JP6011103B2 - コンタクトプローブ及びそれを備えた半導体素子用ソケット - Google Patents
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Description
また、接触先端部が挿入されて接触される深い穴をプランジャに形成した構造のコンタクトプローブのように、薄壁で形成されるガイドのための穴を深く形成する必要がないため、加工の容易化を図ることができる。したがって、十分な強度を確保しつつ微細化を図ることができ、さらには、メッキ処理も円滑に行って接触箇所における良好な導電性を確保することができ、歩留まりの向上を図ることができる。
まず、第1実施形態に係るコンタクトプローブについて説明する。
図4に示すように、検査装置の検査用基板42の上に固定された半導体素子用ソケット41は、プローブ収容ブロック43、着脱機構部44及び押圧ブロック45を有している。検査用基板42とプローブ収容ブロック43とは互いに積層された状態で固定されており、プローブ収容ブロック43の上部に着脱機構部44が固定されている。
検査用基板42には、プローブ収容孔51に収容されたコンタクトプローブ11の下部接触子31の配置位置に、電極部(図示略)が設けられており、それぞれのコンタクトプローブ11の下部接触子31が導通接触されている。
(第2実施形態)
図6及び図7に示すように、第2実施形態のコンタクトプローブ11Aは、コイルスプリング14のガイド部34が、下部プランジャ13の挿入孔32へ向かって次第に窄まるテーパ形状部34aを有している。
図8に示すように、第3実施形態のコンタクトプローブ11Bは、断面視U字状に形成された下部プランジャ13を有している。この下部プランジャ13は、金属板をプレス加工することで形成されたもので、互いに平行に対向する板状部(接点部の一例)61を有している。
このコンタクトプローブ11Bによれば、機械加工と比較して製造コストが安価なプレス加工で下部プランジャ13を形成し、コスト低減を図ることができる。
図9(a)、(b)に示すように、第4実施形態のコンタクトプローブ11Cは、互いに重ね合わされた一対の板部62から上部プランジャ12が構成されている。これらの板部62は、金属薄板を半分に折り曲げることで、屈曲箇所が連結されて互いに重ね合わされている。そして、図10に示すように、上部プランジャ12は、板部62の上端に、山型形状の尖鋭部25が形成され、これにより、この上部プランジャ12の上端に、板部62の尖鋭部25を有する上部接触子21が設けられている。
図15(a)、(b)に示すように、第5実施形態のコンタクトプローブ11Dは、互いに重ね合わされた一対の板部62からなる上部プランジャ12を備えている。この上部プランジャ12は、それぞれの板部62に形成された棒状体63からなる接触軸部22を有する。また、このコンタクトプローブ11Dは、断面視U字状に形成されて板状部61が互いに平行に対向された下部プランジャ13を備えている。この下部プランジャ13の板状部61は、上部プランジャ12の板部62の積層方向と直交する方向に配列されている。
図17(a)、(b)に示すように、第6実施形態のコンタクトプローブ11Eは、互いに重ね合わされた一対の板部62からなる上部プランジャ12を備えている。この上部プランジャ12は、それぞれの板部62に形成された棒状体63からなる接触軸部22を有している。また、このコンタクトプローブ11Eは、一枚の板状部(接点部の一例)71を有する下部プランジャ13を備えている。この板状部71は、上部プランジャ12の板部62の積層方向と直交する方向に沿って配置されている。
図18(a)、(b)に示すように、第7実施形態のコンタクトプローブ11Fは、互いに重ね合わされた一対の板部62からなる上部プランジャ12を備えている。この上部プランジャ12は、それぞれの板部62に形成された棒状体63からなる接触軸部22を有している。また、このコンタクトプローブ11Fは、挿入孔32を有する下部プランジャ13を備えている。この下部プランジャ13には、図19に示すように、その下端に、山型形状の尖鋭部72が形成され、これにより、この下部プランジャ13の下端に、尖鋭部72を有する下部接触子31が設けられている。
Claims (4)
- 接触軸部を有する第一のプランジャと、前記接触軸部が接触可能な接点部を有する第二のプランジャと、前記接触軸部を覆うように前記第一のプランジャと前記第二のプランジャとに連結されたコイルスプリングとを備えたコンタクトプローブであって、
前記コイルスプリングは、線材を螺旋状に巻いて構成され、前記第二のプランジャ側であって前記第二のプランジャの接点部の上端部より前記第一のプランジャ側の領域を含む部分に、前記線材を前記コイルスプリングの軸方向へ密着させたガイド部を有し、
前記第一のプランジャが、前記第二のプランジャに近接した場合、前記ガイド部が、該第一のプランジャの接触軸部が該第二のプランジャの接点部の孔に挿入されるように、該接触軸部を案内することを特徴とするコンタクトプローブ。 - 請求項1に記載のコンタクトプローブであって、
前記接触軸部は、前記第一のプランジャと前記第二のプランジャの非近接時においても、前記ガイド部へ僅かに挿入されていることを特徴とするコンタクトプローブ。 - 請求項1または2に記載のコンタクトプローブであって、
前記ガイド部は、前記接点部へ向かって次第に窄まるテーパ形状を有していることを特徴とするコンタクトプローブ。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載のコンタクトプローブを備え、半導体素子の電極部と検査用基板の電極部とを、前記コンタクトプローブを介して導通させることを特徴とする半導体素子用ソケット。
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