CN104634999A

CN104634999A - 检测夹具

Info

Publication number: CN104634999A
Application number: CN201410610447.0A
Authority: CN
Inventors: 太田宪宏; 时政光伸; 广部幸祐; 津村耕平
Original assignee: Nidec Read Corp
Current assignee: Nidec Read Corp
Priority date: 2013-11-07
Filing date: 2014-11-03
Publication date: 2015-05-20
Anticipated expiration: 2034-11-03
Also published as: EP2871483A1; US20150123693A1; JP2015090335A; CN104634999B; TW201521131A; TWI637446B; JP6255914B2; KR20150053232A; US9733299B2

Abstract

本发明提供能提高与基板相接触的接触端子的位置决定精密度的检测夹具。检测夹具包括：框架；电极体，具有电极；导电性接触端子，具有导线形状；支撑块，具有对向配置被检测基板的对向面，将接触端子的一端引导至在对向面上载置的被检测基板的检测点，另一端引导至电极，且沿与对向面交叉的移动方向，对于框架能相对移动；加压部，使支撑块远离电极体，且沿朝向被检测基板的方向进行加压；限制板片，从支撑块沿朝向框架的延伸设置方向延伸，架设在支撑块与框架之间，具有伸缩性，与对向面平行且与延伸设置方向交叉的第一方向的变形受限制。

Description

检测夹具

技术领域

本发明涉及一种检测夹具，该检测夹具用于电连接成为检测对象之被检测基板上设置的检测点与检测该被检测基板的检测装置。

背景技术

检测夹具经由接触端子，针对被检测物具有的检测对象部，通过从检测装置向所定检测位置供给电力(电信号等)的同时，从检测对象部检出电信号，从而用于检测对象部的电气特性的检出和动作实验的实施等。

被检测物例如可以是印刷配线基板、柔性(flexible)基板、陶瓷多层配线基板、液晶显示器或等离子显示器用电极板以及半导体封装用封装基板或薄膜载体等各种基板，或者半导体晶圆(wafer)、半导体芯片(chip)或芯片尺寸封装(CSP，Chip Size Package)等半导体装置。

在本说明书中将这些所述被检测物总称为“被检测物”，且将设定在被检测物上的检测对象部称为“检测点”。

例如，当被检测物是基板且在该基板上搭载IC等半导体电路或电阻器等电气·电子部件时，成为检测对象的对象部为配线或电极。此时，为了保证对象部能向这种搭载部件准确地传达电信号，测定在电气·电子部件实装之前的印刷配线基板、液晶面板或等离子显示器面板中所形成的配线上的所定检测点间的电阻值等电气特性，进而判断该配线的良否。

具体来讲，该配线的良否判定按如下步骤进行：使电流供给用端子和/或电压测定用接触端子的前端与各检测点相接触，从该接触端子的电流供给用端子向检测点供给测定用电流的同时，测定与检测点相接触的接触端子的前端间的配线中产生的电压，进而从这些供给电流和测定电压来算出所定检测点间配线的电阻值。

并且，当利用基板检测装置进行检测用基板的检测时，进行如下的控制，即移动夹具移动设备而使基板检测夹具的检测用接触端子(接触针)与检测用基板的接触部分相接触，据此进行所定检测，若检测结束，则根据夹具移动设备移动检测夹具使其远离检测用基板。

在此，例如专利文献1揭示的检测夹具，包括：前端侧支撑体；与该前端侧支撑体相距所定间隔而配置的后端侧支撑体；以及连接前端侧支撑体和后端侧支撑体的连接体。前端侧支撑体和后端侧支撑体作为一体能沿上下方向滑动。

在前端侧支撑体中沿与检测对象相对的对向面而垂直的方向形成有前端侧插入贯通孔，在后端侧支撑体中沿相对前端侧插入贯通孔的形成方向而倾斜的方向形成有后端侧插入贯通孔。并且，后端侧插入贯通孔为了使插入贯通该后端侧插入贯通孔的探针(probe)的前端侧朝向前端侧插入贯通孔而相对前端侧插入贯通孔倾斜。对于探针而言，其前端根据前端侧插入贯通孔被引导而与检测点相接触，其后端根据后端侧插入贯通孔被引导而与电极支撑体的电极相接触。

并且，形成有与探针的后端相接触之电极的电极支撑体，配置为在与保持探针的后端侧支撑体之间形成所定间隔，进而具有加压后端侧支撑体的加压机构。该加压机构是，其前端形成为圆锥形，通过插入至在后端侧支撑体的与加压机构相接触的部分上所设置的插入贯通孔中，来进行按一体构成的前端侧支撑体和后端侧支撑体的水平方向的位置决定。

在专利文献1揭示的检测夹具中，当未向前端侧支撑体压接检测对象的基板时，根据加压机构的加压力前端侧支撑体和后端侧支撑体作为一体向上方抬起，进而在前端侧支撑体的前端侧插入贯通孔内容纳探针的前端。另一方面，当为了进行检测而向前端侧支撑体压接基板时，根据基板的加压力，前端侧支撑体和后端侧支撑体抵抗加压机构的加压力而被压下去，进而探针的前端从前端侧支撑体的前端侧插入贯通孔中突出，从而探针前端与检测点相接触。据此，抑制探针的前端在与检测点的表面相接触的状态下发生摩擦而错位，从而在检测点表面产生大的打痕。

但在专利文献1记载的检测夹具中，通过将加压机构的前端部插入后端侧支撑体的插入孔中，进行被一体化的前端侧支撑体和后端侧支撑体的水平方向的位置决定，因此若加压机构的前端部的水平位置错位，则前端侧支撑体的水平位置错位，其结果则是，根据前端侧支撑体而引导的探针相对于基板的接触位置错位。由于加压机构是通过向前端侧支撑体和后端侧支撑体施加压力来能滑动的可动机构，因此难以高精密度维持加压机构前端部的水平位置。因此，在专利文献1记载的检测夹具中，存在探针前端相对于基板的接触位置的位置决定精密度下降的问题。

【现有技术文献】

【专利文献1】

日本专利公开第2009-047512号公报

发明内容

本发明的目的是提供一种能提高与基板相接触之接触端子的位置决定精密度的检测夹具。

根据本发明的检测夹具，用于电连接成为检测对象之被检测基板上设置的检测点与检测所述被检测基板的检测装置，所述检测夹具包括：框架；电极体，具有与所述检测装置电连接的电极；导电性的接触端子，具有导线形状；支撑块，具有对向配置所述被检测基板的对向面，将所述接触端子的一端引导至载置于所述对向面的所述被检测基板的所述检测点，将所述接触端子的另一端引导至所述电极，且沿与所述对向面交叉的移动方向，对于所述框架能相对移动；加压部，使所述支撑块远离所述电极体，且沿朝向所述被检测基板的方向进行加压；和第一限制部件，从所述支撑块沿朝向所述框架的延伸设置方向而延伸，进而架设在所述支撑块与所述框架之间，具有伸缩性的同时，与所述对向面平行且与所述延伸设置方向交叉的第一方向的变形受限制。

优选地，所述第一限制部件是具有可挠性且形成有沿所述第一方向延伸的第一狭缝的板状部件。

优选地，在所述第一限制部件形成有多个所述第一狭缝。

优选地，还包括第二限制部件，在所述支撑块与所述框架之间沿所述第一方向延伸而架设，具有伸缩性的同时，与所述对向面平行且与所述第一方向交叉的第二方向的变形受限制。

优选地，所述第二限制部件是具有可挠性且形成有沿所述第二方向延伸的第二狭缝的板状部件。

优选地，在所述第二限制部件形成有多个所述第二狭缝。

优选地，所述检测夹具还包括第二限制部件，在所述支撑块与所述框架之间沿所述第一方向延伸而架设，具有伸缩性的同时，与所述对向面平行且与所述第一方向交叉的第二方向的变形受限制，所述支撑块配置为在与所述对向面平行的平面上，被所述框架围绕，在所述支撑块的边缘部与所述框架之间具有间隔；所述第一限制部件和第二限制部件是，与所述对向面大致平行配置，且形成有能贯通所述接触端子的开口部，由具有可挠性的板状限制板片构成；所述限制板片的中央部侧与所述支撑块相固着，所述限制板片的周边部侧与所述框架相固着；在所述限制板片，于所述边缘部与所述框架之间的空间内，形成有沿所述第一方向延伸的第一狭缝，以及沿与所述第一方向交叉的方向延伸的第二狭缝；所述限制板片中的所述第一狭缝附近是所述第一限制部件，所述限制板片中的所述第二狭缝附近是所述第二限制部件。

优选地，所述支撑块是，与所述对向面平行的剖面的形状大致为矩形，具有沿所述第一方向延伸的第一边和第二边，以及沿所述第二方向延伸的第三边和第四边；在所述限制板片，于所述框架与所述第一边之间的空间内，并排设置两个所述第一狭缝，于所述框架与所述第二边之间的空间内，并排设置两个所述第一狭缝，于所述框架与所述第三边之间的空间内，并排设置两个所述第二狭缝，于所述框架与所述第四边之间的空间内，并排设置两个所述第二狭缝；所述框架与所述第一边之间的所述两个第一狭缝中的一个和所述框架与所述第三边之间的所述两个第二狭缝中的一个相连通而形成大致L字型的狭缝，所述框架与所述第三边之间的另一个所述第二狭缝和所述框架与所述第二边之间的所述两个第一狭缝中的一个相连通而形成大致L字型的狭缝，所述框架与所述第二边之间的另一个所述第一狭缝和所述框架与所述第四边之间的所述两个第二狭缝中的一个相连通而形成大致L字型的狭缝，所述框架与所述第四边之间的另一个所述第二狭缝和所述框架与所述第一边之间的另一个所述第一狭缝相连通而形成大致L字型的狭缝。

优选地，所述支撑块能处于：根据所述加压部的加压力，所述支撑块从所述电极体远离的等待状态，以及抵抗所述加压部的加压力进而从所述等待状态沿所述移动方向变位的检测状态，当所述支撑块为所述检测状态时，所述限制板片变平坦。

优选地，所述支撑块包括：检测侧支撑体，具有对向配置所述被检测基板的对向面，形成有检测引导孔，所述检测引导孔用于插入贯通所述接触端子，进而将所述接触端子的一端引导至在所述对向面上载置的所述被检测基板的所述检测点；电极侧支撑体，形成有电极引导孔，所述电极引导孔用于贯通插入所述接触端子，进而将所述接触端子的另一端引导至所述电极；以及连接部件，将所述检测侧支撑体和所述电极侧支撑体以所定的间隔进行配置而保持。

根据本发明，与对向面平行且与延伸设置方向交叉的第一方向的变形受限制的第一限制部件架设在支撑块与框架之间，因此能抑制支撑块相对第一方向的位置错位。其结果是，根据支撑块引导的接触端子的位置错位减少，因此能提高与基板相接触的接触端子的位置决定精密度。并且由于第一限制部件具有伸缩性，因此能减少第一限制部件妨碍支撑块沿移动方向移动的隐患。

板状的第一限制部件根据第一狭缝获得与第一方向垂直方向的伸缩性。并且，板状的第一限制部件由于第一狭缝延伸的第一方向的刚性高，因此第一方向的变形受限制。

提高第一限制部件的伸缩性。

与第一限制部件的情况相同，根据第二限制部件能抑制支撑块沿第二方向的位置错位。其结果是，由于除第一方向以外沿第二方向的接触端子的位置错位减少，因此能提高与基板相接触的接触端子的位置决定精密度。并且由于第二限制部件具有伸缩性，因此能减少第二限制部件妨碍支撑块沿移动方向移动的隐患。

板状的第二限制部件根据第二狭缝获得与第二方向垂直方向的伸缩性。并且，板状的第二限制部件由于第二狭缝延伸的第二方向的刚性高，因此第二方向的变形受限制。

提高第二限制部件的伸缩性。

基于一张限制板片，可形成第一限制部件和第二限制部件，因此检测夹具的制造容易。

基于大致L字型的狭缝，限制板片的伸缩变得更容易。

限制板片是，相比变形的状态，在没有变形的状态下歪曲更小，因此支撑块的位置决定精密度高。因此当为检测状态时，限制板片变平坦，从而能更进一步提高检测时的位置决定精密度。

可使用由检测侧支撑体、电极侧支撑体和连接部件构成的支撑块。

这种结构的检测夹具可提高与基板相接触之接触端子的位置决定精密度。

附图说明

图1是示出根据本发明一个实施形态的检测夹具的概略剖视图。

图2是图1所示检测夹具的平面图。

图3是示出图1所示检测侧支撑体的剖面结构的概略部分剖视图。

图4是示出图1所示电极侧支撑体的剖面结构的概略部分剖视图，(a)示出了非检测时的状态，(b)示出了检测时的状态。

图5是示出图1所示限制板片之结构的一个示例的平面图。

图6是用于说明图5所示的限制板片固着在壁部(框架)以及电极侧支撑体(隔片)之状态的说明图。

图7是示出图1所示的支撑块(block)为检测状态的概略剖视图。

图8是示出用于确认图1所示限制板片之效果的实验结果的说明图。

图9是示出用于确认图1所示限制板片之效果的实验结果的说明图。

图10是示出不具有图1所示限制板片时的实验结果的说明图。

图11是示出不具有图1所示限制板片时的实验结果的说明图。

[附图标记说明]

1：检测夹具 2：检测侧支撑体

2a：对向面 3：电极侧支撑体

4：连接部件 5：接触端子

6：电极体 7：电极

9：限制板片(plate) 13：检测引导孔

14：加压部 18：隔片(spacer)

20：电极引导孔 40：框架(frame)

41：基台(base) 42：壁部

100：支撑块(block) A：被检测基板

D：延伸设置方向 D1：第一方向

D2：第二方向 H1：第一边

H2：第二边 H3：第三边

H4：第四边 K11、K12：第一限制部件

K21、K22：第二限制部件

L1、L2、L3、L4：L型狭缝 P：衬垫(pad)(检测点)

S：内部空间 S11、S12、S13、S14：第一狭缝

S21、S22、S23、S24：第二狭缝

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的实施形态进行说明。并且，各附图中赋予了相同符号的构成表示相同的构成，且省略其说明。图1是示出根据本发明一个实施形态的检测夹具1的概略剖视图。图2是图1所示检测夹具1的平面图。图3是示出图1所示检测侧支撑体2的剖面结构的概略部分剖视图。图4是示出图1所示电极侧支撑体3的剖面结构的概略部分剖视图，(a)示出了非检测时的状态，(b)示出了检测时的状态。

在以下的发明中，将附图的上侧方向作为“前或前方”进行说明，且将附图的下侧方向作为“后或后方”进行说明。

图1所示的检测夹具1搭载在对印刷配线基板或半导体集成电路等被检测基板A进行电气检测的检测装置上而使用。后述的电极7与检测装置经由图示省略的缆线(cable)相连接。后述的接触端子5的一端与检测点相接触，另一端与电极7相接触。据此，设置在成为检测对象之被检测基板A上的检测点与检测被检测基板A的检测装置能电连接。

图1和图2所示的检测夹具1包括框架40、具有电极7的电极体6、具有导线形状的导电性接触端子5、支撑块100、加压部14以及限制板片(plate)9。

框架40包括基台(base)41和从基台41的边缘部附近向上方竖立设置的壁部42。在壁部42的前方端部设置有限制板47。据此，构成由基台41、壁部42和限制板47围绕的内部空间S。在限制板47的大致中央部形成有开口部47a。

在壁部42之面向内部空间S的壁面421上形成有与对向面2a平行延伸进而围绕内部空间S而形成的槽422。槽422的宽度例如是0.5mm左右。

组合前方侧的前方壁块(block)42a和后方侧的后方壁块42b而构成壁部42。并且，前方壁块42a和后方壁块42b之间夹持板状的限制板片9的边缘部附近，从而限制板片9与对向面2a大致平行地保持在内部空间S内。

在前方壁块42a的后端部，壁面421形成有凹口(notch)。并且，通过组合前方壁块42a和后方壁块42b，由前方壁块42a的凹口和后方壁块42b的前方壁面形成槽422。据此，根据槽422，形成限制板片9可向前方侧变形的空间。

支撑块100包括：检测侧支撑体2；在检测侧支撑体2的后方相距所定间隔而配置的电极侧支撑体3；以及以所定间隔配置检测侧支撑体2和电极侧支撑体3进而一体进行保持的连接部件4。

检测侧支撑体2具有将后述的接触端子5的一端(前端5e)引导至检测点的检测引导孔13(参考图3)。电极侧支撑体3具有将接触端子5的另一端(后端5f)引导至电极7的电极引导孔20(参考图4的(a)和(b))。

检测侧支撑体2和电极侧支撑体3分别以扁平的长方体形状(矩形的板状)形成。并且，检测侧支撑体2和电极侧支撑体3的表面互相平行地配置。

具体来讲，根据配置在检测侧支撑体2的四个角上的四个棒状连接部件4，检测侧支撑体2与电极侧支撑体3相连接固定(参考图1和图2)。电极侧支撑体3容纳在框架40的内部空间S内，在与对向面2a平行的剖面上，配置为被框架40所围绕且在电极侧支撑体3的边缘部与框架40之间具有间隔。

检测侧支撑体2配置在内部空间S的外部，连接部件4贯通限制板47的开口部47a而连接检测侧支撑体2和电极侧支撑体3。开口部47a小于电极侧支撑体3，因此以不使电极侧支撑体3脱漏的大小形成。

并且，在检测侧支撑体2和电极侧支撑体3中插入贯通与被检测基板A的检测点相接触的多个接触端子5。

电极体6是在框架40的内部空间S内，设置在基台41上且配置在电极侧支撑体3的后方(参考图1)。如图1所示，在电极体6固定有与接触端子5(具体来讲，接触端子5的后端5f)导电接触的多个电极7。

接触端子5由钨、高速钢(SKH)、铍铜(Be-Cu)等金属其他导电体形成的同时，形成为具有能屈曲之弹性(可挠性)的棒状。

本形态的接触端子5，如图3和图4所示，包括以如上所述导电体构成的导体部5a以及覆盖该导体部5a的外周面的绝缘部5b。绝缘部5b由合成树脂等绝缘体形成。绝缘部5b可使用通过在导体部5a的表面实施绝缘涂装而形成的绝缘皮膜。在接触端子5的两端，并不形成绝缘部5b，在接触端子5的一端(前端)形成有第一端部5c，而在接触端子5的另一端(后端)形成有第二端部5d。并且为了方便说明，将第一端部5c与检测点相接触的部位称为前端5e，将第二端部5d与电极相接触的部位称为后端5f。

第一端部5c的前端5e或第二端部5d的后端5f如图所示可按半球面状形成。

接触端子5的第一端部5c在检测时被插入支撑在检测侧支撑体2的检测引导孔13内(参考图3)。第一端部5c的前端5e与形成在被检测基板A上的检测点导通接触。并且，被检测基板A是，根据图示省略的位置决定机构，在对于框架40的水平方向的相对位置被位置决定的状态下，对向配置在对向面2a上。

第一端部5c的长度形成为长于检测引导孔13的长度。其原因是在检测时根据检测点和电极，接触端子5被夹持而弯曲。图3示出了非检测时的检测夹具，接触端子5的第一端部5c容纳在检测引导孔13中，且第一端部5c的前端5e也配置在检测引导孔13内。

接触端子5的第二端部5d，根据后述的电极侧支撑体3的电极引导孔20被引导至电极7(接触面7a)(参考图4)。第二端部5d的后端5f与电极7导通接触。

检测侧支撑体2构成为从配置被检测基板A的侧(前方)起按顺序层叠多个(本形态中3张)支撑板10、11、12。这些支撑板10至12根据螺栓(bolt)等固定设备而互相固定。

如图3所示，在各支撑板10、11、12分别形成有贯通孔10a、11a、12a。通过使这些贯通孔10a、11a、12a互相连接配置，从而构成插入贯通接触端子5的第一端部5c之一个检测引导孔13。

支撑板10前方的表面成为用于装载被检测基板A，即对向配置被检测基板A的对向面2a。

检测引导孔13具有对于被检测基板A的朝向前方的接触端子5的引导方向。具体来讲，检测引导孔13具有与对向面2a相垂直的接触端子5的引导方向。因此，对于被检测基板A的检测点，可从几乎直角方向与接触端子5的前端5e相接触。

检测引导孔13按检测夹具1具有的接触端子5的数量而形成。

三个贯通孔10a、11a、12a按同心状形成。在图3中，贯通孔10a由小直径孔10b以及大于小直径孔10b的大直径孔10c构成，贯通孔12a由小直径孔12b以及大于小直径孔12b的大直径孔12c构成。

小直径孔10b和小直径孔12b的内径略大于导体部5a的外径且略小于绝缘部5b的外径。

贯通孔11a的内径大于小直径孔10b的内径和小直径孔12b的内径。

形成在接触端子5的第一端部5c上的导体部5a与绝缘部5b的边界即前端外缘5g是，如图3所示，相比检测引导孔13的小直径孔12b，配置在后方。

如上所述，小直径孔12b的内径略小于绝缘部5b的外径。因此，绝缘部5b的前端外缘5g与小直径孔12b的开口外缘12d相接触。即，前端外缘5g和开口外缘12d是用于防止接触端子5向检测对象侧脱漏的脱漏防止部。

电极侧支撑体3构成为从检测侧支撑体2的前方起按顺序层叠多个(本形态中是3张)支撑板15、16、17。并且，在支撑板17的后方侧的面上设置限制板片9和隔片18以围绕其边缘部附近。这些支撑板15、16、17和限制板片9以及隔片18按上述顺序层叠进而根据螺栓等固定设备互相固定。

据此，限制板片9被夹持在电极侧支撑体3与隔片18之间，进而固着于电极侧支撑体3。限制板片9的大致中央形成有开口部9a，且为了与开口部9a相对应，隔片18的大致中央形成有开口部18a。

如图4的(a)或(b)所示，各支撑板15至17分别形成有贯通孔15a、16a、17a。通过使贯通孔15a至17a互相连接而配置，从而构成插入贯通接触端子5的第二端部5d之一个电极引导孔20。该电极引导孔20按检测夹具1具有的接触端子5的数量而形成。

电极引导孔20按相对检测引导孔13所形成的引导方向(即，对向面2a的垂直方向)倾斜的引导方向形成。即，三个贯通孔15a至17a按各个的中心略微错位的形态而形成，电极引导孔20的整体按相对对向面2a的垂直方向倾斜的方向形成。

例如，如图4的(a)所示，根据贯通孔15a至17a的顺序，按其中心沿图示右侧方向略微错位的状态，形成三个贯通孔15a至17a。即，引导接触端子5的后端侧的引导方向是，按相对与电极侧支撑体3的表面垂直的法线倾斜的方向进行引导。

贯通孔15a由小直径孔15b和大于小直径孔15b的大直径孔15c构成。同样地，贯通孔16a由小直径孔16b和大于小直径孔16b的大直径孔16c构成，贯通孔17a由小直径孔17b和大于小直径孔17b的大直径孔17c构成。

小直径孔15b、16b、17b的内径略微大于绝缘部5b的外径。

绝缘部5b的后端外缘5b能插入至小直径孔17b的内部。接触端子5相对与电极侧支撑体3的表面垂直的法线倾斜配置。因此，接触端子5，如图4的(b)所示，相对小直径孔17b也倾斜配置。并且，该小直径孔17b按其轴方向相对电极侧支撑体3的表面垂直而形成。

形成在接触端子5的第二端部5d上的导体部5a和绝缘部5b的边界即后端外缘5h，如图4的(b)中检测时之检测夹具的状态所示，相比电极引导孔20的大直径孔17c，配置在后方。

此时，后端5f沿与电极侧支撑体3的后方表面相平行的方向能移动的量，被限制为接触端子5在小直径孔17b的内部移动的范围。因此，接触端子5倾斜插入时(由非检测时过渡为检测时或由检测时过渡为非检测时)，可使第二端部5d的后端5f的可移动量变得非常小，从而稳定地与电极相接触。

据此，当使后述的电极7的接触面7a与后端5f相接触时，能进行接触面7a与后端5f的精密位置决定。尤其在实际的检测中，由于接触端子5和电极7通常设置为数千个，因此接触面7a与后端5f之位置决定的容易操作，对工作时间的缩短带来很大的贡献。

电极体6，如图1所示，按大致长方体的形状而形成，且后端面固定在基台41的前方表面。在电极体6的前方面侧埋设有多个电极7。如上所述，各电极7根据图示省略的缆线，能与检测装置相接触。

电极7前方的表面是，如图4所示，接触端子5的后端5f所接触的接触面7a。并且，接触端子5的后端5f是如上所述以曲面形状形成。因此，即使沿着具有倾斜引导方向的电极引导孔20，接触端子5的第二端部5d倾斜，后端5f与接触面7a也可成为适当的导电接触状态。

并且，在内部空间S内，基台41设置有朝向前方而加压电极侧支撑体3的加压部14。具体来讲，如图2所示，在基台41之与电极侧支撑体3和隔片18的四个角的各个附近相对应的位置设置有加压部14。

加压部14包括：从电极体6的前方表面突出而与电极侧支撑体3相接触的接触部件43；容纳接触部件43的后端侧的导孔44；以及相对导孔44向前加压接触部件43的压缩螺旋弹簧(coil spring)45(参考图1)。

导孔44形成为在基台41其前方侧开口且具有底面的圆筒形状。接触部件43形成为将对于长轴方向垂直的平面作为端面的圆柱体形状。因此，接触部件43的前方侧与隔片18的后方表面相接触。

在导孔44的接触部件43的后端侧配置压缩螺旋弹簧45。具体来讲，以压缩螺旋弹簧45的各个端部分别与接触部件43的后端面和导孔44的底面相接触的状态，在导孔44内配置压缩螺旋弹簧45。并且，加压部14并不限定于压缩螺旋弹簧45，根据板弹簧或橡胶等弹性部件产生加压力也无妨。

如上所述，在本形态中，加压部14设置在基台41，朝向前方加压电极侧支撑体3。即，加压部14使电极侧支撑体3远离电极体6，沿朝向被检测基板A的方向加压。

据此，非检测时，在压缩螺旋弹簧45略微弯曲的状态下，接触部件43与隔片18的后方表面相接触，且电极侧支撑体3的前方表面与限制板47相接触。即，支撑块100处于在电极侧支撑体3远离电极体6，进而根据加压部14被加压的状态下，与限制板47相接触的等待状态(参考图1)。

并且，在等待状态下，在电极侧支撑体3和电极体6之间略微形成有间隔。

在等待状态下，检测侧支撑体2、电极侧支撑体3和连接部件4沿前方被加压，且接触端子5的前端5e不从对向面2a突出(参考图1)。即，在此状态下，接触端子5的前端5e容纳在检测引导孔13内。

支撑块100可以抵抗加压部14的加压力进而从等待状态向后方变位而成为检测状态(图7)。关于检测状态，将在后面进行说明。

图5是示出图1所示的限制板片9结构的一个示例的平面图。限制板片9由具有可挠性的板状部件构成。例如，限制板片9由厚度为0.2mm左右的不锈钢(SUS304CSP)等构成。限制板片9以与壁部42几乎对应的形状形成，在图5所示的示例中，大致为正方形。在限制板片9的大致中央部形成有与隔片18的开口部18a相对应形状的开口部9a。

并且，在限制板片9形成有大致L字型的L型狭缝(slit)L1、L2、L3、L4。L型狭缝L1、L2、L3、L4的狭缝宽度例如为1mm左右。并且，在限制板片9形成有对于电极侧支撑体3或隔片18进行位置决定或设置的孔。限制板片9并不限定于根据隔片18而设置在电极侧支撑体3的示例。

图6是用于说明图5所示的限制板片9固着在壁部42(框架40)和电极侧支撑体3(隔片18)上状态的说明图。区域B示出了限制板片9在前方壁块42a与后方壁块42b之间被夹持的区域，即限制板片9固着在框架40的区域。区域B的外周与壁部42的外周相对应，区域B的内周与框架40的壁面421相对应。并且，区域B的内周也可与底面422a相对应。

区域C示出了限制板片9在电极侧支撑体3与隔片18之间被夹持的区域，即限制板片9固着在电极侧支撑体3的区域。区域C的外周与电极侧支撑体3的外周相对应，区域C的内周与开口部9a以及开口部18a相对应。

如此，限制板片9的中央部侧与电极侧支撑体3相固着，限制板片9的周边部侧与框架40相固着。

如图6所示，电极侧支撑体3的与对向面2a相平行的剖面形状大致为矩形，电极侧支撑体3包括第一边H1、第二边H2、第三边H3和第四边H4。第一边H1和第二边H2是与从电极侧支撑体3(支撑块100)朝向壁面421(框架40)的延伸设置方向D相交叉(大致垂直)且沿与对向面2a平行的第一方向D1延伸的边。第三边H3和第四边H4是与对向面2a平行且沿与第一方向D1交叉(大致垂直)的第二方向D2延伸的边。

限制板片9是，在壁面421(框架40)与第一边H1之间的空间内并排设置沿第一方向D1延伸的两个第一狭缝S11和S12，在壁面421(框架40)与第二边H2之间的空间内并排设置沿第一方向D1延伸的两个第一狭缝S13和S14，在壁面421(框架40)与第三边H3之间的空间内并排设置沿第二方向D2延伸的两个第二狭缝S21和S22，且在壁面421(框架40)与第四边H4之间的空间内并排设置沿第二方向D2延伸的两个第二狭缝S23和S24。

并且，第一狭缝S11与第二狭缝S21连通进而形成L型狭缝L1，第二狭缝S22与第一狭缝S14连通进而形成L型狭缝L2，第一狭缝S13与第二狭缝S23连通进而形成L型狭缝L3，且第二狭缝S24与第一狭缝S12连通进而形成L型狭缝L4。

并且，L型狭缝L1、L2、L3、L4，在并排设置的两个狭缝中，对于框架40侧的第一、第二狭缝与电极侧支撑体3侧的第一、第二狭缝可部分或全部替换其相连通的组合。

如此，限制板片9在内部空间S内形成沿第一方向D1延伸的第一狭缝S11、S12、S13、S14以及沿第二方向D2延伸的第二狭缝S21、S22、S23、S24。

并且，如图5所示，限制板片9的第一狭缝S11和S12的附近构成第一限制部件K11，限制板片9的第一狭缝S13和S14的附近构成第一限制部件K12，第二狭缝S21和S22的附近构成第二限制部件K21，且第二狭缝S23和S24的附近构成第二限制部件K22。

当支撑块100为等待状态时(图1)，支撑块100根据加压部14的加压力向前方移动，因此限制板片9的区域C与支撑块100一起向前方移动。此时，第一限制部件K11和K12以及第二限制部件K21和K22，根据第一狭缝S11、S12、S13、S14和第二狭缝S21、S22、S23、S24，相对与各狭缝垂直的方向能伸缩变形。

其结果是，限制板片9的区域B固着于框架40，与区域C相固着的支撑块100向前方移动，进而能处于等待状态。

另外，板状的部件对于与其平面相平行的方向刚性高。因此，由板状的部件构成的第一限制部件K11和K12，对于沿第一狭缝S11、S12、S13、S14的第一方向D1的变形受限制。并且，由板状的部件构成的第二限制部件K21和K22，对于沿第二狭缝S21、S22、S23、S24的第二方向D2的变形受限制。

因此，检测夹具1是，当支撑块100处于等待状态时，根据限制板片9(第一限制部件K11和K12、第二限制部件K21和K22)来限制支撑块100的水平方向位置错位即检测侧支撑体2的水平方向位置错位。其结果是，降低对于被检测基板A之检测侧支撑体2相对位置的位置错位，因此可以提高与被检测基板A相接触的接触端子5的位置决定精密度。

图7是示出图1所示的支撑块100为检测状态的概略剖视图。被检测基板A对向配置在对向面2a上，例如若根据检测装置向后方加压，则如图7所示，抵抗加压部14的加压力，进而支撑块100(检测侧支撑体2、电极侧支撑体3和连接部件4)朝向电极体6相对移动。此时，电极侧支撑体3的前方表面为从限制板47隔离的状态。

那么，接触端子5的后端5f则根据电极7朝向前方被推压。若如此，接触端子5的前端5e就将会从对向面2a中突出。在图7中，为了易于说明，示出了接触端子5的前端5e从对向面2a突出的状态。若接触端子5的前端5e从对向面2a突出，则前端5e与被检测基板A的检测点相接触，从而前端5e受制止，因此在检测侧支撑体2与电极侧支撑体3之间处于倾斜状态的接触端子5的中间部分弯曲(屈曲)。

直至电极侧支撑体3的后方表面与电极体6的前方表面相接触为止，若支撑块100对于框架40相对移动，则支撑块100成为检测状态(图7)。并且，若接触端子5的中间部分的弯曲量达到所定量，则容纳于检测引导孔13内的接触端子5的前端5e，对于检测点以所定的接触压所接触。

如此，在检测状态下，随着支撑块100向后方的移动，欲从对向面2a突出的接触端子5，与被检测基板的A相接触，进而接触端子5的中央部分弯曲，由此前端5e在检测引导孔13内被引导至检测位置，且根据接触端子5的弹性力，前端5e与检测点弹性接触。

并且，当从等待状态变位为检测状态时，限制板片9(第一限制部件K11和K12、第二限制部件K21和K22)是，第一狭缝S11、S12、S13、S14以及第二狭缝S21、S22、S23、S24变窄而收缩变形，从而并不妨碍支撑块100向后方移动。

另外，当从等待状态变位为检测状态时，限制板片9(第一限制部件K11和K12、第二限制部件K21和K22)对于第一方向D1和第二方向D2的变形受限制。因此，检测夹具1是，当支撑块100从等待状态变位为检测状态时，根据限制板片9(第一限制部件K11和K12、第二限制部件K21和K22)来限制支撑块100的水平方向的位置错位即检测侧支撑体2的水平方向位置错位。其结果是，降低对于被检测基板A之检测侧支撑体2相对位置的位置错位，因此能提高与被检测基板A相接触的接触端子5的位置决定精密度。

并且，当为检测状态时，为了使限制板片9变平坦，设定限制板片9之对于框架40和检测侧支撑体2的设置位置(图7)。据此，当使接触端子5与被检测基板A相接触而进行检测时，限制板片9处于平坦即没有变形的状态。对于限制板片9而言，相比其变形的状态，在没有变形的状态下歪曲更小，因此支撑块100的水平方向的位置决定精密度高。由此当为检测状态时，限制板片9变平坦，从而能更进一步提高检测时的位置决定精密度。

图8至图11是示出用于确认限制板片9效果的实验结果的说明图。图8是示出当使用图1所示的检测夹具1重复被检测基板A相对于检测侧支撑体2(对向面2a)的脱附(加压)时，对于形成在被检测基板A的衬垫(pad)(检测点)，接触端子5的前端5e接触所产生之打痕的说明图。

图8的(a)示出第一次在对向面2a加压被检测基板A后的结果，图8的(b)示出第二次在对向面2a加压被检测基板A后的结果，图8的(c)示出第三次在对向面2a加压被检测基板A后的结果，图8的(d)示出第四次在对向面2a加压被检测基板A后的结果。

在图8中，衬垫P表示被检测基板A的检测点，打痕M表示前端5e与衬垫P相接触而产生的打痕，测定圆T是为了评价打痕M的位置而围绕打痕M的测定圆。从图8中可确认出：根据检测夹具1，打痕M的位置错位几乎不存在因脱附次数而引起的变化，且接触端子5相对检测点的接触位置的变动小，因此与基板相接触的接触端子5的位置决定精密度高。

图9是示出对被检测基板A的九处衬垫P测定脱附次数为一至四次时的错位量(从衬垫P的中心至测定圆T的中心的距离)之测定结构的图表。横轴表示被检测基板A的脱附次数，纵轴表示错位量(μm)。

根据图9，基于检测夹具1的打痕M的位置错位量最大为9.34μm。

图10和图11示出从检测夹具1中去除限制板片9后，进行与图8和图9相同实验的实验结果。根据图10和图11，相比图8和图9，打痕M的位置错位明显大。并且根据图11，打痕M的位置错位最大为21.17μm，产生了基于使用限制板片9的检测夹具1之位置错位量两倍以上的位置错位。

据此，可实验性确认出根据具有限制板片9的检测夹具1，能提高与被检测基板A相接触的接触端子5的位置决定精密度。

并且，虽然示出了检测状态时限制板片9为平坦的构成，但限制板片9也可在等待状态时平坦，或者也可为无论是检测状态还是等待状态，限制板片9发生变形的构成。

并且，虽然示出了第一狭缝和第二狭缝连通而形成L型狭缝的构成，但第一狭缝和第二狭缝也可分离，并不一定局限于构成L型狭缝的示例。但优选地，通过形成L型狭缝，限制板片9能更容易地进行前后方向(上下方向)的伸缩。

并且，虽然示出了第一限制部件K11和K12以及第二限制部件K21和K22以一张限制板片9而构成的示例，但第一限制部件K11和K12以及第二限制部件K21和K22也可以各自独立的板状部件构成。并且，第一限制部件和第二限制部件可分别为一个，也可为三个以上。

并且，虽然示出了在第一限制部件和第二限制部件中分别并排设置两个狭缝的示例，但形成在第一限制部件和第二限制部件的狭缝数量也可分别为一个，也可为三个以上。但优选地，形成在第一限制部件和第二限制部件的狭缝数量分别为多个时第一限制部件和第二限制部件能容易地进行伸缩。

并且，第一限制部件和第二限制部件只要具有伸缩性的同时，能限制与伸缩方向交叉之方向的变形即可，并不一定局限于在板状的部件形成狭缝的构成。

并且，也可不包括第二限制部件。由于只通过第一限制部件也能限制第一方向D1的位置错位，因此能提高与被检测基板A相接触的接触端子5的位置决定精密度。但优选地，通过包括第一限制部件和第二限制部件，可限制第一方向D1和第二方向D2的位置错位。

并且，支撑块100并不一定局限于包括检测侧支撑体2、电极侧支撑体3和连接部件4的示例。例如，也可以是电极侧支撑体3的前方表面用作为对向面2a的构成。

Claims

1.一种检测夹具，用于电连接成为检测对象之被检测基板上设置的检测点与检测所述被检测基板的检测装置，所述检测夹具包括：

框架；

电极体，具有与所述检测装置电连接的电极；

导电性的接触端子，具有导线形状；

支撑块，具有对向配置所述被检测基板的对向面，将所述接触端子的一端引导至载置于所述对向面的所述被检测基板的所述检测点，将所述接触端子的另一端引导至所述电极，且沿与所述对向面交叉的移动方向，对于所述框架能相对移动；

加压部，使所述支撑块远离所述电极体，且沿朝向所述被检测基板的方向进行加压；和

第一限制部件，从所述支撑块沿朝向所述框架的延伸设置方向而延伸，进而架设在所述支撑块与所述框架之间，具有伸缩性的同时，与所述对向面平行且与所述延伸设置方向交叉的第一方向的变形受限制。

2.如权利要求1所述的检测夹具，其中，所述第一限制部件是具有可挠性且形成有沿所述第一方向延伸的第一狭缝的板状部件。

3.如权利要求2所述的检测夹具，其中，在所述第一限制部件形成有多个所述第一狭缝。

4.如权利要求1至3中任意一项所述的检测夹具，其中还包括第二限制部件，在所述支撑块与所述框架之间沿所述第一方向延伸而架设，具有伸缩性的同时，与所述对向面平行且与所述第一方向交叉的第二方向的变形受限制。

5.如权利要求4所述的检测夹具，其中，所述第二限制部件是具有可挠性且形成有沿所述第二方向延伸的第二狭缝的板状部件。

6.如权利要求5所述的检测夹具，其中，在所述第二限制部件形成有多个所述第二狭缝。

7.如权利要求1至3中任意一项所述的检测夹具，其中，还包括第二限制部件，在所述支撑块与所述框架之间沿所述第一方向延伸而架设，具有伸缩性的同时，与所述对向面平行且与所述第一方向交叉的第二方向的变形受限制，

所述支撑块配置为在与所述对向面平行的平面上，被所述框架围绕，在所述支撑块的边缘部与所述框架之间具有间隔，

所述第一限制部件和所述第二限制部件是，与所述对向面大致平行配置，且形成有能贯通所述接触端子的开口部，由具有可挠性的板状限制板片构成；

所述限制板片的中央部侧与所述支撑块相固着，所述限制板片的周边部侧与所述框架相固着；

在所述限制板片，于所述边缘部与所述框架之间的空间内，形成有沿所述第一方向延伸的第一狭缝，以及沿与所述第一方向交叉的方向延伸的第二狭缝；

所述限制板片中的所述第一狭缝附近是所述第一限制部件，所述限制板片中的所述第二狭缝附近是所述第二限制部件。

8.如权利要求7所述的检测夹具，其中，

所述支撑块是，与所述对向面平行的剖面的形状大致为矩形，具有沿所述第一方向延伸的第一边和第二边，以及沿所述第二方向延伸的第三边和第四边；

在所述限制板片，于所述框架与所述第一边之间的空间内，并排设置两个所述第一狭缝，于所述框架与所述第二边之间的空间内，并排设置两个所述第一狭缝，于所述框架与所述第三边之间的空间内，并排设置两个所述第二狭缝，于所述框架与所述第四边之间的空间内，并排设置两个所述第二狭缝；

所述框架与所述第一边之间的所述两个第一狭缝中的一个和所述框架与所述第三边之间的所述两个第二狭缝中的一个相连通而形成大致L字型的狭缝，所述框架与所述第三边之间的另一个所述第二狭缝和所述框架与所述第二边之间的所述两个第一狭缝中的一个相连通而形成大致L字型的狭缝，所述框架与所述第二边之间的另一个所述第一狭缝和所述框架与所述第四边之间的所述两个第二狭缝中的一个相连通而形成大致L字型的狭缝，所述框架与所述第四边之间的另一个所述第二狭缝和所述框架与所述第一边之间的另一个所述第一狭缝相连通而形成大致L字型的狭缝。

9.如权利要求7所述的检测夹具，其中，

所述支撑块能处于，

根据所述加压部的加压力，所述支撑块从所述电极体远离的等待状态，以及

抵抗所述加压部的加压力进而从所述等待状态沿所述移动方向变位的检测状态，

当所述支撑块为所述检测状态时，所述限制板片变平坦。

10.如权利要求1至3中任意一项所述的检测夹具，其种，

所述支撑块包括：

检测侧支撑体，具有对向配置所述被检测基板的对向面，形成有检测引导孔，所述检测引导孔用于插入贯通所述接触端子，进而将所述接触端子的一端引导至在所述对向面上载置的所述被检测基板的所述检测点；

电极侧支撑体，形成有电极引导孔，所述电极引导孔用于贯通插入所述接触端子，进而将所述接触端子的另一端引导至所述电极；以及

连接部件，将所述检测侧支撑体和所述电极侧支撑体以所定的间隔进行配置而保持。