CN101334425A - 集成电路元件测试插座、插座基板、测试机台及其制造方法 - Google Patents

集成电路元件测试插座、插座基板、测试机台及其制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN101334425A
CN101334425A CNA2007101232059A CN200710123205A CN101334425A CN 101334425 A CN101334425 A CN 101334425A CN A2007101232059 A CNA2007101232059 A CN A2007101232059A CN 200710123205 A CN200710123205 A CN 200710123205A CN 101334425 A CN101334425 A CN 101334425A
Authority
CN
China
Prior art keywords
integrated circuit
elastic contact
circuit component
location
depressed part
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA2007101232059A
Other languages
English (en)
Inventor
邹俊杰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
King Yuan Electronics Co Ltd
Original Assignee
King Yuan Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by King Yuan Electronics Co Ltd filed Critical King Yuan Electronics Co Ltd
Priority to CNA2007101232059A priority Critical patent/CN101334425A/zh
Publication of CN101334425A publication Critical patent/CN101334425A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

一种集成电路元件测试插座(Socket)、插座基板、测试机台及其制造方法,其中的测试插座包含插座本体,邻近中央部位形成有凹陷部,并在凹陷部的底部四边、底部两对边或底部两邻边设有多个弹性接触端子。这些多个弹性接触端子以阵列方式均匀排列于凹陷部的底部。更进一步地,这些多个弹性接触端子的特征是在于其部分或全部的弹性接触端子是以紧密且成对的方式排列。另外,有定位导持承座,容设于插座本体凹陷部,且此定位导持承座具有中央开口,在此中央开口的底部形成有多个容许弹性接触端子穿出的端子孔。此外,另有锁合组件和弹性保持组件,可以将定位导持承座限制于凹陷部活动。

Description

集成电路元件测试插座、插座基板、测试机台及其制造方法
技术领域
本发明涉及一种集成电路元件测试装置及其制造方法,特别涉及其中的集成电路元件测试插座者。
背景技术
一般集成电路元件在进行终端测试(Final Test)时,集成电路元件的电性接点或接脚需要与测试插座(Socket)中的探针(Pogo Pin)做压合的动作。从而,测试信号可通过探针(Pogo Pin)传至测试台(Tester)而判读集成电路元件的好坏。公知所使用的测试插座(Socket),其探针是嵌在插座基底而呈悬臂状,测试时,极易因集成电路元件置入测试插座时的方位不正而刮除集成电路元件脚位或焊点上的焊锡而导致使用寿命(Life Time)与良率(Yield)下降以及探针损伤,同时,因探针积蓄过多刮落的焊锡也造成集成电路元件卡料现象。为了解决此问题,先前技术第TW447178号中国台湾专利披露了一种非悬臂式的弹簧探针结构,第TW539128号中国台湾专利中披露一种以弹簧探针为基础的测试插座,第TW485243号中国台湾专利披露一种以弹簧探针为基础的插座基板。前述的先前技术虽然改善了悬臂式探针的不利,然而却仍未解决当集成电路元件放入测试插座时若方位偏差而造成的探针损伤与卡料问题。
发明内容
为了解决上述问题,本发明提供一种集成电路元件测试插座(Socket),包含插座本体,邻近中央部位形成有凹陷部,并在凹陷部的底部四边、底部两对边或底部两邻边设有多个弹性接触端子。更进一步地,这些多个弹性接触端子的特征是在于其部分或全部的弹性接触端子是以紧密且成对的方式排列。另外,有定位导持承座,容设于该插座本体凹陷部,此定位导持承座具有中央开口,用以接受并导正待测的集成电路元件的方位,在此中央开口的底部形成有多个容许弹性接触端子穿出的端子孔。此外,另有锁合组件与弹性保持组件将定位导持承座限制于凹陷部活动。
因此,本发明的主要目的是提供一种集成电路元件测试插座,可导正待测的集成电路元件的方位以有效解决刮锡问题,且进一步地增加弹性接触端子的使用寿命。
本发明的次要目的是提供一种集成电路元件测试插座,可有效增加测试上的稳定性,且还可以提升测试插座的使用寿命。
本发明的另一目的是提供一种插座基板,其设置有集成电路元件测试插座,可导正待测的集成电路元件的方位以有效解决刮锡问题,且进一步地增加弹性接触端子的使用寿命。
本发明的另一目的是提供一种插座基板,其设置有集成电路元件测试插座,可有效增加测试上的稳定性,且更可以提升测试插座的使用寿命。
本发明的另一目的是提供一种集成电路元件测试机,其设置有集成电路元件测试插座,可有效解决刮锡问题,且进一步地增加弹性接触端子的使用寿命。
本发明的另一目的是提供一种集成电路元件测试机,其设置有集成电路元件测试插座,可有效增加测试上的稳定性,且更可以提升测试插座的使用寿命。
本发明的另一目的是提供一种集成电路元件测试插座的制造方法,此集成电路元件测试插座可导正待测的集成电路元件的方位以有效解决刮锡问题,且进一步地增加弹性接触端子的使用寿命。
本发明的另一目的是提供一种集成电路元件测试插座的制造方法,集成电路元件测试插座可有效增加测试上的稳定性,且更可以提升测试插座的使用寿命。
附图说明
图1A为本发明提出的一种集成电路元件测试插座示意图。
图1B为本发明提出的另一种集成电路元件测试插座示意图。
图1C为本发明提出的另一种集成电路元件测试插座示意图。
图1D为本发明提出的另一种集成电路元件测试插座示意图。
图2A为本发明提出的一种集成电路元件测试插座示意图。
图2B为本发明提出的一种由多个导持元件所组配而成的定位导持承座组成示意图。
图3A为本发明提出的另一种集成电路元件测试插座示意图。
图3B为本发明提出的另一种集成电路元件测试插座示意图。
图4为本发明提出的一种插座基板示意图。
图5为本发明提出的一种集成电路元件测试机台示意图。
主要元件标记说明
集成电路元件测试插座    20、30、40
插座本体                21、31、41
凹陷部                  211、411
弹性接触端子            2111
容置孔                  212
定位导持承座            22、32、42
中央开口                221
肩部                    222
端子孔                  2211
锁合组件                23、33、43
螺栓                    231
螺孔                    232
弹性保持组件            24、34、44
导持元件                321
插座基板                500
集成电路元件测试机台    600
分类机                  601
测试台                  602
具体实施方式
由于本发明披露一种集成电路元件测试插座(Socket),其中所利用的结构与基本原理,已为所属技术领域的技术人员所能明了,因此下文中的说明,不再作完整描述。同时,以下文中所对照的附图,是表达与本发明特征有关的结构示意,并未也不需要依据实际尺寸完整绘制,盍先叙明。
本发明所提供的第一较佳实施例,为一种集成电路元件测试插座20(Socket),主要包含有插座本体21、定位导持承座22、锁合组件23和弹性保持组件24。在插座本体21邻近中央部位形成有凹陷部211,
在此凹陷部211的底部四边(图1A)、底部两对边(图1B)、底部两邻边(图1C)或以阵列方式(图1D),则设有多个弹性接触端子2111,以利于不同类型的集成电路元件的测试。更进一步地,这些多个弹性接触端子2111的特征在于其部分或全部的弹性接触端子2111是以紧密且成对的方式排列,使得每一对弹性接触端子2111可直接接触到集成电路元件的每一个接脚,以有效解决因弹性接触端子2111所造成刮锡的问题,并且进一步地增加弹性接触端子2111的使用寿命。相对地,在定位导持承座22的中央开口部221,对应在插座本体21凹陷部211的底部四边、底部两对边、底部两邻边或以阵列方式排列的多个弹性接触端子2111,也设有多个端子孔2211。此多个弹性接触端子2111以选择弹簧探针为宜,当与集成电路元件接触时,端子两端可沿着轴向伸缩运动。而且,在插座本体21的凹陷部211内可以容设定位导持承座22,此定位导持承座22是将受测的集成电路元件导正并予以适当定位,以避免方位不正的集成电路元件损伤弹性接触端子2111或产生错误的测试结果。定位导持承座22具有中央开口221,用以接收受测的集成电路元件,在中央开口221的底部形成有多个容许该弹性接触端子2111穿出的端子孔2211。另外,有锁合组件23和弹性保持组件24,可以将定位导持承座22限制于凹陷部211活动。
上述的实施例中,锁合组件23为多个螺栓231与插座本体21配合的多个螺孔232,螺孔232可设于凹陷部211的底部,或设于邻近于凹陷部211与插座本体21的交界处。锁合组件23锁合时,定位导持承座22并未完全贴合于凹陷部211,其间设有适当的间隙,可容许定位导持承座22有微量的位移。另外,在定位导持承座22上,也可设有多个通孔(图中未示)供螺栓231穿设后,锁合于插座本体21的螺孔232。为了使集成电路元件测试插座20的体积控制在某一设定的范围,不要过于庞大,定位导持承座22可进一步凹设有肩部222供螺栓231的头部抵靠。上述的肩部222可设置于定位导持承座22的四边外墙处,或设置于通孔处(图中未示)。
再者,在上述的实施例中,定位导持承座22的多个端子孔2211和多个弹性接触端子2111之间设有适当的间隙,从而可容许弹性接触端子2111在横向的微量位移,以保护端子。
另外,在上述的实施例中,插座本体21的凹陷部211与定位导持承座22是呈近似的四边形以将将定位导持承座22容置于凹陷部211内,而定位导持承座22的中央开口221形状则可配合受测的集成电路元件的形状而设计。
上述的实施例中,弹性保持组件24是容设于凹陷部211与定位导持承座22之间,当受测的集成电路元件置入定位导持承座22内,可提供缓冲作用避免弹性接触端子2111或集成电路元件因撞击而损坏,同时提供弹性保持力,使定位导持承座22定位于适当的位置。弹性保持组件24可以为多个螺旋弹簧、或橡胶垫,或具有类似弹性的元件皆可。凹陷部可进一步设置适当数量的容置孔212用以收容上述弹性保持组件24,此容置孔212也可依需要设置于配合的定位导持承座22的底面。
请参照图2A与图2B,本发明进一步提供第二较佳实施例,为另一种集成电路元件测试插座30(Socket)。此集成电路元件测试插座30的插座本体31、锁合组件33和弹性保持组件34的特征主要如前述第一实施例所述,然而其定位导持承座32是由多个导持元件321所组配而成的,从而可提供更佳的方位微调效果,在本实施例是使用2个导持元件321。
请参照图3A及图3B,本发明进一步提供第三较佳实施例,为另一种集成电路元件测试插座40,其插座本体41形成有多个凹陷部411,用以容设多个定位导持承座42,因而可同时执行大量与批次的集成电路元件测试作业。其中的凹陷部411、定位导持承座42、锁合组件43和弹性保持组件44的特征主要如前述的第一实施例与第二实施例所述。
请参照图4,本发明进一步提供第四较佳实施例,为一种插座基板500,主要包含有至少一个集成电路元件测试插座,例如2个、4个、6个、8个、12个或16个,目的在同一时间对多个集成电路元件进行测试。而此集成电路元件测试插座的特征主要如前述第一较佳实施例的集成电路元件测试插座20所述;也可以如第二较佳实施例的集成电路元件测试插座30所述,集成电路元件测试插座30的定位导持承座32是由多个导持元件321所组配而成;也可以如第三较佳实施例的集成电路元件测试插座40所述,其插座本体41形成有多个凹陷部411,用以容设多个定位导持承座42。
请参照图5,本发明进一步提供第五较佳实施例,为一种集成电路元件测试机台600,主要包含有分类机601(Handler)和测试台602。更进一步地,测试台602容设有至少一个插座基板500,此插座基板500的特征如前述的第四较佳实施例所述。
本发明进一步提供第六较佳实施例,为一种集成电路元件测试插座的制造方法,可用于制造集成电路元件测试插座20或集成电路元件测试插座30,其步骤包含有:
提供插座本体,其邻近中央部位形成有凹陷部;
提供多个弹性接触端子,设于插座本体的凹陷部;
提供定位导持承座,容设于插座本体的凹陷部,定位导持承座具有中央开口,中央开口的底部形成有多个容许弹性接触端子穿出的端子孔;以及
提供锁合组件与弹性保持组件,将定位导持承座固设于插座本体。
上述的实施例中,插座本体、定位导持承座、锁合组件和弹性保持组件的特征主要如前述的第一较佳实施例与第二较佳实施例所述。
本发明进一步提供第七较佳实施例,为一种集成电路元件测试插座40的制造方法,其步骤包含有:
提供插座本体41,此插座本体41形成有多个凹陷部411,而且在插座本体41多个凹陷部411内设有多个弹性接触端子,并且可以容设多个定位导持承座42;
提供多个定位导持承座42,各定位导持承座42具有中央开口,在中央开口的底部形成有多个容许弹性接触端子穿出的端子孔;以及
提供多个锁合组件43与多个弹性保持组件44以将多个定位导持承座42固设于插座本体41。
上述的实施例中,插座本体41、定位导持承座42、锁合组件43与弹性保持组件44的特征主要如前述的第三较佳实施例所述。
以上所述仅为本发明的较佳实施例,并非用以限定本发明的权利要求;同时以上的描述,对于所属技术领域的技术人员应可明了及实施,因此其他未脱离本发明所揭示的精神下所完成的等效变更或改进,均应包含在权利要求中。

Claims (13)

1.一种集成电路元件测试插座,至少包含:
插座本体,邻近中央部位形成有凹陷部;
多个弹性接触端子,设于该凹陷部;
定位导持承座,容设于该凹陷部,该定位导持承座具有中央开口可容置待测集成电路元件,该中央开口的底部形成有多个容许上述弹性接触端子穿出的端子孔;以及
至少一个锁合组件与至少一个弹性保持组件,将该定位导持承座限制于该凹陷部内活动;
其特征在于,
上述弹性接触端子的部分或全部是以紧密且成对的方式排列,使得该每对弹性接触端子可接触该待测集成电路元件的每一接脚。
2.根据权利要求1所述的集成电路元件测试插座,其特征在于该锁合组件为多个螺栓与该插座本体对应的多个螺孔。
3.根据权利要求2所述的集成电路元件测试插座,其特征在于该定位导持承座进一步凹设有肩部供螺栓头抵靠。
4.根据权利要求1所述的集成电路元件测试插座,其特征在于该定位导持承座由多个导持元件所组配而成。
5.根据权利要求1所述的集成电路元件测试插座,其特征在于该多个端子孔排列于定位导持承座的中央开口部的底部四边、底部两对边或底部两邻边,同时该多个弹性接触端子排列于该凹陷部的底部四边、底部两对边或底部两邻边,而且该多个弹性接触端子的两端可沿着轴向伸缩。
6.根据权利要求1所述的集成电路元件测试插座,其特征在于该弹性保持组件容设于该凹陷部与该定位导持承座之间。
7.一种集成电路元件测试插座,包含:
插座本体,形成有多个凹陷部;
多个弹性接触端子,设于该多个凹陷部;
多个定位导持承座,容设于该多个凹陷部,各定位导持承座具有中央开口可容置待测集成电路元件,该中央开口的底部形成有多个容许该弹性接触端子穿出的端子孔;以及
多个锁合组件与多个弹性保持组件,将该多个定位导持承座限制于该多个凹陷部活动;
其特征在于,
上述弹性接触端子的部分或全部是以紧密且成对的方式排列,使得该每对弹性接触端子可接触该集成电路元件的每一接脚。
8.一种插座基板,主要包含有至少一个集成电路元件测试插座,该集成电路元件测试插座包含:
插座本体,邻近中央部位形成有凹陷部;
多个弹性接触端子,设于该凹陷部;
定位导持承座,容设于该凹陷部,该定位导持承座具有中央开口可容置待测集成电路元件,该中央开口的底部形成有多个容许该弹性接触端子穿出的端子孔;以及
至少一个锁合组件与至少一个弹性保持组件,将该定位导持承座限制于该凹陷部内活动;
其特征在于,
上述弹性接触端子的部分或全部是以紧密且成对的方式排列,使得该每对弹性接触端子可接触该集成电路元件的每一接脚。
9.一种插座基板,主要包含有至少一个集成电路元件测试插座,该集成电路元件测试插座包含:
插座本体,形成有多个凹陷部;
多个弹性接触端子,设于该多个凹陷部;
多个定位导持承座,容设于该多个凹陷部,各定位导持承座具有中央开口可容置待测集成电路元件,该中央开口的底部形成有多个容许该弹性接触端子穿出的端子孔;以及
多个锁合组件与多个弹性保持组件,将该多个定位导持承座限制于该多个凹陷部活动;
其特征在于,
上述弹性接触端子的部分或全部是以紧密且成对的方式排列,使得该每对弹性接触端子可接触该集成电路元件的每一接脚。
10.一种集成电路元件测试机,主要包含有分类机和测试台,该测试台容设有插座基板,该插座基板包含有至少一个集成电路元件测试插座,该集成电路元件测试插座包含:
插座本体,邻近中央部位形成有凹陷部;
多个弹性接触端子,设于该凹陷部;
定位导持承座,容设于该凹陷部,该定位导持承座具有中央开口可容置待测集成电路元件,该中央开口的底部形成有多个容许该弹性接触端子穿出的端子孔;以及
至少一个锁合组件与至少一个弹性保持组件,将该定位导持承座限制于该凹陷部内活动;
其特征在于,
上述弹性接触端子的部分或全部是以紧密且成对的方式排列,使得该每对弹性接触端子可接触该集成电路元件的每一接脚。
11.一种集成电路元件测试机,主要包含有分类机和测试台,该测试台容设有插座基板,该插座基板包含有至少一个集成电路元件测试插座,该集成电路元件测试插座包含:
插座本体,形成有多个凹陷部;
多个弹性接触端子,设于该多个凹陷部;
多个定位导持承座,容设于该多个凹陷部,各定位导持承座具有中央开口可容置待测集成电路元件,该中央开口的底部形成有多个容许该弹性接触端子穿出的端子孔;以及
多个锁合组件与多个弹性保持组件,将该多个定位导持承座限制于该多个凹陷部活动;
其特征在于,
上述弹性接触端子的部分或全部是以紧密且成对的方式排列,使得该每对弹性接触端子可接触该集成电路元件的每一接脚。
12.一种集成电路元件测试插座的制造方法,包含有:
提供插座本体,邻近中央部位形成有凹陷部;
提供多个弹性接触端子,设于该凹陷部;
提供定位导持承座,容设于该凹陷部,该定位导持承座具有中央开口可容置待测集成电路元件,该中央开口的底部形成有多个容许该弹性接触端子穿出的端子孔;以及
提供锁合组件与弹性保持组件,将该定位导持承座限制于该凹陷部内活动;
其特征在于,
上述弹性接触端子的部分或全部是以紧密且成对的方式排列,使得该每对弹性接触端子可接触该集成电路元件的每一接脚。
13.一种集成电路元件测试插座的制造方法,包含:
提供插座本体,形成有多个凹陷部;
提供多个弹性接触端子,设于该多个凹陷部;
提供多个定位导持承座,容设于该多个凹陷部,各定位导持承座具有中央开口可容置待测集成电路元件,该中央开口的底部形成有多个容许该弹性接触端子穿出的端子孔;以及
提供多个锁合组件与多个弹性保持组件,将该多个定位导持承座限制于该多个凹陷部活动;
其特征在于,
上述弹性接触端子的部分或全部是以紧密且成对的方式排列,使得该每对弹性接触端子可接触该集成电路元件的每一接脚。
CNA2007101232059A 2007-06-29 2007-06-29 集成电路元件测试插座、插座基板、测试机台及其制造方法 Pending CN101334425A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNA2007101232059A CN101334425A (zh) 2007-06-29 2007-06-29 集成电路元件测试插座、插座基板、测试机台及其制造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNA2007101232059A CN101334425A (zh) 2007-06-29 2007-06-29 集成电路元件测试插座、插座基板、测试机台及其制造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN101334425A true CN101334425A (zh) 2008-12-31

Family

ID=40197153

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA2007101232059A Pending CN101334425A (zh) 2007-06-29 2007-06-29 集成电路元件测试插座、插座基板、测试机台及其制造方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101334425A (zh)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101968499A (zh) * 2009-07-28 2011-02-09 友达光电(厦门)有限公司 电路板测试中连接器的连接方法及其连接机构
CN102062793A (zh) * 2009-11-13 2011-05-18 京元电子股份有限公司 探针卡与其中的结构强化的测试插座
CN102289090A (zh) * 2011-08-24 2011-12-21 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板的检测装置
CN102842803A (zh) * 2011-06-24 2012-12-26 泰可广科技股份有限公司 可快速拆组电连接模块的测试连接器
CN102130390B (zh) * 2010-01-20 2013-03-27 蔡永基 接触式电子检验模块
US8963571B2 (en) 2011-08-24 2015-02-24 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Inspection device for glass substrate
CN107807256A (zh) * 2016-09-08 2018-03-16 综合测试电子系统有限公司 用于测试电子部件的插座和测试点装置
CN108401443A (zh) * 2016-06-17 2018-08-14 欧姆龙株式会社 插座
CN108780117A (zh) * 2016-03-23 2018-11-09 李诺工业股份有限公司 测试插座组件
CN109884503A (zh) * 2019-03-14 2019-06-14 环维电子(上海)有限公司 一种芯片测试用的测试嵌套、测试治具以及方法

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101968499B (zh) * 2009-07-28 2014-09-03 友达光电(厦门)有限公司 电路板测试中连接器的连接方法及其连接机构
CN101968499A (zh) * 2009-07-28 2011-02-09 友达光电(厦门)有限公司 电路板测试中连接器的连接方法及其连接机构
CN102062793A (zh) * 2009-11-13 2011-05-18 京元电子股份有限公司 探针卡与其中的结构强化的测试插座
CN102062793B (zh) * 2009-11-13 2013-04-17 京元电子股份有限公司 探针卡与其中的结构强化的测试插座
CN102130390B (zh) * 2010-01-20 2013-03-27 蔡永基 接触式电子检验模块
CN102842803A (zh) * 2011-06-24 2012-12-26 泰可广科技股份有限公司 可快速拆组电连接模块的测试连接器
US8963571B2 (en) 2011-08-24 2015-02-24 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Inspection device for glass substrate
CN102289090B (zh) * 2011-08-24 2013-07-24 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板的检测装置
CN102289090A (zh) * 2011-08-24 2011-12-21 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板的检测装置
CN108780117A (zh) * 2016-03-23 2018-11-09 李诺工业股份有限公司 测试插座组件
CN108401443A (zh) * 2016-06-17 2018-08-14 欧姆龙株式会社 插座
US10598695B2 (en) 2016-06-17 2020-03-24 Omron Corporation Socket
CN113030522A (zh) * 2016-06-17 2021-06-25 欧姆龙株式会社 插座
CN107807256A (zh) * 2016-09-08 2018-03-16 综合测试电子系统有限公司 用于测试电子部件的插座和测试点装置
CN107807256B (zh) * 2016-09-08 2021-05-25 综合测试电子系统有限公司 用于测试电子部件的插座和测试点装置
CN109884503A (zh) * 2019-03-14 2019-06-14 环维电子(上海)有限公司 一种芯片测试用的测试嵌套、测试治具以及方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101334425A (zh) 集成电路元件测试插座、插座基板、测试机台及其制造方法
CN206975085U (zh) 一种精密测试探针
CN209028108U (zh) 一种晶圆同测探针卡
WO2018143577A1 (en) Test probe and test socket using the same
CN102478594B (zh) 高频垂直式弹片探针卡结构
KR20170058586A (ko) 테스트 소켓 및 그의 제조방법
CN101363873A (zh) 集成电路元件测试插座、插座基板、测试机及其制作方法
KR20170000572A (ko) 전자 디바이스 테스트용 탐침 장치
US9182424B2 (en) Multiple rigid contact solution for IC testing
CN101576576B (zh) 探针卡组件以及使用于探针卡组件的中介装置
KR101715741B1 (ko) 전자부품 검사용 소켓
KR20060100815A (ko) 테스트용 프로브 유닛
CN209132315U (zh) 基于pattern技术中用于并测技术的探针卡
CN204389642U (zh) 一种pcb板电性测试治具
KR100999574B1 (ko) 비지에이 패키지 테스트 소켓용 프로브 접촉자 및 이를포함하는 비지에이 패키지 테스트 소켓
CN108981633B (zh) 一种发动机缸体的检测装置
JP2014085207A (ja) 半導体装置テスト用プローブピン
KR102245540B1 (ko) 전지 테스트용 프로브 및 그 탐침 모듈
CN212160006U (zh) 一种数字芯片测试机
CN101424702B (zh) 一种探针、测试插座及其测试机
KR100744997B1 (ko) Bga 테스트 소켓의 소켓단자
CN102478592A (zh) 垂直式弹性探针结构
CN102735884A (zh) 飞针测试机测头支架及设计方法
CN208721711U (zh) 一种fpc测试座
CN100360943C (zh) 具有防止压力过大的测试装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Open date: 20081231