CN107807256B - 用于测试电子部件的插座和测试点装置 - Google Patents

Abstract

一种用于测试电子部件的插座，包括：多个力感测对，每个力感测对均包括力接触弹簧和感测接触弹簧，其中，力接触弹簧和感测接触弹簧位于彼此附近，并且其中，力接触弹簧和感测接触弹簧中的至少一个包覆有电绝缘涂层，力接触弹簧和感测接触弹簧在该电绝缘涂层处彼此抵靠。

Description

用于测试电子部件的插座和测试点装置

技术领域

本发明的实施方案涉及一种用于测试电子部件的插座以及一种包括多个测试插座的测试点装置(test site arrangement)。

背景技术

在测试电子部件的后端过程中，为了达到正确的测试结果，需要电子部件的良好接触。所谓的“开尔文接触插座”使用电开尔文接触来评估接触弹簧与电子部件或所谓的DUT(“被测器件”)的末端的接触。开尔文接触要求接触DUT的末端两次。然而，在半导体技术的开发过程中，DUT的间距和测试点装置的间距变得越来越小。

发明内容

可能需要提供下述用于测试电子部件的插座，该插座在尽管测试点装置的间距小的情况下也能评估与相应电子部件的接触质量。为了满足上述需要，提供了根据本申请的用于测试电子部件的插座和包括多个插座的测试点装置。

根据本发明的实施方案，用于测试电子部件的插座包括：多个力感测对，每个力感测对均包括力接触弹簧和感测接触弹簧，其中，力接触弹簧和感测接触弹簧位于彼此附近，并且其中，力接触弹簧和感测接触弹簧中的至少一个包覆有电绝缘涂层，力接触弹簧和感测接触弹簧在该电绝缘涂层处彼此抵靠或邻接。

根据本发明的另一实施方案，测试点装置包括多个插座，其中，所述多个插座布置成矩阵形式。

特别地，力接触弹簧和感测接触弹簧直接位于彼此附近。特别地，可限定有区域，在所述区域中力接触弹簧和感测接触弹簧彼此邻接。该区域可以包括一个或多个区(在所述区中力接触弹簧和感测接触弹簧彼此邻接)。特别地，在力接触弹簧和感测接触弹簧彼此抵靠或邻接的区域中，力接触弹簧或感测接触弹簧中的任一个包覆有电绝缘涂层。术语“矩阵”可以指至少2x1或1x2的阵列。

术语“插座”可以指所谓的“开尔文插座”、“开尔文接触插座”或简单的“接触插座”，用作接触弹簧的容器，所述接触弹簧适于接触单个电子部件或所谓的“DUT”(“被测器件”)的末端。

词语“力感测对”可以指使用四端子感测，也称为开尔文感测(或4线测量)。同时被设计成将力感测对连接至DUT的单个末端或导线的接触对通常被称为开尔文接触。因此，力感测对可以包括具有与感测接触弹簧的轮廓非常类似的轮廓的力接触弹簧。特别地，力接触弹簧和感测接触弹簧可以在很大程度上是一致的(congruent，叠合)。

词语“接触弹簧”可以指导电弹簧，包括：用于接触DUT的末端的尖端；DUT侧伸出臂，尖端位于其端部处，所述DUT侧伸出臂允许尖端的弹性移动；测试器侧尖端，用于接触所谓的DUT板；以及测试器侧伸出臂，测试器侧尖端位于其端部处，所述测试器侧伸出臂允许测试器侧尖端的弹性移动。取决于在开尔文接触中接触弹簧是用作力接触还是感测接触的电目的，“接触弹簧”这个名称可以适用于词语“力接触弹簧”和“感测接触弹簧”。接触弹簧可以通过用线切割EDM来切割金属片而一体形成。

短语“位于彼此附近”可以指接触和邻接意义上的相邻。位于彼此附近的表达可以明确地意指在某个点、某条线或某个区处相遇并接触。词语“测试点装置”可以指插座(测试插座或特别地开尔文插座)的矩阵布置。特别地，插座矩阵可以布置在所谓的DUT板上，在ATE(自动化测试设备)中实现从DUT到测试器的电接触。

本发明的基本理念可以是，至少在两个类似接触弹簧(即，力接触弹簧和感测接触弹簧)的接触区的区域中，接触弹簧中的至少一个包覆有电绝缘涂层，使得两个接触弹簧并排布置并彼此电绝缘。因此，电绝缘涂层可以允许在开尔文感测中使用两个接触弹簧作为力接触和感测接触。如果力接触弹簧和感测接触弹簧具有在很大程度上类似的轮廓，使得轮廓在很大程度上一致(该程度可以为至少超过每个接触弹簧的20％、30％、40％、50％或60％)，使得可以减少力接触弹簧和感测接触弹簧彼此的摩擦。另外，构造出适当地容纳并排的力接触弹簧和感测接触弹簧二者的插座可以是较容易的。特别地，力接触弹簧和感测接触弹簧的止动销和/或互锁销的形状或轮廓可以相同。词语“止动销”可以指用于停止或控制力感测对的DUT侧伸出臂的移动的销。止动销可以包括力接触弹簧的力止动销和感测接触弹簧的感测止动销。特别地，力止动销和感测止动销的形状或轮廓可以相同。止动销可以与作为插座一部分的限位块相互作用，以限制力感测对的DUT侧伸出臂的移动。词语“互锁销”可以指适于与插座的互锁块相互作用的销。通过相互作用，力感测对可以与插座互锁，使得仅留下DUT侧伸出臂和测试器侧伸出臂的移动。可以通过轮廓可以相同的力互锁销和感测互锁销将力感测对的互锁销设置在一起。

因此，可以减少布置插座所需的空间，使得可以减小相邻插座之间的间距。因此，可以减少布置用于测试点装置的矩阵形式的多个插座的空间。如果通过并排布置形成力感测对而不是将力接触弹簧和感测接触弹簧布置成一行(参见示出现有技术的图8)，则可以在给定区域中布置较多的测试插座。

根据插座的示例实施方案，力接触弹簧或感测接触弹簧中的至少一个除了DUT侧尖端和测试器侧尖端外完全包覆有电绝缘涂层。

如果例如使用PVD工艺对力接触弹簧和感测接触弹簧中的一个进行包覆，那么，如果相应接触弹簧完全包覆有电绝缘涂层的话，则包覆工艺可以较容易。词语“DUT侧尖端”可以指力尖端和感测尖端。词语“测试器侧尖端”可以指测试器侧力尖端和测试器侧感测尖端。然而，力接触弹簧和感测接触弹簧中每个的DUT侧尖端和测试器侧尖端可以不用电绝缘涂层包覆，从而允许分别在一侧与DUT接触并在另一侧与DUT板接触。

根据插座的示例实施方案，其中，力接触弹簧和感测接触弹簧包覆有电绝缘涂层。

电绝缘涂层可以应用于力接触弹簧和感测接触弹簧二者。因此，由于在达到力接触弹簧和感测接触弹簧没有电绝缘地彼此摩擦的程度的时间延长了，因此可以延长维护周期。另一结果可能是接触弹簧对更为可靠，因为即使接触弹簧中的一个如因操作不当而受损，但接触弹簧对仍然继续工作。

根据插座的示例实施方案，电绝缘涂层可以至少部分地包括由聚对二甲苯、DLC、陶瓷、清漆或聚酰亚胺箔组成的组的一层。

术语“DLC”可以指被称为“类金刚石碳”的PVD涂层。词语“聚酰亚胺箔”通常用词语“

箔”表示。

根据插座的示例实施方案，多个力感测对中的两个相邻力感测对通过中间间隔物彼此电绝缘。

术语“间隔物”可以指使事物有间隔地放置或在其间布置有空隙的零件。特别地，间隔物可以由电绝缘材料制成或包覆有电绝缘材料，使得两个相邻的力感测对彼此电绝缘。

根据插座的示例实施方案，间隔物包括：在力感测对的尖端区域附近的前侧间隔物部分，以及在力感测对的伸出臂附近的后侧间隔物部分。

词语“前侧”可以指事物的前部或表面。此处，前侧间隔物部分可以指存在间隔物的位于DUT侧端部或接触弹簧的尖端附近的前部。

词语“后侧”可以指事物的后部或表面。此处，后侧间隔物部分可以指存在间隔物的位于伸出臂相对于DUT侧端部或尖端的相对端附近的后部。特别地，术语伸出臂可以指仅在一端处被支撑的突出梁或构件，其中，所述构件被支撑的端部是伸出臂的背侧端部或后侧端部。伸出臂的前侧端部可以是伸出臂终止于尖端以用于接触DUT的末端的端部。

术语“尖端”可以指用作端部、盖、点或尖的小件或小部分。接触弹簧可以具有用于接触DUT末端的尖端。接触弹簧的另一端可以称为“测试器侧尖端”。术语“区域”可以指特定范围的空间或表面的区或者发挥特殊功能的区。在这个意义上，区域可以指主体或其一部分可以划分成的任何主要分部。特别地，尖端区域可以指接触弹簧的该部分，在其间尖端在一侧上并且伸出臂朝向其DUT侧端部弯曲。尖端区域可以在很大程度上垂直于伸出臂且平行于朝向DUT的测试移动延伸。

根据插座的示例实施方案，三个相邻力感测对的中间力感测对布置在位于中间力感测对的每侧上的两个间隔物的狭缝内。

特别地，可以提供第一、第二和第三力感测对，并且第二力感测对可以布置在第一和第三力感测对之间。第一和第二力感测对之间可以布置第一间隔物。第二和第三力感测对之间可以布置第二间隔物。第一和第二间隔物中的每个均可以包括前侧间隔物部分和后侧间隔物部分。每个中间或第二力感测对均可以布置在狭缝中，使得相邻力感测对中的每个均与中间力感测对绝缘。

根据插座的示例实施方案，力接触弹簧和感测接触弹簧中的至少一个包括位于尖端区域附近的切割自由区(cut free zone)，使得力接触弹簧和感测接触弹簧在切割自由区中无接触。

特别地，接触弹簧中具有切割自由区的接触弹簧在切割自由区的区中可以不用电绝缘涂层包覆。特别地，接触弹簧中具有切割自由区的接触弹簧在切割自由区的区中可以用电绝缘涂层包覆。特别地，力接触弹簧和/或感测接触弹簧二者均可以包括切割自由区。

术语“切割自由区”可以指接触弹簧的尖端的区域中的区，接触弹簧在这里可能具有减小厚度。接触弹簧的厚度可以取决于通过线切割EDM而从中切割出接触弹簧的金属片的厚度。因此，可以由垂直于接触弹簧的轮廓或移动平面的长度限定厚度。特别地，力接触弹簧和感测接触弹簧二者均可以包括切割自由区。如果力接触弹簧和感测接触弹簧二者均包括切割自由区，则两个切割自由区可以位于彼此对面。切割自由区可以避免接触弹簧的在其尖端附近的不利污染引起接触不良或短路。一个或两个切割自由区可以允许进行开尔文感测，因为避免了力接触弹簧和感测接触弹簧之间的短路。

根据上述定义，词语“尖端区域”可以指这样的部分，在其间接触弹簧从伸出臂向尖端弯曲。尖端区域可以包括接触尖端。尖端区域在很大程度上可以平行于DUT朝向接触弹簧的尖端的移动方向。由于尖端区域上的力很大程度上可以平行于尖端区域的延伸部施加，因此切割自由区不会降低接触弹簧的稳定性。

根据插座的示例实施方案，在与力接触弹簧的移动平面垂直的方向上，力接触弹簧比感测接触弹簧厚。

特别地，通过线切割EDM从第一金属片切割出力接触弹簧，并通过线切割EDM从另一第二金属片切割出感测接触弹簧，其中，第一金属片比第二金属片厚。因此，力接触弹簧的轮廓和感测接触弹簧的轮廓由相应的切割线给出，而力接触弹簧和感测接触弹簧的厚度分别由第一和第二金属片的厚度给出。

特别地，较厚的力接触弹簧包括切割自由区，以便减小力接触弹簧的厚度但不会降低力接触弹簧的稳定性。特别地，如果两个接触弹簧均具有切割自由区，那么力接触弹簧的切割自由区可以在比感测接触弹簧的切割自由区大的程度上使接触弹簧自由切割。

根据插座的示例实施方案，互锁块将力互锁销和感测互锁销互锁，使得力接触弹簧和感测接触弹簧被同一互锁块互锁。

使用同一互锁块来安装力接触弹簧和感测接触弹簧可以允许接触弹簧的较紧密布置。因此，可以减少插座在测试点装置中所需的空间。力互锁销和感测互锁销可以叠合地位于彼此上方或彼此上，并且这可以称为力感测对的“互锁销”。

根据插座的示例实施方案，多个力感测对被分组为一组力感测对，使得力感测对沿直线布置。

根据插座的示例实施方案，多个力感测对被分组为至少两组力感测对，其中，所述至少两组位于彼此对面。

特别地，第一和第三组力感测对可以位于彼此对面。特别地，第二和第四组力感测对可以位于彼此对面，并且第二和第三组可以与第一和第三组成矩形布置。

根据插座的示例实施方案，每个力接触弹簧均包括测试器侧力伸出臂，并且每个感测接触弹簧均包括测试器侧感测伸出臂，其中，测试器侧力伸出臂和测试器侧感测伸出臂中的至少一个比另一个短，使得力接触弹簧的测试器侧力伸出臂沿一条第一线布置，而测试器侧感测伸出臂沿另一条第二线布置。

特别地，力接触弹簧和感测接触弹簧的相邻测试器侧尖端之间的Z字形线可能是力接触弹簧组的测试器侧伸出臂和感测接触弹簧组的测试器侧伸出臂具有不同长度造成的，其中，对于每组，测试器侧伸出臂的长度相同。将相邻力接触弹簧和感测接触弹簧布置成具有不同长度的相应伸出臂可以允许较小的接触弹簧间距。插座间距较小的说法等同于插座在测试点装置中所需空间较小的说法。测试器侧感测伸出臂可以比测试器侧力伸出臂短。然而，测试器侧力伸出臂可以比测试器侧感测伸出臂短。这样，第二构造甚至可以允许插座的较高载流能力。

根据插座的示例实施方案，力接触弹簧包括具有力突出部的力尖端区域。力突出部的端部分形成为力尖端，并且感测接触弹簧包括具有感测尖端的感测尖端区域。力突出部沿朝向感测尖端区域的方向弯曲，使得感测尖端和力尖端平行于彼此延伸。

通过弯曲力突出部，由于扩大的接触表面，因而可以确保被测器件与力尖端之间的接触表面。另外，力尖端区域是结实坚固的。

根据插座的示例实施方案，力尖端的力长度等于感测尖端的感测长度，这对应于感测尖端区域在与力接触弹簧的移动平面垂直的方向上的厚度。该移动平面如上文限定。特别地，移动平面是通过线切割EDM从中分别切割出力接触弹簧和感测接触弹簧的金属片的延伸平面。

根据插座的示例实施方案，感测接触弹簧包括具有感测突出部的感测尖端区域。感测突出部的端部分形成为感测尖端，并且力接触弹簧包括具有力尖端的力尖端区域。感测突出部沿朝向力尖端区域的方向弯曲，使得力尖端和感测尖端平行于彼此延伸。

通过弯曲感测突出部，由于扩大的接触表面，因而可以确保被测器件与感测尖端之间的接触表面。另外，感测尖端区域是结实坚固的。

根据插座的示例实施方案，感测尖端的感测长度等于力尖端的力长度，这对应于力尖端区域在与力接触弹簧的移动平面垂直的方向上的厚度。

根据插座的示例实施方案，力接触弹簧包括具有力突出部的力尖端区域。力突出部的端部分形成为力尖端。感测接触弹簧包括具有感测突出部的感测尖端区域。此外，感测突出部的端部分形成为感测尖端。力突出部沿朝向感测尖端区域的方向弯曲，并且感测突出部沿朝向力尖端区域的方向弯曲，使得感测尖端和力尖端平行于彼此延伸。

通过弯曲力突出部和感测突出部，由于扩大的接触表面，因而可以确保被测器件分别与力尖端和感测尖端之间的接触表面。另外，力尖端区域和感测尖端区域均是结实坚固的。

根据本发明的示例实施方案，力尖端的力长度等于感测尖端的感测长度，并且力尖端的力长度对应于在与力接触弹簧的移动平面垂直的方向上感测尖端区域的厚度与感测突出部厚度的总和。

根据插座的示例实施方案，力尖端和感测尖端通过间隙彼此间隔。因此，确保了在接触被测器件期间不会形成捷径。

附图说明

图1示出了力感测对的立体图。

图2a以立体图示出了力感测对的细节。

图2b以前视图示出了力感测对的细节。

图3a以前视图示出了另一力感测对的细节。

图3b以俯视图示出了该另一力感测对的细节。

图3c以俯视图示出了力感测对的细节。

图4示出了插座的立体图。

图5以立体图示出了插座的细节。

图6a以仰视图示出了插座的细节。

图6b示出了插座的示意图。

图6c示出了另一插座的示意图。

图7示出了测试点装置的示意图。

图8a示出了力感测对的现有技术布置。

图8b示出了力感测对的现有技术布置所需的空间。

图9a以立体图示出了另一力感测对的细节。

图9b以前视图示出了该另一力感测对的细节。

图9c示出了力感测对的接触表面。

图10a以立体图示出了另一力感测对的细节。

图10b以前视图示出了该另一力感测对的细节。

图10c示出了该另一力感测对的接触表面。

图11以立体图示出了另一力感测对的细节。

具体实施方式

图1示出了开尔文测量应用的力感测对100的立体图。力接触弹簧110和感测接触弹簧120在很大程度上位于彼此附近，并具有典型的悬臂接触弹簧的形状。力接触弹簧110和感测接触弹簧120的形状或轮廓非常相似，不同之处仅在于尖端区域112、122的形状和测试器侧伸出臂116、126的长度。力接触弹簧110的力尖端111适于接触DUT(未示出)的末端。力尖端区域112平行于DUT朝向力接触弹簧110的移动延伸，并终止于力尖端111。DUT侧力伸出臂113主要与力尖端区域112成直角地延伸，使得DUT的移动垂直于DUT侧力伸出臂113，这因此允许DUT的弹性接触。力止动销114从DUT测伸出臂113沿与力尖端区域112相反的方向延伸，该力止动销允许DUT侧伸出臂113沿朝向DUT的方向的受限移动，或允许通过与止动块504(参见图5)的相互作用而偏置DUT侧伸出臂113。DUT侧力伸出臂113和测试器侧力伸出臂116主要平行于彼此延伸并主要平行于布置在它们之间的互锁销105延伸，该互锁销允许通过与互锁块505(再次参见图5)的相互作用将力接触弹簧110互锁在插座主体中。测试器侧力伸出臂116止于测试器侧力尖端117，测试器侧力尖端与作为DUT侧力伸出臂113的终止部的力尖端111反平行地定向。DUT侧力伸出臂113叠合地位于DUT侧感测伸出臂123上可以称为力感测对100的“DUT侧伸出臂”103。测试器侧力伸出臂116叠合地位于测试器侧感测伸出臂126上可以称为力感测对100的“测试器侧伸出臂”106。

力接触弹簧110和感测接触弹簧120的轮廓非常相似：感测尖端区域122平行于DUT朝向感测接触弹簧120的移动延伸，并止于感测尖端121。DUT侧感测伸出臂123主要与感测尖端区域122成直角地延伸，使得DUT的移动垂直于DUT侧感测伸出臂123，这因此允许DUT的弹性接触。感测止动销124从DUT测感测伸出臂123沿与感测尖端区域122相反的方向延伸，该感测止动销分别允许DUT侧感测伸出臂123沿朝向DUT的方向的受限移动，或允许通过与止动块504(再次参见图5)的相互作用而偏置DUT侧感测伸出臂123。DUT侧感测伸出臂123和测试器侧感测伸出臂126主要平行于彼此延伸并主要平行于感测互锁销125延伸，该感测互锁销布置在它们之间且允许通过与互锁块505(再次参见图5)的相互作用将感测接触弹簧120互锁在插座主体中。测试器侧感测伸出臂126止于测试器侧感测尖端127，所述测试器侧感测尖端与作为DUT侧感测伸出臂123的终止部的感测尖端121反平行地定向。

力止动销114的轮廓可以与感测止动销124的轮廓相同。另外，力互锁销115和感测互锁销125可以具有相同的形状并可以直接位于彼此上。止动销104可以包括力止动销114和感测止动销124。类似地，互锁销105可以包括叠合地位于彼此上的力互锁销115和感测互锁销125。然而，即使DUT侧力伸出臂113的轮廓和DUT侧感测伸出臂123的轮廓在很大程度上可以相同，但长度可能存在差异：DUT侧力伸出臂113可以比DUT侧感测伸出臂123略长，使得力尖端区域112在轮廓上可以比感测尖端区域122更大或更宽。力尖端111和感测尖端121之间的偏离可以降低短路的危险，并且可以允许将力尖端111和感测尖端121制成与切割出相应接触弹簧的相应片的厚度一样宽。此外，测试器侧感测伸出臂126可以比测试器侧力伸出臂116略长，使得测试器侧感测尖端127和测试器侧力尖端117因长度差异而移位。

可以通过线切割EDM从不同厚度的金属片切割出力接触弹簧110和感测接触弹簧120的轮廓，使得在与轮廓垂直的方向上(即，在它们二者主要为平坦的方向上)力接触弹簧110比感测接触弹簧120厚。

用圆圈标示了尖端区域200的细节并在图2a中从同一角度示出。在图2b中，示出了从前面看的尖端区域200。图2a和图2b示出了尖端区域200包括力尖端区域210和感测尖端区域220。力尖端区域210包括力尖端111、力尖端区域112和DUT侧力伸出臂113的端部。类似地，感测尖端区域220包括感测尖端121、感测尖端区域122和DUT侧感测伸出臂123的端部。然而，布置在力尖端111和DUT侧力伸出臂113的端部之间的力尖端区域112可以具有切割自由区212，使得垂直于轮廓的平面的厚度减小。图3a很明显可以看出这一点：切割自由区212减小了力尖端区域210在力接触弹簧110和感测接触弹簧120之间的厚度。然而，力尖端区域210的厚度在力尖端111处可以不是自由切割的。由于图2a、图2b和图3c中示出的力尖端111和感测尖端121的偏置221，因此在力接触弹簧110和感测接触弹簧120之间不存在短路。

然而，如图3a和图3b所示，如果切割自由区212朝向力尖端111和/或感测尖端121延伸并包括力尖端和/或感测尖端，则不需要这种偏置221。如果切割自由区212包括力尖端111和/或感测尖端121，则气隙321会在力接触弹簧110和感测接触弹簧120未被电绝缘涂层包覆的长度上避免力接触弹簧110和感测接触弹簧120之间的短路。

图4示出了插座400的立体图。插座400包括插座主体401和四组力感测对410、420、430、440，其中两组410、430与另外两组420、440成矩形地布置。此外，第一组力感测对410位于第三组力感测对430的对面。第二组力感测对420位于第四组力感测对440的对面。每组力感测对410、420、430、440均至少包括第一力感测对100a，该第一力感测对与第二力感测对100b相邻，并通过第一电绝缘间隔物402a与第二力感测对电隔离。此外，第二力感测对100b通过第二电绝缘间隔物402b与相邻的第三力感测对100c电隔离。因此，第二力感测对100b布置在由一侧的第一电绝缘间隔物402a和另一侧的第二电绝缘间隔物402b限定的狭缝501中。形成方形的虚线470示出了集成四组力感测对410、420、430、440所需的空间。虚线470示出的所需空间可以限定用于测试点装置700(还参见图7)的最小插座间距。第四组力感测对440的细节500用圆圈标示出并在图5中示出。

图5示出了力感测对组410、420、430、440的细节500。存在彼此平行布置的三个力感测对100a、100b、100c。第二力感测对100b通过力感测对100a、100b的尖端区域200a、200b附近的第一前侧间隔物部分502a与第一力感测对100a电隔离，并通过第一和第二力感测对100a、100b的DUT侧伸出臂103a、103b的后端附近的后侧间隔物部分503a与第一力感测对100a电隔离。

类似地，第二力感测对100b通过力感测对100b、100c的尖端区域200b、200c附近的第二前侧间隔物部分502b与第三力感测对100c电隔离，并通过第二和第三力感测对100b、100c的DUT侧伸出臂103b、103c的后端附近的后侧间隔物部分503b与第三力感测对100c电隔离。止动块504可以限制第一力感测对100a的DUT侧伸出臂103a的移动，如关于图1所述的。相比于图1，互锁块505可以使感测互锁销125和力互锁销115互锁，使得第一力感测对100a牢固地安装至插座主体(参见图1，401)。止动块504和互锁块505可以是插座主体(参见图1，401)的部分。

特别地，第一后侧间隔物部分503a和第一前侧间隔物部分502a可以与第二后侧间隔物部分502a和第二前侧间隔物部分503b一起形成狭缝501，该狭缝501形成第二力感测对100b布置于其中的空间。

图6a示出了插座400的DUT板侧。与关于图4解释的构造类似，存在四组测试器侧尖端610、620、630、640。根据力接触弹簧和感测接触弹簧110、120的测试器侧伸出臂116、126的长度差异，测试器侧力尖端117在与测试器侧感测尖端127刺穿感测尖端开口627的区域相比更外的区域刺穿力尖端开口617。由于所有测试器侧力伸出臂116可以具有相等的长度，因此每组力感测对410、420、430、440的测试器侧力尖端117可以沿一条线布置。类似地，测试器侧感测伸出臂126可以具有相等的长度，使得每组力感测对410、420、430、440的测试器侧感测尖端127也可以沿一条线布置。因此，再对比图1，测试器侧力尖端117可以布置在测试器侧感测尖端127的圆周外侧。第一线651示出了测试器侧力尖端117沿矩形布置，该矩形在第二线652形成的方形的外侧，测试器侧感测尖端沿该第二线布置。

图6b示出了图6a中的同一插座的示意图，其中测试器侧力尖端117位于测试器侧感测尖端127的外侧。最外线470示出了当使用悬臂接触弹簧110、120时存在插座400所需的空间。

图6c示出了另一插座的示意图，其中测试器侧力尖端117位于测试器侧感测尖端127的内侧。然而，图6c所示的另一插座所需的空间保持不变，即使对于该另一插座来说载流能力可能更高。

图7示出了测试点装置700的示意图，该测试点装置包括在DUT板701上布置成矩阵形式的多个插座400。由围绕插座400的接触区的线470示出了每个插座400所需的空间。接触区可以包括沿第一线651线布置的测试器侧力尖端117，该第一线在第二线652内侧，测试器侧感测尖端127沿第二线布置。

图8a示出了力感测对的现有技术布置，其中力接触弹簧801和感测接触弹簧802成排地布置在彼此中。

图8b以线870示出了力感测对801、802的现有技术布置所需的空间。虽然技术上不明显，但是线870所示的所需空间比用于已描述实施方案的线470所示的所需空间(参见图6b和图6c)大。

图9a示出了根据本发明的示例实施方案的尖端区域900。尖端区域900包括力尖端区域910和感测尖端区域920。力尖端区域910包括具有力尖端911的力突出部931。感测尖端区域920包括感测尖端921。力突出部931沿朝向感测尖端区域920的方向弯曲，使得感测尖端921和力尖端911平行于彼此延伸。力尖端911和感测尖端921通过间隙933隔开。力尖端911和感测尖端921在与力接触弹簧的移动平面垂直的方向上具有相同的长度。

此外，力尖端区域部分912覆盖有电绝缘涂层。电绝缘涂层完全包覆力接触弹簧直到力涂层边界线951。力接触弹簧的剩余部分(即，力突出部931)未包覆有电绝缘涂层。

感测尖端区域922包覆有电绝缘涂层，该电绝缘涂层包覆整个感测接触弹簧直到感测涂层边界线952。感测接触弹簧的剩余部分未包覆有电绝缘涂层。

在图9b中，示出了从前面看的尖端区域900，感测尖端区域920以虚线示出，其中在图9b中，感测尖端区域920布置在力尖端区域910的后面。图9b中可以看出，感测尖端921的长度以及相应地力尖端911的长度等于感测尖端区域部分922的厚度925。除了间隙933(图9a示出)以外，力尖端区域部分912和感测尖端区域部分922还通过另一间隙923彼此隔开。

图9c示出了力尖端911在被测器件950上的接触表面以及感测尖端921在被测器件上的接触表面。力尖端911的接触表面通过间隙933与感测尖端921的接触表面隔开。另外，力尖端911的接触表面与感测尖端921的接触表面之间不需要偏置221(图3c示出)。

图10a示出了根据本发明的示例实施方案的尖端区域1000。尖端区域1000包括力尖端区域1010和感测尖端区域1020。力尖端区域1010包括力突出部1031，该力突出部具有位于力尖端区域1010的端部分处的力尖端1011。感测尖端区域1020包括具有感测尖端1021的感测突出部1032(图10b中更详细地示出)。力突出部1031沿朝向感测尖端区域1020的方向弯曲，而感测突出部1032沿朝向力尖端区域1010的方向弯曲，使得感测尖端1021和力尖端1011平行于彼此延伸。力尖端1011和感测尖端1021通过间隙1033隔开。力尖端1011和感测尖端1021在与力接触弹簧的移动平面垂直的方向上具有相同的长度。

在图10b中，示出了从前面看的尖端区域1000，感测尖端区域1020以虚线示出，其中在图10b中，感测尖端区域1020布置在力尖端区域1010的后面。图10b中可以看出，感测尖端1021的长度等于力尖端1011的长度。两个长度均等于总长度1025，该总长度是在与力接触弹簧的移动平面垂直的方向上感测尖端区域部分1022的厚度和感测突出部1032的厚度的总和。

图10c示出了力尖端1011在被测器件1050上的接触表面以及感测尖端1021在被测器件上的接触表面。力尖端1011的接触表面通过间隙1033与感测尖端1021的接触表面隔开。另外，力尖端1011的接触表面与感测尖端1021的接触表面之间不需要偏置221(图3c示出)。

与力尖端911和感测尖端921的接触表面相比，感测尖端1021和力尖端1011的接触表面更大。因此，通过分别扩大力尖端1011和感测尖端1021与被测器件1050之间的接触表面，可以增加与被测器件的接触的可靠性。

图11示出了本发明的另一示例实施方案。尖端区域1100与尖端区域1000类似。然而，力尖端区域1110经过了改进。力尖端区域1110包括力突出部1031，因此包括扩大的力尖端1111。另外，力尖端区域1110还包括扩大的尖端区1141。扩大的尖端区1141不具有腔室斜面。因此，力尖端区域1110是结实坚固的且不易发生故障。

Claims (22)

1.一种用于测试电子部件的插座（400），所述插座（400）包括：

多个力感测对（100），每个力感测对（100）均包括力接触弹簧（110）和感测接触弹簧（120），其中，所述力接触弹簧（110）和所述感测接触弹簧（120）位于彼此附近，并且

其中，所述力接触弹簧（110）和所述感测接触弹簧（120）中的至少一个包覆有电绝缘涂层，所述力接触弹簧（110）和所述感测接触弹簧（120）在所述电绝缘涂层处彼此抵靠。

2.根据权利要求1所述的插座（400），其中

所述力接触弹簧（110）和所述感测接触弹簧（120）中的至少一个除了被测器件（DUT）侧尖端（111、121）和测试器侧尖端（117、127）以外完全被所述电绝缘涂层包覆。

3.根据权利要求1或2所述的插座（400），其中

所述力接触弹簧（110）和所述感测接触弹簧（120）包覆有所述电绝缘涂层。

4.根据权利要求1所述的插座（400），其中

所述电绝缘涂层至少部分地包括一层聚对二甲苯、一层类金刚石碳（DLC）、一层陶瓷、一层清漆或一层聚酰亚胺箔。

5.根据权利要求1所述的插座（400），其中

所述多个力感测对中的两个相邻的力感测对通过中间间隔物彼此电绝缘。

6.根据权利要求5所述的插座（400），其中

所述中间间隔物包括：

在所述两个相邻的力感测对的尖端区域（200）附近的前侧间隔物部分（502a），以及

在所述相邻的力感测对的伸出臂（103、103a、103b）附近的后侧间隔物部分（503a）。

7.根据权利要求5所述的插座（400），其中

三个相邻的力感测对中的中间力感测对布置在位于所述中间力感测对的每侧上的两个中间间隔物的狭缝（501）内。

8.根据权利要求1所述的插座（400），其中

所述力接触弹簧（110）和所述感测接触弹簧（120）中的至少一个包括位于尖端区域（200）附近的切割自由区（212），使得所述力接触弹簧（110）和所述感测接触弹簧（120）在所述切割自由区（212）中无接触。

9.根据权利要求1所述的插座（400），其中

在与所述力接触弹簧（110）的移动平面垂直的方向上，所述力接触弹簧（110）比所述感测接触弹簧（120）厚。

10.根据权利要求1所述的插座（400），其中

互锁块（505）将力互锁销（115）和感测互锁销（125）互锁，使得所述力接触弹簧（110）和所述感测接触弹簧（120）由同一互锁块（505）互锁。

11.根据权利要求1所述的插座（400），其中

所述多个力感测对被分为一组，使得所述力感测对沿直线布置。

12.根据权利要求1所述的插座（400），其中

所述多个力感测对被分为两组，所述两组力感测对中的每组力感测对中的所述力感测对沿直线布置，其中，所述两组力感测对位于彼此对面。

13.根据权利要求1所述的插座（400），其中

所述多个力感测对被分为四组，所述四组力感测对中的每组力感测对中的所述力感测对沿直线布置，其中，所述四组力感测对中的第一组力感测对和第三组力感测对位于彼此对面，所述四组力感测对中的第二组力感测对和第四组力感测对位于彼此对面，并且所述第二组力感测对和所述第四组力感测对与所述第一组力感测对和所述第三组力感测对成矩形布置。

14.根据权利要求1所述的插座（400），其中

每个所述力接触弹簧（110）均包括测试器侧力伸出臂（116），并且每个所述感测接触弹簧（120）均包括测试器侧感测伸出臂（126），其中，所述测试器侧力伸出臂（116）和所述测试器侧感测伸出臂（126）中的至少一个比另一个短，使得从所述测试器侧力伸出臂（116）延伸的测试器侧力尖端（117）沿一条第一线（651）布置，而从所述测试器侧感测伸出臂（126）延伸的测试器侧感测尖端（127）沿另一条第二线（652）布置。

15.根据权利要求1所述的插座（400），

其中，所述力接触弹簧（110）包括具有力突出部（931）的力尖端区域（910），

其中，所述力突出部（931）的端部分形成为力尖端（911），

其中，所述感测接触弹簧（120）包括具有感测尖端（921）的感测尖端区域，

其中，所述力突出部（931）在朝向所述感测尖端区域的方向弯曲，使得所述感测尖端（921）和所述力尖端（911）平行于彼此延伸。

16.根据权利要求15所述的插座（400），

其中，所述力尖端（911）的力长度等于所述感测尖端（921）的感测长度，其对应于在与所述力接触弹簧（110）的移动平面垂直的方向上所述感测尖端区域的厚度。

17.根据权利要求1所述的插座（400），

其中，所述感测接触弹簧（120）包括具有感测突出部的感测尖端区域，

其中，所述感测突出部的端部分形成为感测尖端，

其中，所述力接触弹簧（110）包括具有力尖端的力尖端区域，

其中，所述感测突出部在朝向所述力尖端区域的方向弯曲，使得所述力尖端和所述感测尖端平行于彼此延伸。

18.根据权利要求17所述的插座（400），

其中，所述感测尖端的感测长度等于所述力尖端的力长度，其对应于在与所述力接触弹簧（110）的移动平面垂直的方向上所述力尖端区域的厚度。

19.根据权利要求1所述的插座（400），

其中，所述力接触弹簧（110）包括具有力突出部（1031）的力尖端区域（1010），

其中，所述力突出部（1031）的端部分形成为力尖端（1011），

其中，所述感测接触弹簧（120）包括具有感测突出部（1032）的感测尖端区域，

其中，所述感测突出部（1032）的端部分形成为感测尖端（1021），

其中，所述力突出部（1031）在朝向所述感测尖端区域的方向弯曲，并且所述感测突出部（1032）在朝向所述力尖端区域（1010）的方向弯曲，使得所述感测尖端（1021）和所述力尖端（1011）平行于彼此延伸。

20.根据权利要求19所述的插座（400），

其中，所述力尖端（1011）的力长度等于所述感测尖端（1021）的感测长度，

其中，所述力尖端（1011）的所述力长度对应于在与所述力接触弹簧（110）的移动平面垂直的方向上所述感测尖端区域的厚度和所述感测突出部（1032）的厚度的总和。

21.根据权利要求15所述的插座（400），

其中，所述力尖端（1011）和所述感测尖端（1021）彼此被间隙（1033）隔开。

22.一种测试点装置（700），包括多个根据权利要求1至21中至少一项所述的插座（400），其中，多个插座（400）布置成矩阵形式。

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