CN102859370A - 检查用探针及检查用夹具 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够应对基板的微细化及复杂化，并能够减少零件数量以简化，且具有充分的接触压与行程的微细探针及使用该探针的检查用夹具。检查用探针的特征在于，利用分别形成在具有不同外径与内径的两支导电性的筒状部件上的缺口部分别作为弹性部发挥作用，以这些弹性部并联配置或串联配置的方式组合两支筒状部件，由此成为具有检查所需的接触压与收缩量的检查用探针。

Description

检查用探针及检查用夹具

技术领域

本发明涉及将预先设定于被检查物的检查对象部上的检查点与实施该检查的检查装置进行电连接的检查用夹具及检查用治具中所使用的检查用探针。

背景技术

安装有检查用探针的检查用治具是经由该检查用探针，对于被检查物所具有的检查对象部，从检查装置将电流或电信号供给到规定检查位置，并且从检查对象部检测电信号，由此进行检查对象部的电气特性的检侧、动作测试的实施等。

作为被检查物，例如有印刷配线基板、挠性基板、陶瓷多层配线基板、液晶显示器或等离子显示器用的电极板、及半导体封装用的封装基板或薄膜载体等各种基板，及半导体晶片或半导体芯片或CSP（Chip size package：芯片尺寸封装）等半导体装置。

在本说明书中，将这些上述被检查物总称为“被检查物”，并将形成于被检查物的检查对象部称为“检查部”。此外，在检查部设有用于实际检查该检查部的电气特性的检查点，通过将探针压接于该检查点，成为与检查部导通的状态。

当被检查物例如是基板，且搭载于其上的是IC等半导体电路或电阻器或电容器等的电子电气部件时，形成在基板上的检查对象部为配线或电极。在这种情况下，为了保证检查对象部的配线能够正确地将电信号传达给它们，测定电路基板上所设的检查点间的电阻值与漏电流等电气特性，根据其测定结果来判断其配线的好坏，该电路基板上形成有安装电子电气部件前的印刷配线基板、液晶显示器或等离子显示器的配线。

当被检查物为LSI时，形成在LSI上的电子电路成为检查对象部，该电子电路的表面衬垫分别成为检查点。此时，为了保证形成在LSI上的电子电路具有所希望的电特性，测定检查点间的电特性，并判断该电子电路的好坏。

以往，在被检查物的一个实施方式的电路基板上形成有多条配线。该配线是为供应电力、使电信号流过而形成的，以使得安装于电路基板上的电子电气部件具有所希望的功能。因此，配线不良会影响到电路基板的动作不良已为人所知。

为解决以上的问题，提出有多个检查装置的发明，该检查装置用于判定如形成在电路基板等被检查物上的配线这样的对象部的好坏。

例如，为了判断形成在作为被检查物的基板上的配线的好坏，这样的检查装置使用具备与预先设定在配线上的多个检查点分别连接的多个探针（探头）的检查用夹具来实施检查。

这样的检查用夹具是将探针的一端压接在配线（检查部）上的检查点上，并将其另一端压接在与基板检查装置电连接的电极部上。并且，经由该检查用夹具，从基板检查装置供应用于测定配线的电气特性的电流和/或电压，并将从配线检测出的电信号发送到基板检查装置。

近年来，由于技术进步，随着半导体装置的小型化、基板的小型化等，基板上的配线也形成得更微细且复杂。随着如上述的基板的配线的微细化及复杂化发展，检查用夹具所具备的探针也要求探针本身的细线化、小型化、探针间的间距狭窄化、多销化、简化。

在此，例如专利文献1所公开的微触点探针提出有：通过螺旋弹簧朝相反方向被施力的一对柱塞，经由密卷绕螺旋部电连结，从而降低电感及电阻。

在该专利文献1中，作为第二实施方式公开有：在具有大于这一对活塞的直径的螺旋弹簧中插入该一对柱塞而形成的触点探针。通过这样形成触点探针，接触检查点侧的柱塞可以以较大的接触压进行接触，且接触配线板一侧的柱塞则可以以较小的接触压进行接触。此外，由于是双重构造，因而可以在小空间进行安装。

但是，专利文献1所示的微触点探针是由使用线圈的螺旋弹簧形成，因此难以形成具有比线圈的直径4倍左右小的直径的线圈，而形成外径为100μm以下的线圈螺旋弹簧并组装成为检查用探针是极其困难的。即使假设能够形成也有如下问题：从制造成本问题来看，在使用2~4千根检查用探针的检查用夹具中加以利用会导致过于昂贵，因而不实用。此外，需要高精度地组装多个零件，在组装上费时间。

进而，有如下问题：在为应对间距狭窄化而制作直径缩小了的探针时，不能获得充分的接触压，因此不能充分冲破形成在检查点表面的氧化膜，进行检查时使接触电阻值不稳定。

[在先技术文献]

[专利文献]

专利文献1：WO2001/09683号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明提供能够应对基板的微细化及复杂化、并且能够减少零件数得以简化、并具有充分的接触压与行程的微小探针及使用该探针的检查用夹具。

用于解决课题的手段

权利要求1所述的发明提供一种检查用夹具，其电连接被检查物和检查装置，该被检查物成为被检查对象并具有多个检查点，该检查装置检查上述检查点间的电气特性，上述检查用夹具的特征在于，具备：电极体，其具有多个与上述检查装置电连接的电极部；检查用探针，其电连接上述电极部与上述检查点；以及保持体，其具有第一板状部件和第二板状部件并保持该检查用探针，上述第一板状部件将上述检查用探针的一端引导至上述电极部，上述第二板状部件将上述检查用探针的另一端引导至上述检查点，上述检查用探针具有：外侧筒体，其一端开口抵接于上述第二板状部件；以及内侧筒体，其同轴地配置在上述外侧筒体的内部，并且从该外侧筒体的一端开口延伸出来被配置，上述外侧筒体具有：外侧下筒部，其具有与上述第二板状部件抵接的一个开口部；第一缺口部，其与上述外侧下筒部的另一个开口部连通连结并且形成为与该外侧下筒部相同直径的筒状，并且在该筒状的壁面上具备长轴方向的螺旋状缺口；以及外侧上筒部，其形成为与上述第一缺口部相同直径的筒状，并且与该第一缺口部连通连结，上述内侧筒体具有：内侧下筒部，其具有与上述检查点电连接的一个开口部；第二缺口部，其与上述内侧下筒部的另一个开口部连通连结并且形成为与该内侧下筒部相同直径的筒状，并且在该筒状的壁面上具备长轴方向的螺旋状缺口；以及内侧上筒部，其形成为与上述第二缺口部相同直径的筒状，并且与该第二缺口部连通连结，上述外侧筒体与上述内侧筒体具有在上述外侧下筒部与上述内侧下筒部固定的固定部而成，在将上述内侧筒体的内侧下筒部压接于上述检查点来实施检查时，由该检查点与上述电极体来夹持上述内侧筒体与上述外侧筒体，使上述第一缺口部与上述第二缺口部收缩。

权利要求2所述的发明提供如下根据权利要求1所述的检查用夹具，其特征在于，在上述内侧筒体的内侧下筒部未与上述检查点抵接时，由上述第二板状部件与上述电极体来夹持上述外侧筒体与上述内侧筒体，使上述第一缺口部及上述第二缺口部收缩。

权利要求3所述的发明提供如下根据权利要求1所述的检查用夹具，其特征在于，在上述内侧筒体的内侧下筒部未与上述检查点抵接时，上述第一缺口部以自然长度被保持，并且由上述第二板状部件与上述电极体来夹持上述内侧筒体而使上述第二缺口部收缩。

权利要求4所述的发明提供如下根据权利要求1所述的检查用夹具，其特征在于，在上述内侧筒体的内侧下筒部未与上述检查点抵接时，由上述第二板状部件与上述电极体来夹持上述外侧筒体而使上述第一缺口部收缩，并且上述第二缺口部以自然长度被保持。

权利要求5所述的发明提供如下根据权利要求1～4中任意一项所述的检查用夹具，其特征在于，上述内侧筒体具备螺旋状缺口，该螺旋状缺口是在该内侧筒体的上述固定部与上述检查之间的该内侧筒体的周缘上沿长轴方向形成的缺口。

权利要求6所述的发明提供如下根据权利要求1～5中任意一项所述的检查用夹具，其特征在于，通过从上述电极体表面到上述第二板状部件的表面为止的距离和上述外侧筒体的长度，来调整上述第一缺口部收缩的长度。

权利要求7所述的发明提供一种检查用夹具，其电连接被检查物和检查装置，该被检查物成为被检查对象且具有多个检查点，该检查装置检查该检查点间的电气特性，上述检查用夹具的特征在于，具备：电极体，其具有多个与上述检查装置电连接的电极部；检查用探针，其电连接上述电极部与上述检查点；以及保持体，其保持上述检查用探针，上述检查用探针具有：外侧筒体，其前端开口部成为与上述电极部抵接的电极端；以及内侧筒体，其具有导电性并从上述外侧筒体的后端开口部突出，并电连接于该外侧筒体内部且同轴地配置于该外侧筒体内部，其前端开口部成为压接于上述检查点的检查端，上述外侧筒体具有：外侧上筒部，其具有成为上述电极端的前端开口部；第一缺口部，其为筒状并与上述外侧上筒部直径相同，其前端开口部与该外侧上筒部的后端开口部连通连结，并且具备在周缘上沿长轴方向形成的螺旋状缺口；以及外侧下筒部，其与上述缺口部直径相同，并且与该第一缺口部的后端开口部连通连结，上述内侧筒体具有：内侧下筒部，其具有成为上述检查端的前端开口部；第二缺口部，其为筒状并与上述内侧下筒部直径相同，其前端开口部与该内侧下筒部的后端开口部连通连结，并且具备在周缘上沿长轴方向形成的螺旋状缺口；以及内侧上筒部，其与上述第二缺口部直径相同，并与该第二缺口部的后端开口部连通连结，并配置在上述外侧筒体内部，上述外侧筒体与上述内侧筒体具有固定部，该固定部对上述外侧下筒部与上述内侧下筒部进行电连接并固定，上述保持体具备：第一板状部件，其具有将上述外侧筒体的电极端引导至上述电极部的第一导孔，以及第二板状部件，其配置成与上述第一板状部件具有规定间隔，并且具有将上述内侧筒体的检查端引导至上述检查点的第二导孔。

权利要求8所述的发明提供如下根据权利要求7所述的检查用夹具，其特征在于，上述外侧筒体在上述检查端与上述检查点处于非接触状态时，将该外侧筒体的前端开口部压接于电极部，并将后端开口部压接于上述第二板状部件。

权利要求9所述的发明提供如下根据权利要求7或8所述的检查用夹具，其特征在于，将上述内侧筒体的后端开口部始终收容于上述外侧上筒部内。

权利要求10所述的发明提供如下根据权利要求7～9中任意一项所述的检查用夹具，其特征在于，上述外侧筒体的前端开口部具有相对于该外侧筒体的长轴方向成直角的端面。

权利要求11所述的发明提供一种检查用探针，其电连接多个检查点和多个电极部，所述多个检查点是成为被检查对象的被检查物上的检查点，该多个电极部是与检查该检查点间的电气特性的检查装置电连接并在检查用夹具的电极体上所具备的电极部，其特征在于：上述检查用探针具备：外侧筒体，其前端开口部成为与上述电极体的表面抵接的电极端；以及内侧筒体，其具有导电性并从上述外侧筒体的后端开口部突出，并电连接于该外侧筒体内部且同轴地配置于该外侧筒体内部，其前端开口部成为压接于上述检查点的检查端，上述外侧筒体具备：外侧上筒部，其具有成为上述电极端的前端开口部；第一缺口部，其为筒状并与上述外侧上筒部直径相同，其前端开口部与该外侧上筒部的后端开口部连通连结，并且具备在周缘上沿长轴方向形成的螺旋状缺口；以及外侧下筒部，其与上述第一缺口部直径相同，并与该第一缺口部的后端开口部连通连结，上述内侧筒体具备：内侧下筒部，其具有成为上述检查端的前端开口部；第二缺口部，其为筒状并与上述内侧下筒部直径相同，其前端开口部与该内侧下筒部的后端开口部连通连结，并且具备在周缘上沿长轴方向形成的螺旋状缺口；以及内侧上筒部，其与上述第二缺口部直径相同，并与该第二缺口部的后端开口部连通连结，并且在上述内侧下筒部抵接于检查点时与上述电极部压接，上述外侧筒体与上述内侧筒体具有固定部，所述固定部对上述外侧下筒部与上述内侧下筒部进行电连接并固定。

权利要求12所述的发明提供如下根据权利要求11所述的检查用探针，其特征在于，在上述外侧筒体的上述第一缺口部与上述内侧筒体的上述第二缺口部中的任一个收缩或两个都收缩时，上述外侧筒体的上述前端开口部与上述内侧筒体的上述后端开口部存在于同一平面上。

权利要求13所述的发明提供如下根据权利要求11或12所述的检查用探针，其特征在于，上述内侧筒体具备螺旋状缺口，该螺旋状缺口是在该内侧筒体的上述固定部与上述检查端之间的该内侧筒体的周缘上沿长轴方向形成的缺口。

权利要求14所述的发明提供如下根据权利要求11～13中任意一项所述的检查用探针，其特征在于，上述外侧筒体的前端开口部具有相对于该外侧筒体的长轴方向成直角的端面，上述内侧筒体的后端开口部具有相对于该内侧筒体的长轴方向成直角的端面。

权利要求15所述的发明提供一种检查用探针，其电连接多个检查点和多个电极部，该多个检查点是成为被检查对象的被检查物的检查点，该多个电极部是与检查该检查点间的电气特性的检查装置电连接的检查用夹具的电极体上所具备的电极部，其特征在于：上述检查用探针具备：外侧筒体，其前端开口部成为与上述电极部抵接的电极端；以及内侧筒体，其具有导电性并从上述外侧筒体的后端开口部突出，并电连接于该外侧筒体内部且同轴地配置于该外侧筒体内部，其前端开口部成为压接于上述检查点的检查端，上述外侧筒体具备：外侧上筒部，其具有成为上述电极端的前端开口部；第一缺口部，其为筒状并与上述外侧上筒部直径相同，其前端开口部与该外侧上筒部的后端开口部连通连结，并且具备在周缘上沿长轴方向形成的螺旋状缺口；以及外侧下筒部，其与上述第一缺口部直径相同，并与该第一缺口部的后端开口部连通连结，上述内侧筒体具备：内侧下筒部，其具有成为上述检查端的前端开口部；第二缺口部，其为筒状并与上述内侧下筒部直径相同，其前端开口部与该内侧下筒部的后端开口部连通连结，并且具备在周缘上沿长轴方向形成的螺旋状缺口；以及内侧上筒部，其与上述第二缺口部直径相同，并与该第二缺口部的后端开口部连通连结，并且配置在上述外侧筒体的内部，上述外侧筒体与上述内侧筒体具有固定部，该固定部对上述外侧下筒部与上述内侧上筒部进行电连接并固定。

权利要求16所述的发明提供如下根据权利要求15所述的检查用探针，其特征在于，将上述内侧筒体的上述后端开口部始终收容于上述外侧上筒部内。

权利要求17所述的发明提供如下根据权利要求15或16所述的检查用探针，其特征在于，上述外侧筒体的上述前端开口部具有相对于该外侧筒体的长轴方向成直角的端面。

权利要求18所述的发明提供如下根据权利要求11～17中任意一项所述的检查用探针，其特征在于，上述检查用探针具备导电性的棒状部件，该棒状部件配置于上述内侧筒体内，将上述棒状部件固定在上述内侧上筒部或上述内侧下筒部，并从上述内侧筒体的前端开口部延伸设置。

发明效果

根据权利要求1所述的发明，在同轴上配置并固定有分别具备螺旋状缺口部的外侧筒体与内侧筒体，因此这些外侧筒体与内侧筒体作为一个检查用探针发挥作用。设置在外侧筒体与内侧筒体的缺口部是分别一体形成于外侧筒体与内侧筒体，作为在长轴方向上收缩的弹性部发挥作用。即，该检查用探针仅由外侧筒体与内侧筒体及固定部形成。因此，与使用螺旋弹簧的检查用探针相比，能够减少零件数量，简单地形成检查用探针。

此外，该检查用探针具有从检查点到电极部间并列配置有在外侧筒部及内侧筒部上分别作为弹性部发挥收缩作用的缺口部的构成，所以能够产生用于检查的充分的接触压。因此，将具有充分接触压的检查用探针使用在该检查用夹具中，与以往的检查用夹具相比，能够容易地制作检查用夹具。

此外，由于并列配置两个缺口部而增大承载负荷，所以能够有效地确保被推压到检查点时收缩的长度。因此，即使检查点的高度或检查用探针的长度上有偏差，也无需设置长的检查用探针，能够稳定地接触。

此外进而，当检查用探针接触于检查点而压接检查端时，外侧筒体的前端开口部与内侧筒体的后端开口部双方都被压接于电极体表面，因此能够稳定地连接检查用探针，并提供相对于检查点稳定的接触。

根据权利要求2所述的发明，当内侧筒体未与检查点抵接时，处于通过第二板状部件与电极体来夹持外侧筒体及内侧筒体而使第一及第二缺口部收缩的状态，所以在检查前后，电极体与内侧筒体与外侧筒体始终抵接。因此，内侧筒体和外侧筒体与电极体抵接而不会分离，能够提高电极体的耐久性。

根据权利要求3所述的发明，当内侧筒体未与检查点抵接时，第一缺口部保持着自然长度，第二缺口部通过由第二板状部件与电极体夹持内侧筒体而收缩，因此在未检查时仅利用第二缺口部的收缩力来保持检查用探针，在检查时利用第一及第二缺口部这两缺口部的收缩力来推压检查点。因此，在检查前后，能够调整检查用探针所产生的压力。

根据权利要求4所述的发明，当内侧筒体未与检查点抵接时，第二缺口部保持着自然长度，第一缺口部通过由第二板状部件与电极体夹持外侧筒体而收缩，因此在未检查时仅利用第一缺口部的收缩力来保持检查用探针，在检查时利用第一及第二缺口部这两缺口部的收缩力来推压检查点。因此，在检查前后，能够调整检查用探针产生的压力。

根据权利要求5所述的发明，在检查用探针的内侧筒体的内侧下筒部设置缺口部，由此能够增加检查用探针推压于检查点时收缩的量（长度）。这样地检查用探针具有较长的收缩量，因此即使检查点的高度上有偏差或检查用探针的长度上有偏差时，也能够使检查用探针充分地收缩，并稳定地接触。

根据权利要求6所述的发明，第一缺口部的收缩长度是根据到电极体表面与第二板状部件的表面为止的距离，通过外侧筒部的长度来调整，因此能够容易适当地调整第一缺口部所具有的收缩力。

根据权利要求7所述的发明，在同轴上配置有分别具备螺旋状缺口部的外侧筒体与内侧筒体，并进行电连接而加以固定，因此这些外侧筒体与内侧筒体作为一个检查用探针发挥作用。设置在外侧筒体与内侧筒体的缺口部是一体地分别形成于外侧筒体与内侧筒体，并作为在长轴方向上收缩的弹性部发挥作用。即，该检查用探针是仅由外侧筒体与内侧筒体及固定部形成。因此，与使用螺旋弹簧的检查用探针相比，能够减少零件数量并简单地形成检查用探针。

此外，该检查用探针中，由于外侧筒体的直径大于内侧筒体的直径，所以即使形成具有大致相同长度与形状的缺口部，外侧筒体与内侧筒体相比仍具有更大的接触压。因此，通过外侧筒体与内侧筒体的组合，能够产生用于检查的充分的接触压。因此，由于将具有充分接触压的检查用探针使用于该检查用夹具中，所以与以往的检查用夹具相比，能够容易地制作检查用夹具。

进而，该检查用探针具有如下结构：从检查点到电极部间串联配置有在外侧筒部与内侧筒部分别作为弹性部而发挥作用的缺口部，因此，与将这些缺口部并联配置的情形相比，能够充分确保被推压于检查点时收缩的长度，即使检查用探针的长度上有偏差，也不会造成对检查点施加过度的敲打痕迹。

根据权利要求8所述的发明，外侧筒体在非接触状态下，其两端开口部分别压接于电极体表面及第二板状部件，因此能够使检查用探针稳定保持在检查用夹具内。

根据权利要求9所述的发明，内侧筒体的后端开口部并不是始终与电极部接触，因此在检查端接触被检查物时内侧筒体的后端开口部不会进行与电极部的接离动作，因此能够提高检查用夹具的耐久性。

此外，内侧上筒部作为外侧筒部的第一缺口部的导向件发挥作用，因此能够使检查用探针大致直线移动地进行收缩。

根据权利要求10所述的发明，外侧筒体的前端开口部的端面为平面，因此能够与检查用夹具的电极部稳定地接触。

根据权利要求11所述的发明，在同轴上配置有分别具备螺旋状缺口部的外侧筒体与内侧筒体，并进行电连接而加以固定，因此，这些外侧筒体与内侧筒体作为一个检查用探针发挥作用。设置在外侧筒体与内侧筒体的缺口部是一体地分别形成于外侧筒体与内侧筒体，并作为在长轴方向上收缩的弹性部发挥作用。即，该检查用探针仅由外侧筒体与内侧筒体及固定部形成。因此，与使用螺旋弹簧的检查用探针相比，能够减少零件数量并简单地形成检查用探针。

此外，该检查用探针具有如下结构：从检查点到电极部间并联配置在外侧筒部与内侧筒部上分别作为弹性部而发挥作用的缺口部，因此，能够产生用于检查的充分的接触压。

此外，由于能够充分确保推压于检查点时收缩的长度，因此即使检查点的高度上有偏差或检查用探针的长度上有偏差，也能够稳定地接触于检查点。

根据权利要求12所述的发明，在检查用夹具内保持检查用探针时，外侧筒体的前端开口部与内侧筒体的后端开口部接触于电极体表面，因此会增加与电极体表面接触的面积，能够较稳定地保持在检查用夹具内。

根据权利要求13所述的发明，通过在检查用探针的内侧筒体的内侧下筒部设置缺口部，使检查用探针能够增加推压于检查点时收缩的量（长度）。这样地检查用探针具有更长的收缩量，因此即使检查点的高度上有偏差或检查用探针的长度上有偏差，也能够更充分地使检查用探针收缩，并稳定地接触于检查点。

根据权利要求14所述的发明，外侧筒体的前端开口部与内侧筒体的另一端开口部的端面为平面，因此能够与检查用夹具的电极体表面稳定地接触。因此，当螺旋弹簧的端面形成与电极部抵接的检查用探针时，不需要进行为了使螺旋弹簧的端面稳定接触于电极部所需的对螺旋弹簧端面进行平面化的处理，因此与使用螺旋弹簧的检查用探针相比，能够更容易地形成。

根据权利要求15所述的发明，在同轴上配置有分别具备螺旋状缺口部的外侧筒体与内侧筒体，并电连接而加以固定，因此这些外侧筒体与内侧筒体作为一个检查用探针发挥作用。设置在外侧筒体与内侧筒体的缺口部是一体地分别形成于外侧筒体与内侧筒体，并作为在长轴方向上收缩的弹性部发挥作用。即，该检查用探针是仅由外侧筒体与内侧筒体及固定部形成。因此，与使用螺旋弹簧的检查用探针相比，能够减少零件数量并简单地形成检查用探针。

此外，该检查用探针的外侧筒体的直径大于内侧筒体的直径，因此即使形成有具有大致相同长度或形状的缺口部，外侧筒体侧与内侧筒体相比也具有更大的接触压。因此，通过组合内侧筒体与外侧筒体，能够产生用于检查的充分的接触压。

进而，该检查用探针具有如下结构：从检查端到电极端间串联配置在外侧筒体与内侧筒体上分别作为弹性部发挥作用的缺口部，因此与并联配置这些缺口部的情形相比，能够更充分地确保推压于检查点时收缩的长度，即使检查点的高度上有偏差或检查用探针的长度上有偏差，也不会造成对检查点施加过度的敲打痕迹。

根据权利要求16所述的发明，内侧筒体的后端开口部并不是始终与电极部接触，因此在检查端接触于被检查物时内侧筒体的后端开口部不会进行与电极部的接离动作，因此能够提高检查用夹具的耐久性。

此外，内侧上筒部作为外侧筒部的第一缺口部的导向件发挥作用，因此能够使检查用探针大致垂直地进行收缩。

根据权利要求17所述的发明，外侧筒体的前端开口部的端面为平面，因此能够与检查用夹具的电极部稳定地接触。因此，当螺旋弹簧的端面形成与电极部抵接的检查用探针时，不需要进行为了使螺旋弹簧的端面稳定接触于电极部所需的对螺旋弹簧端面进行平面化的处理，因此与使用螺旋弹簧的检查用探针相比，能够更容易地形成。

根据权利要求18所述的发明，在内侧筒体的内部配置导电性的棒状部件，棒状部件的前端从内侧筒体的前端开口部延伸设置。因此，棒状部件作为检查用探针的一部份发挥作用，能够可靠地将所延伸设置侧的棒状部件的前端抵接于检查点，因此能够可靠地电连接检查点与检查用探针。

附图说明

图1是表示本发明涉及的检查用夹具的第一实施方式的概略构成图。

图2是表示本发明的第一实施方式的探针（第一探针）的概要剖视图。

图3为第一探针的分解剖视图，（a）是表示外侧筒体，（b）是表示内侧筒体。此外，以A-A虚线表示固定外侧筒体与内侧筒体的位置，B-B点划线是表示第一探针的中心轴。

图4为使用第一探针的检查用夹具的概要剖视图。为了便于说明，标记表示第一探针的各部位与保持体各部位的长度的符号。外侧筒体21的外侧上筒部211的长度为x1、第一缺口部212的长度为x2、外侧下筒部213的长度为x3、内侧筒体22的内侧上筒部221的长度为y1、第二缺口部222的长度为y2、内侧下筒部223的长度为y3、保持体3的第一板状部件31的厚度为z1、第二板状部件32的厚度为z2、第一板状部件31与第二板状部件32的相对置的面彼此的间隔为L。

图5是表示使用第一探针的检查用夹具检查时的状态的概略剖视图。

图6为本发明第二实施方式的探针（第二探针）的概略剖视图。

图7为使用第二探针的检查用夹具的概略剖视图。为便于说明，标记表示第二探针的各部位与保持体各部位的长度的符号。外侧筒体21的外侧上筒部211的长度为x1、第一缺口部212的长度为x2、外侧下筒部213的长度为x3、内侧筒体22的内侧上筒部221的长度为y1、第二缺口部222的长度为y2、内侧下筒部223的长度为y3、保持体3的第一板状部件31的厚度为z1、第二板状部件32的厚度为z2、第一板状部件31与第二板状部件32的相对置的面彼此的间隔为L。

图8为本发明第三实施方式的探针（第三探针）的概略剖视图。

图9为使用第三探针的检查用夹具的概略剖视图。

图10为使用第四探针的检查用夹具的概略剖视图。（a）是表示将第四探针安装在保持体上的状态，（b）是表示实际进行检查的状态。

图11为使用第五探针的检查用夹具的概略剖视图。（a）是表示将第五探针安装在保持体上的状态，（b）是表示实际进行检查的状态。

具体实施方式

说明用于实施本发明的最佳方式。

图1是表示本发明涉及的检查用夹具的第一实施方式的概要构成图。本发明涉及的检查用夹具1具备：多个探针2；将这些探针2呈多针状地进行保持的保持体3；支承该保持体3并具有与各探针2接触而成导通状态的电极部41（参考图5）的电极体4；及从电极部41电连接而延伸设置的导线部5。

此外，在图1中，作为多个探针2表示了三个探针并且表示了分别对应的三根导线部5，但这些不限定于三根，也可以根据设定于检查对象物的检查点来决定。

本发明的主要特征是利用分别形成于具有不同外径与内径的两个导电性的筒状部件的缺口部作为弹性部发挥作用，以这些弹性部并联配置或串联配置的方式来组合两个筒状部件，由此形成具有检查时所需的接触压、收缩压的一个检查用探针。

通过这样构成，能够应对基板的细微化与复杂化，并能够降低部件数量予以简化，提供具有充分接触压和收缩压的探针及使用该探针的检查用夹具。

对本发明涉及的第一实施方式的检查用探针2（以下，称为第一探针2）进行说明。图2为本发明的第一探针2的概略剖视图，图3为第一探针2的分解剖视图，（a）表示外侧筒体21，（b）表示内侧筒体22。

该第一探针2具备：压接于电极体4所具有的电极部41的电极端2a，及压接于被检查物8所具有的检查点81的检查端2b，该第一探针2将电极部41和检查点81电连接。

如图2所示，该第一探针2具有外径及内径分别不同的外侧筒体21和内侧筒体22、以及固定部23。内侧筒体22是与外侧筒体21同轴地配置在外侧筒体21的内部，并通过固定部23固定使其与外侧筒体21成导通状态。

如图3（a）所示，外侧筒体21为具有比内侧筒体22的外径稍大的内径的筒状部件。该外侧筒体21具有规定的长度并形成为在整个长度上具有相同外径及内径的导电性的中空状的圆柱形状（圆筒形）。此外，该外侧筒体21在两端具有开口部21a、21b，其一端开口部21a与后述的电极部41抵接，由此能够进行电极部41与外侧筒体21的电连接。该一端开口部21a相当于第一探针2的电极端2a（参考图2）。

此外，外侧筒体21的一端开口部21a与另一端开口部21b、及内侧筒体22的一端开口部22a与另一端开口部22b分别相当于［发明效果］中的、外侧筒体的前端开口部与后端开口部、及内侧筒体的后端开口部与前端开口部。

此外，外侧上筒部211及第一缺口部212及外侧下筒部213的各个一端开口部与另一端开口部分别相当于［发明效果］中的、内侧上筒部及第一缺口部及内侧下筒部的前端开口部与后端开口部。

此外，内侧上筒部221及第二缺口部222及内侧下筒部223的各个一端开口部与另一端开口部分别相当于［发明效果］中的、外侧上筒部及第二缺口部及外侧下筒部的后端开口部与前端开口部。

外侧筒体21配置成使后述的内侧筒体22从另一端开口部21b突出。此外，在将第一探针2安装于保持体3时，该另一端开口部21b与保持体3的第二板状部件32抵接，能够将第一探针2卡止于保持体3。

外侧筒体21由一个导电性的筒状部件形成，其具有外侧上筒部211、第一缺口部212、外侧下筒部213（参考图3（a））。各个部位从一端开口部21a朝向另一端开口部21b、以外侧上筒部211、第一缺口部212、外侧下筒部213的顺序被配置。

如上所述，外侧筒体21可以由一根导电性的筒状部件来形成，例如形成为外径40~250μm、内径30~240μm、壁厚5~50μm。

虽然外侧筒体21由导电性的材料形成，但只要是将具有导电性的材料作为该材料，则不作特别限定。例如，可以例示如镍或镍合金或钯合金来作为外侧筒体21的材料。

本发明的外侧筒体虽然可以在上述条件下进行制造，但是除上述条件外，尤其可以将制造成外径小于100μm、内径小于90μm的筒体作为外侧筒体21，由此，能够适于用作将第一探针2在配线或电子电路检查中所使用的检查用夹具中具备的检查用探针。

优选为外侧筒体21长轴方向的长度形成得比后述的内侧筒体22的长度短。其理由是，在外侧筒体21与内侧筒体22组合时能够容易地组装，详细内容在后进行论述。

图4是表示将第一探针2保持在保持体3、且将该保持体3安装于检查用夹具1的状态的概要剖视图。

此外，由于是安装于检查用夹具1的状态，所以图4所示的第一缺口部212的长度x2与第二缺口部222的长度y2是相比自然长度缩小了的状态的长度，与无负载状态的长度不同。

外侧上筒部211为具备一端开口部211a与另一端开口部211b的筒状部件（参考图3（a））。该一端开口部211a相当于外侧筒体21的一端开口部21a，抵接于电极部41。一端开口部211a形成为具有相对于外侧上筒部211的长轴方向垂直的端面，所以一端开口部211a抵接于电极部41时，能够使该端面抵接于电极部41，外侧筒体21与电极部41稳定地抵接。

外侧上筒部211的另一端开口部211b与后述的第一缺口部212的一端开口部212a连通连结。

外侧上筒部211在被保持在保持体3时贯穿支承于设置在第一板状部件31的第一导孔31h（后述）内部，并被引导向规定的电极部41。该外侧上筒部211的长轴方向的长度x1虽不进行特别限定，但是如图4所示，能够形成为在保持体3上安装第一探针2时，该长度x1比第一板状部件31的厚度z1（第一导孔31h的深度）长、且该长度x1与后述的第一缺口部212的长度x2的合计值比后述的内侧上筒部221的长度y1短。作为这种条件，例如可以设定“x1＞z1，及x1+x2＜y1”的条件。

通过这样形成，在后述的第一缺口部212收缩时，能够防止在第一缺口部212与第一板状部件31所形成的第一导孔31h的开口端周缘接触，并能够防止第一缺口部212与第二缺口部222彼此间的接触。

第一缺口部212是通过在形成外侧筒体21的筒状部件的长轴方向上沿其壁面设置螺旋状的缺口而形成。这样在外侧筒体21形成螺旋状的缺口，由此使该第一缺口部212作为在外侧筒体21的长轴方向上收缩的弹性部发挥作用。第一缺口部212具备一端开口部212a与另一端开口部212b。

该一端开口部212a与外侧上筒部211的另一端开口部211b连通连结，另一端开口部212b与外侧下筒部213的一端开口部213a连通连结。因此，第一缺口部212配置在外侧上筒部211与外侧下筒部213之间。

此外，该第一缺口部212所具有的弹性伸缩的特性能够通过缺口部的宽度或间距或长度或筒体部件厚度的调整、筒状部件材料的种类、施加于筒状部件的各种处理（热处理或化学处理等）等来进行适当调整，且可由使用者进行适当调整。另外，在图3所示的第一缺口部212上虽形成有一个缺口部，但也可以具有规定间隔且对称地形成有两个缺口部，也可以形成三个以上的缺口部。

该第一缺口部212的长度x2最好被设定为，调整长度而形成为具有规定的收缩长度或接触压的同时，如上所述，将第一探针2安装于保持体3时，第一缺口部212配置在不与第一板状部件31和第二缺口部222接触的位置。在图4中，可以配置成使第一缺口部212形成得比第一板状部件31的检查点侧表面与第二缺口部222的一端开口部之间的长度（内侧上筒部221的长度y1与第一板状部件的厚度z1的差量）短。作为这种条件，例如可设定为“x2＜y1-z1”的条件。

外侧下筒部213具备一端开口部213a与另一端开口部213b。一端开口部213a与上述第一缺口部212的另一端开口部212b连通连结，另一端开口部213b相当于外侧筒体21的另一端开口部21b。外侧下筒部213的另一端开口部213b具有相对于外侧下筒部213的长轴方向成垂直的端面，因此将第一探针2安装于保持体3时，能够使该外侧下筒部213的另一端开口部213b的端面与第二板状部件32以平面稳定地抵接。

此外，在外侧下筒部213上形成有后述的固定部23。通过该固定部23，将外侧筒体21与内侧筒体22电连接并进行固定。

外侧下筒部213的长轴方向的长度x3形成为外侧筒体21的另一端开口部21b能够抵接于第二板状部件32的长度。

该外侧筒体21所具有的外侧上筒部211、第一缺口部212与外侧下筒部213也可以将外侧上筒部211与外侧下筒部213形成为相同的长度，以使其具有以第一缺口部212为中心的对称形状。通过这样形成外侧筒体21，使外侧筒体21具有对称形状，消除上下方向的不同，容易进行第一探针2的组装。

内侧筒体22是形成第一探针2的一部分并用于抵接于检查点81的部件（参考图3（b））。该内侧筒体22具有比外侧筒体21的内径稍小的外径。该内侧筒体22形成为具有规定的长度且在整个长度上具有相同直径的导电性中空状的圆柱形状（圆筒形）。此外，该内侧筒体22在两端具有开口部，其另一端开口部22b与检查点81接触而成导通状态，并可以进行检查点81与内侧筒体22的电连接。另外，该内侧筒体22的另一端开口部22b相当于第一探针2的检查端2b。

此外，内侧筒体22的一端开口部22a与电极部41接触而成导通状态，并可以进行电极部41与内侧筒体22的电连接。另外，该内侧筒体22的一端开口部22a相当于第一探针2的电极端2a（参考图2）。

该内侧筒体22的另一端开口部22b侧的一部分从外侧筒体21的另一端开口部21b突出，且该内侧筒体22与外侧筒体21同轴地配置在外侧筒体21的内部。

内侧筒体22由一支导电性的筒状部件形成，并具有内侧上筒部221、第二缺口部222及内侧下筒部223（参考图3（b））。各个部位是从一端开口部22a朝向另一端开口部22b、以内侧上筒部221、第二缺口部222及内侧下筒部223的顺序被配置。

如上所述，内侧筒体22可以由一支导电性的筒状部件形成，例如形成为外径30~250μm、内径20~240μm、壁厚5~50μm。

本发明的内侧筒体虽可在如上述的条件下制造，但是上述条件中，尤其是通过将制造成外径小于80μm、内径小于70μm的筒体作为内侧筒体22，能够将第一探针2适合用作用于配线或电子线路检查的检查用夹具所具备的检查用探针。

内侧筒体22虽然由导电性的材料形成，但作为该材料只要是具有导电性的材料则无特别限定。作为内侧筒体22的材料，例如可以例示镍或镍合金或钯合金。

优选为内侧筒体22长轴方向的长度比外侧筒体21的长度长。这是因为，将第一探针2安装在保持体3时，外侧筒体21的另一端开口部21b的端面与第二板状部件32抵接，内侧筒体21对电极部41与检查点81进行电连接，因此内侧筒体22的另一端开口部22b有必要从后述的保持体3的第二板状部件32上所设置的第二导孔32h向检查点81侧突出。此外，当组合外侧筒体21与内侧筒体22而形成第一探针2时，使外侧筒体21的一端开口部21a与内侧筒体22的一端开口部22a对齐并用固定部固定，从而能够容易地组装第一探针2。

内侧上筒部221为具备一端开口部221a与另一端开口部221b的筒状部件。该一端开口部221a相当于内侧筒体22的一端开口部22a，并抵接于电极部41。一端开口部221a形成为具有相对于内侧上筒部221的长轴方向成垂直的端面，因此在一端开口部221a抵接于后述的电极部41时，该端面抵接于电极部41，内侧筒体22能够与电极部41稳定地抵接。

内侧上筒部221的另一端开口部221b与后述的第二缺口部222的一端开口部222a连通连结。

内侧上筒部221在被保持体3保持时同轴地配置于外侧筒体22的内侧，该外侧筒体22贯穿支承于设置在第一板状部件31的第一导孔31h内部，因此与外侧上筒部211同样地被引导到规定的电极部41。该内侧上筒部221长轴方向的长度y1不进行特别限定，但是可以形成为如图4所示，在保持体3上安装第一探针2时，该长度y1比外侧筒体21的外侧上筒部211的长度x1与第一缺口部212的长度x2的合计值长。作为这种条件，例如可以设定“y1＞x1+x2”的条件。

通过如上所述地形成，当第一缺口部212与后述的第二缺口部222进行收缩运动时，最好防止外侧筒体21的第一缺口部212与内侧筒体22的第二缺口部222各个缺口部彼此接触。

第二缺口部222是通过在形成内侧筒体22的筒状部件的长轴方向上沿着其壁面设置螺旋状的缺口而形成的。这样，在内侧筒体22形成螺旋状的缺口，由此该第二缺口部222作为在内侧筒体22的长轴方向上收缩的弹性部发挥作用。第二缺口部222具备一端开口部222a与另一端开口部222b。

该一端开口部222a与内侧上筒部221的另一端开口部221b连通连结，另一端开口部222b与内侧下筒部223的一端开口部223a连通连结。因此，第二缺口部222配置在内侧上筒部221与内侧下筒部223之间。

此外，该第二缺口部222所具有的弹性伸缩的特性可以通过缺口部的宽度或间距或长度或筒状部件的厚度的调整、筒状部件的材料的种类、施加于筒状部件的各种处理（热处理或化学处理等）等适当调整，由使用者适当加以调整。此外，图3（b）所示的第二缺口部222虽形成有一个缺口部，但也可以隔开规定间隔来形成两个缺口部，或形成三个以上的缺口部。

该第二缺口部222的长度y2最好被设定为，调整长度而形成为具有规定的收缩长度或接触压的同时，如上所述，将第一探针2安装于保持体3时，第二缺口部222不与第二板状部件32和/或第一缺口部212接触。例如，在图4中，第二缺口部222形成得比外侧下筒部213的长度x3短来进行配置，作为这种条件，例如设定“y2＜x3”的条件。

内侧下筒部223是具备一端开口部223a与另一端开口部223b的筒状部件。内侧下筒部223的一端开口部223a与第二缺口部222的另一端开口部222b连通连结，内侧下筒部223的另一端开口部223b相当于内侧筒体22的另一端开口部22b。内侧下筒部223的另一端开口部223b具有相对于内侧下筒部223的长轴方向成垂直的端面，因此在将第一探针2安装于保持体3时，即使检查点81形成为平面状或形成为球型或凸状，该内侧下筒部223的另一端开口部223b的端面能够可靠地与检查点81压接。

此外，在内侧下筒部223上形成有后述的固定部23，通过该固定部23，来对外侧筒体21与内侧筒体22进行电连接而固定。

与外侧上筒部211同样地，内侧下筒部223长轴方向的长度y3最好被设定为，使第二缺口部222不与第二板状部件32和/或第一缺口部212接触。此外，可以形成为具有即使内侧下筒部223的另一端开口部223b抵接于检查点81而使内侧筒体22的第二缺口部222收缩，内侧筒体22的另一端开口部22b也能够从第二板状部件32突出的长度（参考图5）。

该内侧筒体22所具有的内侧上筒部221、第二缺口部222与内侧下筒部223也可以形成为：内侧上筒部221与内侧下筒部223的长度相同，使得具有以第二缺口部222为中心对称的形状。通过如上所述地形成内侧筒体22，使内侧筒体22具有对称形状，消除上下方向上的差异，可以容易进行第一探针2的组装。

如图2所示，该内侧筒体22配置成使另一端开口部22b从外侧筒体21的另一端开口部21b突出。此外，配置成不使内侧筒体22的一端开口部22a从外侧筒体21的一端开口部21a突出。当配置成内侧筒体22的一端开口部22a从外侧筒体21的一端开口部21a突出、或处于同一平面时，在保持体3上安装第一探针2时，通过第一缺口部212与第二缺口部222的收缩，能够将外侧筒体21的一端开口部21a与内侧筒体22的一端开口部22a同时压接于电极部41。

此外，也可以配置成内侧筒体22的一端开口部22a从外侧筒体21的一端开口部21a突出。此时，在保持体3上安装第一探针2时，首先第二缺口部222收缩，并根据需要使第一缺口部212收缩，由此，将外侧筒体21的一端开口部21a与内侧筒体22的一端开口部22a同时压接于电极部41。另外，虽然不对内侧筒体22的一端开口部22a从外侧筒体21的一端开口部21a突出的突出量（长度）进行特别限定，但是当安装于保持体3时，能够形成与外侧筒体21的第一缺口部212收缩的量相同的长度。此时，当将第一探针2安装于保持体3时，仅内侧筒体22的第二缺口部222收缩而产生压接的力，因此能够减轻对保持体3施加较大的力，此外，在检查时使外侧筒体21的第一缺口部212首先开始收缩，从而能够在检查前后和检查时调整适当的按压力。

通过如上所述地调整内侧筒体22的一端开口部22a与外侧筒体21的一端开口部21a之间的配置，可以形成外侧筒体21的一端开口部21a与内侧筒体22的一端开口部22a始终接触电极部41的状态。因此，不会导致检查端2b每次接触检查点81时都使得外侧筒体21的一端开口部21a与内侧筒体22的一端开口部22a进行对电极部41的接离动作，因此能够获得检查用夹具1耐久性的提高。

固定部23形成于外侧筒体21的外侧下筒部213与内侧筒体22的内侧下筒部223，并对外侧筒体21与内侧筒体22进行固定。作为该固定方法，例如通过敛缝进行固定时，如图2所示，从外侧筒体21（外侧下筒部213）侧朝向内侧筒体22侧进行按压，由此固定外侧筒体21与内侧筒体22。该固定部23在外侧下筒部213上形成为向内侧弯曲的凹形状（参考图3（a））。该固定部23是在将内侧筒体22配置于外侧筒体21内之后，为了固定外侧筒体21与内侧筒体22而形成的，但也可以预先形成于外侧筒体21。此外，该凹形状的固定部23是表示为了固定外侧筒体21与内侧筒体22，通过从外侧（外侧筒体21）朝内侧（内侧筒体22）进行按压（敛缝）来固定时形成的固定部的例子。

通过固定部23进行的外侧筒体21及内侧筒体22的固定方法不限于该敛缝方法，也可以使用激光焊接、电弧焊或粘接剂等其它固定方法。另外，作为外侧筒体21与内侧筒体22的固定方法，在使用了焊接等电连接外侧筒体21与内侧筒体22的固定方法时，虽然不需要，但是在使用不电连接外侧筒体21与内侧筒体22的固定方法时，例如也可以用软钎料或导线等电连接外侧筒体21与内侧筒体22。

第一探针2虽然可以按上述的条件适当地实施，但也可以设定如下的条件。

外侧筒体21的第一缺口部212不是配置在第一导孔31h的内部，而是配置在内侧筒体22的外侧上筒部221的外侧周围。此外，内侧筒体22的第二缺口部222不是配置在第二导孔32h的内部，而是配置在外侧筒体21的外侧下筒部213的内部。

通过设定这些条件来形成各部件，能够更可靠地进行各缺口部的动作并适当地实施第一探针2。

图4是表示将第一探针2安装在保持体3后的状态的剖视图。检查用夹具1具有用于保持第一探针2的保持体3。该保持体3具备第一板状部件31与第二板状部件32。

第一板状部件31具有用于将第一探针2的一端开口部2a向电极部41引导的第一导孔31h。第一导孔31h是在第一板状部件31的厚度方向上具有同一直径地形成的贯穿孔，该贯穿孔的外径形成为具有仅稍微大于外侧筒体21的外径的直径。该第一导孔31h虽是将第一探针21的一端开口部2a朝向电极部41引导，但更具体而言，是将外侧筒体21的一端开口部21a朝着电极部41引导。此外，此时由于内侧筒体22的一端开口部22a也是与外侧筒体21同轴地配置，因此被朝着电极部41引导。

第一板状部件31的厚度z1形成为比外侧上筒部211的长度x1短。这是由于，如上所述，在第一探针2被保持在保持体4上而安装于电极部41的状态下，外侧上筒部211被贯穿支承于第一导孔31h，在第一缺口部212进行收缩动作时，最好第一缺口部212不接触第一板状部件31。

第二板状部件32被配置成与第一板状部件31间具有规定间隔，并具有用于将第一探针2的另一端开口部2b朝着检查点81引导的第二导孔32h。第二导孔32h是在第二板状部件32的厚度方向上具有相同直径而形成的贯穿孔，且形成为具有小于外侧筒体21的外径且稍大于内侧筒体22的外径的直径。

通过这样形成第二导孔32h，在将第一探针2插入于保持体3时，使第一探针2的外侧筒体21的另一端开口部21b卡止于第二板状部件32表面的第二导孔32h周缘。这是由于，第二导孔32h的直径与外侧筒体22的外径有差。此外，此时内侧筒体22的另一端开口部22b被配置成从第二板状部件32的第二导孔32h突出。

该第二导孔32h虽是将第一探针2的检查端2b朝向检查点81引导，但更具体而言，是将第一探针2的内侧筒体22的另一端开口部22b朝向检查点81引导。

该第二板状部件32的厚度z2形成为比内侧下筒部223的长度y3短。

这是为了在第一探针2被保持于保持体4而安装在电极部41的状态下，能够从第二导孔32h贯穿支承内侧下筒部223。

第二板材部件32与第一板状部件31之间具有规定间隔L。该规定间隔L被设定为使电极部41的表面与第二板状部件32的电极侧表面之间的距离（第一板状部件31的厚度z1和规定间隔L的合计値）比无负载状态下的外侧筒体21的长轴方向的长度稍短。

通过这样形成，在将第一探针2安装于保持体3时，外侧筒体21的第一缺口部212收缩而形成施力状态，外侧筒体21以分别按压电极部41与第二板状部件32的状态被安装。因此，外侧筒体21能够以与电极部41压接的状态安装于保持体3，并且能够使第一探针2稳定地保持在保持体3。

此外，此时内侧筒体22的一端开口部22a也被压接于电极部41，因此能够可靠地进行内侧筒体22与电极部41的连接。

在图4中，第二导孔32h虽表示为具有同一直径的贯穿孔，但也可以是由配置在同轴上的具有不同的两个外径的两个孔（上孔与下孔，未图示）形成的贯穿孔。此时，上孔具有比外侧筒体21的外径稍大的直径并配置在第二板状部件32的电极部侧，下孔具有比外侧筒体21的外径小但比内侧筒体22的外径稍大的直径并配置在第二板状部件32的检查点侧。

通过如上所述地形成上孔与下孔，当从第一导孔31h插入第一探针2并将其安装于保持体3时，根据外侧筒体21的另一端开口部21b的外径与下孔的直径的不同，也能够卡止外侧筒体21，仅使内侧筒体22从第二导孔32h突出。

此外，在图4中，第一板状部件31与第二板状部件32具有规定间隔而被配置，但也可以在第一板状部件31与第二板状部件32之间设置第三板状部件33（未图示）。该第三板状部件层叠一个或二个以上的板状部件，并可以配置在由该间隔形成的空间内。此时，例如，第三板状部件也可以通过层叠多个与第一板状部件31相同的板状部件而形成。此外，形成在第三板状部件上的贯穿孔只要具有第一探针2的外侧筒体21贯穿的大小即可，对其截面形状不作特别限定。

在电极体4上形成有与各第一探针2对应的电极部41。该电极部41与外侧筒体21的一端开口部21a及内侧筒体22的一端开口部22a压接而成为导通状态。

在图4中，电极部41虽然形成为与外侧筒体21的一端开口部21a及内侧筒体22的一端开口部22a压接，但是这是第一实施方式的一个例子，电极部41的形状不限于该形状。

例如，当以比图4所示的间距更窄的间距来配置检查点81时，最好电极部41形成得比外侧筒体21的外径小，仅内侧筒体22的一端开口部22a抵接于电极部41。此外，此时外侧筒体21的一端开口部21a抵接于电极部41周边的电极体4表面。

以上为本发明第一实施方式的检查用夹具1的构成的说明。

本第一探针2的外侧筒体21与内侧筒体22虽是组合具有缺口部的筒状部件而形成，但是作为形成这种筒状部件的方法之一，也可以采用如下所述的制造方法。

（1）首先，准备形成筒状部件的中空部的芯线（未图示）。另外，该芯线使用限制筒状部件内径的所希望粗细的具有导电性的芯线（例如，直径30μm，不锈钢（SUS））。

（2）接着，在芯线（不锈钢线）上涂布抗光蚀膜，覆盖该芯线的周面。对该抗光蚀膜的所希望部分进行曝光、显影、加热处理而形成螺旋状的掩膜。此时，例如可以使芯线沿着中心轴旋转，利用激光曝光而形成螺旋状的掩膜。为了形成本发明的筒状部件，将用于形成缺口部的掩膜形成在规定的位置。

（3）其次，对该芯线实施镀镍。此时，芯线具有导电性，因此在未形成抗蚀掩膜的部位实施镀镍。

（4）接着，除去抗蚀掩膜，抽出芯线，形成规定长度的筒状部件。当然也可以在完全抽出芯线之后切断筒体。

在将保持体3安装于检查用夹具1时，首先，将第一探针2插入于保持体3。在将第一探针2插入于保持体3时，使第一探针2的另一端开口部2b经过第一导孔31h，接着，通过该另一端开口部2b插入于第二导孔32h。插入于保持体3的第一探针2通过外侧筒体21的另一端开口部21b而卡止在保持体3。此时，第一探针2的两端开口部（2a、2b）被配置成分别从第一导孔31h与第二导孔32h朝外侧突出。

当第一探针2被插入于保持体3时，以将外侧筒体21的一端开口部21a与内侧筒体22的一端开口部22a推压电极部41的方式，使第一板状部件31与电极体4抵接。此时，外侧筒体21与内侧筒体22被压接于电极部41，因此各个第一缺口部212与第二缺口部222收缩而成为施力状态。因此，不论内侧筒体的另一端开口部22b（检查侧端）是否抵接于检查点81，外侧筒体21的一端开口部21a与内侧筒体22的一端开口部22a成为始终接触于电极部41的状态。这样，完成具有第一探针2的检查用夹具1。

其次，说明将检查用夹具1用于检查的情形。

图5是表示使用第一探针的检查用夹具在进行检查时的状态的概要剖视图。

在进行检查时，将检查用夹具1安装于检查装置（未图标），导线5与检查装置的控制单元电连接。

检查装置具备将放置有被检查物8的载台分别在xyz轴方向上移动的移动单元，以使规定的第一探针2的检查端2b压接于被检查物8的多个检查点81的方式，使载台在xyz轴方向上移动来进行检查。

检查装置为了使所希望的第一探针2抵接于规定的检查点81，当进行载台的定位时，移动各第一探针2使其导通接触于各检查点81。

此时，当所希望的检查端2b抵接于规定的检查点81时，首先，成为检查端2b的内侧筒体22的另一端开口部22b被压接，因此内侧筒体22的第二缺口部222收缩。此时，外侧筒体21被内侧筒体22与固定部23所固定，因此外侧筒体21的第一缺口部212也同时收缩。并且，通过这些缺口部212、222的收缩，检查点81与电极部41经由第一探针2且以第一及第二缺口部212、222的恢复力的合计值的接触压被电连接。

以上是第一实施方式的检查用夹具的说明。

接着，说明本发明的第二实施方式的检查用夹具10。

图7所示的检查用夹具10与第一实施方式的检查用夹具1主要不同点在于，保持于保持体上的检查用探针的构成不同。以下的说明中，主要针对不同的检查用探针的构成部份进行说明，对于相同的部份尽可能省略其说明。

针对第二实施方式的检查用夹具10中所使用的检查用探针20（以下，称为第二探针20）进行说明。此外，第二探针20具有与第一探针2类似的构成，因此针对相同的构成标注相同的符号来说明。

图6为第二探针20的概要剖视图。图7表示将第二探针20保持在保持体3，并将该保持体3安装于检查用夹具10的状态。此外，图7所示的第一缺口部212的长度x2是比自然长度收缩后的状态的长度。另一方面，第二缺口部222的长度y2是无负荷状态的长度。

第二探针20与第一探针2的主要不同点是在固定部23，更具体而言，形成固定部23的位置不同。第一探针2的固定部23连接固定外侧筒体21的外侧下筒部213与内侧筒体22的内侧下筒部223，相对于此，第二探针20的固定部23连接固定外侧筒体21的外侧下筒部213与内侧筒体22的外侧上筒部221。

第二探针20对检查用夹具10所具备的电极体4的电极部41与被检查物8的检查点81进行电连接。更具体而言，第二探针20在两端具有开口部，该一端开口部20a压接于电极部41，该另一端开口部20b压接于检查点81，由此电连接电极部41与检查点81。

第二探针20是如图6表示，具有外侧筒体21与内侧筒体22与固定部23。

第二探针20的外侧筒体21的构成虽然与第一探针2的外侧筒体21的基本构成大致相同，但优选为各部位的长度可根据与第一探针2的外侧筒体21的各部位长度不同的条件来调整。这是由于固定部23的位置在第二探针20上和在第一探针2上不同引起的，其详情在后论述。

对于外侧上筒部211的长度x1，不进行特别限定，但是如图7所示，可以形成为比第一板状部件31的厚度z1（第一导孔31h的深度）长。

通过这样形成，在将第二探针20保持在保持体3时，使第一缺口部212收缩时，能够防止第一缺口部212与第一板状部件31的第一导孔31h的开口部周缘接触。

第一缺口部212的长度x2最好被设定为，调整长度而形成为具有规定的收缩长度及接触压的同时，如上所述，将第二探针20安装于保持体3时，使第一缺口部212配置在不与第一板状部件31接触的位置。在图7中，第一缺口部212可被配置成使其与后述的外侧下筒部213的长度x3的合计値形成得比第一板状部件31与第二板状部件32的间隔L短。作为这种条件，可以设定例如“x2+x3＜L”。

第一缺口部212的长度x2可形成为比内侧筒体22的内侧上筒部221的长度y1短。通过按这种条件来形成，在将第二探针20安装于保持体3，且第二探针20收缩时，能够防止第一缺口部212与内侧筒体22的一端开口部22a接触。

作为这种具体的条件，例如可以设定“x2＜y1”的条件。但是，该内侧上筒部221的长度y1最好被调整配置成，即使在第二探针20的检查端20a压接于检查点81时外侧筒体21的第一缺口部212进行了收缩，内侧上筒部221的一端开口部221a也不与第一缺口部212接触。

对于外侧下筒部213的长轴方向的长度x3，虽然不特别加以限定，但是如上所述，可形成为具有外侧筒体21的另一端开口部213b能够抵接于第二板状部件32的长度。

第二探针20的内侧筒体22的构成，虽然与第一探针2的内侧筒体22的构成大致相同，但是优选为各部位的长度可根据与第一探针2的内侧筒体22各部位的长度不同的条件来进行调整。这是由于在第二探针20上和在第一探针2上的固定部23的位置不同引起的，其详细内容在后进行论述。

内侧筒体22长轴方向的长度形成为，在第二探针20被保持于后述的保持体3上时，至少比外侧筒体21的第一缺口部212的长度x2与外侧下筒部213的长度x3与保持体3的第二板状部件32的厚度z2的合计値长。通过这样形成，当第二探针20被保持于保持体3时，能够成为内侧筒体22的一端开口部22a可抵接于检查点81的状态。

在内侧上筒部221上形成后述的固定部23。通过固定部23将外侧筒体21与内侧筒体22电连接并固定。

内侧上筒部221的长度y1形成为，其与后述的第二缺口部222的长度y2的合计値比外侧筒体21的第一缺口部212的长度x2与外侧下筒部213的长度x3的合计値长。作为这种条件，例如可以设定“x2+x3＜y1+y2”的条件。但是，优选为对该内侧上筒部221的长度y1进行调整，使得当第二探针20的检查端20a压接于检查点81时即使外侧筒体21的第一缺口部212收缩，内侧上筒部221的一端开口部221a也不与第一缺口部212接触，并使得当第二探针20安装于保持体3而使第二探针20进行了收缩时，内侧上筒部221的一端开口部221a不接触电极部41。

这是由于，通过配置成使一端开口部221a收容于外侧上筒部211的内部，来防止一端开口部221a与第一缺口部212接触，并防止一端开口部221a与电极部41重复进行接离动作。此外，内侧上筒部作为外侧筒体的第一缺口部收缩时的引导部发挥作用，因而可以使第二探针20大致垂直地收缩。

此外，内侧上筒部221的长度y1不限于上述所示的长度，例如，也可以形成为内侧上筒部221的长度y1加上后述的第二缺口部222的长度y2的合计值比外侧筒体21的外侧下筒部的长度x3短。

第二缺口部222的长度y2最好被设定为，调整长度使其具有所希望的收缩长度或接触压的同时，将第二探针20安装于保持体3时，如上所述地第二缺口部222不与第二板状部件32接触。在图7中，将第二缺口部222配置成使第二缺口部222的长度y2比外侧下筒部213的长度x3短。作为这种条件，例如可以设定“x3＞y2”的条件。

内侧下筒部223的长度y3最好被设定为，使第二缺口部222不接触于形成在第二板状部件32上的第二导孔32h的周缘。此外，即使内侧下筒部223的另一端开口部223b抵接于检查点81而使内侧筒体22的第二缺口部222及外侧筒体21的第一缺口部212收缩，仍具有使内侧下筒部223的另一端开口部223b从第二板状部件32的检查点侧表面突出的长度（参考图7）。

固定部23形成在外侧筒体21的外侧下筒部213与内侧筒体22的内侧上筒部221并固定外侧筒体21与内侧筒体22。固定部23的形状和固定方法与第一实施方式的固定部23的形状和固定方法相同，因此省略说明。

第二探针20虽然可以按上述的条件适当地实施，但也可以设定如下的条件。

外侧筒体21的第一缺口部212不配置在第一导孔31h的内部，并且，将内侧筒体22的内侧上筒部221收容于内部。此外，外侧筒体21的外侧上筒部221收容有内侧筒体22的内侧上筒部221，将内侧上筒部221配置成即使内侧筒体22进行了收缩时一端开口部22a也不会接触于电极部41。此外，内侧筒体22的第二缺口部222不是配置在第二导孔32h的内部，而是配置在外侧筒体21的外侧下筒部213的内部。

通过设定这些条件来形成各部件，能够防止各缺口部接触并适当地实施第二探针20。

以上是第二实施方式的检查用探针20（第二探针20）的说明。

以下，说明使用第二探针20时的检查用夹具10。

保持体3是保持第二探针20的部件，且其它构成与形状等与第一实施方式的保持体3相同。

该保持体3具有第一板状部件31及第二板状部件32。第一板状部件31具有第一导孔31h，该第一导孔31h仅将外侧筒体21的外侧上筒部211朝向电极部41引导。第二板状部件32具有第二导孔32h，该第二导孔32h仅将内侧筒体22的内侧下筒部223引导至检查点。在该第二实施方式的夹具中，在第一板状部件31与第二板状部件32之间的空间配置有：外侧筒体21的第一缺口部212与外侧下筒部213；以及内侧筒体22的第二缺口部222与内侧上筒部221与第二缺口部222。

该第一板状部件31及第二板状部件32的厚度被调整为能够保持所要保持的第二探针20。在下述说明中，举例表示用于保持第二探针20的各板状部件的厚度。

对于第一板状部件31的厚度z1，虽然不特别加以限定，但是例如也可以形成为比外侧筒体21的外侧上筒部221的长度x1短（参考图7）。

这是因为，最好是在将第二探针20保持于保持体3并安装于电极部41的状态下，第二探针20的外侧筒体21被贯穿支承于第一导孔31h，在外侧筒体21的第一缺口部212进行收缩动作时，第一缺口部212不接触第一导孔31h周缘的第一板状部件31。

对于第二板状部件32的厚度z2，虽不特别加以限定，但是例如可以配置成使其形成得比内侧筒体22的内侧下筒部223的长度y3短，且内侧下筒部223贯穿第二导孔32h的整个长度。

如上所述，这是因为在第二探针20被保持在保持体3并安装于电极部41的状态下，第二探针20的内侧筒体22被贯穿支承于第二导孔32h，且在内侧筒体22的第二缺口部222进行收缩时，防止第二缺口部222接触于第二导孔32h周缘的第二板状部件32。

此外，在形成本第二探针20的筒状部件的制造方法中，也可以使用与形成第一实施方式的第一探针2的筒状部件的制造方法相同的制造方法。

以上是本发明涉及的第二实施方式的检查用夹具10的构成的说明。

接着，说明将检查用夹具10用于检查的情形。

由于将第二探针20插入于保持体3，且将保持体3安装于检查用夹具10的方法与第一实施方式的检查用夹具1相同，所以省略说明。

然后，说明检查用夹具10进行检查时的动作。

为了实施检查，当所希望的检查端20b抵接于规定的检查点81时，首先，成为检查端20b的内侧筒体22的另一端开口部22b被压接，因此内侧筒体22的第二缺口部222收缩。此时，外侧筒体21由内侧筒体22与固定部23固定，因此与第二缺口部222的收缩大致同时外侧筒体21的第一缺口部212也会收缩。使这些缺口部收缩并压接检查点81，由此，可使检查点81与电极部41经由第二探针20，通过第一及第二缺口部212、222的恢复力的合成值的接触压来进行电连接。

此外，外侧筒体21的一端开口部21a始终与电极部41接触，即使内侧筒体21的另一端开口部22b压接于检查点81，内侧筒体22的一端开口部22a也不与电极部41抵接，因此在检查端20b每次接触于检查点81时，外侧筒体21的一端开口部21a或内侧筒体22的一端开口部22a不会重复进行与电极部41的接离动作。因此，能够实现检查用夹具10耐久性的提高。

以上是第二实施方式的检查用夹具10的说明。

接着，说明本发明第三实施方式的检查用夹具100。检查用夹具100与第一实施方式的检查用夹具1的主要不同点在于，被保持在检查用夹具的保持体上的检查用探针的构成不同。以下的说明中，主要针对不同的部分进行说明，对于相同的部份尽可能省略说明。

以下，说明第三实施方式的检查用夹具100中所使用的检查用探针200（称为第三探针200）。

此外，由于第三探针200具有与第一探针2类似的构成，所以对于相同的构成标注相同的符号加以说明。

图8为第三探针200的概略剖视图。图9是表示将第三探针200保持于保持体3，并将此保持体3安装于检查用夹具100的状态。此外，图9所示的第一缺口部212与第二缺口部222的长度是与自然长度相比收缩了的状态的长度。另一方面，后述的第三缺口部225并未收缩，第三缺口部225的长度为无负载时的长度。

第三探针200与第一探针2的主要不同点在于，第三探针200的内侧筒体220上形成有第三缺口部225。在第一探针2中，形成于内侧筒体22的缺口部只有第二缺口部222，相对于此，形成于第三探针200的内侧筒体220的缺口部是第二缺口部222与第三缺口部225。

第三探针200的功能是对与第一探针相同的电极部41与检查点81进行电连接，因此省略说明。如图8所示，第三探针200具有外侧筒体21、内侧筒体220及固定部23。

虽然第三探针200的外侧筒体21的构成与第一探针2的外侧筒体21的构成大致相同，但优选为根据与第一探针2的外侧筒体21的各部位长度不同的条件来调整各部位的长度。这是由于使用内侧筒体220来构成第三探针200引起的，其详细内容在后论述。

最好将外侧筒体21的外侧下筒部213的长度调整为使得后述的第三缺口部225配置在外侧下筒部213内部。这是为了防止在后述的内侧筒体220收缩时，第三缺口部225与保持体3的第二板状部件32表面的第二导孔32h周缘接触。

内侧筒体220由一支导电性的筒状部件形成，且具有内侧上筒部221、第二缺口部222、内侧下筒部223、中筒部224及第三缺口部225（参考图8）。各个部位是从内侧筒体220的一端开口部220a朝向内侧筒体220的另一端开口部220b，依照内侧上筒部221、第二缺口部222、中筒部224、第三缺口部225、内侧下筒部223的顺序被配置。

关于内侧筒体220的内侧上筒部221、第二缺口部222，由于与第一探针2的内侧筒体22的内侧上筒部221、第二缺口部222相同，因此省略说明。

中筒部224为具备一端开口部224a与另一端开口部224b的筒状部件（参考图8）。该中筒部224的一端开口部224a与上述的第二缺口部222的另一端开口部222b连通连结，该中筒部224的另一端开口部224b与后述的第三缺口部225的一端开口部225a连通连结。因此，中筒部224形成在第二缺口部222与第三缺口部225之间。

此外，中筒部224上形成有后述的固定部23。通过该固定部23，对外侧筒体21与内侧筒体220进行电连接并固定（在后进行详细论述）。

与内侧上筒部221相同地，最好将中筒部224的长轴方向的长度设定成使第二缺口部222不与第一缺口部212接触。此外，最好设定成使后述的第三缺口部225不与第二板状部件32表面的第二导孔32h周缘接触。

第三缺口部225为具备一端开口部225a与另一端开口部225b的筒状部件。该第三缺口部225的一端开口部225a与上述的中筒部224的另一端开口部224b连通连结，该第三缺口部225的另一端开口部225b与后述的内侧下筒部223的一端开口部223a连通连结。因此，第三缺口部225形成在中筒部224与内侧下筒部223之间。该第三缺口部225是通过在形成内侧筒体220的筒状部件的长轴方向上沿其壁面设置螺旋状的缺口而形成。通过如上所述地在内侧筒体220形成螺旋状的缺口，该第三缺口部225作为在内侧筒体220的长轴方向上伸缩的弹性部发挥作用。

此外，该第三缺口部225所具有的弹性伸缩的特性可通过缺口部的宽度或长度或筒状部件厚度的调整、筒状部件材料的种类、施加在筒状部件上的各种处理（热处理或化学处理等）等来适当加以调整，由使用者来进行适当调整。此外，第三缺口部225的缺口形状在图中虽是一个，但也可以设置多个。

该第三缺口部225的长度最好被设定为：调整长度使其具有所希望的收缩长度或接触压的同时，将第三探针200安装在保持体3时，如上述地使第三缺口部225不与第二板状部件32接触。在图9中，第三缺口部225形成为比从外侧下筒部213的另一端开口部213b到外侧下筒部213的设有固定部23的位置为止的长度短而被配置。

内侧下筒部223的功能或构成、形状与第一实施例的内侧下筒部223相同，因此省略说明。

内侧下筒部223的长度最好被设定为：如上所述地使第三缺口部225不与形成在第二板状部件32上的第二导孔32h（后述）的周缘接触。此外，形成为具有如下长度：即使内侧下筒部223的另一端开口部223b抵接检查点81而使内侧筒体220的第二缺口部222及第三缺口部225及外侧筒体的第一缺口部212收缩，内侧下筒部223的另一端开口部223b也能够从第二板状部件32的检查点侧表面突出（参考图9）。

固定部23形成于外侧筒体21的外侧下筒部213与内侧筒体220的中筒部224并固定外侧筒体21与内侧筒体220。固定部23的形状与固定方法和第一实施方式的固定部23的形状及固定方法相同，因此省略说明。

第三探针200虽可以按如上述的条件适当地实施，但也可以设定如下的条件。

外侧筒体21的第一缺口部212不是配置在第一导孔31h的内部，而是配置在内侧筒体220的外侧上筒部221的外侧周围，且不配置在内侧筒体220的第二缺口部222的外侧周围。此外，内侧筒体220的第二缺口部222不是配置在外侧筒体21的第一缺口部212的内部，而是配置在外侧筒体21的外侧下筒部213的内部。此外，内侧筒体220的第三缺口部225不是配置在第二导孔32h的内部，而是配置在外侧筒体21的外侧下筒部213的内部。

通过设定这样的条件来形成各部件，而能够防止各缺口部与其它缺口部或各板状部件接触，并适当地实施第三探针200。

此外，该第三探针200的内侧筒体220是夹持着固定部23而形成有两个缺口部，并以该固定部23为中心进行配置。形成本第三探针200的筒状部件的制造方法可以使用和形成第一实施方式的第一探针2的筒状部件的制造方法相同的制造方法。

以上是第三实施方式的检查用探针200（第三探针200）的说明。

接着，说明使用第三探针200时的检查用夹具100。

第三实施方式的检查用夹具100的保持体3的功能与构成和第一实施方式的保持体3相同，因此省略说明。

但是，最好对于构成保持体3的第一板状部件31与第二板状部件32的厚度及两个板状部件间的距离分别作出调整，以使能够防止第三探针200的第一缺口部212与第一板状部件31的接触、第一缺口部212与第二缺口部222的接触、及第三缺口部225与第二板状部件32的接触。

在图9中，电极部41和第一实施例4的图4同样地，形成为外侧筒体21的一端开口部21a与内侧筒体220的一端开口部220a压接，但是这是第三实施方式的一例，电极部41不限于该形状。

例如，当以比图9所示的间距窄的间距来配置检查点81时，最好将电极部41形成得比外侧筒体21的外径小，并配置成仅使内侧筒体220的一端开口部220a抵接于电极部41。另外，此时外侧筒体21的一端开口部21a与电极部41周边的电极体4表面抵接。

将保持体3安装于检查用夹具100时的说明和第一实施方式相同，因此省略。

接着，说明将检查用夹具100用于检查的情形。

在实施检查时，当将所希望的检查端200b抵接于规定的检查点81时，首先，抵接于检查点81的内侧筒体220的另一端开口部220b被压接，因此使内侧筒体220的第三缺口部225收缩。

此时，因为外侧筒体21与内侧筒体220通过固定部23被固定，所以在和第三缺口部225收缩时大致相同的时间，使得外侧筒体21的第一缺口部212和内侧筒体220的第二缺口部222也收缩。通过使这些缺口部收缩并压接检查点81，而使得检查点81与电极部41可经由第三探针200电连接。

此外，外侧筒体21的一端开口部21a与内侧筒体220的一端开口部220a始终接触于电极部41，因此在检查端200b每次接触检查点81时外侧筒体21的一端开口部21a与内侧筒体220的一端开口部220a不会重复进行与电极部41的接离动作。因此，能够防止电极部41的老化而实现检查用夹具100耐久性的提高。

以上是第三实施方式的检查用夹具100的说明。

接着，说明第四实施方式的检查用夹具1A。图10是表示第四实施方式的检查用夹具1A的动作的图，（a）表示将第四探针2A安装在保持体3上的状态（安装时），（b）是表示进行检查的状态（检查时）的概略剖视图。此外，将该第四实施方式的检查用夹具1A中所使用的探针称为第四探针2A。该第四探针2A基本上与第一探针1相同，但是第四探针2A的内侧筒体22A的两端开口部被配置成从外侧筒体21延伸出。此外，配置成为在将该第四探针2A安装于保持体3时，使外侧筒体21的一端开口部21a不与电极体4抵接，且形成为在检查时（参考图10（b）），使外侧筒体21的一端开口部21a与电极体4抵接。另外，该外侧筒体21的一端开口部21a与电极部4抵接的定时是在内侧筒体22A的一端开口部22Ab抵接于检查点81，且内侧筒体22A的第一缺口部222A开始收缩以后，实际上电信号经由第四探针2A被供应而进行检查之前为止。

只要至少内侧筒体22A不抵接检查点81，第四探针2A的外侧筒体21不与电极体4抵接。因此，在安装于未进行检查时的保持体3的状态下，第四探针2A利用由内侧筒体22A的第一缺口部222A收缩而产生的推压力被保持于保持体3，此外，在检查时，第四探针2A分别被检查点81与电极部4夹持，第四探针2A的外侧筒体21与电极体4的抵接，因此在检查点81处会产生因外侧筒体21的第一缺口部212与内侧筒体22A的第一缺口部222A收缩而产生的推压力。因此，第四探针2A在检查时与未进行检查时（安装时）时，可以对探针本身的加重（因缺口部收缩而产生的推压力）设定变化。例如，可以减小施加在第四探针2A的保持体3上的推压力或增大对检查点施加的推压力地进行调整，能够一边降低施加于保持体3的第二板状部件32的力，一边增大施加于检查点81上的力。

为了如上所述地使外侧筒体21能够进行动作，例如第四探针2A形成为内侧筒体22A的一端开口部22Aa从外侧筒部21的一端开口部21a突出规定长度。在图10（a）所示的在安装时，该内侧筒部22A的突出长度被配置成电极体4与外侧筒体21具有空间长度v，在图10（b）所示的检查时，该内侧筒部22A的突出长度被调整为电极体4与外侧筒体21压接的长度。这种情况下，外侧筒体21的长度形成为比从第二板状部件32的表面到电极体4表面为止的距离短，并且被设定为，外侧筒体21的一端开口21a被配置在第一板状部件31的导孔内部，且在检查时能够使外侧筒体21的第一缺口部212充分收缩的长度。

另外，该空间长度v只要是在将第四探针2A安装于保持体3时能够形成空间的长度，则无特别限定。

如图10所示，电极体4的电极部41也可以形成为具有与外侧筒体21的直径大致相同或更大的直径，也可以形成为具有只与内侧筒体22A导通接触的大小（比内侧筒体22A稍大的直径）。

接着，说明第五实施方式的检查用夹具1B。图11是表示第五实施方式的检查用夹具1B的动作的图，（a）表示将第五探针2B安装在保持体3上的状态（安装时），（b）是表示进行检查的状态（检查时）的概要剖视图。此外，将该第五实施方式的检查用夹具1B中所使用的探针称为第五探针2B。该第五探针2B基本上与第一探针1相同，但是第五探针2B的内侧筒体22B的一端开口部22Ba配置在比外侧筒体21靠内部（外侧筒体21的一端开口部21a从内侧筒体22Ba突出地被配置）。在将该第五探针2B安装于保持体3时（参考图11（a）），配置成使内侧筒体22B的一端开口部22Ba不与电极体4抵接，并且在检查时（参考图11（b）），形成为使内侧筒体22B的一端开口部22Ba与电极体4抵接。

该内侧筒体22B的一端开口部22Ba与电极部4抵接的定时是在内侧筒体22B的另一端开口部22Bb抵接于检查点81，且外侧筒体21的第一缺口部212开始收缩以后，实际上电信号经由第五探针2B被供应而进行检查之前为止。

只要至少第五探针2B的内侧筒体22B不抵接检查点81，第五探针2B的内侧筒体22B不会与电极体4抵接。因此，在安装时（安装于未进行检查时的保持体3的状态），第五探针2B利用由外侧筒体21的第一缺口部212的收缩而产生的推压力被保持于保持体3，此外，在检查时，第五探针2B分别被检查点81与电极体4夹持，第五探针2B的内侧筒体22B与电极体4抵接，因此在检查点81处会产生因外侧筒体21的第一缺口部212与内侧筒体22B的第一缺口部222B的收缩而产生的推压力。因此，第五探针2B在检查时与未检查时（安装时），可以对探针本身的加重（因缺口部收缩产生的推压力）设定变化。例如，可以减小施加在第五探针2B的保持体3的推压力或增大对检查点施加的推压力地进行调整，能够一边降低施加于保持体3的第二板状部件32的力，一边增大施加于检查点81的力。

为了如上所述地使内侧筒体22B能够进行动作，例如第五探针2B形成为外侧筒体21的一端开口部21a从内侧筒部22B的一端开口部22Ba突出规定长度。在图11（a）所示的安装时，该外侧筒部21的突出长度被配置成使电极体4与内侧筒体22B具有空间长度w，在图11（b）所示的检查时，该外侧筒部21的突出长度被调整成使电极体4与内侧筒体22B压接的长度。这种情况下，外侧筒体21的长度形成为比从第二板状部件32的表面到电极体4表面为止的距离长出规定长度的长型。外侧筒体21的第一缺口部212收缩该规定长度的量。并被设定为，外侧筒体21的一端开口21a配置在第一板状部件31的导孔内部，且检查时能够使外侧筒体21的第一缺口部212充分收缩的长度。

如图11所示，电极体4的电极部41也可以形成为具有与外侧筒体21的直径大致相同或更大的直径，也可以形成为具有只与内侧筒体22A导通接触的大小（比内侧筒体22B稍大的直径）。

通过提供本发明涉及的探针，能够提供即使探针的直径小于100μm，也具有至少20mN以上，优选为50mN左右的负荷的探针。因此，可靠地冲破掉由软钎料或铝形成的检查对象部表面的氧化膜，可提供能够与检查对象物的未氧化部分可靠接触的充分的接触压。

此外，这些第一至第五探针的上端部及下端部的前端，虽然分别形成为端面，但不限于该形状，例如也可以在这些前端形成呈尖锐形状的锥部，或形成具有多个凸部的冠状。

第一至第五探针虽是通过组合两支筒状部件而形成，但例如也可以使用三支直径（直径及内径）不同的筒状部件，在最内部配置直径最小的筒状部件，其外侧配置直径第二小的筒状部件，进而在其外侧配置最大直径的筒状部件，从而形成为一个探针，以这种方式组合直径逐渐变大的多个筒状部件而形成检查用探针。

第一至第五探针所具有的各部位的长度，虽然已经通过使用其适当状态下的各长度的关系进行了说明，但是在充分地确保了相邻的部件彼此之间（例如，第一缺口部与第一板状部件、第一缺口部与第二缺口部、第二缺口部与第二板状部件、第三缺口部与第二板状部件）的间隙，且其缺口部进行了收缩运动的情况下，即使与对方的部件接触，也没有妨碍其收缩运动的话，则不限于上述的关系，可以适当加以调整。

第一至第五探针虽然是形成为内侧筒体的另一端开口部作为检查端与检查点81接触，但是例如也可以形成为在内侧筒体的内部具备导电性的棒型部件（未图示）。该棒状部件是将前端配置在内侧筒体的内部，后端从内侧筒体的另一端开口部突出而与内侧下筒部电连接并被固定。虽然不对配置前端的内侧筒体内的位置进行特别限定，但例如可以配置在内侧上筒部内。通过具备这样的棒状部件，后端与检查点81接触，因此能够可靠地进行检查用探针与检查点81的电连接。此外，能够作为设置于内侧筒体的缺口部伸缩时的导向件而发挥作用。

此外，也可以在第一至第五探针的外侧筒体的外周表面上形成绝缘覆膜。通过如上述地设置绝缘覆膜，在保持体3上安装多个第一至第五探针时，能够防止相邻彼此的探针接触而相互导通。

在第四及第五探针的实施方式中，也可以在各个内侧下筒部形成缺口部。如上所述，即使在内侧下筒部形成缺口部，也不会构成第四及第五探针的机构的阻碍因素，能够适当加以实施。

（附图标记说明）

1：第一实施方式的检查用夹具

10：第二实施方式的检查用夹具

100：第三实施方式的检查用夹具

1A：第四实施方式的检查用夹具

1B：第五实施方式的检查用夹具

2：第一实施方式的检查用探针（第一探针）

20：第二实施方式的检查用探针（第二探针）

200：第三实施方式的检查用探针（第三探针）

2A：第四实施方式的检查用探针（第四探针）

2B：第五实施方式的检查用探针（第五探针）

21：外侧筒体

22：内侧筒体（第一实施方式及第二实施方式）

220：内侧筒体（第三实施方式）

22A：内侧筒体（第四实施方式）

22B：内侧筒体（第五实施方式）

23：固定部

3：保持体

31：第一板状部件

31h：第一导孔

32：第二板状部件

32h：第二导孔

4：电极体

41：电极部

5：导线

8：被检查物

81：检查点

Claims (18)

1.一种检查用夹具，其电连接被检查物和检查装置，该被检查物成为被检查对象并具有多个检查点，该检查装置检查上述检查点间的电气特性，上述检查用夹具的特征在于，具备：

电极体，其具有多个与上述检查装置电连接的电极部；

检查用探针，其电连接上述电极部与上述检查点；以及

保持体，其具有第一板状部件和第二板状部件并保持该检查用探针，上述第一板状部件将上述检查用探针的一端引导至上述电极部，上述第二板状部件将上述检查用探针的另一端引导至上述检查点，

上述检查用探针具有：

外侧筒体，其一端开口抵接于上述第二板状部件；以及

内侧筒体，其同轴地配置在上述外侧筒体的内部，并且从该外侧筒体的一端开口延伸出来被配置，

上述外侧筒体具有：

外侧下筒部，其具有与上述第二板状部件抵接的一个开口部；

第一缺口部，其与上述外侧下筒部的另一个开口部连通连结并且形成为与该外侧下筒部相同直径的筒状，并且在该筒状的壁面上具备长轴方向的螺旋状缺口；以及

外侧上筒部，其形成为与上述第一缺口部相同直径的筒状，并且与该第一缺口部连通连结，

上述内侧筒体具有：

内侧下筒部，其具有与上述检查点电连接的一个开口部；

第二缺口部，其与上述内侧下筒部的另一个开口部连通连结并且形成为与该内侧下筒部相同直径的筒状，并且在该筒状的壁面上具备长轴方向的螺旋状缺口；以及

内侧上筒部，其形成为与上述第二缺口部相同直径的筒状，并且与该第二缺口部连通连结，

上述外侧筒体与上述内侧筒体具有在上述外侧下筒部与上述内侧下筒部固定的固定部而成，

在将上述内侧筒体的内侧下筒部压接于上述检查点来实施检查时，由该检查点与上述电极体来夹持上述内侧筒体与上述外侧筒体，使上述第一缺口部与上述第二缺口部收缩。

2.根据权利要求1所述的检查用夹具，其特征在于，

在上述内侧筒体的内侧下筒部未与上述检查点抵接时，

由上述第二板状部件与上述电极体来夹持上述外侧筒体与上述内侧筒体，使上述第一缺口部及上述第二缺口部收缩。

3.根据权利要求1所述的检查用夹具，其特征在于，

在上述内侧筒体的内侧下筒部未与上述检查点抵接时，

上述第一缺口部以自然长度被保持，并且

由上述第二板状部件与上述电极体来夹持上述内侧筒体而使上述第二缺口部收缩。

4.根据权利要求1所述的检查用夹具，其特征在于，

在上述内侧筒体的内侧下筒部未与上述检查点抵接时，

由上述第二板状部件与上述电极体来夹持上述外侧筒体而使上述第一缺口部收缩，并且上述第二缺口部以自然长度被保持。

5.根据权利要求1～4中任意一项所述的检查用夹具，其特征在于，

上述内侧筒体具备螺旋状缺口，该螺旋状缺口是在该内侧筒体的上述固定部与上述检查之间的该内侧筒体的周缘上沿长轴方向形成的缺口。

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的检查用夹具，其特征在于，

通过从上述电极体表面到上述第二板状部件的表面为止的距离和上述外侧筒体的长度，来调整上述第一缺口部收缩的长度。

7.一种检查用夹具，其电连接被检查物和检查装置，该被检查物成为被检查对象且具有多个检查点，该检查装置检查该检查点间的电气特性，上述检查用夹具的特征在于，具备：

电极体，其具有多个与上述检查装置电连接的电极部；

检查用探针，其电连接上述电极部与上述检查点；以及

保持体，其保持上述检查用探针，

上述检查用探针具有：

外侧筒体，其前端开口部成为与上述电极部抵接的电极端；以及

内侧筒体，其具有导电性并从上述外侧筒体的后端开口部突出，并电连接于该外侧筒体内部且同轴地配置于该外侧筒体内部，其前端开口部成为压接于上述检查点的检查端，

上述外侧筒体具有：

外侧上筒部，其具有成为上述电极端的前端开口部；

第一缺口部，其为筒状并与上述外侧上筒部直径相同，其前端开口部与该外侧上筒部的后端开口部连通连结，并且具备在周缘上沿长轴方向形成的螺旋状缺口；以及

外侧下筒部，其与上述缺口部直径相同，并且与该第一缺口部的后端开口部连通连结，

上述内侧筒体具有：

内侧下筒部，其具有成为上述检查端的前端开口部；

第二缺口部，其为筒状并与上述内侧下筒部直径相同，其前端开口部与该内侧下筒部的后端开口部连通连结，并且具备在周缘上沿长轴方向形成的螺旋状缺口；以及

内侧上筒部，其与上述第二缺口部直径相同，并与该第二缺口部的后端开口部连通连结，并配置在上述外侧筒体内部，

上述外侧筒体与上述内侧筒体具有固定部，该固定部对上述外侧下筒部与上述内侧下筒部进行电连接并固定，

上述保持体具备：

第一板状部件，其具有将上述外侧筒体的电极端引导至上述电极部的第一导孔，以及

第二板状部件，其配置成与上述第一板状部件具有规定间隔，并且具有将上述内侧筒体的检查端引导至上述检查点的第二导孔。

8.根据权利要求7所述的检查用夹具，其特征在于，

上述外侧筒体在上述检查端与上述检查点处于非接触状态时，将该外侧筒体的前端开口部压接于电极部，并将后端开口部压接于上述第二板状部件。

9.根据权利要求7或8所述的检查用夹具，其特征在于，

将上述内侧筒体的后端开口部始终收容于上述外侧上筒部内。

10.根据权利要求7～9中任意一项所述的检查用夹具，其特征在于，

上述外侧筒体的前端开口部具有相对于该外侧筒体的长轴方向成直角的端面。

11.一种检查用探针，其电连接多个检查点和多个电极部，所述多个检查点是成为被检查对象的被检查物上的检查点，该多个电极部是与检查该检查点间的电气特性的检查装置电连接并在检查用夹具的电极体上所具备的电极部，其特征在于：

上述检查用探针具备：

外侧筒体，其前端开口部成为与上述电极体的表面抵接的电极端；以及

内侧筒体，其具有导电性并从上述外侧筒体的后端开口部突出，并电连接于该外侧筒体内部且同轴地配置于该外侧筒体内部，其前端开口部成为压接于上述检查点的检查端，

上述外侧筒体具备：

外侧上筒部，其具有成为上述电极端的前端开口部；

第一缺口部，其为筒状并与上述外侧上筒部直径相同，其前端开口部与该外侧上筒部的后端开口部连通连结，并且具备在周缘上沿长轴方向形成的螺旋状缺口；以及

外侧下筒部，其与上述第一缺口部直径相同，并与该第一缺口部的后端开口部连通连结，

上述内侧筒体具备：

内侧下筒部，其具有成为上述检查端的前端开口部；

第二缺口部，其为筒状并与上述内侧下筒部直径相同，其前端开口部与该内侧下筒部的后端开口部连通连结，并且具备在周缘上沿长轴方向形成的螺旋状缺口；以及

内侧上筒部，其与上述第二缺口部直径相同，并与该第二缺口部的后端开口部连通连结，并且在上述内侧下筒部抵接于检查点时与上述电极部压接，

上述外侧筒体与上述内侧筒体具有固定部，所述固定部对上述外侧下筒部与上述内侧下筒部进行电连接并固定。

12.根据权利要求11所述的检查用探针，其特征在于，

在上述外侧筒体的上述第一缺口部与上述内侧筒体的上述第二缺口部中的任一个收缩或两个都收缩时，上述外侧筒体的上述前端开口部与上述内侧筒体的上述后端开口部存在于同一平面上。

13.根据权利要求11或12所述的检查用探针，其特征在于，

上述内侧筒体具备螺旋状缺口，该螺旋状缺口是在该内侧筒体的上述固定部与上述检查端之间的该内侧筒体的周缘上沿长轴方向形成的缺口。

14.根据权利要求11～13中任意一项所述的检查用探针，其特征在于，

上述外侧筒体的前端开口部具有相对于该外侧筒体的长轴方向成直角的端面，

上述内侧筒体的后端开口部具有相对于该内侧筒体的长轴方向成直角的端面。

15.一种检查用探针，其电连接多个检查点和多个电极部，该多个检查点是成为被检查对象的被检查物的检查点，该多个电极部是与检查该检查点间的电气特性的检查装置电连接的检查用夹具的电极体上所具备的电极部，其特征在于：

上述检查用探针具备：

外侧筒体，其前端开口部成为与上述电极部抵接的电极端；以及

内侧筒体，其具有导电性并从上述外侧筒体的后端开口部突出，并电连接于该外侧筒体内部且同轴地配置于该外侧筒体内部，其前端开口部成为压接于上述检查点的检查端，

上述外侧筒体具备：

外侧上筒部，其具有成为上述电极端的前端开口部；

第一缺口部，其为筒状并与上述外侧上筒部直径相同，其前端开口部与该外侧上筒部的后端开口部连通连结，并且具备在周缘上沿长轴方向形成的螺旋状缺口；以及

外侧下筒部，其与上述第一缺口部直径相同，并与该第一缺口部的后端开口部连通连结，

上述内侧筒体具备：

内侧下筒部，其具有成为上述检查端的前端开口部；

第二缺口部，其为筒状并与上述内侧下筒部直径相同，其前端开口部与该内侧下筒部的后端开口部连通连结，并且具备在周缘上沿长轴方向形成的螺旋状缺口；以及

内侧上筒部，其与上述第二缺口部直径相同，并与该第二缺口部的后端开口部连通连结，并且配置在上述外侧筒体的内部，

上述外侧筒体与上述内侧筒体具有固定部，该固定部对上述外侧下筒部与上述内侧上筒部进行电连接并固定。

16.根据权利要求15所述的检查用探针，其特征在于，

将上述内侧筒体的上述后端开口部始终收容于上述外侧上筒部内。

17.根据权利要求15或16所述的检查用探针，其特征在于，

上述外侧筒体的上述前端开口部具有相对于该外侧筒体的长轴方向成直角的端面。

18.根据权利要求11～17中任意一项所述的检查用探针，其特征在于，

上述检查用探针具备导电性的棒状部件，该棒状部件配置于上述内侧筒体内，

将上述棒状部件固定在上述内侧上筒部或上述内侧下筒部，并从上述内侧筒体的前端开口部延伸设置。

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