JP2010014608A - 基板検査用の一対のプローブ及び基板検査用治具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一対のプローブの各々が、被検査基板上の被検査点に接触する接触部を有し、一方が信号測定用のプローブとして用いられ、他方が信号供給用のプローブとして用いられる。一対のプローブの一方のプローブの前記接触部の少なくとも一部が、他方のプローブの内部に位置する。
【選択図】図2
Description
[四端子測定]
図1は、四端子測定の概念を説明するための図である。図1に示すように、回路基板16の配線の抵抗14を測定する際には、第1及び第2電圧プローブ12S1,12S2と第1及び第2電流プローブ10F1,10F2とを、その配線の抵抗14の両端に接触するように配置し、第1及び第2電流プローブ10F1,10F2を経由して、電流発生部10から配線の抵抗14に測定用の所定の大きさの電流を供給する。
[基板検査用プローブの構成]
図2は、四端子測定によって基板の配線パターンの検査を行うための本発明に係る基板検査用治具を構成する一対のプローブの望ましい実施形態を示す。その一対のプローブは、電圧プローブ20Sと電流プローブ20Fとからなる。それらのプローブは、例えば、断面の直径が50から100μmで、厚みが10から15μmの、概略円筒状の部材を組み合わせたもので、それらのプローブにはそれぞれ長手方向に沿って均一の幅のスリット22,23(開口)が形成されている。電圧プローブ20Sのスリット22には、電流プローブ20Fの一部24が挿通され、電流プローブ20Fのスリット23には、電圧プローブ20Sの一部26が挿通されている。そのスリットの幅は、約10から20μmに亘って形成される。そのスリットの幅の大きさを変えることによって、2つのプローブのそれぞれの一部が互いに他方の内部に入り込む部分の長さの量を変えることができる。なお、このスリット22の幅は、上記の如き他方のプローブの内部に入り込むことができれば、特に限定されないが、少なくとも円筒プローブの厚み(絶縁膜の厚みを含む)より大きく円弧全体の1/4程度までの大きさが好ましい。例えば、最も大きなスリットを使用する場合には、電圧プローブ20Sの円周の4分の1の長さの円弧の長さを切り取ることによってスリット22を形成してもよい。
[代替例等]
以上、本発明の係る基板検査用治具の好ましい実施形態を説明したが、本発明はその実施形態に拘束されるものではなく、当業者が容易になしえる追加、削除、改変等は、本発明に含まれることを承知されたい。本発明の技術的範囲は、添付の特許請求の範囲の記載によって定められる。
Claims (8)
- 各々が、被検査基板上の被検査点に接触する接触部を有し、一方が信号測定用のプローブとして用いられ、他方が信号供給用のプローブとして用いられる一対のプローブであって、
一方のプローブの前記接触部の少なくとも一部が、他方のプローブの内部に位置する、一対のプローブ。 - 請求項1の一対のプローブにおいて、前記他方のプローブの少なくとも一部が長手方向に沿った開口を有する壁面からなり、前記一方のプローブの本体の一部が該開口に挿通されることによって前記一方のプローブの前記接触部の一部が、他方のプローブの内部に位置する、一対のプローブ。
- 請求項2の一対のプローブにおいて、前記開口がスリットである、一対のプローブ。
- 請求項1の一対のプローブにおいて、該一対のプローブが、可撓性及び弾性を有する、一対のプローブ。
- 各々が、内部に空間が形成されるようにその空間を囲むように配置された部材からなるとともに、被検査基板上の被検査点に接触する接触部を有し、一方が信号測定用のプローブとして用いられ、他方が信号供給用のプローブとして用いられる一対のプローブであって、
各プローブの部材の側面にそれぞれ開口が形成されていて、該開口に他方のプローブの部材の一部が挿通されることにより、互いに、一方のプローブの前記接触部の一部が、他方のプローブの内部に位置する、一対のプローブ。 - 請求項5の一対のプローブにおいて、前記開口がスリットである、一対のプローブ。
- 請求項5の一対のプローブにおいて、該一対のプローブが、可撓性及び弾性を有する、一対のプローブ。
- 各々が、被検査基板上の被検査点に接触する接触部を有し、一方が信号測定用のプローブとして用いられ、他方が信号供給用のプローブとして用いられる一対のプローブであって、一方のプローブの前記接触部の少なくとも一部が、他方のプローブの内部に位置する、一対のプローブを複数対備え、さらに、
前記複数対のプローブの中の信号供給用のプローブを信号発生部に接続し、信号測定用のプローブを信号測定部に接続するとともに、それらを保持する保持プレートと、
前記接触部の近くを保持して案内するガイドプレートとを備え、
前記保持プレートと前記複数対のプローブとの間に、マイクロスプリングを配置した、基板検査用治具。
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