KR20170020314A

KR20170020314A - 프로브 핀 및 ic 소켓

Info

Publication number: KR20170020314A
Application number: KR1020167031384A
Authority: KR
Inventors: 마사후미 오쿠마
Original assignee: 주식회사 오킨스전자
Priority date: 2014-04-21
Filing date: 2015-04-09
Publication date: 2017-02-22
Also published as: JP2015215328A; JP6442668B2; JP2015215327A; KR101894965B1

Abstract

사용시에 도통 불량, 및 동작 불량을 일으킬 위험성이 적은 프로브 핀으로서, 측정대상물에 부설되는 전극인 측정대상전극과 접촉하기 위한 전극접촉부 및 측정장치의 배선기판과 접촉하기 위한 보조기판접촉부 중 한 쪽을 일단에 갖는 가동부재와, 전극접촉부 및 보조기판접촉부 중 다른 쪽을 일단에 갖는 보조가동부재와, 일단의 근방에 선재가 간격을 두고 압축가능하게 감겨진 제 1 성긴 감김부를 가지며, 제 1 성긴 감김부에 인접하여 선재가 간격을 두지 않고 서로 밀착되게 감긴 밀착 감김부를 갖는 코일 스프링을 구비하는 프로브 핀으로서, 가동부재는 타단이 개구되어 있는 제 1 슬릿을 사이에 두고 서로 마주보고, 해당 제 1 슬릿을 좁히는 방향으로 탄성변형가능한 2개의 제 1 아암부를 갖는 판상체이며, 제 1 아암부가 탄성변형되지 않은 상태에서, 제 1 아암부의 2개의 단부 근방의 외측면 거리는 코일 스프링의 밀착 감김부의 내경보다도 크게 형성되고, 일단의 근방에, 코일 스프링의 제 1 성긴 감김부측 단부에 걸림고정되는 제 1 걸림부를 구비하며, 2개의 제 1 아암부가, 제 1 슬릿을 좁히는 방향으로 탄성변형된 상태에서, 코일 스프링의 제 1 성긴 감김부측 단부로부터 코일 스프링의 내경측으로, 가동부재의 제 1 걸림부가 코일 스프링의 제 1 성긴 감김부측 단부에 걸림고정될 때까지 삽입되어, 보조가동부재는 코일 스프링의 제 1 성긴 감김부측과는 반대편 단부에 걸림고정되며, 제 1 아암부의 단부 근방의 외측면과 코일 스프링의 내측면은 전기적 접촉을 유지하면서 상대 위치를 변동하는 것이 가능하게 된 프로브 핀이 제공된다.

Description

프로브 핀 및 IC 소켓{PROBE PIN AND IC SOCKET}

본 발명은 IC(Integrated Circuit, 집적 회로)의 검사 등에 사용되는 프로브 핀 및 IC 소켓에 관한 것이다.

다수의 단자를 구비한 IC를 검사할 경우에는 IC에서 인접하는 단자간의 전기적 접속을 억제하면서, IC의 각 단자와, IC를 검사하기 위한 검사장치(IC 테스터)에 접속된 검사용 기판에서 각 단자에 대응하는 전극을 전기적으로 접속하기 위해 프로브 핀이 사용된다.

프로브 핀의 대표적인 구성은 양단이 부분적으로 폐색되면서 개구된 관형 몸체와, 이 관형 몸체의 내부에 배치된 코일 스프링과, 이 코일 스프링에 탄력지지되면서 상기의 부분적인 폐색부에 걸림고정된 상태로 관형 몸체로부터 부분적으로 돌출되는 2개의 접촉부재로 이루어진다. 다른 구성을 갖는 예로서, 판재를 프레스 가공이나 에칭 가공하여 얻어지는 판상의 2개의 접촉부재 및 코일 스프링으로 구성된 프로브 핀이 있다. 관형 몸체가 필요없게 되기 때문에, 프로브 핀의 부품 비용을 절감할 수 있다.

또한, 그 다른 구성의 프로브 핀 중 하나로, 특허문헌 1에 개시된 하나의 접촉부재와, 부분적으로 관형 몸체가 형성된 코일 스프링의 2개의 부품으로 구성된 프로브 핀이 있다. 2개의 부품으로 구성되기 때문에, 더욱 부품 비용을 절감할 수 있다.

특허문헌 1에 개시된 프로브 핀은 피접촉체에 접촉시키는 도전성 침상체를 축선방향으로 출몰가능하게 지지하는 홀더와, 상기 도전성 침상체를 상기 홀더로부터 돌출시키는 방향으로 탄성반발적으로 지지하도록 상기 홀더 내에 상기 도전성 침상체와 동축적으로 수용된 압축 코일 스프링을 가지며, 상기 도전성 침상체를 통과하는 전기 신호를 상기 압축 코일 스프링을 통해 신호 송수신수단에 전달하도록 한 도전성 접촉자로서, 상기 압축 코일 스프링이 축선방향에 대해 상기 도전성 침상체의 몰입 방향 단부와 겹치는 부분에서부터 상기 신호 송수신수단에 이르기까지에 걸친 부분에 밀착 감김부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자이다.

특허문헌 1 : 일본 특허공개 1998-239349호 공보 특허문헌 2 : 일본 특허공개 2011-89930호 공보 특허문헌 3 : 일본 특허공개 2012-58210호 공보 특허문헌 4 : 일본 특허공개 2010-157386호 공보

그러나, 일반적으로 압축 코일 스프링의 내경에는 제조상의 공차가 있으며, 특허문헌 1의 프로브 핀은 도전성 접촉자가 압축 코일 스프링의 중심축과 평행하게 변동되었을 때 도전성 접촉자와 밀착 감김부가 접촉하지 않아 도통 불량을 일으킬 우려가 있다.

이에, 상기의 문제를 해결하기 위해, 예를 들면 특허문헌 2나 특허문헌 3에 개시된 프로브 핀이 제안되어 있다. 특허문헌 2에 개시된 프로브 핀은 코일 스프링의 밀착 감김의 일부를 편심시킨 것이며, 또한, 특허문헌 3의 프로브 핀은 코일 스프링의 성긴 감김부의 직경을 밀착 감김부보다 작게 형성하고, 성긴 감김부에 의해 코일 스프링과 플런저의 중심축을 동축으로 하면서, 밀착 감김부와 플런저의 접점부를 편심시킨 것이다. 그러나, 코일 스프링의 내경에는 제조상의 공차가 있으며, 어느 프로브 핀도 편심량은 코일 스프링의 제조상의 공차 범위에서 증감하기 때문에, 특허문헌 2 및 특허문헌 3에 개시된 프로브 핀에서는 도통 불량을 일으킬 위험성이 충분하게 배제되어 있지는 않다.

또한, 특허문헌 4에 개시된 프로브 핀은 금속 박판으로 이루어진 플런저와, 가는 감김부를 갖는 깔때기 모양의 밀착 감김 부분을 포함하는 코일 스프링 유닛으로 구성된 프로브 핀으로서, 상기 플런저는 각각이 같은 크기의 상방접촉편, 광폭부 및 하방접촉편을 갖는 두 부분을, 접속부를 중심으로 서로 평행하고 또한 서로 대향하게 배치되도록 절곡 형성함으로써, 하방접촉편의 하단부에 마련된 2개의 접점은 서로에 대해 탄성변형가능하게 형성되며, 그 간격이 스프링부의 내경보다 작고, 상기 가는 감김부의 내경보다 크게 설정되어 있음으로 인해, 스프링부가 압축되면 상기 하방접촉편의 상기 2개의 접점이 상기 가는 감김부의 내주면에 탄성적으로 접촉하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀이다. 이 프로브 핀에서는 2개의 접점이 탄성적으로 접촉하기 때문에, 도통 불량을 일으킬 위험성은 저감된다. 그러나, 하방접촉편은 금속 박판을 평행하고 또한 서로 마주보게 절곡형성되며, 하방접촉편의 하단부에 마련된 2개의 접점은 코일 스프링 유닛의 가는 감김부의 내경에서 금속 박판의 두께 방향으로 탄성변형되는 구조이기 때문에, 미세 피치의 단자를 구비한 IC를 검사하기 위해 코일 스프링 유닛의 외경을 작게 하면, 접속부를 정밀하게 절곡가공하는 것이 요구되어, 고가의 프레스 금형을 필요로 할 우려가 있다. 또한, 하방접촉편의 하단부는 상기 깔때기 모양의 밀착 감김 부분에 위치규제되면서 가는 감김부에 도입되므로, 스프링부가 압축되었을 때, 하방접촉편의 하단부가 깔때기 모양의 밀착 감김 부분의 내주면과 접촉하여 동작 불량을 일으킬 우려가 있다.

이러한 기술 배경에 비추어, 본 발명은 상기의 문제를 해결하며, 미세 피치의 단자를 구비한 IC를 검사하기 위한 외경이 작은 프로브 핀일지라도, 프로브 핀의 사용시에 도통 불량 및 동작 불량을 일으킬 위험성이 적은 프로브 핀을 제공하는 것을 과제로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해 제공되는 본 발명에 따른 프로브 핀은, 일 양태에 있어서, (1) 측정대상물에 부설되는 전극인 측정대상전극에 접촉하기 위한 전극접촉부 및 측정장치의 배선기판에 접촉하기 위한 보조기판접촉부 중 한 쪽을 일단에 갖는 가동부재와, 전극접촉부 및 보조기판접촉부 중 다른 쪽을 일단에 갖는 보조가동부재와, 일단의 근방에 선재가 간격을 두고 압축가능하게 감겨진 제 1 성긴 감김부를 가지며, 제 1 성긴 감김부에 인접하여 선재가 간격을 두지 않고 서로 밀착되게 감긴 밀착 감김부를 갖는 코일 스프링을 포함한다. 가동부재는 타단이 개구되어 있는 제 1 슬릿을 사이에 두고 서로 마주보고, 해당 제 1 슬릿을 좁히는 방향으로 탄성변형가능한 2개의 제 1 아암부를 갖는 판상체이며, 제 1 아암부가 탄성변형되지 않은 상태에서, 제 1 아암부의 2개의 단부 근방의 외측면 거리는 코일 스프링의 밀착 감김부의 내경보다도 크게 형성되고, 일단의 근방에, 코일 스프링의 제 1 성긴 감김부측 단부에 걸림고정되는 제 1 걸림부를 구비하며, 2개의 제 1 아암부가, 제 1 슬릿을 좁히는 방향으로 탄성변형된 상태에서, 코일 스프링의 제 1 성긴 감김부측 단부로부터 코일 스프링의 내경측으로, 가동부재의 제 1 걸림부가 코일 스프링의 제 1 성긴 감김부측 단부에 걸림고정될 때까지 삽입된다. 보조가동부재는 코일 스프링의 제 1 성긴 감김부측과는 반대측 단부에 걸림고정되며, 제 1 아암부의 단부 근방의 외측면과 코일 스프링의 내측면은 전기적 접촉을 유지하면서 상대 위치를 변동하는 것이 가능하게 된다.

본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 제 1 아암부의 단부 근방의 외측면은 코일 스프링이 압축되지 않은 상태에서, 코일 스프링의 밀착 감김부의 내측면과 접촉하면 좋다. 이와 같이 하면, 가동부재와 코일 스프링의 접촉을 안정시킬 수 있다. 제 1 아암부의 단부 근방의 외측면은 코일 스프링이 압축되지 않은 상태에서, 코일 스프링의 밀착 감김부의 내측면과 접촉하지 않도록 구성할 수도 있다.

이와 같이 하면, 프로브 핀의 전체 길이를 짧게 할 수 있다.

(2) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 제 1 아암부의 근원 부분의 판 폭은 판 두께와 같은 정도에서부터 판 두께의 1/2의 범위로 형성되는 것이 좋다.

(3) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 제 1 아암부의 외측면에 완만한 원호형상의 돌출부를 갖는 것이 좋다.

또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 제 1 아암부의 판 폭은 거의 일정하며, 제 1 슬릿은 그 개구부에 가까울수록 간극의 폭이 넓어지도록 형성되는 것이 좋다.

또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 제 1 슬릿의 간극의 폭은 거의 일정하며, 제 1 아암부는 제 1 슬릿의 개구부에 가까울수록 그 판 폭이 크게 형성되는 것이 좋다.

(4) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 가동부재는 제 1 걸림부의 근방에, 그 외측면으로부터 판 폭 방향으로 돌출되는 돌기부를 구비하고, 돌기부를 코일 스프링의 제 1 성긴 감김부측 단부에 압입함으로써, 코일 스프링에 고정되는 것이 좋다.

(5) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 가동부재 및 코일 스프링은 가동부재의 제 1 아암부를 그 판 폭 방향으로 탄성변형시키며, 제 1 슬릿을 폐색하면서, 가동부재를 제 1 슬릿측 단부로부터 코일 스프링의 제 1 성긴 감김부측 단부의 내경에 삽입하여, 가동부재의 제 1 슬릿측 단부로부터 제 1 걸림부에 이르는 부분이 코일 스프링에 내포되도록 조립되는 것이 좋다.

(6) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 보조가동부재는 코일 스프링으로의 삽입 방향과 직교하는 방향으로 돌출되며, 코일 스프링의 제 1 성긴 감김부측과는 반대측 단부에 걸림고정되는 제 2 걸림부를 구비하는 것이 좋다.

(7) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 보조가동부재는 제 2 걸림부의 끝면으로부터 돌출되는 돌출부를 구비하고, 해당 돌출부의 적어도 일부는 코일 스프링의 제 1 성긴 감김부와는 반대쪽 단부의 내경측으로 삽입되는 것이 좋다.

(8) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 보조가동부재는 제 2 걸림부 근방에, 코일 스프링으로의 삽입 방향과 직교하는 방향으로 돌출되는 돌기부를 구비하고, 돌기부를 코일 스프링의 제 1 성긴 감김부측과는 반대측 단부에 압입함으로써, 보조가동부재와 코일 스프링이 조립된 상태에서 상호 고정하는 것이 좋다.

(9) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 코일 스프링은 밀착 감김부의 외경이 제 1 성긴 감김부의 외경과 거의 동일하게 형성되는 것이 좋다. (10) 혹은, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 코일 스프링은 밀착 감김부의 외경이 제 1 성긴 감김부의 외경보다도 작게 형성되어도 좋다. (11) 이 경우, 제 1 아암부가 탄성변형되지 않은 상태에서, 제 1 아암부의 2개의 단부 근방의 외측면 거리는 코일 스프링의 제 1 성긴 감김부의 내경보다도 작게 형성되는 것이 좋다.

(12) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 보조가동부재는 판상체로 하여도 좋다. (13) 또한, 보조가동부재는 원통체로 하여도 좋다. 이 경우, 보조가동부재는 일단에 형성되는 전극접촉부 또는 보조기판접촉부를 입체적으로 형성하는 것이 좋다.

또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 보조가동부재가 원통체인 경우에는 보조가동부재가 구비하는 돌출부 중 적어도 일부는 판상으로 형성되는 것이 좋다. 이 경우, 코일 스프링은 보조가동부재와 조립되기 전의 상태에서, 밀착 감김부의 보조가동부재측의 단부 근방이 다른 부분보다 외경이 작게 형성되는 것이 좋다.

(14) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 코일 스프링은 타단의 근방에 선재가 간격을 두고 압축가능하게 감겨진 제 2 성긴 감김부를 가지며, 보조가동부재는 제 1 아암부와 공통하는 구조를 갖는 아암부, 및 제 1 슬릿과 공통하는 구조를 갖는 슬릿을 갖는 판상체이고, 보조가동부재는 2개의 아암부가, 슬릿을 좁히는 방향으로 탄성변형된 상태에서, 코일 스프링의 제 2 성긴 감김부측 단부로부터 코일 스프링의 내경측으로 삽입되어, 보조가동부재가 구비한 아암부의 단부 근방의 외측면과 코일 스프링의 내측면은 전기적 접촉을 유지하면서 상대 위치를 변동하는 것이 가능하게 되는 것이 좋다.

(15) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 보조가동부재는 그 외측면으로부터 판 폭 방향으로 돌출되며, 코일 스프링의 제 1 성긴 감김부측과는 반대측 단부에 걸림고정되는 제 2 걸림부를 구비하는 것이고, 보조가동부재 및 코일 스프링은 보조가동부재의 아암부를 그 판 폭 방향으로 탄성변형시키며, 보조가동부재의 슬릿을 폐색하면서, 보조가동부재를 슬릿측 단부로부터 코일 스프링의 제 2 성긴 감김부측 단부의 내경으로 삽입하여, 보조가동부재의 슬릿측 단부로부터 제 2 걸림부에 이르는 부분이 코일 스프링에 내포되도록 조립되는 것이 좋다.

(16) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 가동부재는 측정대상물에 부설되는 전극인 측정대상전극에 접촉하기 위한 전극접촉부를 일단에 가지며, 보조가동부재는 측정장치의 배선기판인 검사용 기판과 접촉하기 위한 보조기판접촉부를 일단에 가지는 것이 좋다.

(17) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 가동부재는 측정장치의 배선기판인 검사용 기판에 접촉하기 위한 보조기판접촉부를 일단에 가지며, 보조가동부재는 측정대상물에 부설되는 전극인 측정대상전극과 접촉하기 위한 전극접촉부를 일단에 가지는 것이 좋다.

상기 과제를 해결하기 위해 제공되는 본 발명에 따른 프로브 핀은, 다른 일 양태에 있어서, (18) 측정대상물에 부설되는 전극인 측정대상전극에 접촉하기 위한 전극접촉부를 일단에 갖는 가동부재와, 일단의 근방에 선재가 간격을 두고 압축가능하게 감겨진 성긴 감김부(제 1 성긴 감김부)를 가지며, 성긴 감김부(제 1 성긴 감김부)에 인접하여 선재가 간격을 두지 않고 밀착되게 감긴 밀착 감김부를 갖는 코일 스프링을 구비하는 프로브 핀으로서, 가동부재는 타단이 개구되어 있는 제 1 슬릿을 사이에 두고 서로 마주하고, 해당 제 1 슬릿를 좁히는 방향으로 탄성변형가능한 2개의 제 1 아암부를 갖는 판상체이며, 제 1 아암부가 탄성변형되지 않은 상태에서, 제 1 아암부의 2개의 단부 근방의 외측면 거리는 코일 스프링의 밀착 감김부의 내경보다도 크게 형성되고, 전극접촉부의 근방에, 코일 스프링의 성긴 감김부(제 1 성긴 감김부)측 단부에 걸림고정되는 걸림부를 구비하며, 2개의 제 1 아암부가, 제 1 슬릿을 좁히는 방향으로 탄성변형된 상태에서, 코일 스프링의 성긴 감김부(제 1 성긴 감김부)측 단부로부터 코일 스프링의 내경측으로, 가동부재의 걸림부가 코일 스프링의 성긴 감김부(제 1 성긴 감김부)측 단부에 걸림고정될 때까지 삽입되어, 제 1 아암부의 단부 근방의 외측면과 코일 스프링의 내측면은 전기적 접촉을 유지하면서 상대위치를 변동하는 것이 가능하게 된다.

본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는, 제 1 아암부의 단부 근방의 외측면은 코일 스프링이 압축되지 않은 상태에서, 코일 스프링의 밀착 감김부의 내측면과 접촉하도록 구성하면 좋다. 이와 같이 하면, 가동부재와 코일 스프링과의 접촉을 안정시킬 수 있다. 제 1 아암부의 단부 근방의 외측면은 코일 스프링이 압축되지 않은 상태에서, 코일 스프링의 밀착 감김부의 내측면과 접촉하지 않도록 구성하여도 좋다. 이와 같이 하면, 프로브 핀의 전체길이를 짧게 할 수 있다.

(19) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 제 1 아암부의 근원부분의 판 폭은 판 두께와 같은 정도에서부터 판 두께의 1/2의 범위로 형성되는 것이 좋다.

(20) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 제 1 아암부의 외측면에 완만한 원호형상의 돌출부를 갖는 것이 좋다.

또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 제 1 슬릿의 간격의 폭은 거의 일정하며, 제 1 아암부는 제 1 슬릿의 개구부에 가까울수록 그 판 폭이 크게 형성되는 것이 좋다.

(21) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 가동부재는 그 외측면으로부터 판 폭 방향으로 돌출되는 돌기부를 구비하고, 돌기부를 코일 스프링의 성긴 감김부(제 1 성긴 감김부)측 단부에 압입함으로써, 코일 스프링에 고정되는 것이 좋다.

(22) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 가동부재 및 코일 스프링은 가동부재의 제 1 아암부를 그 판 폭 방향으로 탄성변형시키고, 제 1 슬릿을 폐색하면서, 가동부재를 제 1 슬릿측 단부로부터 코일 스프링의 성긴 감김부(제 1 성긴 감김부)측 단부의 내경으로 삽입하여, 가동부재의 제 1 슬릿측 단부로부터 걸림부에 이르는 부분이 코일 스프링에 내포되도록 조립되는 것이 좋다.

(23) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 코일 스프링은 밀착 감김부의 외경이 성긴 감김부(제 1 성긴 감김부)의 외경과 거의 동일하게 형성되는 것이 좋다.

(24) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 코일 스프링은 밀착 감김부의 외경이 성긴 감김부(제 1 성긴 감김부)의 외경보다도 작게 형성되는 것이 좋다.

(25) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 제 1 아암부가 탄성변형되지 않은 상태에서, 제 1 아암부의 2개의 단부 근방의 외측면 거리는 코일 스프링의 성긴 감김부(제 1 성긴 감김부)의 내경보다도 작게 형성되는 것이 좋다.

(26) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 가동부재는 판 폭이 성긴 감김부(제 1 성긴 감김부)의 내경보다도 작고, 또한 밀착 감김부의 내경보다도 크며, 걸림부의 끝면으로부터 코일 스프링으로의 삽입 방향으로 돌출된 판상의 연신부를 구비하고, 제 1 아암부는 연신부의 걸림부와는 반대편 단부에 돌출형성되는 것이 좋다.

(27) 또한, 본 발명에 따른 프로브 핀에 있어서는 밀착 감김부는 제 1 아암부와 미끄럼 마찰되는 부분보다도 직경이 축소된 가는 직경부를 더 구비하는 것이 좋다. (28) 가는 직경부는 성긴 감김부(제 1 성긴 감김부)와는 반대측 단부에 측정장치의 배선기판과 접촉하기 위한 기판접촉부를 갖는 것이 좋다.

또한, 본 명세서에서는 절연성의 강체로 이루어지고, 검사대상인 IC의 단자에 대응하는 배열의 관통공을 가지며, 관통공 내에 프로브 핀을 홀딩하기 위한 부재를 하우징이라고 부르고, 이 하우징에 프로브 핀이 홀딩된 조립체를 IC 소켓이라고 부른다.

본 발명에 따른 프로브 핀에 따르면, 도전성을 갖는 판상체로 이루어진 가동부재와 코일 스프링의 밀착 감김부와의 도통이 안정되어, 프로브 핀의 사용시에 도통불량을 일으킬 위험성이 저감된다.

도 1의 (a)는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 프로브 핀(1)의, 가동부재(11)의 판상체의 판면에 평행한 면의 단면도, 도 1의 (b)는 가동부재(11)의 판상체의 판면에 수직인 면의 단면도. 또한, 도 1의 (c)는 가동부재(11)의 외관도.
도 2는 코일 스프링의 내경(D)과 판재의 판 폭(W)과의 관계를 나타내는 모식도.
도 3의 (a)는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 프로브 핀(1)의 변형예에 대해 프로브 핀이 압축되지 않은 상태를 나타내는 단면도. 도 3의 (b)는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 프로브 핀(1)의 변형예에 대해 프로브 핀이 압축된 상태를 나타내는 단면도.
도 4의 (a)~(c)는 가동부재(11)에서의 제 1 아암부(116) 형상의 변형예를 나타내는 외관도.
도 5의 (a) 및 (b)는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 프로브 핀(1)의 변형예를 나타내는 단면도.
도 6은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 프로브 핀(1)을 홀딩한 IC 소켓(2)이 검사용 기판(1000)에 올려놓여진 상태를 나타내는 단면도.
도 7은 IC 소켓(2)이 측정대상물인 IC(2000)를 검사하고 있는 상태를 나타내는 단면도.
도 8의 (a)는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 프로브 핀(3)의, 가동부재(31)의 판상체의 판면에 평행한 면의 단면도, 도 8의 (b)는 가동부재(31)의 판상체의 판면에 수직인 면의 단면도.
도 9의 (a)와 (b)는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 프로브 핀(3)의 변형예를 나타내는 단면도.
도 10의 (a)와 (b)는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 프로브 핀(3)의 변형예를 나타내는 단면도.
도 11의 (a)는 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 프로브 핀(4)의, 가동부재(41)의 판상체의 판면에 평행한 면의 단면도, 도 11의 (b)는 가동부재(41)의 판상체의 판면에 수직인 면의 단면도.
도 12의 (a)는 본 발명의 제 3 실시형태의 변형예에 따른 프로브 핀(4)의, 가동부재(41)의 판상체의 판면에 평행한 면의 단면도, 도 12의 (b)는 가동부재(41)의 판상체의 판면에 수직인 면의 단면도.
도 13의 (a)는 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 프로브 핀(5)의, 가동부재(51)의 판상체의 판면에 평행한 면의 단면도, 도 13의 (b)는 가동부재(51)의 판상체의 판면에 수직인 면의 단면도.
도 14의 (a)는 본 발명의 제 4 실시형태의 변형예에 따른 프로브 핀(5)의, 코일 스프링(52)의 초기 상태의 단면도, 도 14의 (b)는 가동부재(51)의 판상체의 판면에 평행한 면의 단면도, 도 14의 (c)는 가동부재(51)의 판상체의 판면에 수직인 면의 단면도, 도 14의 (d)는 코일 스프링(52)과 전극접촉부재(55)의 압입부의 삽입방향에 직교하는 면의 단면도.
도 15의 (a)는 본 발명의 제 5 실시형태에 따른 프로브 핀(6)의, 가동부재(61)의 판상체의 판면에 평행한 면의 단면도, 도 15의 (b)는 가동부재(61)의 판상체의 판면에 수직인 면의 단면도.
도 16의 (a)는 본 발명의 제 6 실시형태에 따른 프로브 핀(7)의, 가동부재(71)의 판상체의 판면에 평행한 면의 단면도, 도 16의 (b)는 가동부재(71)의 판상체의 판면에 수직인 면의 단면도.
도 17의 (a)는 본 발명의 제 6 실시형태의 변형예에 따른 프로브 핀(7)의, 가동부재(71)의 판상체의 판면에 평행한 면의 단면도, 도 17의 (b)는 가동부재(71)의 판상체의 판면에 수직인 면의 단면도.

이하, 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 프로브 핀 및 IC 소켓을 설명한다.

[제 1 실시형태]

본 발명의 제 1 실시형태에 따른 프로브 핀(1)은 가동부재(11) 및 코일 스프링(12)으로 구성된다. 도 1의 (a)는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 프로브 핀(1)의, 가동부재(11)의 판상체의 판면에 평행한 면의 단면도이고, 도 1의 (b)는 가동부재(11)의 판상체의 판면에 수직인 면의 단면도이다. 또한, 도 1의 (c)는 가동부재(11)의 외관도이다. 가동부재(11)는 판 두께가 거의 균일한 판상체로 이루어진다. 여기에서, 가동부재(11)를 제조하는 수단으로는 예를 들어 하나의 판재를 프레스 가공 혹은 에칭 가공하여도 좋으며, MEMS라 불리는 반도체 제조기술을 응용한 가공방법에 의해 실리콘 기판을 가공하여도 좋다.

가동부재(11)는 일측 단부에 측정대상물인 IC에 부설되는 전극(본 명세서에서는 단자라고도 한다.)과 접촉하기 위한 전극접촉부(111)를 구비한다. 또한, 가동부재(11)는 전극접촉부(111)의 근방에, 그 외측면으로부터 판 폭 방향으로 돌출되는 제 1 플랜지부(114)(본 발명의 제 1 걸림부에 해당한다)를 구비한다. 또한, 가동부재(11)는 타측 단부에 그 선단을 개구로 하는 제 1 슬릿(112)이 형성된 제 1 아암부(116)를 구비한다. 제 1 플랜지부(114)의 끝면과 제 1 아암부(116)와의 사이에는 제 1 연신부(119)가 마련된다. 제 1 연신부(119)에는 슬릿이 형성되어 있지 않고, 코일 스프링(12)의 내경보다도 약간 작은 판 폭을 가지고 있다. 여기서, 제 1 아암부(116)는 도 1의 (c)에 예시한 바와 같이, 판재를 에칭 가공 또는 프레스 가공하여 얻어지는 가동부재(11), 혹은 MEMS 기술에 의해 제조하여 얻어지는 가동부재(11)의 초기 형상은 제 1 슬릿(112)의 개구부 근방에서 2개의 제 1 아암부(116)에 의해 형성되는 가동부재(11)의 판 폭이 코일 스프링(12)의 내경보다도 약간 크게 형성된다. 즉, 가동부재(11)가 탄성변형되지 않은 상태에서, 제 1 아암부의 2개의 단부 근방의 외측면 거리는 코일 스프링의 내경보다도 약간 크게 형성된다.

도 1에 예시한 프로브 핀(1)에 있어서는 제 1 아암부(116)의 판 폭은 그 전체길이에 걸쳐 거의 일정하게 형성되며, 제 1 아암부(116)는 제 1 슬릿(112)의 개구부를 향해 약간 비스듬하게(즉, 개구부에 가까울수록 간극의 폭이 넓어지도록) 형성된다. 후술하는 바와 같이, 제 1 아암부(116) 및 제 1 슬릿(112)의 형상은 다른 형상으로 하여도 좋다.

또한, 일반적으로, 일정한 두께를 갖는 판재를 원형의 코일 스프링의 내경에 삽입한 경우, 도 2에 나타낸 바와 같이, 코일 스프링의 내경에 접하는 판 폭(W)은 코일 스프링의 중심직경(D)보다도 약간 작다. 본 발명에 있어서, 코일 스프링의 내경보다 약간 크게 형성된다란, 이렇게 코일 스프링의 내경에 접하는 판 폭보다 약간 크게 형성되는 것을 의미한다. 또한, 본 발명에 있어서, 코일 스프링의 밀착 감김부가 가는 직경부를 구비하는 경우에는, 코일 스프링의 밀착 감김부의 내경이란 가는 직경부를 제외한 부분의 직경을 의미한다.

여기서, 가동부재(11)의 재질은 에칭가공 또는 프레스 가공에 의해 제조하는 경우에는 인청동이나 베릴륨 동 등의 동 합금, 혹인 스테인리스강 등이 상정되며, 모두 어느 정도의 탄성을 갖는다. 또한, MEMS기술에 의해 제조하는 경우에는 재질은 실리콘이 되는데, 실리콘도 약간의 탄성을 갖는다. 이와 같은 재질을 선택함으로써, 제 1 슬릿(112)은 제 1 아암부(116)의 탄성 범위에서 개폐할 수 있다.

코일 스프링(12)은 일측 단부에 측정장치의 배선기판인 검사용 기판(1000)에 접촉하기 위한 기판접촉부(121)를 구비한다. 또한, 코일 스프링(12)은 기판접촉부(121)가 마련되어 있는 측의 단부 근방에, 일정 길이의 밀착 감김부(122)가 형성된다. 밀착 감김부(122)는 코일 스프링(12)을 형성하는 선재가 간격을 두지 않고 서로 밀착되게 감겨진 부분이다. 또한, 도 1에 예시한 프로브 핀(1)에 있어서는 밀착 감김부(122) 중에서도 기판접촉부(121)측 단부에 가장 가까운 부분에는 그 외경이 다른 부분보다 작게 형성된 가는 직경부(123)를 구비한다. 또한, 코일 스프링(12)은 기판접촉부(121)가 마련되어 있는 측의 단부와는 반대측의 근방에, 일정 길이의 제 1 성긴 감김부(124)가 형성된다. 제 1 성긴 감김부(124)는 코일 스프링(12)을 형성하는 선재가, 해당 코일 스프링(12)을 압축가능하도록 간격을 두고 감겨진 부분이다.

상기 가동부재(11) 및 코일 스프링(12)을 구비하는 본 실시형태의 프로브 핀(1)은 가동부재(11)의 제 1 아암부(116)를 제 1 아암부(116)의 판 폭 방향으로 탄성변형시키고, 제 1 슬릿(112)을 약간 폐색하면서, 가동부재(11)를 제 1 슬릿(112)측 단부로부터 코일 스프링(12)의 기판접촉부(121)와 반대측 단부의 내경에, 가동부재(11)의 제 1 플랜지부(114)가 코일 스프링(12)의 제 1 성긴 감김부(124)측 단부에 걸림고정될 때까지 삽입하여, 가동부재(11)의 제 1 슬릿(112)측 단부에서부터 제 1 플랜지부(114)에 이르는 부분이 코일 스프링(12)에 내포되도록 조립된다. 여기서, 도 1에 예시한 프로브 핀(1)에 있어서는 가동부재(11)와 코일 스프링(12)은 고정되지 않고 분리가능하지만, 후술하는 바와 같이, 하우징의 관통공 안에 홀딩된 경우에는 쉽게 분리되는 일은 없다.

이와 같이 배치, 조립된 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 프로브 핀(1)에 있어서는 가동부재(11)가 구비하는 2개의 제 1 아암부(116)에서의 단부 근방의 외측면(외주측의 판 두께면)과 코일 스프링(12)의 밀착 감김 부분의 내측면이 미끄럼 접촉구조를 구성한다. 이 미끄럼 접촉구조에 의해, 가동부재(11)와 코일 스프링(12)은 전기적 접촉을 유지하면서 상대위치를 변동하는 것이 가능하게 된다. 여기서, 제 1 아암부(116)의 초기 형상은 2개의 단부 근방의 외측면 거리가 코일 스프링(12)의 내경보다 약간 크게 형성되어 있기 때문에, 제 1 아암부(116)의 탄성에 의해, 2개의 접촉부에는 약간의 접촉압력이 가해져서, 안정적인 전기적 접촉을 유지하면서 상대위치를 변동하는 것이 가능하게 된다. 또한, 가동부재(11) 및 코일 스프링(12)은 금 도금되어 있는 것이 상정되며, 2개의 접촉부에 가해지는 접촉압력은 극히 작아도 좋다. 따라서, 제 1 아암부(116)도 약간 탄성변형되면 좋다. 코일 스프링(12)의 내경은 제조상의 공차가 있으므로, 그 공차보다 약간 크게 탄성변형되도록 설정하면 된다. 또한, 도 1에 예시한 프로브 핀(1)에서는 프로브 핀(1)이 조립된 상태(즉 코일 스프링(12)이 압축되지 않은 상태)에서 제 1 아암부(116)의 단부 근방의 외측면이 코일 스프링(12)의 밀착 감김 부분의 내측면에 접촉하고 있는데, 도 3에 예시한 바와 같이, 프로브 핀(1)이 조립된 상태에서는 제 1 아암부(116)의 단부 근방의 외측면은 코일 스프링(12)의 밀착 감김 부분에는 이르지 않으며, 코일 스프링(12)의 제 1 성긴 감김부(124)의 내측면에 접촉하고, 후술하는 IC를 검사하고 있는 상태(코일 스프링(12)이 압축되어 제 1 아암부(116)가 코일 스프링(12)의 밀착 감김부(122)측으로 압입된 상태)에서 코일 스프링(12)의 밀착 감김부(122)의 내측면에 접촉하도록 설계하여도 좋다. 이와 같은 구성에 의해, 프로브 핀(1)의 전체길이를 짧게 할 수 있다. 또한, 제 1 아암부(116)의 선단은 프로브 핀(1)의 사용시(코일 스프링이 압축되었을 때)에도 가는 직경부(123)까지 이르지 않는 길이로 형성된다. 따라서, 가는 직경부(123)의 외경은 코일 스프링(12)의 제조가능한 범위에서 작게 하는 것이 가능하며, 기판접촉부(121)를 작게 하는 것이 가능해진다.

상기와 같이, 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 프로브 핀(1)은 제 1 아암부(116)를 제 1 아암부(116)의 판 폭 방향으로 탄성변형시키기 때문에, 제 1 아암부(116)의 탄성반발력은 제 1 아암부(116)의 판 폭으로 조정하면 된다. 구체적으로는, 제 1 아암부(116)의 근원부분(제 1 아암부(116)에서의 제 1 슬릿(112)의 개구와는 반대측에 있는 가장자리 근방 부분)의 판 폭으로 조정하면 된다. 이 제 1 아암부(116)의 탄성반발력은 상기 미끄럼 접촉부에서의 접촉압력으로서 작용한다. 여기서, 상기 미끄럼 접촉부에서의 접촉압력은 극히 소량으로 좋으며, 접촉압력이 크면 미끄럼 접촉을 저해할 우려가 있다. 일반적으로 판재를 프레스 가공 혹은 에칭 가능할 경우, 판 폭은 판 두께의 1/2까지 가공가능하며, 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 프로브 핀(1)에 있어서도, 제 1 아암부(116)의 근원부분의 판 폭은 판 두께와 같은 정도에서부터 판 두께의 1/2의 범위로 설정하는 것이 바람직하다. 다른 한편, 제 1 아암부(116) 전체의 강도를 확보하기 위해, 제 1 아암부(116)의 탄성 반발력에 영향을 주지 않는 부분의 판 폭은 크게 해 두는 것이 바람직하다. 이러한 관점에서, 제 1 아암부(116)의 형상은 도 4에 예시한 형상으로 하면 좋다. 즉, 도 4의 (a)에 예시한 바와 같이, 제 1 슬릿(112)의 슬릿 폭은 거의 일정하게 하며, 2개의 제 1 아암부(116)의 판 폭을 제 1 슬릿(112)의 개구부를 향해 크게(즉, 제 1 슬릿(112)의 개구부에 가까울수록 그 판 폭을 크게)하여도 좋고, 도 4의 (b)에 예시한 바와 같이, 제 1 아암부(116)의 외측면에 완만한 원호형상의 돌출부(117)를 형성하여도 좋다. 가동부재(11) 전체의 판 폭이 큰 경우는 도 4의 (c)에 예시한 바와 같이, 제 1 아암부(116)의 근원부분의 내측면에 절결부(118)를 형성하여도 좋다.

또한, 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 프로브 핀(1)은 가동부재(11)와 코일 스프링(12)이 조립된 상태에서 서로 고정하여, 쉽게는 분리되지 않는 구성으로 하여도 좋다. 구체적으로는 도 5에 예시한 바와 같이, 가동부재(11)의 제 1 플랜지부(114) 근방에, 그 외측면으로부터 판 폭 방향으로 돌출되는 돌기부(115)를 형성하고, 돌기부(115)를 코일 스프링(12)의 일단에 압입하면 된다. 이와 같이 가동부재(11)와 코일 스프링(12)을 상호 고정하는 경우, 도 5의 (b)에 예시한 바와 같이, 제 1 플랜지부(114)는 없어도 된다. 이 경우, 이하에 설명하는 하우징의 관통공의 제 1 공(孔)내 단차부(214)와 걸림고정되는 부분은 코일 스프링(12)의 끝면이 된다.

도 6은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 프로브 핀(1)을 홀딩한 IC 소켓(2)이 검사용 기판(1000)에 올려놓여진 상태를 나타내는 단면도이다. 또한, 도 7은 IC 소켓(2)이 측정대상물인 IC(2000)를 검사하고 있는 상태를 나타내는 단면도이다.

IC 소켓(2)은 하우징(21)에 형성된 복수의 관통공(210)의 각각에 의해, 프로브 핀(1)을 측정대상물인 IC(2000)에 부설되는 전극에 대응한 위치에 홀딩한다. 구체적으로는, 하우징(21)은 주면(主面) 내측 방향으로 양분할된다. 관통공(210)은 측정대상물인 IC(2000)와 대향하는 면에 형성되는 제 1 개구부(211) 및 검사용 기판(1000)과 대향하는 면에 형성되는 제 2개구부(212)의 공경이, 제 1 개구부(211)와 제 2개구부(212)와의 사이에 형성되는 중공부(213)의 공경보다 작게 형성된다. 제 1 개구부(211)와 중공부(213)의 경계에는 제 1 공내 단차부(214)가 형성되고, 제 2개구부(212)와 중공부(213)의 경계에는 제 2 공내 단차부(215)가 형성된다. IC 소켓(2)이 조립된 상태에서, 제 1 공내 단차부(214)가 제 1 플랜지부(114)와 걸림고정되고, 제 2 공내 단차부(215)는 코일 스프링(12)의 밀착 감김부(122)에서 직경을 제 1 성긴 감김부(124)와 동일한 정도에서부터 축소하여 가는 직경부측으로 연결하는 단차부(125)와 걸림고정된다. 이로써, 프로브 핀(1)은 관통공(210)에 홀딩된다.

여기서, 관통공(210)의 단면 형상은, 코일 스프링(12)이 수납되는 중공부(213)는 코일 스프링(12)의 외형에 맞춰 원형이 된다. 또한, 전극접촉부(111)의 일부가 수납되는 제 1 공내 단차부(214)로부터 제 1 개구부(211)에 이르는 부분의 단면 형상은 가공을 용이하게 하기 위해 원형으로 하여도 좋고, 전극접촉부(111)의 경사를 억제하기 위해 전극접촉부(111)의 단면 형상보다 약간 큰 직사각형(예를 들면, 장변 및 단변이 각각 판재보다도 10μm 정도 큰 직사각형)으로 하여도 좋다.

IC 소켓(2)은 검사용 기판(1000) 상에 올려놓여진 상태, 즉 도 6에 도시된 상태에서, 프로브 핀(1)이 구비하는 코일 스프링(12)이 약간 압축되도록 설계되어 있다. 이와 같이 설계함으로써, IC 소켓(2)이 검사용 기판(1000) 상에 올려놓여진 상태에서는 항상 기판접촉부(121)와 검사용 기판(1000)의 접점부분에 접촉압력이 가해지기 때문에, 접점부분에 먼지 등이 부착되는 것이 방지되어 바람직하다. 일반적으로, IC 소켓이 검사용 기판(1000)에 올려놓여진 상태에서, 이와 같이 코일 스프링을 약간 압축해 두는 것을 '프리로드'라고 부른다. 프리로드는 이루어지고 있는 편이 바람직하지만, 이루어지고 있지 않아도 된다.

또한, 상기와 같이 검사용 기판(1000)에 올려놓여진 IC 소켓은 도 7에 나타낸 사용상태에서는 외부장치, 혹은 IC 소켓(2)에 부설된 커버 등에 의해, 검사대상인 IC(2000)의 각 단자가 IC 소켓의 각 프로브 핀(1)의 전극접촉부(111)를 일정 길이 가압하도록 고정된다. 또한, 도 7에서는 외부장치, 혹은 IC 소켓에 부설된 커버 등, IC(2000)를 고정하고 있는 부분은 생략하고 있다. 도 7에 나타낸 바와 같이, IC 소켓(2)의 사용 상태에서는 프로브 핀(1)이 구비하는 코일 스프링(12)이 소정의 길이까지 압축되고, 검사 대상인 IC(2000)의 각 단자와 IC 소켓(2)의 각 프로브 핀(1)의 전극접촉부(111)와의 접점 부분에는 소정의 접촉압력이 가해져, 전기적으로 안정된 검사가 가능하게 된다.

[제 2 실시형태]

본 발명의 제 2 실시형태에 따른 프로브 핀(3)은 가동부재(31) 및 코일 스프링(32) 뿐만 아니라, 별도의 판재로 이루어진 보조전극접촉부재(33)를 구비한다. 도 8의 (a)는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 프로브 핀(3)의, 가동부재(31)의 판상체의 판면에 평행한 면의 단면도이며, 도 8의 (b)는 가동부재(31)의 판상체의 판면에 수직한 면의 단면도이다.

본 발명에 따른 프로브 핀은 보조전극접촉부재(33)를 가동부재(31)에 고정함으로써, 전극접촉부의 형상을 입체화한 것이다. 또한, 이하에서는 제 2 실시형태에 대해 제 1 실시형태와는 다른 부분을 설명한다. 특별한 설명이 없는 구조, 제조 방법 등은 상술한 제 1 실시형태에 따른 프로브 핀(1)과 동일하기 때문에, 여기서의 설명을 생략한다.

도 8에 나타낸 바와 같이, 가동부재(31)는 제 2 슬릿(317)을 구획형성하는 제 2 아암부(318)를 구비한다. 제 2 슬릿(317)은 전극접촉부(311) 근방에 한 쪽 가장자리부를 가지며 제 1 플랜지부(314) 근방에 다른 쪽 가장자리부를 갖는 창문형의 개구이다.

보조전극접촉부재(33)는 일측 단부에 측정대상물인 IC에 부설되는 전극과 접촉하기 위한 보조전극접촉부(331)를 구비한다. 또한, 보조전극접촉부재(33)는 보조 전극접촉부(331)가 마련된 측의 단부에, 그 선단을 개구로 하는 제 3 슬릿(332)이 형성된 제 3 아암부(333)를 구비한다. 또한, 보조전극접촉부재(33)는 보조전극접촉부(331)가 마련된 측의 단부 근방에, 그 외측면으로부터 판 폭 방향으로 돌출되는 제 2 플랜지부(334) 및 제 2 플랜지부(334)의 끝면으로부터 돌출되는 제 1 돌출부(335)를 구비한다. 제 1 돌출부(335)의 적어도 일부는 코일 스프링(32)의 제 2 플랜지부(334)측 단부의 내경측에 삽입된다.　즉, 코일 스프링(32)은 보조전극접촉부재(33)의 제 1 돌출부(335)의 적어도 일부를 내포한다.

상기 가동부재(31) 및 보조전극접촉부재(33)는 보조전극접촉부재(33)에서의 제 3 슬릿(332)의 바닥 가장자리부로부터 보조전극접촉부(331)와 반대측 단부까지에 걸친 판면을 가동부재(31)의 제 2 슬릿(317)에 내포하면서, 서로 직교하도록 조립된다. 여기서 가동부재(31)의 제 2 슬릿(317)의 길이는 보조전극접촉부재(33)에서의 제 3 슬릿(332)의 바닥 가장자리부로부터 보조전극접촉부(331)와 반대측 단부까지의 길이와 거의 같은 길이로 설정되며, 보조전극접촉부재(33)는 가동부재(31)에 대해 가동부재(31)의 가동방향으로 변동 불가능하게 고정된다. 또한, 보조전극접촉부재(33)가 구비하는 제 1 돌출부(335)가 코일 스프링(32)의 내경에 걸림고정됨으로써, 보조전극접촉부재(33)는 코일 스프링(32)으로부터 쉽게 분리되는 일은 없다.

가동부재(31)와 보조전극접촉부재(33)의 구체적인 조립방법으로서는 보조전극접촉부재(33)를 가동부재(31)에 대해 약간 비스듬히 하면서, 보조전극접촉부재(33)의 제 3 슬릿(332)을 가동부재(31)의 제 2 슬릿(317)의 전극접촉부(311)측 가장자리에 삽입하고, 그 후, 가동부재(31)와 보조전극접촉부재(33)를 평행하게 하며, 가동부재(31)의 제 2 슬릿(317)에 보조전극접촉부재(33)의 제 3 슬릿(332)의 바닥가장자리로부터 보조전극접촉부(331)과 반대측 단부까지의 판면을 내포하면 된다.

여기서 코일 스프링(32)의 일단에 걸림고정되는 가동부재(31)의 제 1 플랜 지부(314)와 보조전극접촉부재(33)의 제 2 플랜지부(334)의 코일 스프링(32)측 끝면은 도 8에 예시한 프로브 핀(3)에서는 동일한 높이로 설정되며, 제 1 플랜지부(314)와 제 2 플랜지부(334)의 쌍방이 코일 스프링(32)의 일단에 걸림고정되어 있는데, 가동부재(31)와 보조전극접촉부재(33)는 상호 변동 불가능하게 고정되어 있으므로, 어느 한 쪽의 플랜지부가 코일 스프링(32)의 일단에 걸림고정되면 된다. 예를 들어 가동부재(31)와 보조전극접촉부재(33)의 제조상의 공차에 의해 제 1 플랜지부(314)와 제 2 플랜지부(334)에 단차가 있어도 좋다.

가동부재(31)가 구비하는 전극접촉부(311), 및 보조전극접촉부재(33)가 구비 보조전극접촉부(331)는 도 8에 예시한 프로브 핀(3)에서는 각각 V자 형상을 이루며, 거의 같은 높이로 설정된다. 여기서, 가동부재(31)와 보조전극접촉부재(33)는 서로 직교하도록 배치되어 있으므로, 도 8에 예시한 프로브 핀(3)의 전극접촉부는 각각 90도 각도로 배치된 4개의 경사면으로 형성된다. 이는 상술한 관형 몸체를 갖는 대표적인 프로브 핀의 구성에 있어서, 전극접촉부를 크라운 컷이라 불리는 입체가공한 경우에 형성되는 4개의 봉우리와 동일한 형상이 되며, 예를 들어 측정대상물인 IC에 부설되는 전극이 솔더 볼인 경우에는 솔더 볼의 위치가 어긋나더라도 복수의 경사면이 솔더 볼과 접촉하여, 프로브 핀(3)의 사용시에, IC에 부설되는 전극과 프로브 핀(3)의 전극접촉부와의 전기적 접촉이 안정적이어서 바람직하다. 일반적으로, 프로브 핀이 반복사용됨으로써 전극접촉부는 마모된다. 전극접촉부가 크라운 컷에 의해 형성된 4개의 봉우리를 구비하는 경우에는 이 봉우리 부분이 IC에 부설되는 전극과의 접촉에 의해 마모되면 전극접촉부의 접점 면적은 서서히 커지고, 일정 이상의 면적이 되면, IC에 부설되는 전극과의 전기적 접촉이 불안정해진다. 이에 반해, 도 8에 예시한 제 2 실시형태에 따른 프로브 핀(3)의 전극접촉부는 IC에 부설되는 전극과 직접 접촉하는 부분이 마모되어도, 그 부분의 면적은 판상체의 단면적을 유지할 수 있어, 전기적 접촉은 잘 불안정화되지 않는다. 따라서, 도 8에 예시한 제 2 실시형태에 따른 프로브 핀(3)은 전극접촉부의 내구성도 뛰어나다.

또한, 도 8에 예시한 프로브 핀(3)에 있어서는 가동부재(31)에서의 전극접촉부(311)로부터 제 1 플랜지부(314)에 이르는 부분의 판 폭과 보조전극접촉부재(33)에서의 보조전극접촉부(331)로부터 제 2 플랜지부(334)에 이르는 부분의 판 폭, 및 가동부재(31)에서의 제 1 플랜지부(314)의 판 폭과 보조전극접촉부재(33)에서의 제 2 플랜지부(334)의 판 폭은 각각 거의 동일한 판 폭으로 설정된다. 따라서, 프로브 핀(3)에서의 전극접촉부로부터 플랜지부에 이르는 부분의 가동방향과 직교하는 방향의 단면 형상, 및 플랜지부의 동일한 방향의 단면 형상은 각각 십자형상을 이루고 있다. 여기서, 프로브 핀(3)은 상술한 바와 같이, 사용시에는 IC 소켓의 원형의 관통공 안에 홀딩되는데, 프로브 핀(3)에서 가동부재(31)와 보조전극접촉부재(33)로 구성되는 가동부분은 그 단면 형상이 십자형상을 이루고 있기 때문에, 원형의 관통공 내에서 어느 방향으로도 경사지는 것이 억제된다. 따라서, 상기의 가동부분이 과도하게 경사져서 미끄럼 마찰 불량을 일으킬 위험성도 저감된다.

또한, 보조전극접촉부재(33)가 구비하는 제 1 돌출부(335)는 도 9에 예시한 바와 같이, 적어도 프로브 핀(3)의 사용시에, 코일 스프링(32)의 밀착 감김부(322)에 내포되도록 구성하여도 좋다. 프로브 핀(3)에서 코일 스프링(32)의 제 1 성긴 감김부(324)에 내포되는 부분의 단면 형상이 십자형상을 이루기 때문에, 코일 스프링(32)이 수축했을 때 제 1 성긴 감김부(324)가 만곡될 위험성이 저감된다.

또한, 도 8 및 도 9에 예시한 프로브 핀(3)에 있어서도, 도 5에 예시한 프로브 핀(1)과 마찬가지로, 가동부재(31)의 제 1 플랜지부(314) 근방에 그 외측면으로부터 판 폭 방향으로 돌출되는 돌기부를 형성하고, 가동부재(31)와 코일 스프링(32)이 조립된 상태에서 서로 고정할 수도 있다. 가동부재(31)와 코일 스프링(32)을 서로 고정하는 경우는 마찬가지로, 보조전극접촉부재를 코일 스프링(32)에 고정하여도 좋으며, 가동부재(31)와 보조전극접촉부재(33)는 서로 고정되어 있기 때문에, 보조전극접촉부재(33)는 코일 스프링(32)에 고정하지 않아도 좋다.

또한, 상술한 제 2 실시형태에 따른 프로브 핀(3)에 있어서, 측정대상물인 IC에 부설되는 전극이 패드 형태의 전극인 경우에는 전극접촉부(311)의 접촉부의 선단을 1점 접촉으로 하여도 좋다. 이 경우, 보조전극접촉부(331)의 접촉부는 전극접촉부(311)의 접촉부보다도 낮게 하고, IC에 부설되는 전극과는 접촉하지 않는 형상으로 하여도 좋다. 본 발명에서는 이와 같이 보조전극접촉부(331)의 접촉부가 IC에 부설되는 전극과는 접촉하지 않는 형상일지라도, 보조전극접촉부재(33)의 단부는 보조전극접촉부(331)로 구성되어 있는 것으로 하고, 프로브 핀(3)의 사용시에, 보조전극접촉부(331)의 단부가 IC에 부설되는 전극과 접촉하지 않는 것으로 간주한다.

[제 2 실시형태의 변형예]

도 10의 (a)와 (b)는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 프로브 핀(3)의 변형예를 나타내는 단면도이다. 상술한 제 2 실시형태에 따른 프로브 핀(3)에 있어서, 도 10의 (a)에 예시한 바와 같이, 가동부재(31)가 구비하는 전극접촉부(311)의 선단부는 전극접촉부(311)의 판 폭 방향으로 복수의 돌기를 가질 수도 있다. 또한, 도 10의 (b)에 예시한 바와 같이 보조전극접촉부재(33)가 구비하는 보조전극접촉부(331)의 선단부는 보조전극접촉부재(33)의 판 폭 방향으로 복수의 돌기를 가질 수도 있다. 이와 같이 복수의 돌기를 형성함으로써, 가동부재(31) 및 보조전극접촉부재(33)의 판 두께가 큰 경우에도, 돌기부의 판 폭을 판 두께보다 작게 형성할 수 있다. 그 결과, 예를 들어 측정대상물인 IC에 부설되는 전극이 솔더 볼인 경우, 돌기부의 선단이 솔더 볼의 표면에 형성된 산화피막을 뚫고 나와, IC에 부설되는 전극과 프로브 핀(3)의 전극접촉부와의 전기적 접촉이 안정화된다. 여기서, 도 10에 예시한 바와 같은 판재의 단부에서의 돌기는 판 두께의 1/2 이하의 판 폭으로 형성하는 것도 가능하다. 또한, 복수의 돌기는 도 10에 예시한 바와 같이, 전극접촉부의 외측면에 가까울수록 높게 하여도 좋고, 같은 높이로 형성하여도 좋다. 또한, 도 1에 예시한 제 1 실시형태에 따른 프로브 핀(1)에 있어서, 전극접촉부(111)의 선단부에는 전극접촉부(111)의 판 폭 방향으로 복수의 돌기가 형성되어도 좋다.

[제 3 실시형태]

본 발명의 제 3 실시형태에 따른 프로브 핀은 또 다른 판재로 이루어진 보조기판접촉부재를 구비하고, 코일 스프링의 기판접촉부는 보조기판접촉부재를 통해 측정장치의 배선기판인 검사용 기판(1000)에 접촉하도록 하여도 좋다. 또한, 제 3 실시형태에 따른 프로브 핀(4)의 구성은 제 1 실시형태에 따른 프로브 핀(1)에서 실시하여도 좋고, 제 2 실시형태에 따른 프로브 핀(3)에서 실시하여도 좋다. 이하에서는 일 예로서 제 1 실시형태에 따른 프로브 핀(1)에서 실시한 경우를 예시한다. 또한, 이하에서는 제 3 실시형태에 대해 제 1 실시형태와는 다른 부분을 설명한다. 특별한 설명이 없는 구조, 제조방법(예를 들면 전극접촉부(411)나 코일 스프링(42)의 구조) 등은 상술한 제 1 실시형태에 따른 프로브 핀(1)과 동일하기 때문에, 여기서의 설명을 생략한다.

도 11의 (a)는 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 프로브 핀(4)의, 가동부재(41)의 판상체의 판면에 평행한 면의 단면도이고, 도 11의 (b)는 가동부재(41)의 판상체의 판면에 수직인 면의 단면도이다.

본 발명의 제 3 실시형태에 따른 프로브 핀(4)은 도 11에 예시한 바와 같이, 코일 스프링(42)은 가는 직경부를 구비하지 않고, 프로브 핀(4)의 기판접촉부측에 별도의 판재로 이루어진 보조기판접촉부재(44)를 구비한다. 보조기판접촉부재(44)는 본 발명의 보조가동부재에 해당한다. 보조기판접촉부재(44)는 일측단부에 측정장치의 배선기판인 검사용 기판(1000)에 접촉하기 위한 보조기판접촉부(441)를 구비한다. 또한, 보조기판접촉부재(44)는 그 단부 근방에, 그 외측면으로부터 판 폭 방향(즉, 코일 스프링으로의 삽입 방향과 직교하는 방향)으로 돌출되는 제 3 플랜지부(444), 및 제 3 플랜지부(444)의 끝면으로부터 돌출되는 제 2 돌출부(445)를 구비한다. 제 3 플랜지부(444)는 본 발명의 제 2 걸림부에 해당한다. 제 3 플랜지부(444)는 코일 스프링(42)의 제 1 성긴 감김부(424)측 단부에 걸림고정된다. 제 2 돌출부(445)의 적어도 일부는 코일 스프링(42)의 제 3 플랜지부(444)와 접하는 측(즉, 기판접촉부측이며 제 1 성긴 감김부(424)측과는 반대측) 단부의 내경측에 삽입된다. 즉, 코일 스프링(42)은 보조기판접촉부재(44)의 제 2 돌출부(445)의 적어도 일부를 내포한다. 이러한 제 3 실시형태에 따른 프로브 핀(4)의 구성에 있어서는 코일 스프링(42)의 기판접촉부(421)는 보조기판접촉부재(44)를 통해 측정장치의 배선기판인 검사용 기판(1000)에 접촉한다.

여기서, 도 11에 예시한 프로브 핀(4)에서는 보조기판접촉부재(44)와 코일 스프링(42)은 고정되지 않고 분리가능한데, 상술한 하우징의 관통공 내에 홀딩된 경우에는 제 3 플랜지부(444)가 제 2 공내 단차부(215)에 걸림고정됨으로써, 쉽게 분리되는 일은 없다. 이와 같이 보조기판접촉부재(44)와 코일 스프링(42)을 고정하지 않는 경우에는 제 2 돌출부(445)를 형성하지 않아도 좋다. 또한, 도 5에 예시한 프로브 핀(1)에 있어 가동부재(11)와 코일 스프링(12)을 고정한 것과 마찬가지로, 보조기판접촉부재(44)의 제 3 플랜지부(444) 근방에 그 외측면으로부터 판 폭 방향으로 돌출되는 돌기부를 형성하고, 이 돌기부를 코일 스프링(42)의 기판접촉부(421)측 단부에 압입함으로써, 보조기판접촉부재(44)와 코일 스프링(42)이 조립된 상태에서 서로 고정하여도 좋다. 또한, 보조기판접촉부재(44)는 코일 스프링(42)의 기판접촉부(421)와 측정장치의 배선기판인 검사용 기판(1000)을 도통시키는 도전체라면 형상은 임의이며, 원통체이어도 좋다.

도 11에 예시한 프로브 핀(4)에 있어서는 프로브 핀(4)이 조립된 상태(즉, 코일 스프링(42)이 압축되지 않은 상태)에서 제 1 아암부(416)의 단부 근방의 외측면이 코일 스프링(42)의 밀착 감김 부분의 내측면에 접촉하고 있는데, 프로브 핀(4)이 조립된 상태에서는 제 1 아암부(416)의 단부 근방의 외측면은 코일 스프링(42)의 밀착 감김부(422)에는 이르지 않고, IC를 검사하고 있는 상태(코일 스프링(12)이 압축되어 제 1 아암부(416)가 코일 스프링(42)의 밀착 감김부(422)측으로 압입된 상태)에서 코일 스프링(42)의 밀착 감김부(422)의 내측면에 접촉하도록 설계하여도 좋다. 이러한 구성에 의해, 프로브 핀(4)의 전체길이를 짧게 할 수 있다.

[제 3 실시형태의 변형예]

도 12의 (a)와 (b)는 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 프로브 핀(4)의 변형예를 나타내는 단면도이다. 상술한 제 3 실시형태에 따른 프로브 핀(4)에서는 제 1 성긴 감김부(424)의 외경은 밀착 감김부(422)의 외경과 동일하게 하였지만, 도 12에 예시한 변형예와 같이, 제 1 성긴 감김부(424)의 외경을 밀착 감김부(422)의 외경보다 크게 하여도 좋다. 도 12에 나타낸 바와 같이, 가동부재(41)의 제 1 아암부(416) 근원부분에서의 외측면 거리는 코일 스프링(42)의 밀착 감김부(422)의 내경보다도 작게 형성된다. 2개의 제 1 아암부(416)가 탄성변형되어 코일 스프링(42)의 내경측으로 삽입되어, 제 1 아암부(416)의 단부 근방의 외측면과 코일 스프링(42)의 밀착 감김부(422)의 내측면이 접촉한 상태에서, 2개의 제 1 아암부(416)는 해당 단부 근방 이외의 부위에서 코일 스프링(42)의 내측면과 접촉하지 않도록 구성된다.

여기서, 도 12에 예시한 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 프로브 핀(4)의 변형예에서는 제 1 아암부(416)의 2개의 단부 근방의 외측면 거리를 적어도 코일 스프링(42)의 밀착 감김부(422)의 내경보다 크게 형성하고, 제 1 성긴 감김부(424)의 내경보다 작게 하여도 좋다. 제 1 아암부(416)의 2개의 단부 근방의 외측면 거리가 제 1 성긴 감김부(424)의 내경보다 작음으로써, 제 1 아암부(416)를 코일 스프링(42)의 제 1 성긴 감김부(424)측 단부로부터 코일 스프링(42)의 내경측으로 삽입할 때, 제 1 아암부(416)가 제 1 성긴 감김부(424)와 잘 간섭되지 않아, 조립이 용이해진다.

이와 같이 구성된 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 프로브 핀(4)의 변형예는 코일 스프링(42)의 제 1 성긴 감김부(424)와 밀착 감김부(422)와의 단차부가 상술한 하우징의 관통공의 제 2 공내 단차부(215)와 걸림고정되는 부위가 되기 때문에, 더욱 프로브 핀(4)의 전체 길이를 짧게 할 수 있다.

이상에서 설명한 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 프로브 핀(4)은 보조기판접촉부재(44)의 형상이 임의이며, 예를 들어 검사용 기판(1000)이 구비하는 전극이 작은 경우에는 보조기판접촉부를 작게 형성함으로써, 검사용 기판(1000)과의 전기적 접촉을 안정화하는 것이 가능해진다.

[제 4 실시형태]

본 발명의 제 4 실시형태에 따른 프로브 핀(5)은 가동부재(51), 코일 스프링(52) 및 전극접촉부재(55)로 구성된다. 프로브 핀(5)은 제 3 실시형태에 따른 프로브 핀(4)과 유사한 구성을 갖는데, 가동부재(51)가 IC에 부설되는 전극이 아니라 검사용 기판(1000)과 접촉한다. 제 4 실시형태에 따른 프로브 핀(5)은 특별한 설명이 없는 구조, 제조방법 등은 상술한 제 1 내지 제 3 실시형태에 따른 프로브 핀과 동일하므로, 여기에서의 설명을 생략한다.

도 13의 (a)는 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 프로브 핀(5)의, 가동부재(51)의 판상체의 판면에 평행한 면의 단면도이고, 도 13의 (b)는 가동부재(51)의 판상체의 판면에 수직인 면의 단면도이다.

가동부재(51)는 제 1 실시형태의 가동부재(11)와 마찬가지로, 판 두께가 거의 균일한 판상체로 이루어진다. 가동부재(51)는 일측단부에 측정장치의 배선기판인 검사용 기판(1000)과 접촉하기 위한 보조기판접촉부(511)를 구비한다. 또한, 가동부재(51)는 보조기판접촉부(511)의 근방에, 그 외측면으로부터 판 폭 방향으로 돌출되는 제 1 플랜지부(514)를 구비한다. 또한, 가동부재(51)는 타측 단부에 그 선단을 개구로 하는 제 1 슬릿(512)이 형성된 제 1 아암부(516)를 구비한다. 제 1 플랜지부(514)의 끝면과 제 1 아암부(516)와의 사이에는 제 1 연신부(519)가 마련된다. 제 1 연신부(519)에는 슬릿이 형성되어 있지 않으며, 코일 스프링(52)의 내경보다도 약간 작은 판 폭을 가지고 있다.

여기에서, 제 1 아암부(516)는 제 1 실시형태의 제 1 아암부(116)와 마찬가지로, 판재를 에칭 가공 또는 프레스 가공하여 얻어지는 가동부재(51), 혹은 MEMS 기술에 의해 제조하여 얻어지는 가동부재(51)의 초기 형상은 제 1 슬릿(512)의 개구부 근방에서의 2개의 제 1 아암부(516)에 의해 형성되는 가동부재(51)의 판 폭이 코일 스프링(52)의 내경보다도 약간 크게 형성된다. 즉, 가동부재(51)가 탄성변형되지 않은 상태에서, 제 1 아암부(516)의 2개의 단부 근방의 외측면 거리는 코일 스프링(52)의 내경보다도 약간 크게 형성된다.

가동부재(51)의 재질은 에칭 가공 또는 프레스 가공에 의해 제조하는 경우에는 인청동 및 베릴륨 동 등의 동 합금, 혹은 스테인리스강 등이 상정되며, 모두 어느 정도의 탄성을 가진다. 또한, MEMS 기술에 의해 제조하는 경우에는 재질은 실리콘이 되는데, 실리콘도 약간의 탄성을 가진다. 이러한 재질을 선택함으로써, 제 1 슬릿(512)은 제 1 아암부(516)의 탄성 범위에서 개폐할 수 있다.

코일 스프링(52)은 일측 단부 근방에 일정 길이의 밀착 감김부(522)가 형성된다. 밀착 감김부(522)는 코일 스프링(52)을 형성하는 선재가 간격을 두지 않고 서로 밀착되게 감겨진 부분이다. 또한, 코일 스프링(52)은 타측 단부 근방에 일정 길이의 제 1 성긴 감김부(524)가 형성된다. 제 1 성긴 감김부(524)는 코일 스프링(52)을 형성하는 선재가, 해당 코일 스프링(52)을 압축가능하도록 간격을 두고 감겨진 부분이다.

전극접촉부재(55)는 판 두께가 거의 균일한 판상체의 도전체로 이루어진다. 전극접촉부재(5)는 본 발명의 보조가동부재에 해당한다. 전극접촉부재(55)는 일측 단부에, 측정대상물인 IC에 부설되는 전극과 접촉하기 위한 전극접촉부(551)를 구비한다. 또한, 전극접촉부재(55)는 그 단부 근방에 그 외측면으로부터 판 폭 방향으로 돌출되는 제 3 플랜지부(554), 및 제 3 플랜지부(554)의 끝면으로부터 돌출되는 제 2 돌출부(555)를 구비한다. 제 3 플랜지부(444)는 본 발명의 제 2 걸림부에 해당한다. 제 3 플랜지부(554)는 코일 스프링(52)의 제 1 성긴 감김부(524)측 단부에 걸림고정된다. 제 2 돌출부(555)의 적어도 일부는 코일 스프링(52)의 제 3 플랜지부(554)와 접하는 측(즉, 제 1 성긴 감김부(524)측과는 반대측) 단부의 내경측으로 삽입된다. 즉, 코일 스프링(52)은 전극접촉부재(55)의 제 2 돌출부(555)의 적어도 일부를 내포한다.

이렇게 배치, 조립된 프로브 핀(5)에 있어서는 가동부재(51)가 구비하는 2개의 제 1 아암부(516)에서의 단부 근방의 외측면(외주측의 판 두께면)과 코일 스프링(52)의 밀착 감김 부분의 내측면이 미끄럼 접촉 구조를 구성한다. 이 미끄럼 접촉 구조에 의해, 가동부재(51)와 코일 스프링(52)은 전기적 접촉을 유지하면서 상대위치를 변동하는 것이 가능하게 된다. 여기서, 제 1 아암부(516)의 초기 형상은 2개의 단부 근방의 외측면 거리가 코일 스프링(52)의 내경보다 약간 크게 형성되어 있으므로, 제 1 아암부(516)의 탄성에 의해 2개의 접촉부에는 약간의 접촉 압력이 가해져, 안정된 전기적 접촉을 유지하면서 상대위치를 변동하는 것이 가능하게 된다. 또한, 제 1 아암부(516)는 프로브 핀(5)의 사용시(코일 스프링이 압축되었을 때)에 선단이 전극접촉부재(55)와 접촉하지 않는 길이로 형성된다.

가동부재(51)와 코일 스프링(52)은 가동부재(51)의 제 1 아암부(516)를 제 1 아암부(516)의 판 폭 방향으로 탄성변형시키고, 제 1 슬릿(512)을 약간 폐색하면서, 가동부재(51)를 제 1 슬릿(512)측 단부로부터 코일 스프링(52)의 제 1 성긴 감김부(524)측 단부의 내경으로 삽입하여, 가동부재(51)의 제 1 슬릿(512)측 단부로부터 제 1 플랜지부(514)에 이르는 부분이 코일 스프링(52)에 내포되도록 조립된다.

가동부재(51)와 코일 스프링(52)은 고정되지 않고 분리가능한데, 하우징의 관통공 내에 홀딩된 경우에는 제 1 플랜지부(514)가 제 2 공내 단차부(215)에 걸림고정됨으로써 쉽게 분리되는 일은 없다. 마찬가지로, 전극접촉부재(55)와 코일 스프링(52)에 관해서도, 고정되지 않고 분리가능한데, 하우징의 관통공 내에 홀딩된 경우에는 제 3 플랜지부(554)가 제 1 공내 단차부(214)에 걸림고정됨으로써, 쉽게 분리되는 일은 없다. 이와 같이 전극접촉부재(55)와 코일 스프링(52)을 고정하지 않는 경우에는 제 2 돌출부(555)을 마련하지 않아도 된다.

또한, 제 4 실시형태에 따른 프로브 핀(5)은 가동부재(51)와 코일 스프링(52)이 조립된 상태에서 서로 고정하여 쉽게 분리되지 않는 구성으로 하여도 좋다. 구체적으로는, 도 5에 예시한 프로브 핀(1)에 있어 가동부재(11)와 코일 스프링(12)을 고정한 것과 마찬가지로, 가동부재(51)의 제 1 플랜지부(514) 근방에 그 외측면으로부터 판 폭 방향으로 돌출되는 돌기부(515)를 마련하고, 돌기부(515)를 코일 스프링(52)의 일단에 압입하면 된다. 이와 같이 가동부재(51)와 코일 스프링(52)을 상호 고정하는 경우에는 제 1 플랜지부(514)는 없어도 된다. 이 경우, 하우징의 관통공의 제 2 공내 단차부(215)와 걸림되는 부분은 코일 스프링(52)의 끝면이 된다.

또한, 도 5에 예시한 프로브 핀(1)에 있어 가동부재(11)와 코일 스프링(12)을 고정한 것과 마찬가지로, 전극접촉부재(55)의 제 3 플랜지부(554) 근방에 그 외측면에서부터 판 폭 방향으로 돌출되는 돌기부를 마련하고, 이 돌기부를 코일 스프링(52)의 밀착 감김부측 단부에 압입함으로써, 전극접촉부재(55)와 코일 스프링(52)이 조립된 상태에서 서로 고정하여도 좋다.

[제 4 실시형태의 변형예]

상기 제 4 실시형태에서는 전극접촉부재(55)가 판상체라고 했지만, 코일 스프링(52)의 기판접촉부(521)와 측정대상물인 IC에 부설되는 전극을 도통시키는 도전체이면 형상은 임의이며, 예를 들어 원통체 등의 입체형상이어도 좋다. 전극접촉부재(55)를 원통체로 하는 경우, 그 일단에 마련하는 전극접촉부(551)를 크라운 컷 등의 입체형상으로 하면 좋다. 이렇게 하면, IC에 부설되는 전극의 전기적 접촉을 확실한 것으로 할 수 있다.

여기서 전극접촉부재(55)를 원통체로 하는 경우에는, 전극접촉부재(55)는 절삭 가공에 의해 제조되는 것이 상정되며, 일반적으로 제 2 돌출부(555)도 원통형으로 가공된다. 따라서, 전극접촉부재(55)와 코일 스프링(52)을 압입고정하는 경우에는 제 2 돌출부(555)의 외주면으로부터 코일 스프링(52)으로의 삽입 방향과 직교하는 방향으로, 링 형상의 돌기부를 마련하면 좋다. 이와 같이 전극접촉부재(55)와 코일 스프링(52)을 상호 고정하는 경우에는 제 3 플랜지부(554)는 없어도 된다. 이 경우, 하우징의 관통공의 제 1 공내 단차부(214)와 걸림되는 부분은 코일 스프링(52)의 끝면이 된다.

그러나, 코일 스프링(52)은 탄성체이지만, 그 재질은 강체이며, 코일 스프링(52)의 내경은 극히 소량 밖에 확장되지 않는다. 따라서, 코일 스프링(52)에 링 형상의 돌기부를 압입고정하는 경우에는 코일 스프링(52)의 내경과 링 형상의 돌기부의 외경을 제조상 정밀하게 관리할 필요가 있으며, 불량 발생의 원인이 될 우려가 있다. 그와 같은 우려가 있는 경우, 도 14에 나타낸 바와 같이, 전극접촉부재 (55)의 제 2 돌출부(555)의 형상을 판상으로 하면 된다.

도 14의 (a)는 본 발명의 제 4 실시형태의 변형예에 따른 프로브 핀(5), 코일 스프링(52)의 초기 형상의 단면도이고, 도 14의 (b)는 가동부재(51)의 판상체의 판면에 평행한 면의 단면도이고, 도 14의 (c)는 가동부재(51)의 판상체의 판면에 수직인 면의 단면도이고, 도 14의 (d)는 코일 스프링(52)과 전극접촉부재(55)의 압입부 삽입 방향과 직교하는 면의 단면도이다.

도 14의 (b) 및 (c)에 나타낸 바와 같이, 전극접촉부재(55)의 제 2 돌출부(555)의 형상을 판상으로 하면, 도 14의 (d)에 나타낸 바와 같이, 코일 스프링(52)의 압입부에서의 직경 방향의 단면 형상이 타원형으로 탄성변형되고, 탄성반발력에 의해, 코일 스프링(52)과 전극접촉부재 (55)의 제 2 돌출부(555)는 압입고정된다. 또한, 코일 스프링(52)의 직경 방향의 단면 형상이 타원형으로 탄성변형될 때에, 일정량는 탄성 한계를 넘어 소성변형되어도 좋다. 약간의 탄성 반발력이 있으면, 코일 스프링(52)과 전극접촉부재(55)는 쉽게 분리될 우려는 없다. 또한, 제 2 돌출부(555)의 판면에 수직인 측면에는 도 14의 (c)에 나타낸 바와 같이 약간의 테이퍼를 마련하면 더욱 좋다. 코일 스프링(52)과 전극접촉부재(55)가 분리될 우려가 더욱 저감된다.

여기서 전극접촉부재(55)의 제 2 돌출부(555)의 형상을 판상으로 가공하는 방법은 절삭 가공에 의해 원통형으로 가공한 뒤, 측면의 일부를 절삭(일반적으로 D 커팅라고 불리움)하여도 좋고, 원통형으로 가공한 뒤, 프레스 가공 등에 의해 판상으로 소성변형시켜도 좋다. 소성변형시키는 경우에는 판상으로 가공된 후의 제 2 돌출부(555)의 판 폭은 가공 전의 직경보다 커지므로, 가공 전의 직경을 일정량 작게 해 두는 것이 바람직하다.

또한, 도 14의 (d)에 나타낸 바와 같이, 코일 스프링(52)의 압입부에서의 직경 방향의 단면 형상이 타원형으로 탄성변형되면, 타원형의 긴 쪽의 직경은 탄성변형되기 전의 직경보다 커진다. 이때, 타원형의 긴 쪽 직경은 코일 스프링(52)의 다른 부분의 외경보다 커지지 않는 것이 바람직하다. 따라서, 도 14의 (a)에 나타낸 바와 같이, 코일 스프링(52)의 초기 형상에 있어, 압입부가 되는 전극접촉부재(55)측의 단부 근방의 외경을 약간 작게 형성해 두는 것이 바람직하다.

또한, 도 13 및 도 14에 예시한 프로브 핀(5)에서는 프로브 핀(5)이 조립된 상태에서 제 1 아암부(516)의 단부 근방의 외측면이 코일 스프링(52)의 밀착 감김부(522)의 내측면에 접촉하고 있는데, 프로브 핀(5)이 조립된 상태에서 제 1 아암부(516)의 단부 근방의 외측면은 코일 스프링(52)의 밀착 감김부(522)에는 이르지 않고, 코일 스프링(52)이 압축되어 제 1 아암부(516)가 코일 스프링(52)의 밀착 감김부(522)측에 압입된 상태에서 코일 스프링(52)의 밀착 감김부(522)의 내측면에 접촉하도록 하여도 좋다.

또한, 상기의 제 4 실시형태 및 제 4 실시형태의 변형예에서는 제 1 성긴 감김부(524)의 외경은 밀착 감김부(522)의 외경과 동일하게 하였는데, 제 1 성긴 감김부(524)의 외경을 밀착 감김부(522)의 외경보다 크게 하여도 좋다. 이 경우, 제 1 아암부(516)의 2개의 단부 근방의 외측면 거리를 적어도 코일 스프링(52)의 밀착 감김부(522)의 내경보다 크게 형성하고, 제 1 성긴 감김부(524)의 내경보다 작게 하여도 좋다. 제 1 아암부(516)의 2개의 단부 근방의 외측면 거리가 제 1 성긴 감김부(524)의 내경보다 작음으로써, 제 1 아암부(516)를 코일 스프링(52)의 제 1 성긴 감김부(524)측 단부로부터 코일 스프링(52)의 내경측으로 삽입할 때에, 제 1 아암부(516)가 제 1 성긴 감김부(524)와 잘 간섭되지 않아, 조립이 용이해진다.

[제 5 실시형태]

본 발명의 제 5 실시형태에 따른 프로브 핀(6)은 가동부재(61), 코일 스프링(62) 및 보조가동부재(66)로 구성된다. 도 15의 (a)는 프로브 핀(6)의, 가동부재(61)의 판상체의 판면에 평행한 면의 단면도이고, 도 15의 (b)는 가동부재(61)의 판상체의 판면에 수직인 면의 단면도이다. 제 5 실시형태에 따른 프로브 핀(6)은 특별한 설명이 없는 구조, 제조 방법 등은 상술한 제 1 내지 제 4 실시형태에 따른 프로브 핀과 동일하므로, 여기에서의 설명을 생략한다.

가동부재(61)는 제 3 실시형태의 가동부재(41)와 마찬가지로, 전극접촉부(611), 제 1 슬릿(612), 제 1 플랜지부(614), 제 1 아암부(616), 제 1 연장부(619) 등을 구비하여 구성된다. 보조가동부재(66)는 제 4 실시형태의 가동부재(51)와 공통하는 구조를 가지며, 보조기판접촉부(661), 제 1 슬릿(512)과 동일한 구조의 제 4 슬릿(662), 제 1 플랜지부(514)와 동일한 구조의 제 4 플랜지부(664), 제 1 아암부(516)와 공통하는 구조를 갖는 제 4 아암부(666), 제 1 연신부(519)와 동일한 구조의 제 2 연신부(669) 등을 구비하여 구성된다. 또한, 도 15에 도시된 프로브 핀(6)에서는 보조가동부재(66)의 구조는 제 4 실시형태의 가동부재(51)의 구조와 동일하고, 제 4 아암부(666)의 구조는 제 1 아암부(516)의 구조와 동일하다.

본 실시형태의 코일 스프링(62)은 일측 단부 근방에 선재가 간격을 두고 압축가능하게 감겨진 제 1 성긴 감김부(624)를 구비한다. 또한, 타측 단부 근방에 제 1 성긴 감김부(624)와 마찬가지로, 선재가 간격을 두고 압축가능하게 감겨진 제 2 성긴 감김부(626)을 구비하며, 제 1 성긴 감김부(624)와 제 2 성긴 감김부(626)와의 사이에 선재가 간격을 두지 않고 밀착되게 감겨진 밀착 감김부(622)를 구비한다. 즉, 코일 스프링(62)은 제 3 실시형태의 코일 스프링(42)과 제 4 실시형태의 코일 스프링(52)을, 양자의 밀착 감김부(422, 522)측의 끝면에서 접속한 구조를 하고 있다.

가동부재(61)와 코일 스프링(62)은 가동부재(61)의 제 1 아암부(616)를 판 폭 방향으로 탄성변형시키고, 제 1 슬릿 (612)을 약간 폐색하면서, 가동부재(61)를 제 1 슬릿(612)측 단부로부터 코일 스프링(62)의 제 1 성긴 감김부(624)측 단부의 내경으로 삽입함으로써, 가동부재(61)의 제 1 슬릿(612)측 단부로부터 제 1 플랜지부(614)에 이르는 부분이 코일 스프링(62)에 내포되도록 조립된다.

마찬가지로, 보조가동부재(66)와 코일 스프링(62)은 보조가동부재(66)의 제 4 아암부(666)를 판 폭 방향으로 탄성변형시키고, 제 4 슬릿(662)을 약간 폐색하면서, 보조가동부재(66)를 제 4 슬릿(662)측 단부로부터 코일 스프링(62)의 제 2 성긴 감김부(626)측 단부의 내경으로 삽입하여, 보조가동부재(66)의 제 4 슬릿(662)측 단부로부터 제 4 플랜지부(664)에 이르는 부분이 코일 스프링(62)에 내포되도록 조립된다.

가동부재(61) 및 보조가동부재(66)와 코일 스프링(62)은 고정되지 않고 분리가능한데, 하우징의 관통공 내에 홀딩된 경우에는 제 1 플랜지부(614)가 제 1 공내 단차부(214)에 걸림고정되고, 제 4 플랜지부(664)가 제 2 공내 단차부(215)에 걸림고정됨으로써 쉽게 분리되는 일은 없다. 또한, 다른 실시형태와 마찬가지로, 가동부재(61) 및 보조가동부재(66)를 코일 스프링(62)에 고정하여도 좋다.

[제 6 실시형태]

본 발명의 제 6 실시형태에 따른 프로브 핀(7)은 가동부재(71) 및 코일 스프링(72)으로 구성된다. 본 실시형태의 프로브 핀(7)의 특징은 제 1 실시형태의 프로브 핀에 있어 코일 스프링(12)의 밀착 감김부의 외경이 제 1 성긴 감김부의 외경과 거의 동일하게 형성되는 것에 반해, 코일 스프링(72)의 밀착 감김부의 외경이 제 1 성긴 감김부의 외경보다도 작게 형성된 점에 있다. 이하에서는 특별한 설명이 없는 구조, 제조방법 등은 상술한 제 1 내지 제 3 실시형태에 따른 프로브 핀과 동일하므로, 여기에서의 설명을 생략한다.

도 16의 (a)는 본 발명의 제 6 실시형태에 따른 프로브 핀(7)의, 가동부재(71)의 판상체의 판면에 평행한 면의 단면도이고, 도 16의 (b)는 가동부재(71)의 판상체의 판면에 수직인 면의 단면도이다.

가동부재(71)는 제 1 실시형태의 가동부재(11)와 마찬가지로, 판 두께가 거의 균일한 판상체로 이루어진다. 가동부재(71)는 일측 단부에 측정대상물인 IC에 부설되는 전극에 접촉하기 위한 전극접촉부(711)를 구비한다. 또한, 가동부재(71)는 전극접촉부(711) 근방에, 그 외측면으로부터 판 폭 방향으로 돌출되는 제 1 플랜지부(714)를 구비한다.

제 1 플랜지부(714)의 끝면으로부터 전극접촉부(711)와 반대 방향으로 제 1 연신부(719)가 돌출되는 형태로 마련된다. 제 1 연신부(719)에는 슬릿이 형성되어 있지 않고, 코일 스프링(72)이 갖는 제 1 성긴 감김부(724)의 내경보다도 약간 작은 판 폭을 가지고 있다. 제 1 연신부(719)의 판 폭은 밀착 감김부의 내경보다도 크게 형성되는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 제 1 연신부(719)가 밀착 감김부(722)에 파고들 수 없기 때문에, 제 1 연신부(719)의 선단(제 1 플랜지부(714)와는 반대측 단부)을 스토퍼로서 기능하게 하여, 가동부재(71)의 가동범위를 제한할 수 있다. 제 1 연신부(719)의 선단에는 2개의 제 1 아암부(716)가 돌출형성된다. 2개의 제 1 아암부(716)의 선단은 폐색되지 않고 개구가 되며, 2개의 제 1 아암부(716) 사이에 제 1 슬릿(712)이 형성된다.

여기서 제 1 아암부(716)는 판재를 에칭 가공 또는 프레스 가공하여 얻어지는 가동부재(71), 혹은 MEMS 기술에 의해 제조하여 얻어지는 가동부재(71)의 초기 형상은 제 1 슬릿(712)의 개구부 근방에서의 2개의 제 1 아암부(716)에 의해 형성되는 가동부재(71)의 판 폭이, 코일 스프링(72)의 밀착 감김부(722)의 내경보다도 약간 크게 형성된다. 즉, 가동부재(71)의 제 1 아암부(716)가 탄성변형되지 않은 상태에서, 제 1 아암부(716)의 2개의 단부 근방의 외측면 거리는 코일 스프링(72)의 밀착 감김부(722)의 내경보다도 약간 크게 형성된다.

가동부재(71)의 재질은 에칭 가공 또는 프레스 가공에 의해 제조하는 경우에는 인청동 및 베릴륨 동 등의 동 합금, 혹은 스테인리스강 등이 상정되며, 모두 어느 정도의 탄성을 가진다. 또한, MEMS 기술에 의해 제조하는 경우에는 재질은 실리콘이 되는데, 실리콘도 약간의 탄성을 가진다. 이러한 재질을 선택함으로써, 제 1 슬릿(712)은 제 1 아암부(716)의 탄성 범위에서 개폐할 수 있다.

본 실시형태의 코일 스프링(72)은 일측 단부 근방에 일정 길이의 밀착 감김부(722)가 형성된다. 밀착 감김부(722)는 코일 스프링(72)을 형성하는 선재가 간격을 두지 않고 밀착되게 감겨진 부분이다. 또한, 코일 스프링(72)은 타측 단부 근방에 일정 길이의 제 1 성긴 감김부(724)가 형성된다. 제 1 성긴 감김부(724)는 코일 스프링(72)을 형성하는 선재가, 해당 코일 스프링(72)을 압축가능하도록 간격을 두고 감겨진 부분이다. 밀착 감김부(722)의 외경은 제 1 성긴 감김부(724)의 외경보다도 작게 형성된다. 코일 스프링(72)은 직경이 대략 일정한 선재를 감아 형성되어 있기 때문에, 외경과 마차가지로, 밀착 감김부(722)의 내경은 제 1 성긴 감김부(724)의 내경보다도 작게 형성된다.

상술한 바와 같이, 가동부재(71)의 제 1 아암부(716)가 탄성변형되지 않은 상태에서, 제 1 아암부(716)의 2개의 단부 근방의 외측면 거리는 코일 스프링(72)의 밀착 감김부(722)의 내경보다도 약간 크게 형성되는데, 제 1 성긴 감김부(724)의 내경보다는 작게 형성된다. 이렇게 함으로써, 조립시에 제 1 아암부(716)가 제 1 성긴 감김부(724)와 잘 간섭되지 않아 조립을 용이하게 할 수 있다.

가동부재(71)와 코일 스프링(72)은 가동부재(71)의 제 1 아암부(716)를 제 1 아암부(716)의 판 폭 방향으로 탄성변형시키고, 제 1 슬릿(712)을 약간 폐색하면서, 가동부재(71)를 제 1 슬릿(712)측 단부로부터 코일 스프링(72)의 제 1 성긴 감김부(724)측 단부의 내경으로 삽입하여, 가동부재(71)의 제 1 슬릿(712)측 단부로부터 제 1 플랜지부(714)에 이르는 부분이 코일 스프링(72)에 내포되도록 조립된다.

가동부재(71)와 코일 스프링(72)은 고정되지 않고 분리가능한데, 하우징의 관통공 내에 홀딩된 경우에는 제 1 플랜지부(714)가 제 2 공내 단차부(715)에 걸림고정됨으로써 쉽게 분리되는 일은 없다.

[제 6 실시형태의 변형예]

상기의 제 6 실시형태에서는 코일 스프링(72)의 밀착 감김부(722)는 대략 일정한 직경으로 하였는데, 밀착 감김부(722)는 제 1 아암부(716)와 미끄럼 마찰되는 부분보다도 축소된 가는 직경부(723)를 구비하여도 좋다. 가는 직경부(723)는 밀착 감김부(722)에서의 제 1 성긴 감김부(724)과는 반대측의 단부 근방에 마련된다. 가는 직경부(723)는 제 1 성긴 감김부(724)와는 반대측의 단부에, 측정장치의 배선기판과 접촉하기 위한 기판접촉부(721)를 갖는다. 이와 같이 밀착 감김부(722)의 단부에 가는 직경부(723)를 구비함으로써, 밀착 감김부(722)의 직경이 축소되는 단차부가 형성된다. IC 소켓(2)의 하우징(21)의 관통공(210) 내에 프로브 핀(7)이 배치될 때, 이 단차부가 공내 단차부와 걸림고정되어 관통공(210)에 홀딩되도록 구성할 수 있다.

이상 설명한 각 실시형태 및 그 변형예는 본 발명의 이해를 쉽게 하기 위해서 기재된 것으로, 본 발명을 한정하기 위해 기재된 것은 아니다. 따라서, 상기 실시형태에 개시된 각 요소는 본 발명의 기술적 범위에 속하는 모든 설계 변경이나 균등물도 포함하는 취지이다.

예를 들어, 본 발명에 따른 프로브 핀의 검사대상은 IC가 아니라, IC의 내부기판(substrate)이어도 좋다.

1, 3, 4, 5, 6, 7 : 프로브 핀
11, 31, 41, 51, 61, 71 : 가동부재
66 : 보조가동부재
111, 311, 411, 551, 611, 711 : 전극접촉부
112, 312, 412, 512, 612, 712 : 제 1 슬릿
114, 314, 414, 515 : 제 1 플랜지부
115 : 돌기부
116, 416, 516, 616, 716 : 제 1 아암부
119, 419, 519, 619, 719 : 제 1 연신부
12, 32, 42, 52, 62, 72 : 코일 스프링
121, 321, 421, 521, 721 : 기판접촉부
122, 322, 422, 522, 622, 722 : 밀착 감김부
123, 323, 723 : 가는 직경부
124, 324, 424, 524, 624, 724 : 제 1 성긴 감김부
626 : 제 2 성긴 감김부
125 : 단차부
2 : IC 소켓
21 : 하우징
210 : 관통공
211 : 제 1 개구부
212 : 제 2개구부
213 : 중공부
214 : 제 1 공(孔)내 단차부
215 : 제 2 공(孔)내 단차부
317 : 제 2 슬릿
318 : 제 2 아암부
33 : 보조전극접촉부재
331 : 보조전극접촉부
332 : 제 3 슬릿
333 : 제 3 아암부
334 : 제 2 플랜지부
335 : 제 1 돌출부
44 : 보조기판접촉부재
55 : 전극접촉부재
441, 511, 661 : 보조기판접촉부
662 : 제 4 슬릿
666 : 제 4 아암부
669 : 제 2 연신부
444, 554 : 제 3 플랜지부
445, 555 : 제 2 돌출부
1000 : 검사용 기판
2000 : IC

Claims

측정대상물에 부설되는 전극인 측정대상전극과 접촉하기 위한 전극접촉부 및 측정장치의 배선기판과 접촉하기 위한 보조기판접촉부 중 한 쪽을 일단에 갖는 가동부재와,
상기 전극접촉부 및 상기 보조기판접촉부 중 다른 쪽을 일단에 갖는 보조가동부재와,
일단의 근방에 선재가 간격을 두고 압축가능하게 감겨진 제 1 성긴 감김부를 가지며, 상기 제 1 성긴 감김부에 인접하여 선재가 간격을 두지 않고 서로 밀착되게 감긴 밀착 감김부를 갖는 코일 스프링을 구비하는 프로브 핀으로서,
상기 가동부재는
타단이 개구되어 있는 제 1 슬릿을 사이에 두고 서로 마주보고, 해당 제 1 슬릿을 좁히는 방향으로 탄성변형가능한 2개의 제 1 아암부를 갖는 판상체이며,
상기 제 1 아암부가 탄성변형되지 않은 상태에서, 상기 제 1 아암부의 2개의 단부 근방의 외측면 거리는 상기 코일 스프링의 상기 밀착 감김부의 내경보다도 크게 형성되고,
상기 일단 근방에, 상기 코일 스프링의 상기 제 1 성긴 감김부측 단부에 걸림고정되는 제 1 걸림부를 구비하며,
2개의 상기 제 1 아암부가, 상기 제 1 슬릿을 좁히는 방향으로 탄성변형된 상태에서, 상기 코일 스프링의 상기 제 1 성긴 감김부측 단부로부터 상기 코일 스프링의 내경측으로, 상기 가동부재의 상기 제 1 걸림부가 상기 코일 스프링의 상기 제 1 성긴 감김부측 단부에 걸림고정될 때까지 삽입되고,
상기 보조가동부재는 상기 코일 스프링의 상기 제 1 성긴 감김부측과는 반대측 단부에 걸림고정되고,
상기 제 1 아암부의 단부 근방의 외측면과 상기 코일 스프링의 내측면은 전기적 접촉을 유지하면서 상대 위치를 변동하는 것이 가능하게 되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 아암부의 근원 부분의 판 폭은 판 두께와 같은 정도에서부터 판 두께의 1/2의 범위로 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 아암부의 외측면에 완만한 원호형상의 돌출부를 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 1 항에 있어서,
상기 가동부재는 상기 제 1 걸림부의 근방에, 그 외측면으로부터 판 폭 방향으로 돌출되는 돌기부를 구비하고, 해당 돌기부를 코일 스프링의 상기 제 1 성긴 감김부측 단부에 압입함으로써, 상기 코일 스프링에 고정되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 1 항에 있어서,
상기 가동부재 및 상기 코일 스프링은 상기 가동부재의 상기 제 1 아암부를 그 판 폭 방향으로 탄성변형시키고, 상기 제 1 슬릿을 폐색하면서, 상기 가동부재를 상기 제 1 슬릿측 단부로부터 상기 코일 스프링의 제 1 성긴 감김부측 단부의 내경으로 삽입하여, 상기 가동부재의 상기 제 1 슬릿측 단부로부터 상기 제 1 걸림부에 이르는 부분이 상기 코일 스프링에 내포되도록 조립되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 1 항에 있어서,
상기 보조가동부재는 코일 스프링으로의 삽입 방향과 직교하는 방향으로 돌출되며, 상기 코일 스프링의 상기 제 1 성긴 감김부측과는 반대측 단부에 걸림고정되는 제 2 걸림부를 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 6 항에 있어서,
상기 보조가동부재는 상기 제 2 걸림부의 끝면으로부터 돌출되는 돌출부를 구비하고, 해당 돌출부의 적어도 일부는 상기 코일 스프링의 상기 제 1 성긴 감김부측과는 반대쪽 단부의 내경측으로 삽입되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,
상기 보조가동부재는 상기 제 2 걸림부의 근방에, 코일 스프링으로의 삽입 방향과 직교하는 방향으로 돌출되는 돌기부를 구비하고, 해당 돌기부를 상기 코일 스프링의 상기 제 1 성긴 감김부측과는 반대측 단부에 압입함으로써, 상기 보조가동부재와 상기 코일 스프링이 조립된 상태에서 상호 고정하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 1 항에 있어서,
상기 코일 스프링은 상기 밀착 감김부의 외경이 상기 제 1 성긴 감김부의 외경과 거의 동일하게 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 1 항에 있어서,
상기 코일 스프링은 상기 밀착 감김부의 외경이 상기 제 1 성긴 감김부의 외경보다도 작게 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 10 항에 있어서,
상기 제 1 아암부가 탄성변형되지 않은 상태에서, 상기 제 1 아암부의 2개의 단부 근방의 외측면 거리는 상기 코일 스프링의 상기 제 1 성긴 감김부의 내경보다도 작게 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 1 항에 있어서,
상기 보조가동부재는 판상체인 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 1 항에 있어서,
상기 보조가동부재는 원통체인 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 1 항에 있어서,
상기 코일 스프링은 타단의 근방에 선재가 간격을 두고 압축가능하게 감겨진 제 2 성긴 감김부를 가지며,
상기 보조가동부재는 상기 제 1 아암부와 공통하는 구조를 갖는 아암부, 및 상기 제 1 슬릿과 공통하는 구조를 갖는 슬릿을 갖는 판상체이고,
상기 보조가동부재는 2개의 해당 아암부가, 해당 슬릿을 좁히는 방향으로 탄성변형된 상태에서, 상기 코일 스프링의 상기 제 2 성긴 감김부측 단부로부터 상기 코일 스프링의 내경측에 삽입되며,
상기 보조가동부재가 구비하는 상기 아암부의 단부 근방의 외측면과 상기 코일 스프링의 내측면은 전기적 접촉을 유지하면서 상대 위치를 변동하는 것이 가능하게 되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 14 항에 있어서,
상기 보조가동부재는 그 외측면으로부터 판 폭 방향으로 돌출되며, 상기 코일 스프링의 상기 제 1 성긴 감김부측과는 반대편 단부에 걸림고정되는 제 2 걸림부를 구비하는 것이고,
상기 보조가동부재 및 상기 코일 스프링은 상기 보조가동부재의 아암부를 그 판 폭 방향으로 탄성변형시키며, 상기 보조가동부재의 상기 슬릿을 폐색하면서, 상기 보조가동부재를 해당 슬릿측의 단부로부터 상기 코일 스프링의 상기 제 2 성긴 감김부측 단부의 내경에 삽입하여, 상기 보조가동부재의 해당 슬릿측 단부로부터 상기 제 2 걸림부에 이르는 부분이 상기 코일 스프링에 내포되도록 조립되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 1 항에 있어서,
상기 가동부재는 측정대상물에 부설되는 전극인 측정대상전극에 접촉하기 위한 전극접촉부를 일단에 가지며,
상기 보조가동부재는 측정장치의 배선기판인 검사용 기판에 접촉하기 위한 보조기판접촉부를 일단에 가지는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 1 항에 있어서,
상기 가동부재는 측정장치의 배선기판인 검사용 기판에 접촉하기 위한 보조기판접촉부를 일단에 가지며,
상기 보조가동부재는 측정대상물에 부설되는 전극인 측정대상전극에 접촉하기 위한 전극접촉부를 일단에 가지는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
측정대상물에 부설되는 전극인 측정대상전극에 접촉하기 위한 전극접촉부를 일단에 갖는 가동부재와,
일단의 근방에 선재가 간격을 두고 압축가능하게 감겨진 성긴 감김부를 가지며, 상기 성긴 감김부에 인접하여 선재가 간격을 두지 않고 밀착되게 감긴 밀착 감김부를 갖는 코일 스프링을 구비하는 프로브 핀으로서,
상기 가동부재는
타단이 개구되어 있는 제 1 슬릿을 사이에 두고 서로 마주하고, 해당 제 1 슬릿를 좁히는 방향으로 탄성변형가능한 2개의 제 1 아암부를 갖는 판상체이며,
상기 제 1 아암부가 탄성변형되지 않은 상태에서, 상기 제 1 아암부의 2개의 단부 근방의 외측면 거리는 상기 코일 스프링의 상기 밀착 감김부의 내경보다도 크게 형성되고,
상기 전극접촉부의 근방에, 상기 코일 스프링의 상기 성긴 감김부측 단부에 걸림고정되는 걸림부를 구비하며,
2개의 상기 제 1 아암부가, 상기 제 1 슬릿을 좁히는 방향으로 탄성변형된 상태에서, 상기 코일 스프링의 상기 성긴 감김부측 단부로부터 상기 코일 스프링의 내경측으로, 상기 가동부재의 상기 걸림부가 상기 코일 스프링의 상기 성긴 감김부측 단부에 걸림고정될 때까지 삽입되어,
상기 제 1 아암부의 단부 근방의 외측면과 상기 코일 스프링의 내측면은 전기적 접촉을 유지하면서 상대위치를 변동하는 것이 가능하게 되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 18 항에 있어서,
상기 제 1 아암부의 근원부분의 판 폭은 판 두께와 같은 정도에서부터 판 두께의 1/2의 범위로 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 18 항에 있어서,
상기 제 1 아암부의 외측면에 완만한 원호형상의 돌출부를 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 18 항에 있어서,
상기 가동부재는 그 외측면으로부터 판 폭 방향으로 돌출되는 돌기부를 구비하고, 해당 돌기부를 상기 코일 스프링의 상기 성긴 감김부측 단부에 압입함으로써, 상기 코일 스프링에 고정되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 18 항에 있어서,
상기 가동부재 및 상기 코일 스프링은 상기 가동부재의 상기 제 1 아암부를 그 판 폭 방향으로 탄성변형시키며, 상기 제 1 슬릿을 폐색하면서, 상기 가동부재를 상기 제 1 슬릿측 단부로부터 상기 코일 스프링의 상기 성긴 감김부측 단부의 내경으로 삽입하여, 상기 가동부재의 상기 제 1 슬릿측 단부로부터 상기 걸림부에 이르는 부분이 상기 코일 스프링에 내포되도록 조립되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 18 항에 있어서,
상기 코일 스프링은 상기 밀착 감김부의 외경이 상기 성긴 감김부의 외경과 거의 동일하게 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 18 항에 있어서,
상기 코일 스프링은 상기 밀착 감김부의 외경이 상기 성긴 감김부의 외경보다도 작게 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 24 항에 있어서,
상기 제 1 아암부가 탄성변형되지 않은 상태에서, 상기 제 1 아암부의 2개의 단부 근방의 외측면 거리는 상기 코일 스프링의 상기 성긴 감김부의 내경보다도 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 24 항에 있어서,
상기 가동부재는 판 폭이 상기 성긴 감김부의 내경보다도 작고, 또한 상기 밀착 감김부의 내경보다도 크며, 상기 걸림부의 끝면으로부터 상기 코일 스프링으로의 삽입 방향으로 돌출된 판상의 연신부를 구비하고,
상기 제 1 아암부는 상기 연신부의 상기 걸림부와는 반대측 단부에 돌출형성된 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 18 항에 있어서,
상기 밀착 감김부는 상기 제 1 아암부와 미끄럼 마찰되는 부분보다도 직경이 축소된 가는 직경부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
제 27 항에 있어서,
상기 가는 직경부는 상기 성긴 감김부와는 반대측 단부에, 측정장치의 배선기판과 접촉하기 위한 기판접촉부를 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.