TWI697677B - 檢查單元以及檢查裝置 - Google Patents

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Abstract

一種檢查單元以及檢查裝置，所述檢查單元包括沿著第一方向排列配置的第一檢查治具及第二檢查治具，第一檢查治具及第二檢查治具分別具有：接觸件，於兩端部分別設置有可接觸檢查對象物的第一接點部與可接觸檢查裝置的第二接點部；以及殼體，於第一接點部露出至外部的狀態下將接觸件收納於內部。第一檢查治具及第二檢查治具的至少一者以可沿著第一方向移動的方式配置，且於使檢查對象物自第二方向接近各個第一接點部的狀態下，使第一檢查治具及第二檢查治具的至少一者沿著第一方向移動，藉此各個第一接點部於第一方向上接觸檢查對象物。

Description

檢查單元以及檢查裝置
本揭示是有關於一種檢查單元以及包括該檢查單元的檢查裝置。
於相機或液晶面板等電子零件模組中，通常於其製造步驟中進行導通檢查及動作特性檢查等。該些檢查藉由使用探針，將用於與電子零件模組中所設置的本體基板連接的可撓性印刷電路(Flexible Printed Circuit，FPC)接觸電極或被安裝的基板對基板連接器等的電極部與檢查裝置連接來進行。
作為進行此種檢查的治具，例如有專利文獻1中所記載的電子零件用插座(socket)。該電子零件用插座包括：電極部，具有可與電子零件的電極端子及被連接電子零件的電極端子分別接觸的一對接點(contact)；以及插座本體，將該電極收納於內部。於所述電子零件用插座中，以如下方式構成：電極部沿著將一對接點連結的排列方向進行伸縮，藉此各接點沿著該排列方向進行往返移動，而於所述排列方向上與電子零件的電極端子及被連接電子零件的電極端子接觸。
[現有技術文獻]
[專利文獻]
專利文獻1：日本專利特開2002-134202號公報
近年來，伴隨檢查裝置及檢查對象物的多樣化，各接點沿著同一方向接近檢查對象物，並於其接近方向上進行接觸的所謂的直線型的所述電子零件用插座難以應對的情況增加。
例如，顯示模組的檢查有時於在顯示面板上配置有電極部的狀態下進行。若於此種檢查中使用所述電子零件用插座，則一側的接於接近方向上接觸顯示面板上的電極部，另一側的接點接觸檢查裝置，但若顯示面板包含如有機電激發光(Electroluminescence，EL)般的強度弱的材料，則當所述探針於接近方向上接觸時過度的力作用於顯示器上，顯示面板有可能破裂。
本揭示的目的在於提供一種可使接觸件的接點部在與對於檢查對象物的接近方向不同的方向上接觸的檢查單元、以及包括該檢查單元的檢查裝置。
本揭示的一例的檢查單元包括沿著第一方向排列配置的第一檢查治具及第二檢查治具，所述第一檢查治具及第二檢查治具分別具有：接觸件，於兩端部分別設置有可接觸檢查對象物的第一接點部與可接觸檢查裝置的第二接點部；以及 殼體，於所述第一接點部露出至外部的狀態下將所述接觸件收納於內部；所述第一檢查治具及所述第二檢查治具的至少一者以可沿著所述第一方向移動的方式配置，且於使所述檢查對象物自第二方向相對地接近各個所述第一接點部的狀態下，使所述第一檢查治具及所述第二檢查治具的至少一者沿著所述第一方向移動，藉此各個所述第一接點部於所述第一方向上接觸所述檢查對象物，所述第二方向與所述第一方向交叉。
另外，本揭示的一例的檢查裝置包括至少一個所述檢查單元。
根據所述檢查單元，第一檢查治具及第二檢查治具的至少一者以可沿著第一方向移動的方式配置，於使檢查對象物自第二方向接近各個第一接點部的狀態下，使第一檢查治具及第二檢查治具的任一者沿著第一方向移動，藉此各個第一接點部於第一方向上接觸檢查對象物。藉此，可實現可使接觸件的第一接點部在與對於檢查對象物的第二方向(即，接近方向)不同的第一方向上接觸的檢查單元。
另外，根據所述檢查裝置，藉由所述檢查單元，可實現可應對檢查裝置及檢查對象物的多樣化的檢查裝置。
1:檢查單元
2:第一檢查治具
3:第二檢查治具
4、5、6:間隙
10:接觸件
11:第一接點部
12:第二接點部
13:直線帶部
14:彎曲帶部
20:殼體
21:收納部
22、23:開口部
30:可動部
41:第一移動限制部
42:第二移動限制部
100:基板
101:端子
110:基板對基板連接器
111:電極部
112:凹部
113:底面
X:第一方向
Y:第二方向
Z:第三方向
A、B、C:方向
圖1是表示本揭示的一實施方式的檢查單元的立體圖。
圖2是沿著圖1的II-II線的剖面圖。
圖3是用於說明使基板對基板連接器接觸圖1的檢查單元時的動作的第一示意圖。
圖4是用於說明使基板對基板連接器接觸圖1的檢查單元時的動作的第二示意圖。
圖5是用於說明使基板對基板連接器接觸圖1的檢查單元時的動作的第三示意圖。
圖6是用於說明使基板對基板連接器接觸圖1的檢查單元時的動作的第四示意圖。
圖7是表示圖1的檢查單元的第一變形例的剖面圖。
圖8是表示圖1的檢查單元的第二變形例的立體圖。
圖9是沿著圖8的IX-IX線的剖面圖。
圖10是表示圖1的檢查單元的第三變形例的立體圖。
圖11是沿著圖10的XI-XI線的剖面圖。
以下，按照隨附圖式對本揭示的一例進行說明。再者，於以下的說明中，視需要使用表示特定的方向或位置的用語(例如包含「上」、「下」、「右」、「左」的用語)，但該些用語的使用是為了使參照圖式的本揭示的理解變得容易，本揭示的技術範圍並不由該些用語的含義來限定。另外，以下的說明本質上只不過是 例示，並不意圖限制本揭示、其適用物、或其用途。進而，圖式是示意性的圖，各尺寸的比率等未必與現實者一致。
如圖1所示，本揭示的一實施方式的檢查單元1包括第一檢查治具2及第二檢查治具3，如圖2所示，第一檢查治具2及第二檢查治具3沿著第一方向X空開間隙4而排列配置。
如圖2所示，第一檢查治具2及第二檢查治具3分別具有導電性的接觸件10、及將該接觸件10收納於內部的絕緣性的殼體20。於該檢查單元1中，作為一例，如圖1所示，第一檢查治具2及第二檢查治具3分別具有多個在與第一方向X正交的第二方向Y上延伸的棒狀的接觸件10。各檢查治具2、檢查治具3的接觸件10沿著與第一方向X及第二方向Y正交的第三方向Z，等間隔地配置成一行。
如圖2所示，各接觸件10具有分別設置於其延伸方向的兩端部的第一接點部11及第二接點部12。第一接點部11以可接觸檢查對象物(例如，配置於顯示面板上的基板對基板連接器110的電極部111)的方式構成，第二接點部12以可接觸設置於檢查裝置的基板100的表面上的端子101的方式構成。
再者，於該實施方式中，檢查裝置的基板100及基板對基板連接器110以基板100的端子101與基板對基板連接器110的電極部111在Y方向上相向的方式配置。另外，雖然未圖示，但顯示面板相對於基板對基板連接器110，配置於檢查裝置的基板100的第二方向Y上的相反側。即，基板對基板連接器110位於 顯示面板與檢查裝置的基板100之間。
如圖2所示，各殼體20於其內部具有可收納接觸件10的多個收納部21。於各收納部21的第二方向Y的兩端部分別設置有開口部22、開口部23。各接觸件10以其兩端部從開口部22、開口部23朝殼體20的外部突出，且各接點部11、接點部12露出至殼體20的外部的狀態被收納於各收納部21中。即，於所述檢查單元1中，除第一接點部11以外，第二接點部12亦露出至殼體20的外部。
另外，如圖2所示，檢查單元1包括配置於第一檢查治具2與第二檢查治具3之間的間隙4中，並與第一檢查治具2的殼體20及第二檢查治具3的殼體20連接的可動部30。該可動部30具有於第一方向X上進行伸縮的彈性構件(例如螺旋彈簧)，以可使第一檢查治具2及第二檢查治具3分別於第一方向X上獨立地進行進退移動的方式構成。
再者，於該實施方式中，伴隨各檢查治具2、檢查治具3的移動，具有端子101的基板100亦分別於第一方向X上獨立地進行進退移動，所述端子101為各檢查治具2、檢查治具3的接觸件10的第二接點部12所接觸。
進而，如圖2所示，檢查單元1於第一方向X上，包括與第一檢查治具2及第二檢查治具3排列配置的第一移動限制部41及第二移動限制部42。作為一例，第一移動限制部41及第二移動限制部42分別包含絕緣性的剛體。
於第一方向X上，第一移動限制部41空開間隙5而配置於相對於第一檢查治具2的第二檢查治具3的相反側，第二移動限制部42空開間隙6而配置於相對於第二檢查治具3的第一檢查治具2的相反側。即，在第一移動限制部41與第二檢查治具3之間配置有第一檢查治具2，在第二移動限制部42與第一檢查治具2之間配置有第二檢查治具3。
如圖2所示，第一移動限制部41限制第一檢查治具2於第一方向X上且朝遠離第二檢查治具3的方向(即，圖2的向左)的移動。另外，第二移動限制部42限制第二檢查治具3於第一方向X上且朝遠離第一檢查治具2的方向(即，圖2的向右)的移動。
再者，於所述檢查單元1中，作為一例，第一移動限制部41及第二移動限制部42被固定於檢查裝置的基板100上。
繼而，參照圖3~圖6，對使所述檢查單元1的各第一接點部11與檢查對象物(例如，基板對基板連接器110的電極部111)連接時的動作進行說明。再者，基板對基板連接器110具有於第二方向Y上開口的兩個凹部112，於該凹部112的第一方向X上的外側面上分別設置有電極部111。
首先，如圖3所示，針對第一檢查治具2及第二檢查治具3，施加第一方向X且使兩者相互接近的方向的外力，使各檢查治具2、檢查治具3對抗可動部30的彈力而分別朝箭頭A方向移動，而使各檢查治具2、檢查治具3的接觸件10的第一接點部 11與基板對基板連接器110的兩個凹部112相向。
然後，如圖4所示，使基板對基板連接器110於第二方向Y上且朝接近檢查單元1的方向(即，圖4的箭頭B方向)移動，如圖5所示，使各檢查治具2、檢查治具3的接觸件10的第一接點部11位於基板對基板連接器110的凹部112的內部且不接觸凹部112的底面113的插入位置上。
此時，能夠以第一接點部11一面接觸凹部112於第一方向X上相向的一對側面的一者，一面移動至凹部112內的插入位置為止的方式，使基板對基板連接器110相對地接近檢查單元1，亦能夠以第一接點部11不接觸凹部112於第一方向X上相向的一對側面的一者而移動至凹部112內的插入位置為止的方式，使基板對基板連接器110相對地接近檢查單元1。
若各檢查治具2、檢查治具3的接觸件10的第一接點部11移動至插入位置為止，則釋放施加至各檢查治具2、檢查治具3中的外力，藉由可動部30的彈性構件的復原力來使各檢查治具2、檢查治具3於第一方向X上且朝相互分離的方向(即，圖5的箭頭C方向)分別移動。藉此，如圖6所示，各檢查治具2、檢查治具3的接觸件10的第一接點部11移動至接觸基板對基板連接器110的電極部111的接觸位置為止，檢查單元1與基板對基板連接器110被電性連接。
於所述檢查單元1中，第一檢查治具2及第二檢查治具3以分別可沿著第一方向X移動的方式排列配置，於使基板對基 板連接器110自第二方向Y接近各個第一接點部11的狀態下，使第一檢查治具2及第二檢查治具3沿著第一方向X移動，藉此各個第一接點部11於第一方向X上接觸基板對基板連接器110。藉此，可使接觸件10的第一接點部11在與對於基板對基板連接器110的第二方向Y(即，接近方向)不同的第一方向X上接觸，因此於接近方向上過度的力不會經由基板對基板連接器110而作用於顯示面板上，能夠實現可防止顯示面板的破損的檢查單元1。
另外，所述檢查單元1進而包括使第一檢查治具2及第二檢查治具3於第一方向X上移動的可動部30。藉由該可動部30，可容易地使第一檢查治具2及第二檢查治具3於第一方向X上移動。
另外，可動部30與第一檢查治具2的殼體20及第二檢查治具3的殼體20連接，具有於第一方向X上進行伸縮的彈性構件。藉此，可於第一方向X上，將各檢查治具2、檢查治具3的接觸件10的第一接點部11按壓於基板對基板連接器110的電極部111上，因此可提高第一接點部11與基板對基板連接器110之間的接觸可靠性。
另外，所述檢查單元1於第一方向X上，進而包括與第一檢查治具2及第二檢查治具3排列配置的第一移動限制部41，在第一移動限制部41與第二檢查治具3之間配置第一檢查治具2，藉由第一移動限制部41來限制第一檢查治具2於第一方向X上且朝遠離第二檢查治具3的方向的移動。例如，當第一檢查治 具2於第一方向X上且朝遠離第二檢查治具3的方向移動時，可藉由第一移動限制部41來防止第一檢查治具2的接觸件10的第一接點部11被施加過剩的力而導致第一檢查治具2的接觸件10破損。
另外，所述檢查單元1於第一方向X上，進而包括與第一移動限制部41、第一檢查治具2及第二檢查治具3排列配置的第二移動限制部42，在第二移動限制部42與第一檢查治具2之間配置第二檢查治具3，藉由第二移動限制部42來限制第二檢查治具3於第一方向X上且朝遠離第一檢查治具2的方向的移動。例如，當第二檢查治具3於第一方向X上且朝遠離第一檢查治具2的方向移動時，可藉由第二移動限制部42來防止第二檢查治具3的接觸件10的第一接點部11被施加過剩的力而導致第二檢查治具3的接觸件10破損。
再者，各移動限制部41、移動限制部42與各檢查治具2、檢查治具3的殼體20之間的各間隙5、間隙6以如下方式構成：確保各接觸件10的第一接點部11與基板對基板連接器110的電極部111之間的接觸壓力，並可防止第一檢查治具2的接觸件10的第一接點部11被施加過剩的力而導致第一檢查治具2的接觸件10破損。例如，各間隙5、間隙6的第一方向X的尺寸能夠以處於如下的範圍內的方式構成，所述範圍是將第一接點部11以接觸基板對基板連接器110的凹部112的側面的狀態插入時的第一方向X上的第一接點部11與凹部112的側面之間的最短距離以上、 基板對基板連接器110的凹部112的第一方向X的尺寸以下的範圍。
另外，根據所述檢查裝置，藉由所述檢查單元1，可實現可應對檢查裝置及檢查對象物的多樣化的檢查裝置。
再者，第一檢查治具2及第二檢查治具3只要至少一者以可沿著第一方向X移動的方式配置即可。例如，如圖7所示，亦可將第一檢查治具2固定於檢查裝置的基板100上，在第二檢查治具3與第二移動限制部42之間設置可動部30。於此情況下，可動部30以使第一檢查治具2及第二檢查治具3的至少任一者(於圖7中，第二檢查治具3)沿著第一方向X移動的方式構成。再者，於圖7中所示的檢查單元1中，省略第一移動限制部41。
第一檢查治具2及第二檢查治具3的各接觸件10只要於兩端部分別設置有可接觸檢查對象物的第一接點部11與可接觸檢查裝置的第二接點部12即可，可對應於檢查單元1的設計等，使用任意的結構的接觸件10。例如，如圖8及圖9所示，亦可使用具有於第一方向X上延長的直線帶部13、及與直線帶部13連接的彎曲帶部14交替地連續的蛇行形狀的接觸件10。另外，例如第一接點部11及第二接點部12分別可對應於檢查裝置或檢查對象物的各種形態，適宜變更形狀及位置等。
可動部30、第一移動限制部41及第二移動限制部42亦可省略。例如，當省略了可動部30時，用戶可手動地使第一檢查治具2及第二檢查治具3分別移動，藉此使各第一接點部11於 第一方向X上接觸基板對基板連接器110的電極部111。
可動部30並不限定於在第一方向X上進行伸縮的彈性構件，可採用可使第一檢查治具2及第二檢查治具3的至少一者於第一方向X上移動的任意的結構。另外，可動部30並不限定於與第一檢查治具2的殼體20及第二檢查治具3的殼體20連接的情況，例如，可動部30亦可與連接有第一檢查治具2的第二接點部12的檢查裝置的基板100、及連接有第二檢查治具3的第二接點部12的檢查裝置的基板100連接。
檢查單元1可對應於檢查裝置的各種形態，適宜變更其結構。例如，如圖10及圖11所示，亦能夠以可接觸檢查裝置的一對基板100的各端子101及基板對基板連接器110的電極部111的方式構成檢查單元1，所述檢查裝置的一對基板100以相向的方式配置，所述基板對基板連接器110配置在與一對基板100相向的方向交叉(例如，正交)的方向上。
於圖10及圖11中所示的檢查單元1中，各檢查治具2、檢查治具3以沿著第一方向X延長的接觸件10的第一接點部11側的端部於第一方向X上相互相向的方式配置。各檢查治具2、檢查治具3的接觸件10的第一接點部11側的端部自第一方向X朝第二方向Y彎曲，於其前端部設置有第一接點部11。各第一接點部11以於第二方向Y上，可接觸基板對基板連接器110的電極部111的方式配置。另外，各檢查治具2、檢查治具3的接觸件10的第二接點部12以分別可於第一方向X上接觸於第一方向X 上相向的一對基板100的端子101的方式配置。
另外，於圖10及圖11中所示的檢查單元1中，具有可使檢查裝置的一對基板100與各檢查治具2、檢查治具3一同於第一方向X上移動的可動部(未圖示)，並以各個第一接點部11藉由該可動部而可於第一方向X上接觸基板對基板連接器110的電極部111的方式構成。
再者，圖10及圖11中所示的檢查單元1的各檢查治具2、檢查治具3包括接觸件10，所述接觸件10具有於第一方向X上延伸的直線帶部13、及與直線帶部13連接的彎曲帶部14交替地連續的蛇行形狀。
以上，參照圖式對本揭示中的各種實施方式進行了詳細說明，最後，對本揭示的各種形態進行說明。再者，於以下的說明中，作為一例，亦添加參照符號來進行記載。
本揭示的第一形態的檢查單元1包括沿著第一方向X排列配置的第一檢查治具2及第二檢查治具3，所述第一檢查治具2及第二檢查治具3分別具有：接觸件10，於兩端部分別設置有可接觸檢查對象物的第一接點部11與可接觸檢查裝置的第二接點部12；以及殼體20，於所述第一接點部11露出至外部的狀態下將所述接觸件10收納於內部；所述第一檢查治具2及所述第二檢查治具3的至少一者以可沿著所述第一方向X移動的方式配置，且 於使所述檢查對象物自第二方向Y接近各個所述第一接點部11的狀態下，使所述第一檢查治具2及所述第二檢查治具3的至少一者沿著所述第一方向X移動，藉此各個所述第一接點部11於所述第一方向X上接觸所述檢查對象物，所述第二方向Y與所述第一方向X交叉。
根據第一形態的檢查單元，可實現可使接觸件10的第一接點部11在與對於檢查對象物的第二方向Y(即，接近方向)不同的第一方向X上接觸的檢查單元1。
本揭示的第二形態的檢查單元1中，進而包括使所述第一檢查治具2及所述第二檢查治具3的至少一者於所述第一方向X上移動的可動部30。
根據第二形態的檢查單元1，藉由可動部30，可容易地使第一檢查治具2及第二檢查治具3於第一方向X上移動。
本揭示的第三形態的檢查單元1中，所述可動部30具有於所述第一方向X上進行伸縮的彈性構件。
根據第三形態的檢查單元1，可於第一方向X上，將各檢查治具2、檢查治具3的接觸件10的第一接點部11按壓於檢查對象物上，因此可提高第一接點部11與檢查對象物之間的接觸可靠性。
本揭示的第四形態的檢查單元1中，於所述第一方向X上，進而包括與所述第一檢查治具2及所 述第二檢查治具3排列配置的移動限制部41，且在所述移動限制部41與所述第二檢查治具3之間配置所述第一檢查治具2，藉由所述移動限制部41來限制所述第一檢查治具2於所述第一方向X上且朝遠離所述第二檢查治具3的方向的移動。
根據第四形態的檢查單元1，例如當第一檢查治具2於第一方向X上且朝遠離第二檢查治具3的方向移動時，可藉由移動限制部41來防止第一檢查治具2的接觸件10的第一接點部11及第二接點部12被施加過剩的力而導致第一檢查治具2的接觸件10破損。
本揭示的第五形態的檢查單元1中，所述移動限制部為第一移動限制部41，於所述第一方向X上，進而包括與所述第一移動限制部41、所述第一檢查治具2及所述第二檢查治具3排列配置的第二移動限制部42，在所述第二移動限制部42與所述第一檢查治具2之間配置所述第二檢查治具3，藉由所述第二移動限制部42來限制所述第二檢查治具3於所述第一方向X上且朝遠離所述第一檢查治具2的方向的移動。
根據第五形態的檢查單元1，例如當第二檢查治具3於第一方向X上且朝遠離第一檢查治具2的方向移動時，可藉由第二移動限制部42來防止第二檢查治具3的接觸件10的第一接點 部11及第二接點部12被施加過剩的力而導致第二檢查治具3的接觸件10破損。
本揭示的第六形態的檢查裝置包括至少一個所述形態的檢查單元1。
根據第六形態的檢查裝置，藉由檢查單元1，可實現可應對檢查裝置及檢查對象物的多樣化的檢查裝置。
再者，藉由將所述各種實施方式或變形例中的任意的實施方式或變形例適宜組合，可取得各自所具有的效果。另外，可進行實施方式彼此的組合、或實施例彼此的組合、或實施方式與實施例的組合，並且亦可進行不同的實施方式或實施例中的特徵彼此的組合。
一面參照隨附圖式一面與較佳的實施方式相關聯而充分地記載了本揭示，但對於已熟練該技術的人們而言，明白各種變形或修正。此種變形或修正只要不脫離由隨附的申請範圍所限定的本揭示的範圍，則應理解為包含於其中。
[產業上之可利用性]
本揭示的檢查單元例如可應用於液晶面板的檢查裝置。
本揭示的檢查裝置例如可用於液晶面板的檢查。
1‧‧‧檢查單元
2‧‧‧第一檢查治具
3‧‧‧第二檢查治具
4、5、6‧‧‧間隙
10‧‧‧接觸件
11‧‧‧第一接點部
12‧‧‧第二接點部
20‧‧‧殼體
21‧‧‧收納部
22、23‧‧‧開口部
30‧‧‧可動部
41‧‧‧第一移動限制部
42‧‧‧第二移動限制部
100‧‧‧基板
101‧‧‧端子
110‧‧‧基板對基板連接器
111‧‧‧電極部
X‧‧‧第一方向
Y‧‧‧第二方向

Claims (6)

  1. 一種檢查單元，包括沿著第一方向排列配置的第一檢查治具及第二檢查治具，所述第一檢查治具及所述第二檢查治具分別具有： 接觸件，於兩端部分別設置有能夠接觸檢查對象物的第一接點部與能夠接觸檢查裝置的第二接點部；以及 殼體，於所述第一接點部露出至外部的狀態下將所述接觸件收納於內部； 所述第一檢查治具及所述第二檢查治具的至少一者以能夠沿著所述第一方向移動的方式配置，且 於使所述檢查對象物自第二方向相對地接近各個所述第一接點部的狀態下，使所述第一檢查治具及所述第二檢查治具的至少一者沿著所述第一方向移動，藉此各個所述第一接點部於所述第一方向上接觸所述檢查對象物，所述第二方向與所述第一方向交叉。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的檢查單元，更包括： 可動部，使所述第一檢查治具及所述第二檢查治具的至少一者於所述第一方向上移動。
  3. 如申請專利範圍第2項所述的檢查單元，其中 所述可動部具有於所述第一方向上進行伸縮的彈性構件。
  4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的檢查單元，其於所述第一方向上，更包括： 移動限制部，與所述第一檢查治具及所述第二檢查治具排列配置，且 在所述移動限制部與所述第二檢查治具之間配置所述第一檢查治具，藉由所述移動限制部來限制所述第一檢查治具於所述第一方向上且朝遠離所述第二檢查治具的方向的移動。
  5. 如申請專利範圍第4項所述的檢查單元，其中 所述移動限制部為第一移動限制部， 於所述第一方向上，更包括與所述第一移動限制部、所述第一檢查治具及所述第二檢查治具排列配置的第二移動限制部， 在所述第二移動限制部與所述第一檢查治具之間配置所述第二檢查治具，藉由所述第二移動限制部來限制所述第二檢查治具於所述第一方向上且朝遠離所述第一檢查治具的方向的移動。
  6. 一種檢查裝置，包括： 至少一個如申請專利範圍第1項至第5項中任一項所述的檢查單元。
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