JP2015118064A - コンタクトプローブユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】両端部Bと胴体部Aとを有するプローブ1が複数本配列されてなるプローブ群4と、各プローブの両端部のうち先端部2aが挿入され、先端部を測定位置にガイドする複数のガイド穴21が設けられたガイドプレート20と、ガイドプレートに対して一定の間隔を空けて配置され、各プローブの胴体部が挿入されて胴体部を支持する複数のガイド穴31が設けられたガイドプレート30とを備え、各プローブの先端部を給電用電極に接触させて電気特性を測定するプローブユニット10であって、各プローブを、給電用電極の輪郭の内側で該輪郭に沿うような配列パターンで配列する。
【選択図】図1
Description
本発明に係るコンタクトプローブユニット(以下、「プローブユニット10」と略す。)は、図1、図2及び図7に示すように、複数のコンタクトプローブ(以下、「プローブ1」と略す。)を有するプローブ群4と、ガイド穴(第1ガイド穴21、第2ガイド穴31)が設けられた少なくとも2枚のガイドプレート(第1ガイドプレート20,第2ガイドプレート30)とを少なくとも備え、そのガイドプレート20,30のガイド穴21,31に挿入されたプローブ1をそれぞれの先端部2aを給電用電極11に接触させて電流を流すことによって回路基板の電気特性を測定する方式のプローブユニットである。
プローブ群4は、図1〜図3に示すように、一の給電用電極11に向かい合う複数のプローブ1で構成されている。複数のプローブ1の下側の先端部2aを給電用電極11に接触させて、プローブ1から給電用電極11へ電流を流す。これにより、プローブユニット10Aは、給電用電極11に太いプローブ針を1本接触させて電流を流す従来の構成に比べて、先端部2aと給電用電極11との接点部分の電気的負荷を軽減することができる。その結果、パワー半導体の電極のように、数十アンペア以上の大電流を流す電極が給電用電極である場合にも、各プローブ1と給電用電極11との接触部における発熱による熱劣化が抑えられ、プローブ1を長寿命にすることができる。
第1ガイドプレート20及び第2ガイドプレート30は、図1及び図2に示すように、少なくとも1枚のプレートで構成され、各ガイドプレート20,30には、それぞれ、第1ガイド穴21と第2ガイド穴31が複数設けられている。なお、第3ガイドプレート40は、リード線50をリード線側電極51に導くためのガイドプレートであり、下プレート40aと上プレート40bとで構成されている。
プローブ1の傾斜形態を図1及び図2を例にして説明する。プローブ1は、特定の方向に傾斜している。すなわち、各プローブ1は、その軸方向が、給電用電極11の表面に対して平行に位置決めされる基準面との直交方向に対して、特定の方向に傾斜している。こうした傾斜は、プローブ1の両端に荷重が与えられることによってその傾斜方向に座屈し、その座屈により生じた弾性力を接触圧力として給電用電極11に接触する。この結果、各プローブ1は、その先端部が給電用電極11に接触した状態で両端に荷重が与えられたとき、軸方向が揃ってその傾斜方向に湾曲して座屈し、他のコンタクトプローブに対して干渉しない。そのため、各プローブ1の先端部を、給電用電極11に対して良好な接触状態で接触させることができる。なお、傾斜角度は既述したとおりである。
プローブユニット10Aは、まず、複数のプローブ1、第1ガイドプレート20及び第2ガイドプレート30を準備する。
本発明に係るプローブユニットの他の一例について説明する。このプローブユニット10Bは、第2ガイドプレート30の構成と各プローブ1の傾斜方向が異なること以外は、図3〜図5に示すプローブユニット10Aと同様である。
プローブユニット10Bは、まず、複数のプローブ1、第1ガイドプレート20、第2ガイドプレート30を構成するブロック部32及び保持プレート34を準備する。
本発明に係るプローブユニット10A,10Bを用いた電気特性の検査方法について説明する。
2 金属導体
2a 下側の端部(先端部)
2b 上側の端部(後端部)
3 絶縁被膜
3a 絶縁被膜の端面
4 プローブ群
5 保持部材
10,10A,10B プローブユニット(コンタクトプローブユニット)
11 給電用電極
11a 辺縁付近の位置
12 プリント基板
20 第1ガイドプレート
20a 上側の表面(基準面)
21 第1ガイド穴(ガイド穴)
30 第2ガイドプレート
31 第2ガイド穴(ガイド穴)
32 ブロック部
33 嵌入孔
34 保持プレート
40 第3ガイドプレート
40a 下プレート
40b 上プレート
50 リード線
51 リード線側電極
A 胴体部
A1 後端側嵌入部
B 端部(両端部)
B1 先端側嵌入部
L 第1ガイド穴と第2ガイド穴の平面視での中心点間の距離
L1,L2 第1ガイド穴に対する第2ガイド穴の移動距離
S 給電用電極の輪郭
θ 傾斜角度
y 直交方向
FH プレートの面内方向に生じた力
FV プレートの法線方向に生じた力
Claims (5)
- 胴体部と両端部とを有するコンタクトプローブが複数本配列されてなるプローブ群と、
前記各コンタクトプローブの前記両端部のうち先端部が挿入され、前記先端部を測定位置にガイドする複数のガイド穴が設けられた第1ガイドプレートと、
前記第1ガイドプレートに対して一定の間隔を空けて配置され、前記各コンタクトプローブの前記胴体部が挿入されて前記胴体部を支持する複数のガイド穴が設けられた第2ガイドプレートと、を備え、
前記各コンタクトプローブの前記先端部を給電用電極に接触させて電流を流すことによって回路基板の電気特性を測定する方式のコンタクトプローブユニットであって、
前記各コンタクトプローブは、前記給電用電極の輪郭の内側で該輪郭に沿うような配列パターンで配列されていることを特徴とするコンタクトプローブユニット。 - 前記各コンタクトプローブは、両端に荷重が与えられることによって座屈し、その座屈により生じた弾性力を接触圧力として前記給電用電極に接触するものであり、且つ、その軸方向が、前記給電用電極の表面に対して平行に位置決めされる基準面との直交方向に対して、特定の方向に傾斜している、請求項1に記載のコンタクトプローブユニット。
- 前記各コンタクトプローブは、複数のコンタクトプローブで構成されたプローブ群毎に前記特定の方向に傾斜している、請求項1又は2に記載のコンタクトプローブユニット。
- 前記第1ガイドプレートに設けられた前記各ガイド穴と前記第2ガイドプレートに設けられた前記各ガイド穴とは、同じコンタクトプローブが挿入されたガイド穴同士で、中心点の平面視での位置が特定の方向にずれている、請求項1〜3のいずれか1項に記載のコンタクトプローブユニット。
- 前記第1ガイドプレートと前記第2ガイドプレートのいずれか一方は、前記プローブ群のうち一のプローブ群に対応するように区分けされ、前記複数のガイド穴が設けられたブロック部と、
前記ブロック部を嵌め入れる嵌入孔を有する保持プレートと、を有し、
前記嵌入孔内で前記ブロック部が面内で回転されたことにより、前記ブロック部に設けられた前記各ガイド穴と、他方のガイドプレートに設けられた前記各ガイド穴とは、同じコンタクトプローブが挿入されるガイド穴同士で、中心点の平面視での位置が特定の方向にずれている、請求項4に記載のコンタクトプローブユニット。
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