖24所示，第1、第2被挾持部91、93的中心線A4，A6與中間部92的中心線A5是呈θ=45度角。又，在中間部92的兩端分別設置螺旋彈簧支持部45。

其次，針對具備第4實施形態的探針430之檢查單元401的組裝工序作說明。

首先，從第1螺旋彈簧61的一端側向其內部，將第1柱塞70從第1、第2彈性片52、53側插入，從第1螺旋彈簧61的另一端側向其內部，插入第3柱塞90的第1被挾持部91。又，從第2螺旋彈簧62的一端側向其內部，將第2柱塞80從第1、第2彈性片52、53側插入，從第2螺旋彈簧62的另一端側向其內部，插入第3柱塞90的第2被挾持部93。此時，第1、第2柱塞70、80與第3柱塞90係如圖25所示，以第1、第2柱塞70、80的寬廣面與第3柱塞90的寬廣面正交之方式被插入。

當將第1~第3柱塞70、80、90分別朝第1、第2螺旋彈簧61、62的內部插入時，第3柱塞90的第1被挾持部91被插入第1柱塞70的第1、第2彈性片52、53之間，第1被挾持部91被第1柱塞70的第1、第2彈性片52、53所挾持。又，第3柱塞90的第2被挾持部93被插入第2柱塞80的第1、第2彈性片52、53之 間，第2被挾持部93被第2柱塞80的第1、第2彈性片52、53所挾持。然後，當將第1~第3柱塞70、80、90再繼續朝第1、第2螺旋彈簧61、62的內部插入時，第1柱塞70的第1彈性片52的導引突起56被嵌合於第3柱塞90的第1被挾持部91的導引溝44，第2柱塞80的第1彈性片52的導引突起56被嵌合於第3柱塞90的第2被挾持部93的導引溝44而組裝探針430。

當探針430被組裝時，將此探針430插入外殼本體10的收納部12。然後，反復組裝探針430及將已組裝的探針430插入外殼本體10的收納部12之工序，當探針430插入外殼本體10的所有的收納部12時，外殼蓋420被安裝於外殼本體10，檢查單元401的組裝工序終了。

接著，針對被收納於檢查單元401之狀態的探針430的動作作說明。

如圖22所示，收納於檢查單元401之初期狀態的探針430為，在第1柱塞70的接點54從外殼蓋420的接點開口部22突出，第2柱塞80的接點54從外殼本體10的接點開口部13突出的狀態下，被收納於檢查單元401的外殼。在此初期狀態中，第1柱塞70係利用螺旋彈簧支持部55承受第1螺旋彈簧61的復歸力而透過螺旋彈簧支持部55被壓接於外殼蓋420。又，第2柱塞80係利用螺旋彈簧支持部55承受第2螺旋彈簧62的復歸力而透過螺旋彈簧支持部55被壓接於外殼本體10。

此外，第1柱塞70的中心線A4係與通過外殼蓋420的收納部423的中心和外殼蓋420的上表面正交的直線一致，第2柱塞80的中心線A6係與通過外殼本體10的收納部12的中心和外殼本體10的底面正交的直線一致。

當推壓第1、第2柱塞70、80的接點54將第1、第2柱塞70、80朝檢查單元401的外殼內推入時，第1、第2柱塞70、80的第1彈性片52的導引突起56沿著第3柱塞90的導引溝44開始滑移。此時，第1柱塞70的接點54係沿著第1柱塞70的中心線A4移動，第2柱塞50的接點54係沿著第2柱塞80的中心線A6移動。第1、第2螺旋彈簧61、62透過第1、第2柱塞70、80的螺旋彈簧支持部55被傳達施加於第1、第2柱塞70、80的力而被壓縮。

當將第1、第2柱塞70、80朝檢查單元401的外殼內再推入時，第1柱塞70的導引突起56與第3柱塞90的第1被挾持部91的導引溝44接觸，第2柱塞80的導引突起56與第3柱塞90的第2被挾持部93的導引溝44接觸，或者，藉由第1柱塞40的接點46及第2柱塞50的接點54被推入外殼內而使第1、第2柱塞70、80的移動停止。之後，當釋放施加於第1、第2柱塞70、80的接點54之力時，藉由第1、第2螺旋彈簧61、62 的復歸力，第1柱塞70係朝向外殼蓋420，第2柱塞80係朝向外殼本體10而分別被偏置，復歸成圖22所示的初期狀態。如此，第1、第2柱塞70、80的接點54係係透過螺旋彈簧61、62的彈簧力被支持成可往復移動。

在第4實施形態的探針430中，因為具有2個螺旋彈簧61、62，故相較於具有1個螺旋彈簧的探針，可獲得高的彈簧荷重。

又，在第4實施形態的探針430中，第1~第3柱塞70、80、90各自具有比螺旋彈簧61、62高的剛性，將第1~第3柱塞70、80、90的移動量藉由螺旋彈簧61、62吸收。因此，即使第1、第2柱塞70、80的接點54不在同一直線上，亦可將施加於各接點54的力照原樣傳達於螺旋彈簧61、62。

(第5實施形態)

圖27~圖32係顯示第5實施形態的探針530及具備第5實施形態的探針530的檢查單元501的一例之圖。在此第5實施形態中，賦予和第1、第4實施形態相同的部分相同的參考編號並省略說明，針對和第4實施形態不同點作說明。此外，檢查單元501係電子裝置的一例。

第5實施形態的探針530係如圖29~圖32所示，第3柱塞190的中間部192是在有關相對於第1、第2被挾持部91、93之長邊方向的90度方向延伸這點與第4實施形態不同。亦即，第1、第2被挾持部91、93的中心線A4，A6與中間部192的中心線A8呈θ=90度角。

如此，由於第3柱塞190具有θ=90度的中間部192，故可抑制圖30所示的探針530的長度L3並拉長第1柱塞70的接點54與第2柱塞80的接點54之間的距離L4。

此外，在第5實施形態的探針530中，第3柱塞190係具有導電性，例如以電鑄法形成。

(其他實施形態)

在第1~第5實施形態中，第1彈性片52的導引突起56係為可嵌合於導引溝44，且和導引溝44嵌合時能將各柱塞的滑移限制在導引溝44內者即可，形狀，大小等可適宜作選擇。

在第1~第5實施形態中，第2彈性片53的接觸突起57係可因應設計而適宜地選擇形狀或大小等。透過變更接觸突起57之形狀等，可調整第2彈性片53對各被挾持部之偏置力。

在第1~第5實施形態中，將第1彈性片52與第2彈性片53之長度的差L2形成為具有與導引溝44之長度L1大致相同尺寸，但不受此所限。第1彈性片與第2彈性片之長度的差係導引溝的長度以上即可，能適宜地變更。

在第1~第5實施形態中，雖各柱塞的厚度設成相同，但不受此所限。各柱塞的厚度亦可適宜變更。又，亦能作成依各柱塞的部分而厚度不同。

第1~第5實施形態的各柱塞亦可因應設計進行鍍敷、塗布等之表面處理。

第1~第5實施形態的各柱塞係以電鑄法形成，但不受此所限。只要為可形成第1~第5實施形態的各柱塞之方法即可，可任意地選擇。

在第1~第5實施形態中，將接點46、54設置在接觸部43、51的中心，但不受此所限。可設於接觸部43、51的一端的任意位置。

在第1~第3實施形態中，於第1柱塞40設置被挾持部41，於第2柱塞50設置第1、第2彈性片52、53，在第4、第5實施形態中，於第1、第2柱塞70、80設置第1、第2彈性片52、53，於第3柱塞90設置第1、 第2被挾持部91、93，但不受此所限。例如，在第1~第3實施形態中，亦可在第1柱塞設置第1、第2彈性片，在第2柱塞設置被挾持部，在第4、第5實施形態中，亦可在第1、第2柱塞設置被挾持部，在第3柱塞90設置第1、第2彈性片。

又，在可能的情況，於第1~第3實施形態，亦可在第2柱塞50設置中間部42及接觸部43，於第4、第5實施形態，亦可在第1、第2柱塞70、80設置中間部42及接觸部43。

就本發明的探針而言，在插入部方面，係組合被挾持部41及第1、第2彈性片52、53作使用，但不受此所限。若係從螺旋彈簧的兩端插入時可相互滑移且能導通的插入部，則可任意地採用。

在第1~第5實施形態及變形例所述之構成要素係可適宜組合，又，當然亦可適宜地選擇、置換或刪除。

[產業上可利用性]

本發明的探針係例如可適用於IC用測試插座等之電子裝置。

40‧‧‧第1柱塞

41‧‧‧被挾持部

42‧‧‧中間部

43‧‧‧接觸部

44‧‧‧導引溝

45‧‧‧螺旋彈簧支持部

46‧‧‧接點

47‧‧‧外殼支持部

50‧‧‧第2柱塞

51‧‧‧接觸部

52‧‧‧第1彈性片

53‧‧‧第2彈性片

54‧‧‧接點

55‧‧‧螺旋彈簧支持部

56‧‧‧導引突起

57‧‧‧接觸突起

60‧‧‧螺旋彈簧

W1~W7‧‧‧寬度

H1~H2‧‧‧厚度

Claims (10)

1. 一種探針，具備：沿著中心線伸縮的至少1個螺旋彈簧；第1接點，配置在平行於前述中心線的第1直線上；及第2接點，配置在和前述中心線一致的第2直線上，且前述第1、第2接點係藉由前述螺旋彈簧的彈簧力被支持成可往復移動並相互地直接導通，其中該探針具備：1個前述螺旋彈簧；第1柱塞，其具有：第1插入部，沿著前述第2直線設置且被插入前述螺旋彈簧的一端；第1接觸部，具有前述第1接點；中間部，以和前述第1插入部及前述第1接觸部交叉的方式連結；及支持部，設於前述第1插入部和前述中間部之間且與前述螺旋彈簧的中心線方向的一端接觸；及第2柱塞，其具有：第2插入部，被插入前述螺旋彈簧的另一端且沿著前述第2直線設置；第2接觸部，具有前述第2接點；及支持部，設於前述第2插入部和前述第2接觸部之間且與前述螺旋彈簧的中心線方向的另一端接觸，前述中間部具有彎曲的形狀。
2. 如請求項1之探針，其中前述第1插入部及前述第1接觸部與前述中間部是以大於0度且45度以下的角度交叉。
3. 如請求項1之探針，其中前述第1、第2柱塞各自具有比前述螺旋彈簧還高 的剛性。
4. 如請求項1之探針，其中前述第1、第2柱塞是利用電鑄法所形成。
5. 如請求項1之探針，其中具備沿著2條平行的中心線伸縮的第1、第2螺旋彈簧，前述第1螺旋彈簧的中心線是前述第1直線，前述第2螺旋彈簧的中心線是前述第2直線。
6. 如請求項5之探針，其中具備：第1柱塞，具有：第1插入部，沿著前述第1直線設置且被插入前述第1螺旋彈簧的一端；第1接觸部，備有配置在前述第1直線上的前述第1接點；及支持部，設於前述第1插入部和前述第1接觸部之間且與前述第1螺旋彈簧的中心線方向的一端接觸；第2柱塞，具有：第2插入部，沿著前述第2直線設置且被插入前述第2螺旋彈簧的一端；第2接觸部，備有配置在前述第2直線上的前述第2接點；及支持部，設於前述第2插入部和前述第2接觸部之間且與前述第2螺旋彈簧的中心線方向的一端接觸；及第3柱塞，具有：第3插入部，沿著前述第1直線設置且被插入前述第1螺旋彈簧的另一端；第4插入部，沿著前述第2直線設置且被插入前述第2螺旋彈簧的另一端；及中間部，以和前述第3插入部及前述第4插入部交叉的方式連結。
7. 如請求項6之探針，其中 前述第3插入部及前述第4插入部與前述中間部是以大於0度且45度以下的角度交叉。
8. 如請求項5之探針，其中前述第1、第2、第3柱塞各自具有比前述螺旋彈簧還高的剛性。
9. 如請求項5之探針，其中前述第1、第2、第3柱塞是利用電鑄法所形成。
10. 一種電子裝置，具備如請求項1至9中任一項之探針，及收納此探針的外殼，前述第1、第2柱塞是藉由前述螺旋彈簧而朝向前述外殼偏置。