WO2019116512A1 - ソケット、検査治具、検査ユニットおよび検査装置 - Google Patents

ソケット、検査治具、検査ユニットおよび検査装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2019116512A1
WO2019116512A1 PCT/JP2017/044943 JP2017044943W WO2019116512A1 WO 2019116512 A1 WO2019116512 A1 WO 2019116512A1 JP 2017044943 W JP2017044943 W JP 2017044943W WO 2019116512 A1 WO2019116512 A1 WO 2019116512A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
housing
opening
accommodation
contact
accommodated
Prior art date
Application number
PCT/JP2017/044943
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
直哉 笹野
宏真 寺西
貴浩 酒井
Original Assignee
オムロン株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by オムロン株式会社 filed Critical オムロン株式会社
Priority to PCT/JP2017/044943 priority Critical patent/WO2019116512A1/ja
Priority to KR1020180012043A priority patent/KR101851519B1/ko
Publication of WO2019116512A1 publication Critical patent/WO2019116512A1/ja

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06716—Elastic
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07314—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support

Definitions

  • the present disclosure relates to a socket, an inspection jig provided with the socket, an inspection unit provided with the inspection jig, and an inspection apparatus provided with the inspection unit.
  • an inspection device is connected to an electrode part such as an FPC contact electrode for connection with a main substrate installed in the electronic component module or a mounted substrate-to-substrate connector using probe pins. It is done by.
  • the socket is equally spaced and comprises a plurality of pairs of slits each capable of receiving a contact.
  • the adjacent slits are partitioned substantially over the entire surface by the partition wall, and in order to make the intervals of the plurality of slits arranged in a row narrow, the adjacent partitions are partitioned It is necessary to thin the entire surface.
  • the switch device described above since the slits adjacent to the partition wall partition substantially the entire surface, the thinner the partition wall, the more easily the partition wall falls or is distorted, and the contacts accommodated in the slits In some cases, the contact may not be accommodated in the slit due to breakage of the contact or the contact may not be accommodated in the slit, and it may not be possible to cope with the narrowing of the intervals of the plurality of slits.
  • the present disclosure is provided with a socket capable of coping with the narrowing of the spacing of the receptacles accommodating contacts, an inspection jig provided with the socket, an inspection unit provided with the inspection jig, and the inspection unit. It aims at providing an inspection device.
  • An example socket of the present disclosure is There is a first opening, a second opening facing the first opening, and a first housing and a second housing extending in the direction intersecting the first opening and the second opening. And each of the first housing portion and the second housing portion is provided with a first contact portion at one end and a second contact portion at the other end. It can be housed and held so as to be electrically independent of each other with the second contact portion exposed from the first opening of the first opening and exposed from the second opening of the second opening.
  • the first accommodating portion is A first support wall disposed between the first housing and the second housing; It has a second support wall portion arranged with a gap in the arrangement direction of the first and second storage portions with respect to the first support wall portion and in the direction away from the second storage portion.
  • the first support wall portion is When viewed from the extending direction of the first accommodating portion, the contactors provided so as to face each other on both sides in the direction crossing the arranging direction are supported in the arranging direction together with the second support wall portion A pair of side walls that It has a through hole which is provided between the pair of side wall portions and which communicates with the first accommodation portion and the second accommodation portion.
  • an inspection jig of an example of the present disclosure is Said socket, And the contactor housed in the first housing portion and the second housing portion of the socket, The first contact portion of the contact accommodated in the first accommodation portion and the first contact portion of the contact accommodated in the second accommodation portion are on the same straight line parallel to the arrangement direction Is located in
  • an inspection unit of an example of the present disclosure is At least one inspection jig was provided.
  • an inspection apparatus is: At least one inspection unit was provided.
  • the first accommodation portion is disposed between the first accommodation portion and the second accommodation portion, and the first accommodation portion and the second accommodation portion with respect to the first support wall portion.
  • a second support wall portion arranged with a gap in a direction in which the storage portions are arranged and in a direction away from the second storage portion. Then, the first support wall portion is provided and accommodated so as to face each of both sides in a direction intersecting the arrangement direction of the first accommodation portion and the second accommodation portion when viewed from the extension direction of the first accommodation portion.
  • a pair of side walls supporting the contact in the arrangement direction with the second support wall, and a through hole provided between the pair of side walls and communicating with the first housing and the second housing doing.
  • each side wall portion supports both end edges in the width direction orthogonal to the direction connecting the first contact portion and the second contact portion of the contact accommodated in the first accommodation portion, and the first accommodation portion and the second accommodation portion Since the contact between the contacts accommodated in the accommodating portions can be reliably prevented, it is possible to cope with the pinching of the distance between the first accommodating portion and the second accommodating portion.
  • an inspection jig capable of inspecting, for example, an inspection object having a pinched terminal by the socket.
  • the inspection unit it is possible to realize an inspection unit which can inspect the inspection object having the pinched terminals, for example, and has high versatility by the inspection jig.
  • the inspection unit can realize, for example, an inspection apparatus capable of inspecting the inspection object having the pinched terminals and having high versatility.
  • FIG. 1 is a perspective view of an inspection unit according to an embodiment of the present disclosure.
  • Sectional drawing along the III-III line of FIG. 1 is a perspective view of a socket according to an embodiment of the present disclosure.
  • the socket 10 constitutes an inspection jig 2 together with a probe pin 3 as an example of a plate-like contact.
  • the inspection jig 2 is provided with a plurality of probe pins 3.
  • the inspection jig 2 constitutes a part of the inspection unit 1 as shown in FIGS. 2 and 3, for example.
  • the inspection unit 1 includes a substantially rectangular base housing 20 in which the inspection jig 2 is incorporated.
  • the base housing 20 is comprised by the base part 21, the cover part 22, and the cover part 23, as shown in FIG.
  • the base portion 21 and the cover portion 22 each have a substantially rectangular plate shape, and are fixed in a state where the plate surfaces face each other.
  • the base portion 21 is attached to, for example, an inspection apparatus or an inspection object, and as shown in FIG. 3, a substantially rectangular plate-like base main body 211 and a projection provided at a substantially central portion in the longitudinal direction of the base main body 211 And 212.
  • the projecting portion 212 extends in the longitudinal direction of the base main body 211 and protrudes in the thickness direction of the base main body 211 from the surface facing the cover portion 22 in the thickness direction of the base main body 211.
  • the projecting portion 212 is provided with a through hole 213 penetrating the projecting portion 212 in the thickness direction of the base main body 211, and the drop prevention cover 28 is attached to the opening 242 on the base main body 211 side. That is, the protrusion 212 is provided with the recess 24 having the opening 241 on the end side in the protrusion direction.
  • the inspection jig 2 is accommodated and held in the recess 24.
  • a through hole 281 extending in the longitudinal direction of the base main body 211 is provided in the fall-off preventing cover 28 that constitutes the bottom facing the opening 241 of the recess 24.
  • One end portion of the probe pin 3 accommodated in the inspection jig 2 (that is, a second contact portion 32 described later) is exposed from the through hole portion 281.
  • the cover portion 22 has an opening 25 provided at a substantially central portion in the longitudinal direction.
  • the projecting portion 212 of the base portion 21 is accommodated in the opening 25.
  • a bias receiving portion 232 of the lid portion 23 which will be described later, and a biasing portion biasing the bias receiving portion 232.
  • An accommodation space 27 is formed to accommodate the space 26.
  • the housing space 27 is movable in the thickness direction of the base body 211, but restricts the movement of the biasing receiver 232 so that it can not move in the longitudinal direction and the lateral direction of the base body 211.
  • the lid portion 23 includes a lid main body 231 which covers the projecting portion 212 of the base portion 21 and a biasing receiving portion 232 provided on each of both ends in the longitudinal direction of the lid main body 231. It is configured.
  • the lid main body 231 is provided in a portion facing the inspection jig 2 housed in the recess 24 and has a plurality of through holes 233 arranged in a line along the longitudinal direction of the base main body 211 and equally spaced. Have.
  • Each through hole 233 penetrates the lid main body 231 in the thickness direction of the base main body 211, and the other end of the probe pin 3 accommodated in the socket 10 of the inspection jig 2 (that is, a first contact portion described later) 31) are housed respectively. That is, the first contact portions 31 of the probe pins 3 accommodated in the inspection jig 2 are exposed from the through holes 233.
  • the biasing receiver 232 is housed in the housing space 27 and biased in the thickness direction of the base body 211 and away from the base body 211 by the biasing portion 26 (for example, a coil spring). .
  • the lid portion 23 when an external force in a direction approaching the base portion 21 is applied to the lid portion 23, the lid portion 23 is pushed down toward the base portion 21, and the first contact portion 31 of the probe pin 3 It is exposed from each through hole 233. Further, when the external force in the direction approaching the base portion 21 applied to the lid portion 23 is released, the lid portion 23 is pushed up in a direction away from the base portion 21 by the biasing force of the biasing portion 26. The first contact portion 31 is accommodated in each through hole portion 233 of the lid main body 231.
  • the inspection jig 2 is positioned with respect to the base housing 20. Therefore, even if there is an error in the processing of the inspection apparatus or the inspection object, for example, the positioning of the inspection jig 2 with respect to the base housing 20 may be adjusted in accordance with the inspection apparatus or the inspection object. 2 can be accurately positioned.
  • the socket 10 has a substantially rectangular first opening surface 12, a substantially rectangular second opening surface 13 facing the first opening surface 12, a first opening surface 12, and the like.
  • the substantially rectangular parallelepiped housing 11 is provided with a plurality of housing portions 14 extending in a direction intersecting with the second opening surface 13 (for example, a direction orthogonal to the first opening surface 12 and the second opening surface 13).
  • the first opening surface 12 is provided with a plurality of openings 121 (an example of a first opening) arranged in a line along the longitudinal direction and arranged at equal intervals. .
  • the first contact portion 31 of the probe pin 3 can be exposed to the outside of the socket 10 through the opening 121 (see FIG. 1).
  • auxiliary support wall portions 15 are provided on both sides in the longitudinal direction of the first opening surface 12 in the opening 121 of the first opening surface 12 of the housing 11. As shown in FIG. 6, the auxiliary support wall portion 15 extends in the direction away from the first opening surface 12 (that is, upward in FIG. 6) along the extending direction of each accommodation portion 14.
  • the base portion ie, the first opening surface in which stress is easily concentrated in the portion exposed from the opening 121 of the probe pin 3 to the outside of the housing 11 when the probe pin 3 is accommodated in the socket 10 by the auxiliary support wall 15 12) end portion 35 (shown in FIG. 8) can be supported.
  • the second opening surface 13 is provided at a substantially central portion in the width direction of the second opening surface 13, and a large opening 131 extending along the longitudinal direction of the second opening surface 13;
  • a plurality of pairs of small openings 132 are provided extending in opposite directions from each other along the widthwise direction of the second opening surface 13 from the large opening 131.
  • the small openings in each pair face each other and are arranged in line in the longitudinal direction of the second opening surface 13 and at equal intervals.
  • the large opening 131 and the small opening 132 are examples of the second opening.
  • each accommodation portion 14 has a slit shape, and can accommodate and hold the plate-like probe pins 3 electrically independently of each other, and the plate of the accommodated probe pins 3
  • the faces are arranged side by side and adjacent to each other so as to face each other.
  • one end of each accommodation portion 14 in the extending direction is connected to the opening 121 of the first opening surface 12, and the other end in the extending direction is the large opening 131 and the small of the second opening surface 13. It is connected to the opening 132.
  • Each accommodation portion 14 includes a first accommodation portion 141 and a second accommodation portion 142 adjacent to the first accommodation portion 141.
  • the first accommodation portion 141 is disposed at the first support wall portion 143 disposed between the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 and the first support wall portion 143.
  • the first support portion 141 and the second support wall portion 144 disposed with a gap 145 in the direction of arrangement of the second receive portion 142 (that is, the left-right direction in FIG. 6) and in the direction away from the second receive portion 142 doing.
  • the first support wall 143 has a pair of side walls 146 and a through hole 147 provided between the pair of side walls 146.
  • the pair of side wall portions 146 intersects the arrangement direction of the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 (for example, The probe pins 3 provided so as to face each other on both sides of the direction orthogonal to the arrangement direction are supported together with the second support wall 144 in the arrangement direction of the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142.
  • Each side wall portion 146 extends from the first opening surface 12 to the second opening surface 13, and an end portion on the first opening surface 12 side is connected by the auxiliary side wall portion 148.
  • the auxiliary side wall portion 148 is connected to the auxiliary support wall portion 15 of the first opening surface 12.
  • each side wall portion 146 is in the width direction of the probe pin 3 housed in the first housing portion 141 (that is, a direction orthogonal to the direction connecting the first contact portion 31 described later and the second contact portion 32 described later) It is configured to support both end edges of (see FIG. 8).
  • each side wall portion 146 is less likely to fall down or be distorted, for example, as compared with the side wall portion that divides the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 over substantially the entire surface.
  • the through hole portion 147 is provided between the pair of side wall portions 146 and is in communication with the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142.
  • the through hole portion 147 has a substantially rectangular shape extending in the extending direction of the first accommodation portion 141 (that is, the vertical direction in FIG. 7), and the end on the second opening surface 13 side in the extending direction is It is connected to the large opening portion 131 of the second opening surface 13.
  • the housing 11 has the 1st connection wall part 16 and the 2nd connection wall part 17 which connect the 1st support wall part 143 and the 2nd support wall part 144, as shown in FIG.
  • the first support wall portion 143 and the second support wall portion 144 extend in the arrangement direction of the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142, and the arrangement direction of the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142.
  • a confirmation window 40 is provided in the first connection wall 16 and the second connection wall 17.
  • the confirmation window 40 has a corner on the first opening surface 12 side of the first connection wall 16 and a first opening of the second connection wall 17 as shown in FIG. 4. It is provided in the end by the side of field 12, and the end by the side of the 2nd opening 13 respectively.
  • Each confirmation window 40 extends from one end to the other end in the arrangement direction of the plurality of accommodating portions 14.
  • each of the confirmation windows 40 is the first connection wall portion 16 or the second connection wall portion 17 as viewed from the extending direction of the first accommodation portion 141 as shown in FIG.
  • the interiors of all the accommodating portions 14 including the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 can be confirmed from the outside of the housing 11 by the respective confirmation windows 40.
  • a portion susceptible to deformation or damage of the probe pin 3 accommodated in the first accommodation portion 141 is easily confirmed by the confirmation window 40
  • the confirmation window 40 As a result, it becomes easy to confirm the accommodation state of the probe pin 3 accommodated in each accommodation part 14 (for example, confirmation as to whether or not the probe pin 3 is accommodated in each accommodation part 14).
  • each probe pin 3 includes an elastic portion 30, a first contact portion 31 connected to one end of the elastic portion 30, and a second contact portion 32 connected to the other end of the elastic portion 30. It consists of
  • the first contact portion 31 is exposed to the outside of the housing 11 through the opening 121 of the first opening surface 12, and the second contact portion 32 is opened from the large opening 131 and the small opening 132 of the second opening 13. Exposed to the outside of the Further, the base 35 in the portion exposed from the opening 121 of the probe pin 3 to the outside of the housing 11 is supported by the auxiliary support wall 15 in the arrangement direction of the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142.
  • a linear portion 33 intersecting (for example, orthogonally) with a direction connecting the first contact portion 31 and the second contact portion 32 and a bending portion 34 connected to the linear portion 33 continue alternately. It has a meander shape.
  • the bending portion 34 is supported in the first accommodation portion 141 by the pair of side wall portions 146 in the arrangement direction of the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 (that is, the penetrating direction in FIG. 8).
  • each of the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 of the socket 10 has the plate-like probe pin 3 provided with the first contact portion 31 at one end and the second contact portion 32 at the other end,
  • the first contact portions 31 are exposed from the opening 121 of the first opening surface 12 and the second contact portions 32 are exposed from the second openings 131 and 132 of the second opening surface 13 so that they are electrically independent of each other. And can be held and held.
  • the first contact portion 31 of the probe pin 3 accommodated in the first accommodation portion 141 and the first contact portion 31 of the probe pin 3 accommodated in the second accommodation portion 142 are disposed on the same straight line L (shown in FIG. 1) parallel to the arrangement direction.
  • the first accommodation portion 141 is disposed at the first support wall portion 143 disposed between the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142, and the first support wall portion 143.
  • a second support wall portion 144 is disposed with a gap 145 in the arrangement direction of the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 and in the direction away from the second accommodation portion 142.
  • the first support wall portion 143 is provided so as to face each of both sides in a direction intersecting the arrangement direction of the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 when viewed from the extension direction of the first accommodation portion 141.
  • the first support wall portion 143 partitioning the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 is configured by the pair of side wall portions 146 and the through holes 147.
  • both side edges of the width direction of the probe pin 3 accommodated in the first accommodation portion 141 that is, the direction orthogonal to the direction connecting the first contact portion 31 and the second contact portion 32
  • the gap between the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 can be held. It can respond to pitching.
  • a pair of side wall portions 146 extend from the first opening surface 12 to the second opening surface 13 along the extending direction of the first accommodation portion 141.
  • first connection wall portion 16 and the second connection wall portion 17 of the housing 11 have a confirmation window 40 capable of confirming the inside of the first housing portion 141 and the inside of the second housing portion 142 from the outside of the housing 11 ing.
  • the accommodation state of the probe pin 3 accommodated in the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 can be easily confirmed by the confirmation window 40.
  • the housing 11 has auxiliary support wall portions 15 provided on both sides of the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 in the opening 121 of the first opening surface 12 in the arrangement direction.
  • the auxiliary support wall portion 15 supports the base portion 35 where stress is easily concentrated in the portion exposed from the opening portion 121 of the probe pin 3 to the outside of the housing 11 in the arrangement direction of the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 Therefore, the stress generated in the probe pins 3 accommodated in the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 can be dispersed.
  • the inspection jig 2 it is possible to realize the inspection jig 2 capable of inspecting the inspection object having the pinched terminals, for example, by the socket 10.
  • the housing 11 of the socket 10 of the inspection jig 2 is provided with a confirmation window 40 capable of confirming the inside of the first housing portion 141 and the inside of the second housing portion 142 from the outside of the housing 11, The accommodation state of the probe pin 3 accommodated in the accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 can be easily confirmed.
  • the probe pin 3 having a meandering shape in which the first and second housing portions 142 and 142 are supported by the pair of side wall portions 146 in the arrangement direction of the first housing portion 141 and the second housing portion 142. It is done. Thereby, for example, the inspection jig 2 capable of inspecting the inspection object having the pinched terminals can be easily realized.
  • the inspection unit 1 it is possible to realize the inspection unit 1 capable of inspecting the inspection object having the pinched terminals by the inspection jig 2 and having high versatility, for example.
  • the inspection unit 1 can constitute a part of the inspection apparatus. According to such an inspection apparatus, the inspection unit 1 can realize, for example, an inspection apparatus capable of inspecting an inspection object having the pinched terminals and having high versatility.
  • the first storage portion 141 may be any one storage portion 14 of the plurality of storage portions 14, and the second storage portion 141 may be the storage portion 14 adjacent to the first storage portion 141.
  • Each side wall portion 146 is not limited to the case where it extends from the first opening surface 12 to the second opening surface 13 along the extending direction of the first accommodation portion 141. If each side wall 146 can support the accommodated probe pin 3 together with the second support wall 144 in the arrangement direction of the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142, for example, The side wall may extend to the middle of the first opening 12 and the second opening 13.
  • the first support wall 143 may have a pair of side walls 146 and a through hole 147 provided between the pair of side walls 146. That is, the auxiliary side wall portion 148 may be omitted.
  • At least one confirmation window 40 may be provided in at least one of the first connection wall 16 and the second connection wall 17. Also, the confirmation window 40 can be omitted.
  • the auxiliary support wall 15 may be omitted as shown in FIG.
  • the inspection unit 1 may be provided with at least one inspection jig 2.
  • the inspection jig 2 and the base housing 20 can change the structure suitably according to the various aspect of a test
  • the probe pin 3 has a plate shape, and as long as the first contact portion 31 is provided at one end and the second contact portion 32 is provided at the other end, a probe pin having an arbitrary configuration can be adopted.
  • each of the first contact portion 31 and the second contact portion 32 can be appropriately changed in shape, position, and the like according to various aspects of the inspection apparatus or the inspection object.
  • the socket 10 of the first aspect of the present disclosure is A first housing portion 141 extending in a direction intersecting the first opening surface 12, a second opening surface 13 opposite to the first opening surface 12, and the first opening surface 12 and the second opening surface 13; A plate shape having a second housing portion 142, and each of the first housing portion 141 and the second housing portion 142 is provided with a first contact portion 31 at one end and a second contact portion 32 at the other end.
  • the first contact portion 31 is exposed from the first opening 121 of the first opening surface 12, and the second contact portion 32 is exposed from the second opening 131, 132 of the second opening surface 13.
  • the housings 11 can be accommodated and held so as to be electrically independent of each other in an exposed state, and the plate surfaces of the accommodated contacts 3 are arranged adjacent to each other so as to face each other.
  • the first accommodating portion 141 is A first support wall portion 143 disposed between the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142; A second support wall disposed with a gap 145 in the arrangement direction of the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 with respect to the first support wall portion 143 and in the direction away from the second accommodation portion 142 Part 144, and
  • the first support wall portion 143 is
  • the contacts 3, which are provided so as to face each other on both sides in the direction intersecting the arrangement direction when viewed from the extension direction of the first accommodation portion 141, are accommodated in the arrangement together with the second support wall 144.
  • a pair of side walls 146 that support in the direction; It has a through hole portion 147 provided between the pair of side wall portions 146 and communicating with the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142
  • the first support wall portion 143 partitioning the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 is configured by the pair of side wall portions 146 and the through holes 147.
  • both side edges of the contact 3 accommodated in the first accommodation portion in the width direction that is, the direction orthogonal to the direction connecting the first contact portion 31 and the second contact portion 32
  • the contactors 3 accommodated in the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 can be reliably prevented from contacting each other, so that the pinching pitch of the space between the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 Can respond to
  • the socket 10 of the second aspect of the present disclosure is the socket 10 of the first aspect
  • the pair of side wall portions 146 extend from the first opening surface 12 to the second opening surface 13 along the extending direction.
  • the socket 10 of the second aspect since the contacts 3 accommodated in the first accommodation portion 141 can be supported more reliably in the arrangement direction of the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142, the first accommodation portion 141 And by the pinching pitch of the space
  • the housing 11 is A first connection wall 16 and a second connection wall which are arranged to face each other on both sides in a direction intersecting the arrangement direction and connect the first support wall 143 and the second support wall 144, respectively.
  • Have 17 and At least one of the first connection wall portion 16 and the second connection wall portion 17 is The inside of the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 are penetrated in a direction intersecting the arrangement direction as viewed from the extending direction, the first connection wall portion 16 or the second connection wall portion 17.
  • There is a confirmation window 40 which allows the inside of the housing 11 to be confirmed from the outside of the housing 11.
  • the accommodation state of the contacts 3 accommodated in the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 can be easily confirmed by the confirmation window 40.
  • the fourth-like socket 10 of the present disclosure is the socket 10 according to any one of the first to third aspects.
  • the housing 11 is An auxiliary support wall 15 is provided on both sides of the first opening 121 of the first opening 12 in the arrangement direction, and extends along the extending direction away from the first opening 12. .
  • the base 35 in which stress is likely to be concentrated in the portion exposed from the opening 121 of the contact 3 to the outside of the housing 11 by the auxiliary support wall 15 is a first accommodating portion 141 and a second accommodating portion 141. Since the support can be supported in the arrangement direction of the storage portions 142, stress generated in the contacts 3 stored in the first storage portion 141 and the second storage portion 142 can be dispersed.
  • the inspection jig 2 of the fifth aspect of the present disclosure is A socket 10 according to any one of the first to fourth aspects; And a plurality of the contacts 3 respectively accommodated in the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 of the socket 10, The first contact portion 31 of the contact 3 accommodated in the first accommodation portion 141 and the first contact portion 32 of the contact 3 accommodated in the second accommodation portion 142 are in the arrangement direction Are arranged on the same straight line L parallel to.
  • the inspection jig 2 of the fifth aspect for example, the inspection jig 2 capable of inspecting the inspection object having the pinched terminals can be realized by the socket 10.
  • the inspection jig 2 of the sixth aspect of the present disclosure is The socket 10 of the fourth aspect including the third aspect or the third aspect; And a plurality of the contacts 3 accommodated in the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 of the socket 10, The first contact portion 31 of the contact 3 accommodated in the first accommodation portion 141 and the first contact portion 31 of the contact 3 accommodated in the second accommodation portion 142 are in the arrangement direction Are disposed on the same straight line L parallel to The accommodation state of the contact 3 accommodated in the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 can be confirmed via the confirmation window 40.
  • the first housing portion It is possible to easily check the storage state of the contactor 3 stored in the 141 and the second storage portion 142.
  • the inspection jig 2 of the seventh aspect of the present disclosure is the inspection jig 2 of the fifth aspect or the sixth aspect
  • the contactor 3 includes an elastic portion 30 connected to the first contact portion 31 and the second contact portion 32.
  • a serpentine shape in which a linear portion 33 intersecting the direction in which the elastic portion 30 connects the first contact portion 31 and the second contact portion 32 and a curved portion 34 connected to the linear portion 33 alternately continue Have In the first accommodation portion 141, the curved portion 34 is supported by the pair of side wall portions 146 in the arrangement direction.
  • the inspection jig 2 of the seventh aspect it is possible to easily realize the inspection jig 2 capable of inspecting the inspection object having the pinched terminals, for example, by the socket 10 and the contactor 3.
  • the inspection unit 1 of the eighth aspect of the present disclosure is At least one inspection jig 2 according to any one of the fifth to seventh aspects is provided.
  • the inspection jig 2 can realize, for example, an inspection unit 1 capable of inspecting an inspection object having pinched terminals and having high versatility.
  • the inspection apparatus of the ninth aspect of the present disclosure is At least one inspection unit 1 of the eighth aspect was provided.
  • the inspection unit 1 can realize, for example, an inspection apparatus capable of inspecting an inspection object having the pinched terminals and having high versatility.
  • the socket of the present disclosure can be applied to, for example, an inspection jig used to inspect a liquid crystal panel.
  • the inspection jig of the present disclosure can be applied to, for example, an inspection unit used for inspection of a liquid crystal panel.
  • the inspection unit of the present disclosure can be applied to, for example, an inspection device of a liquid crystal panel.
  • the inspection apparatus of the present disclosure can be used, for example, for inspection of a liquid crystal panel.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

ソケットが、接触子を収容可能な第１収容部および第２収容部を有するハウジングを備える。第１収容部が、第１支持壁部と、第１支持壁部に対して第２収容部から離れる方向に隙間を空けて配置された第２支持壁部とを有し、第１支持壁部が、その両側にそれぞれ対向するように設けられた一対の側壁部と、一対の側壁部の間に設けられた貫通孔部とを有する。

Description

ソケット、検査治具、検査ユニットおよび検査装置
　本開示は、ソケット、このソケットを備えた検査治具、この検査治具を備えた検査ユニット、および、この検査ユニットを備えた検査装置に関する。
　カメラあるいは液晶パネル等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、プローブピンを用いて、電子部品モジュールに設置されている本体基板と接続するためのＦＰＣ接触電極、あるいは、実装された基板対基板コネクタ等の電極部と検査装置とを接続することにより行われる。
　このような接触子を収容するソケットとしては、例えば、特許文献１に記載されたものがある。このソケットは、等間隔で配置され、かつ、各々が接触子を収容可能な複数対のスリットを備えている。
特開２０１１－１９６８４４号公報
　ところで、前記スイッチ装置では、隣接するスリットが仕切壁により略全面に亘って互いに仕切られており、縦列に並ぶ複数のスリットの間隔を挟ピッチ化するためには、隣接するスリットを仕切る仕切壁の全面を薄くする必要がある。
　しかし、前記スイッチ装置では、仕切壁が隣接するスリットを略全面に亘って仕切っているため、仕切壁が薄くなればなるほど、仕切壁が倒れたり歪んだりし易くなり、スリットに収容されている接触子が折れたり、また、スリットに接触子を収容できなくなったりして、複数のスリットの間隔の挟ピッチ化に対応できない場合がある。
　本開示は、接触子を収容する収容部の間隔の挟ピッチ化に対応可能なソケット、このソケットを備えた検査治具、この検査治具を備えた検査ユニット、および、この検査ユニットを備えた検査装置を提供することを目的とする。
　本開示の一例のソケットは、
　第１開口面と、前記第１開口面に対向する第２開口面と、前記第１開口面および前記第２開口面に交差する方向にそれぞれ延びる第１収容部および第２収容部とを有し、前記第１収容部および前記第２収容部の各々が、一端に第１接点部が設けられ他端に第２接点部が設けられた板状の接触子を前記第１接点部が前記第１開口面の第１開口部から露出しかつ前記第２接点部が前記第２開口面の第２開口部から露出した状態で相互に電気的に独立して収容可能かつ保持可能であると共に、収容した前記接触子の板面同士が相互に対向するように並んで隣接して配置されているハウジングを備え、
　前記第１収容部が、
　前記第１収容部と前記第２収容部との間に配置された第１支持壁部と、
　前記第１支持壁部に対して前記第１収容部および前記第２収容部の配列方向でかつ前記第２収容部から離れる方向に隙間を空けて配置された第２支持壁部と
を有し、
　前記第１支持壁部が、
　前記第１収容部の延在方向から見て、前記配列方向に交差する方向の両側にそれぞれ対向するように設けられ、収容された前記接触子を前記第２支持壁部と共に前記配列方向において支持する一対の側壁部と、
　前記一対の側壁部の間に設けられ、前記第１収容部と前記第２収容部とに連通する貫通孔部と
を有する。
　また、本開示の一例の検査治具は、
　前記ソケットと、
　前記ソケットの前記第１収容部および前記第２収容部に収容された前記接触子と
を備え、
　前記第１収容部に収容された前記接触子の前記第１接点部と、前記第２収容部に収容された前記接触子の前記第１接点部とが、前記配列方向に平行な同一直線上に配置されている。
　また、本開示の一例の検査ユニットは、
　前記検査治具を少なくとも１つ備えた。
　また、本開示の一例の検査装置は、
　前記検査ユニットを少なくとも１つ備えた。
　前記ソケットによれば、第１収容部が、第１収容部と第２収容部との間に配置された第１支持壁部と、第１支持壁部に対して第１収容部および第２収容部の配列方向でかつ第２収容部から離れる方向に隙間を空けて配置された第２支持壁部とを有している。そして、第１支持壁部が、第１収容部の延在方向から見て、第１収容部および第２収容部の配列方向に交差する方向の両側にそれぞれ対向するように設けられ、収容された接触子を第２支持壁部と共に配列方向において支持する一対の側壁部と、一対の側壁部の間に設けられ、第１収容部と第２収容部とに連通する貫通孔部とを有している。例えば、第１収容部に収容された接触子の第１接点部および第２接点部を結んだ方向に直交する幅方向の両端縁を各側壁部で支持して、第１収容部および第２収容部にそれぞれ収容された接触子同士の接触を確実に防止できるので、第１収容部および第２収容部の間隔の挟ピッチ化に対応できる。
　また、前記検査治具によれば、前記ソケットにより、例えば、挟ピッチ化された端子を有する検査対象物を検査可能な検査治具を実現できる。
　また、前記検査ユニットによれば、前記検査治具により、例えば、挟ピッチ化された端子を有する検査対象物を検査可能でかつ汎用性の高い検査ユニットを実現できる。
　また、前記検査装置によれば、前記検査ユニットにより、例えば、挟ピッチ化された端子を有する検査対象物を検査可能でかつ汎用性の高い検査装置を実現できる。
本開示の一実施形態の検査治具を示す斜視図。 本開示の一実施形態の検査ユニットを示す斜視図。 図２のIII-III線に沿った断面図。 本開示の一実施形態のソケットを示す斜視図。 図４のソケットを図４とは異なる方向から見た斜視図。 図４のVI-VI線に沿った断面図。 図５のVII-VII線に沿った断面図。 図１のVIII-VIII線に沿った断面図。 図４のソケットの変形例を示す図５のVII-VII線に沿った断面図。
　以下、本開示の一例を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した本開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。
　本開示の一実施形態のソケット１０は、例えば、図１に示すように、板状の接触子の一例のプローブピン３と共に検査治具２を構成している。この実施形態では、検査治具２は、複数のプローブピン３を備えている。また、検査治具２は、例えば、図２および図３に示すように、検査ユニット１の一部を構成している。
　検査ユニット１は、図２に示すように、検査治具２が組み込まれた略直方体状のベースハウジング２０を備えている。ベースハウジング２０は、図３に示すように、ベース部２１、カバー部２２、および、蓋部２３で構成されている。ベース部２１およびカバー部２２は、それぞれ略矩形板状を有しており、板面同士が対向した状態で固定されている。
　ベース部２１は、例えば、検査装置あるいは検査対象物に取り付けられ、図３に示すように、略矩形板状のベース本体２１１と、ベース本体２１１の長手方向の略中央部に設けられた突出部２１２とで構成されている。
　突出部２１２は、ベース本体２１１の長手方向に延びていると共に、ベース本体２１１の板厚方向におけるカバー部２２に対向する面から、ベース本体２１１の板厚方向に突出している。この突出部２１２には、突出部２１２をベース本体２１１の板厚方向に貫通する貫通孔部２１３が設けられ、ベース本体２１１側の開口部２４２に脱落防止カバー２８が取り付けられている。すなわち、突出部２１２には、その突出方向の端部側に開口部２４１を有する凹部２４が設けられている。この凹部２４には、検査治具２が収容され保持されている。また、凹部２４の開口部２４１に対向する底部を構成する脱落防止カバー２８には、ベース本体２１１の長手方向に延びる貫通孔部２８１が設けられている。この貫通孔部２８１から、検査治具２に収容されたプローブピン３の一端部（すなわち、後述する第２接点部３２）が露出している。
　カバー部２２は、図３に示すように、その長手方向の略中央部に設けられた開口部２５を有している。この開口部２５には、ベース部２１の突出部２１２が収容されている。
　なお、ベース部２１の突出部２１２まわりにおけるベース部２１とカバー部２２との間には、後述する蓋部２３の付勢受け部２３２と、この付勢受け部２３２を付勢する付勢部２６とを収容する収容空間２７が形成されている。この収容空間２７は、ベース本体２１１の板厚方向に移動可能であるが、ベース本体２１１の長手方向および短手方向には移動できないように、付勢受け部２３２の移動を規制している。
　蓋部２３は、図２および図３に示すように、ベース部２１の突出部２１２を覆う蓋本体２３１と、蓋本体２３１の長手方向の両端部にそれぞれ設けられた付勢受け部２３２とで構成されている。蓋本体２３１は、凹部２４に収容された検査治具２に対向する部分に設けられ、ベース本体２１１の長手方向に沿って一列に並んでかつ等間隔で配置された複数の貫通孔部２３３を有している。各貫通孔部２３３は、蓋本体２３１をベース本体２１１の板厚方向にそれぞれ貫通し、検査治具２のソケット１０に収容されたプローブピン３の他端部（すなわち、後述する第１接点部３１）がそれぞれ収容されている。すなわち、各貫通孔部２３３から、検査治具２に収容されたプローブピン３の第１接点部３１が露出している。また、付勢受け部２３２は、収容空間２７に収容されて、付勢部２６（例えば、コイルばね）により、ベース本体２１１の板厚方向でかつベース本体２１１から離れる方向に付勢されている。
　すなわち、蓋部２３に対してベース部２１に接近する方向の外力を加えると、蓋部２３がベース部２１に向かって押し下げられて、プローブピン３の第１接点部３１が、蓋本体２３１の各貫通孔部２３３から露出する。また、蓋部２３に加えていたベース部２１に接近する方向の外力を解放すると、付勢部２６の付勢力により、蓋部２３がベース部２１から離れる方向に押し上げられて、プローブピン３の第１接点部３１が、蓋本体２３１の各貫通孔部２３３に収容される。
　なお、前記検査ユニット１では、検査治具２は、ベースハウジング２０に対して位置決めされている。このため、例えば、検査装置あるいは検査対象物の加工に誤差があった場合でも、検査装置あるいは検査対象物に合わせて、ベースハウジング２０に対する検査治具２の位置決めを調整すればよく、検査治具２を正確に位置決めできる。
　ソケット１０は、図４～図６に示すように、略矩形状の第１開口面１２と、第１開口面１２に対向する略矩形状の第２開口面１３と、第１開口面１２および第２開口面１３に交差する方向（例えば、第１開口面１２および第２開口面１３に直交する方向）にそれぞれ延びる複数の収容部１４を有する、略直方体状のハウジング１１を備えている。
　図４に示すように、第１開口面１２には、その長手方向に沿って一列に並んでかつ等間隔で配置された複数の開口部１２１（第１開口部の一例）が設けられている。この開口部１２１を介して、プローブピン３の第１接点部３１がソケット１０の外部に露出可能になっている（図１参照）。また、ハウジング１１の第１開口面１２の開口部１２１における第１開口面１２の長手方向の両側には、それぞれ補助支持壁部１５が設けられている。この補助支持壁部１５は、図６に示すように、各収容部１４の延在方向沿いを第１開口面１２から離れる方向（すなわち、図６の上向き）に延びている。この補助支持壁部１５により、プローブピン３をソケット１０に収容したときに、プローブピン３の開口部１２１からハウジング１１の外部に露出する部分における応力が集中し易い基部（すなわち、第１開口面１２側の端部）３５（図８に示す）を支持できる。
　図５に示すように、第２開口面１３には、第２開口面１３の短手方向の略中央部に設けられ、第２開口面１３の長手方向に沿って延びる大開口部１３１と、この大開口部１３１から第２開口面１３の短手方向に沿って相互に反対方向に延びる複数対の小開口部１３２とが設けられている。各対の小開口部は、相互に対向しかつ第２開口面１３の長手方向に一列に並んでかつ等間隔で配置されている。なお、大開口部１３１および小開口部１３２は、第２開口部の一例である。
　図６に示すように、各収容部１４は、スリット状を有し、板状のプローブピン３を相互に電気的に独立して収容可能かつ保持可能であると共に、収容したプローブピン３の板面同士が相互に対向するように並んで隣接して配置されている。また、各収容部１４は、その延在方向の一端が、第１開口面１２の開口部１２１に接続され、その延在方向の他端が、第２開口面１３の大開口部１３１および小開口部１３２に接続されている。各収容部１４には、第１収容部１４１と、この第１収容部１４１に隣接する第２収容部１４２とが含まれている。
　第１収容部１４１は、図６に示すように、第１収容部１４１と第２収容部１４２との間に配置された第１支持壁部１４３と、第１支持壁部１４３に対して第１収容部１４１および第２収容部１４２の配列方向（すなわち、図６の左右方向）でかつ第２収容部１４２から離れる方向に隙間１４５を空けて配置された第２支持壁部１４４とを有している。
　第１支持壁部１４３は、図７に示すように、一対の側壁部１４６と、一対の側壁部１４６間に設けられた貫通孔部１４７とを有している。
　一対の側壁部１４６は、第１収容部１４１の延在方向（すなわち、図７の上下方向）から見て、第１収容部１４１および第２収容部１４２の配列方向に交差する方向（例えば、配列方向に直交する方向）の両側にそれぞれ対向するように設けられ、収容されたプローブピン３を第２支持壁部１４４と共に第１収容部１４１および第２収容部１４２の配列方向において支持する。
　各側壁部１４６は、第１開口面１２から第２開口面１３まで延びており、第１開口面１２側の端部が、補助側壁部１４８により接続されている。この補助側壁部１４８は、第１開口面１２の補助支持壁部１５に接続されている。また、各側壁部１４６は、第１収容部１４１に収容されたプローブピン３の幅方向（すなわち、後述する第１接点部３１および後述する第２接点部３２を結んだ方向に直交する方向）の両端縁を支持するように構成されている（図８参照）。これにより、各側壁部１４６は、例えば、第１収容部１４１および第２収容部１４２を略全面に亘って仕切る側壁部と比較して、倒れたり歪んだりし難くなっている。
　貫通孔部１４７は、一対の側壁部１４６の間に設けられ、第１収容部１４１と第２収容部１４２とに連通している。この貫通孔部１４７は、第１収容部１４１の延在方向（すなわち、図７の上下方向）に延びる略矩形状を有し、その延在方向の第２開口面１３側の端部が、第２開口面１３の大開口部１３１に接続されている。
　また、ハウジング１１は、図５に示すように、第１支持壁部１４３および第２支持壁部１４４を接続する第１接続壁部１６および第２接続壁部１７を有している。第１支持壁部１４３および第２支持壁部１４４は、第１収容部１４１および第２収容部１４２の配列方向にそれぞれ延びていると共に、第１収容部１４１および第２収容部１４２の配列方向の交差する方向（例えば、配列方向に直交する方向）の両側にそれぞれ対向するように配置されている。
　図４および図５に示すように、第１接続壁部１６および第２接続壁部１７には、確認窓４０が設けられている。詳しくは、確認窓４０は、図５に示すように、第１接続壁部１６の第１開口面１２側の角部と、図４に示すように、第２接続壁部１７の第１開口面１２側の端部および第２開口面１３側の端部とに、それぞれ設けられている。各確認窓４０は、複数の収容部１４のその配列方向における一端から他端まで延びている。また、各確認窓４０は、図７に示すように、第１収容部１４１の延在方向から見て、第１接続壁部１６おまたは第２接続壁部１７を第１収容部１４１および第２収容部１４２の配列方向に交差する方向（例えば、配列方向に直交する方向）に貫通している。すなわち、各確認窓４０により、第１収容部１４１および第２収容部１４２を含む全ての収容部１４の内部をハウジング１１の外部から確認可能に構成されている。この確認窓４０により、例えば、第１収容部１４１に収容されたプローブピン３の変形あるいは損傷し易い部分（例えば、弾性部３０の直線部３３および湾曲部３４の切り替わり部分）を容易に確認することができるので、各収容部１４に収容されたプローブピン３の収容状態の確認（例えば、プローブピン３が損傷することなく各収容部１４に収容されているか否かの確認）が容易になる。
　各プローブピン３は、図８に示すように、弾性部３０と、弾性部３０の一端に接続された第１接点部３１と、弾性部３０の他端に接続された第２接点部３２とで構成されている。
　第１接点部３１は、第１開口面１２の開口部１２１からハウジング１１の外部に露出し、第２接点部３２は、第２開口面１３の大開口部１３１および小開口部１３２からハウジング１１の外部に露出している。また、プローブピン３の開口部１２１からハウジング１１の外部に露出する部分における基部３５は、補助支持壁部１５によって、第１収容部１４１および第２収容部１４２の配列方向において支持されている。
　弾性部３０は、第１接点部３１および第２接点部３２を結んだ方向に交差する（例えば、直交する）直線部３３と、直線部３３に接続された湾曲部３４とが交互に連続する蛇行形状を有している。湾曲部３４は、第１収容部１４１において、一対の側壁部１４６により、第１収容部１４１および第２収容部１４２の配列方向（すなわち、図８の紙面貫通方向）に支持されている。
　すなわち、ソケット１０の第１収容部１４１および第２収容部１４２の各々は、一端に第１接点部３１が設けられ他端に第２接点部３２が設けられた板状のプローブピン３を、第１接点部３１が第１開口面１２の開口部１２１から露出しかつ第２接点部３２が第２開口面１３の第２開口部１３１、１３２から露出した状態で、相互に電気的に独立して収容可能かつ保持可能に構成されている。
　なお、図１に示すように、第１収容部１４１に収容されたプローブピン３の第１接点部３１と、第２収容部１４２に収容されたプローブピン３の第１接点部３１とが、第１収容部１４１および第２収容部１４２の配列方向に平行な同一直線Ｌ（図１に示す）上に配置されている。
　前記ソケット１０によれば、第１収容部１４１が、第１収容部１４１と第２収容部１４２との間に配置された第１支持壁部１４３と、第１支持壁部１４３に対して第１収容部１４１および第２収容部１４２の配列方向でかつ第２収容部１４２から離れる方向に隙間１４５を空けて配置された第２支持壁部１４４とを有している。そして、第１支持壁部１４３が、第１収容部１４１の延在方向から見て、第１収容部１４１および第２収容部１４２の配列方向に交差する方向の両側にそれぞれ対向するように設けられ、収容されたプローブピン３（すなわち、接触子）を第２支持壁部１４４と共に配列方向において支持する一対の側壁部１４６と、一対の側壁部１４６の間に設けられ、第１収容部１４１と第２収容部１４２とに連通する貫通孔部１４７とを有している。すなわち、第１収容部１４１および第２収容部１４２を仕切る第１支持壁部１４３が、一対の側壁部１４６と貫通孔部１４７とで構成されている。これにより、例えば、第１収容部１４１に収容されたプローブピン３の幅方向（すなわち、第１接点部３１および第２接点部３２を結んだ方向に直交する方向）の両端縁を各側壁部１４６で支持して、第１収容部１４１および第２収容部１４２にそれぞれ収容されたプローブピン３同士の接触を確実に防止できるので、第１収容部１４１および第２収容部１４２の間隔の挟ピッチ化に対応できる。
　また、一対の側壁部１４６が、第１収容部１４１の延在方向に沿って第１開口面１２から第２開口面１３まで延びている。これにより、第１収容部１４１に収容されたプローブピン３を第１収容部１４１および第２収容部１４２の配列方向においてより確実に支持できるので、第１収容部１４１および第２収容部１４２の間隔の挟ピッチ化により確実に対応できる。
　また、ハウジング１１の第１接続壁部１６および第２接続壁部１７が、第１収容部１４１の内部および第２収容部１４２の内部をハウジング１１の外部から確認可能な確認窓４０を有している。この確認窓４０により、例えば、第１収容部１４１および第２収容部１４２に収容されたプローブピン３の収容状態を容易に確認できる。
　また、ハウジング１１が、第１開口面１２の開口部１２１における第１収容部１４１および第２収容部１４２の配列方向の両側に設けられた補助支持壁部１５を有している。この補助支持壁部１５により、プローブピン３の開口部１２１からハウジング１１の外部に露出する部分における応力が集中し易い基部３５を第１収容部１４１および第２収容部１４２の配列方向において支持することができるので、第１収容部１４１および第２収容部１４２に収容されたプローブピン３に発生する応力を分散させることができる。
　また、前記検査治具２によれば、ソケット１０により、例えば、挟ピッチ化された端子を有する検査対象物を検査可能な検査治具２を実現できる。
　また、検査治具２のソケット１０のハウジング１１に、第１収容部１４１の内部および第２収容部１４２の内部をハウジング１１の外部から確認可能な確認窓４０が設けられているので、第１収容部１４１および第２収容部１４２に収容されたプローブピン３の収容状態を容易に確認できる。
　また、ソケット１０の第１収容部１４１に、弾性部３０が、第１接点部３１および第２接点部３２を結んだ方向に交差する直線部３３と、直線部３３に接続された湾曲部３４とが交互に連続する蛇行形状を有するプローブピン３が収容され、このプローブピン３の湾曲部３４が、一対の側壁部１４６により、第１収容部１４１および第２収容部１４２の配列方向に支持されている。これにより、例えば、挟ピッチ化された端子を有する検査対象物を検査可能な検査治具２を容易に実現できる。
　また、前記検査ユニット１によれば、検査治具２により、例えば、挟ピッチ化された端子を有する検査対象物を検査可能でかつ汎用性の高い検査ユニット１を実現できる。
　なお、前記検査ユニット１は、検査装置の一部を構成することができる。このような検査装置によれば、検査ユニット１により、例えば、挟ピッチ化された端子を有する検査対象物を検査可能でかつ汎用性の高い検査装置を実現できる。
　第１収容部１４１は、複数の収容部１４の任意の１つの収容部１４であればよく、第２収容部１４１は、第１収容部１４１に隣接する収容部１４であればよい。
　各側壁部１４６は、第１収容部１４１の延在方向に沿って第１開口面１２から第２開口面１３まで延びている場合に限らない。各側壁部１４６は、収容されたプローブピン３を第２支持壁部１４４と共に第１収容部１４１および第２収容部１４２の配列方向において支持することができれば、例えば、第２開口面１３から第１開口面１２および第２開口面１３の中間まで延びる側壁部であってもよい。
　第１支持壁部１４３は、一対の側壁部１４６と、一対の側壁部１４６の間に設けられた貫通孔部１４７とを有していればよい。すなわち、補助側壁部１４８は、省略してもよい。
　確認窓４０は、第１接続壁部１６および第２接続壁部１７の少なくともいずれかに、少なくとも１つ設けられていればよい。また、確認窓４０は、省略することもできる。
　補助支持壁部１５は、図９に示すように、省略してもよい。
　検査ユニット１は、少なくとも１つの検査治具２を備えていればよい。また、検査治具２およびベースハウジング２０は、検査装置あるいは検査対象物の様々な態様に応じて、その構成を適宜変更することができる。すなわち、検査治具２およびベースハウジング２０を汎用化して、検査ユニット１の生産性を向上させることができる。
　プローブピン３は、板状を有し、一端に第１接点部３１が設けられ、他端に第２接点部３２が設けられていれば、任意の構成のプローブピンを採用できる。例えば、第１接点部３１および第２接点部３２の各々は、検査装置あるいは検査対象物の様々な態様に応じて、形状および位置などを適宜変更することができる。
　以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。
　本開示の第１態様のソケット１０は、
　第１開口面１２と、前記第１開口面１２に対向する第２開口面１３と、前記第１開口面１２および前記第２開口面１３に交差する方向にそれぞれ延びる第１収容部１４１および第２収容部１４２とを有し、前記第１収容部１４１および前記第２収容部１４２の各々が、一端に第１接点部３１が設けられ他端に第２接点部３２が設けられた板状の接触子３を前記第１接点部３１が前記第１開口面１２の第１開口部１２１から露出しかつ前記第２接点部３２が前記第２開口面１３の第２開口部１３１、１３２から露出した状態で相互に電気的に独立して収容可能かつ保持可能であると共に、収容した前記接触子３の板面同士が相互に対向するように並んで隣接して配置されているハウジング１１を備え、
　前記第１収容部１４１が、
　前記第１収容部１４１と前記第２収容部１４２との間に配置された第１支持壁部１４３と、
　前記第１支持壁部１４３に対して前記第１収容部１４１および前記第２収容部１４２の配列方向でかつ前記第２収容部１４２から離れる方向に隙間１４５を空けて配置された第２支持壁部１４４と
を有し、
　前記第１支持壁部１４３が、
　前記第１収容部１４１の延在方向から見て、前記配列方向に交差する方向の両側にそれぞれ対向するように設けられ、収容された前記接触子３を前記第２支持壁部１４４と共に前記配列方向において支持する一対の側壁部１４６と、
　前記一対の側壁部１４６の間に設けられ、前記第１収容部１４１と前記第２収容部１４２とに連通する貫通孔部１４７と
を有する。
　第１態様のソケット１０によれば、第１収容部１４１および第２収容部１４２を仕切る第１支持壁部１４３が、一対の側壁部１４６と貫通孔部１４７とで構成されている。これにより、例えば、第１収容部に収容された接触子３の幅方向（すなわち、第１接点部３１および第２接点部３２を結んだ方向に直交する方向）の両端縁を各側壁部１４６で支持して、第１収容部１４１および第２収容部１４２にそれぞれ収容された接触子３同士の接触を確実に防止できるので、第１収容部１４１および第２収容部１４２の間隔の挟ピッチ化に対応できる。
　本開示の第２態様のソケット１０は、第１態様のソケット１０において、
　前記一対の側壁部１４６が、前記延在方向に沿って前記第１開口面１２から前記第２開口面１３まで延びている。
　第２態様のソケット１０によれば、第１収容部１４１に収容された接触子３を第１収容部１４１および第２収容部１４２の配列方向においてより確実に支持できるので、第１収容部１４１および第２収容部１４２の間隔の挟ピッチ化により確実に対応できる。
　本開示の第３態様のソケット１０は、第１態様または第２態様のソケット１０において、
　前記ハウジング１１が、
　前記配列方向に交差する方向の両側にそれぞれ対向するように配置されて、前記第１支持壁部１４３および前記第２支持壁部１４４をそれぞれ接続する第１接続壁部１６および第２接続壁部１７を有し、
　前記第１接続壁部１６および前記第２接続壁部１７の少なくともいずれかが、
　前記第１接続壁部１６または前記第２接続壁部１７を前記延在方向から見て前記配列方向に交差する方向に貫通して、前記第１収容部１４１の内部および前記第２収容部１４２の内部を前記ハウジング１１の外部から確認可能な確認窓４０を有している。
　第３態様のソケット１０によれば、確認窓４０により、例えば、第１収容部１４１および第２収容部１４２に収容された接触子３の収容状態を容易に確認できる。
　本開示の第４様のソケット１０は、第１態様から第３態様のいずれか１つのソケット１０において、
　前記ハウジング１１が、
　前記第１開口面１２の前記第１開口部１２１における前記配列方向の両側に設けられ、前記延在方向沿いを前記第１開口面１２から離れる方向に延びる補助支持壁部１５を有している。
　第４態様のソケット１０によれば、補助支持壁部１５により、接触子３の開口部１２１からハウジング１１の外部に露出する部分における応力が集中し易い基部３５を第１収容部１４１および第２収容部１４２の配列方向において支持することができるので、第１収容部１４１および第２収容部１４２に収容された接触子３に発生する応力を分散させることができる。
　本開示の第５態様の検査治具２は、
　第１態様から第４態様のいずれか１つのソケット１０と、
　前記ソケット１０の前記第１収容部１４１および前記第２収容部１４２にそれぞれ収容された複数の前記接触子３と
を備え、
　前記第１収容部１４１に収容された前記接触子３の前記第１接点部３１と、前記第２収容部１４２に収容された前記接触子３の前記第１接点部３２とが、前記配列方向に平行な同一直線Ｌ上に配置されている。
　第５態様の検査治具２によれば、ソケット１０により、例えば、挟ピッチ化された端子を有する検査対象物を検査可能な検査治具２を実現できる。
　本開示の第６態様の検査治具２は、
　第３態様または第３態様を含む第４態様のソケット１０と、
　前記ソケット１０の前記第１収容部１４１および前記第２収容部１４２に収容された複数の前記接触子３と
を備え、
　前記第１収容部１４１に収容された前記接触子３の前記第１接点部３１と、前記第２収容部１４２に収容された前記接触子３の前記第１接点部３１とが、前記配列方向に平行な同一直線Ｌ上に配置されていると共に、
　前記確認窓４０を介して、前記第１収容部１４１および前記第２収容部１４２に収容された前記接触子３の収容状態を確認可能に構成されている。
　第６態様の検査治具２によれば、第１収容部１４１の内部および第２収容部１４２の内部をハウジング１１の外部から確認可能な確認窓４０が設けられているので、第１収容部１４１および第２収容部１４２に収容された接触子３の収容状態を容易に確認できる。
　本開示の第７態様の検査治具２は、第５態様または第６態様の検査治具２において、
　前記接触子３が、前記第１接点部３１および前記第２接点部３２に接続された弾性部３０を有し、
　前記弾性部３０が、前記第１接点部３１および前記第２接点部３２を結んだ方向に交差する直線部３３と、前記直線部３３に接続された湾曲部３４とが交互に連続する蛇行形状を有し、
　前記第１収容部１４１において、前記湾曲部３４が、前記一対の側壁部１４６により前記配列方向に支持されている。
　第７態様の検査治具２によれば、ソケット１０および接触子３により、例えば、挟ピッチ化された端子を有する検査対象物を検査可能な検査治具２を容易に実現できる。
　本開示の第８態様の検査ユニット１は、
　第５態様から第７態様のいずれか１つの検査治具２を少なくとも１つ備えた。
　第８態様の検査ユニット１によれば、検査治具２により、例えば、挟ピッチ化された端子を有する検査対象物を検査可能でかつ汎用性の高い検査ユニット１を実現できる。
　本開示の第９態様の検査装置は、
　第８態様の検査ユニット１を少なくとも１つ備えた。
　第９態様の検査装置によれば、検査ユニット１により、例えば、挟ピッチ化された端子を有する検査対象物を検査可能でかつ汎用性の高い検査装置を実現できる。
　なお、前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。
　本開示のソケットは、例えば、液晶パネルの検査に用いる検査治具に適用できる。
　本開示の検査治具は、例えば、液晶パネルの検査に用いる検査ユニットに適用できる。
　本開示の検査ユニットは、例えば、液晶パネルの検査装置に適用できる。
　本開示の検査装置は、例えば、液晶パネルの検査に用いることができる。
１　検査ユニット
２　検査治具
３　プローブピン
１０　ソケット
１１　ハウジング
１２　第１開口面
１２１　開口部
１３　第２開口面
１３１　大開口部
１３２　小開口部
１４　収容部
１４１　第１収容部
１４２　第２収容部
１４３　第１支持壁部
１４４　第２支持壁部
１４５　隙間
１４６　側壁部
１４７　貫通孔部
１４８　補助側壁部
１５　補助支持壁部
１６　第１接続壁部
１７　第２接続壁部
２０　ベースハウジング
２１　ベース部
２１１　ベース本体
２１２　突出部
２２　カバー部
２３　蓋部
２３１　蓋本体
２３２　付勢受け部
２３３　貫通孔部
２４　凹部
２４１、２４２　開口部
２５　開口部
２６　付勢部
２７　収容空間
２８　脱落防止カバー
２８１　貫通孔部
３０　弾性部
３１　第１接点部
３２　第２接点部
３３　直線部
３４　湾曲部
３５　基部
Ｌ　直線

Claims (9)

  1. 　第１開口面と、前記第１開口面に対向する第２開口面と、前記第１開口面および前記第２開口面に交差する方向にそれぞれ延びる第１収容部および第２収容部とを有し、前記第１収容部および前記第２収容部の各々が、一端に第１接点部が設けられ他端に第２接点部が設けられた板状の接触子を前記第１接点部が前記第１開口面の第１開口部から露出しかつ前記第２接点部が前記第２開口面の第２開口部から露出した状態で相互に電気的に独立して収容可能かつ保持可能であると共に、収容した前記接触子の板面同士が相互に対向するように並んで隣接して配置されているハウジングを備え、
    　前記第１収容部が、
    　前記第１収容部と前記第２収容部との間に配置された第１支持壁部と、
    　前記第１支持壁部に対して前記第１収容部および前記第２収容部の配列方向でかつ前記第２収容部から離れる方向に隙間を空けて配置された第２支持壁部と
    を有し、
    　前記第１支持壁部が、
    　前記第１収容部の延在方向から見て、前記配列方向に交差する方向の両側にそれぞれ対向するように設けられ、収容された前記接触子を前記第２支持壁部と共に前記配列方向において支持する一対の側壁部と、
    　前記一対の側壁部の間に設けられ、前記第１収容部と前記第２収容部とに連通する貫通孔部と
    を有する、ソケット。
  2. 　前記一対の側壁部が、前記延在方向に沿って前記第１開口面から前記第２開口面まで延びている、請求項１のソケット。
  3. 　前記ハウジングが、
    　前記配列方向に交差する方向の両側にそれぞれ対向するように配置されて、前記第１支持壁部および前記第２支持壁部をそれぞれ接続する第１接続壁部および第２接続壁部を有し、
    　前記第１接続壁部および前記第２接続壁部の少なくともいずれかが、
    　前記第１接続壁部または前記第２接続壁部を前記延在方向から見て前記配列方向に交差する方向に貫通して、前記第１収容部の内部および前記第２収容部の内部を前記ハウジングの外部から確認可能な確認窓を有している、請求項１または２のソケット。
  4. 　前記ハウジングが、
    　前記第１開口面の前記第１開口部における前記配列方向の両側に設けられ、前記延在方向沿いを前記第１開口面から離れる方向に延びる補助支持壁部を有している、請求項１から３のいずれか１つのソケット。
  5. 　請求項１から４のいずれか１つのソケットと、
    　前記ソケットの前記第１収容部および前記第２収容部にそれぞれ収容された複数の前記接触子と
    を備え、
    　前記第１収容部に収容された前記接触子の前記第１接点部と、前記第２収容部に収容された前記接触子の前記第１接点部とが、前記配列方向に平行な同一直線上に配置されている、検査治具。
  6. 　請求項３または請求項３に従属する請求項４のソケットと、
    　前記ソケットの前記第１収容部および前記第２収容部に収容された複数の前記接触子と
    を備え、
    　前記第１収容部に収容された前記接触子の前記第１接点部と、前記第２収容部に収容された前記接触子の前記第１接点部とが、前記配列方向に平行な同一直線上に配置されていると共に、
    　前記確認窓を介して、前記第１収容部および前記第２収容部に収容された前記接触子の収容状態を確認可能に構成されている、検査治具。
  7. 　前記接触子が、前記第１接点部および前記第２接点部に接続された弾性部を有し、
    　前記弾性部が、前記第１接点部および前記第２接点部を結んだ方向に交差する直線部と、前記直線部に接続された湾曲部とが交互に連続する蛇行形状を有し、
    　前記第１収容部において、前記湾曲部が、前記一対の側壁部により前記配列方向に支持されている、請求項５または６の検査治具。
  8. 　請求項５から７のいずれか１つの検査治具を少なくとも１つ備えた、検査ユニット。
  9. 　請求項８の検査ユニットを少なくとも１つ備えた検査装置。
PCT/JP2017/044943 2017-12-14 2017-12-14 ソケット、検査治具、検査ユニットおよび検査装置 WO2019116512A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2017/044943 WO2019116512A1 (ja) 2017-12-14 2017-12-14 ソケット、検査治具、検査ユニットおよび検査装置
KR1020180012043A KR101851519B1 (ko) 2017-12-14 2018-01-31 소켓, 검사 지그, 검사 유닛 및 검사 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2017/044943 WO2019116512A1 (ja) 2017-12-14 2017-12-14 ソケット、検査治具、検査ユニットおよび検査装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2019116512A1 true WO2019116512A1 (ja) 2019-06-20

Family

ID=62089035

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2017/044943 WO2019116512A1 (ja) 2017-12-14 2017-12-14 ソケット、検査治具、検査ユニットおよび検査装置

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR101851519B1 (ja)
WO (1) WO2019116512A1 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7226441B2 (ja) * 2018-05-22 2023-02-21 オムロン株式会社 プローブピン
TWI718610B (zh) * 2018-08-09 2021-02-11 日商歐姆龍股份有限公司 探針單元
JP7314633B2 (ja) * 2019-06-11 2023-07-26 オムロン株式会社 プローブピン、検査治具および検査ユニット

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000241788A (ja) * 1999-02-24 2000-09-08 Japan Aviation Electronics Industry Ltd 液晶板用通電検査治具
JP2002343522A (ja) * 2001-05-10 2002-11-29 Wells Cti Kk Ｉｃソケット
JP2006226907A (ja) * 2005-02-18 2006-08-31 Nhk Spring Co Ltd 導電性接触子ユニットおよび導電性接触子
US20090102495A1 (en) * 2007-10-19 2009-04-23 January Kister Vertical guided probe array providing sideways scrub motion
JP2011196844A (ja) * 2010-03-19 2011-10-06 Renesas Electronics Corp 電子部品用コンタクタ、電子部品の検査装置、及び、電子部品の検査方法
JP2014523527A (ja) * 2011-06-08 2014-09-11 須藤 健三 チップ検査用プローブ装置
US20150015287A1 (en) * 2013-07-11 2015-01-15 Johnstech International Corporation Testing apparatus and method for microcircuit and wafer level ic testing

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100312490B1 (ko) * 1999-02-12 2001-11-03 로마스 엘 심스 접촉 면적이 확대된 접속핀 및 이를 이용한 집적회로 검사 소켓
JP4842733B2 (ja) * 2006-08-18 2011-12-21 日本発條株式会社 導電性接触子および導電性接触子ユニット
US9429591B1 (en) * 2013-03-15 2016-08-30 Johnstech International Corporation On-center electrically conductive pins for integrated testing
WO2015006624A2 (en) * 2013-07-11 2015-01-15 Johnstech International Corporation On-center electrically conductive pins for integrated testing
KR101954900B1 (ko) * 2015-06-03 2019-05-31 (주)에이피텍 테스트 핀 및 이를 포함하는 테스트 장치
JP6515877B2 (ja) * 2016-06-17 2019-05-22 オムロン株式会社 プローブピン

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000241788A (ja) * 1999-02-24 2000-09-08 Japan Aviation Electronics Industry Ltd 液晶板用通電検査治具
JP2002343522A (ja) * 2001-05-10 2002-11-29 Wells Cti Kk Ｉｃソケット
JP2006226907A (ja) * 2005-02-18 2006-08-31 Nhk Spring Co Ltd 導電性接触子ユニットおよび導電性接触子
US20090102495A1 (en) * 2007-10-19 2009-04-23 January Kister Vertical guided probe array providing sideways scrub motion
JP2011196844A (ja) * 2010-03-19 2011-10-06 Renesas Electronics Corp 電子部品用コンタクタ、電子部品の検査装置、及び、電子部品の検査方法
JP2014523527A (ja) * 2011-06-08 2014-09-11 須藤 健三 チップ検査用プローブ装置
US20150015287A1 (en) * 2013-07-11 2015-01-15 Johnstech International Corporation Testing apparatus and method for microcircuit and wafer level ic testing

Also Published As

Publication number Publication date
KR101851519B1 (ko) 2018-04-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108401443B (zh) 插座
CN110118882B (zh) 探针、检查夹具、检查单元和检查装置
KR102103370B1 (ko) 프로브 핀, 검사 지그, 검사 유닛 및 검사 장치
KR102067936B1 (ko) 프로브 핀, 검사 지그, 검사 유닛 및 검사 장치
WO2019116512A1 (ja) ソケット、検査治具、検査ユニットおよび検査装置
KR102148842B1 (ko) 검사구, 검사 유닛 및 검사 장치
JP7046527B2 (ja) 電気的接続装置
JP7067265B2 (ja) コネクタ
KR102610514B1 (ko) 소켓, 소켓 유닛, 검사 지그 및 검사 지그 유닛
KR102253399B1 (ko) 프로브 핀, 검사 지그 및 검사 유닛
WO2020095679A1 (ja) プローブピンおよび検査治具
JP4086843B2 (ja) コンタクトピンモジュール、および、それを備える半導体装置用ソケット
WO2020045066A1 (ja) プローブピン用ハウジング、検査治具、検査ユニットおよび検査装置
JP2018129142A (ja) 接続モジュール
KR102608592B1 (ko) 제품 테스트 소켓용 회로 기판 정렬 장치
JP6881354B2 (ja) 検査ユニットおよび検査装置
KR102412993B1 (ko) 커넥터
KR20240051822A (ko) 검사 소켓 및 검사 장치
KR20200133366A (ko) 프로브 핀

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 17934749

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 17934749

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP