KR101910063B1

KR101910063B1 - 검사장치용 프로브

Info

Publication number: KR101910063B1
Application number: KR1020170061698A
Authority: KR
Inventors: 최귀환
Original assignee: 최귀환
Priority date: 2017-05-18
Filing date: 2017-05-18
Publication date: 2018-10-19

Abstract

본 발명에 따른 검사장치용 프로브는 피검사접점과 검사접점 사이에 구비되는 연결배럴과, 피검사접점에 삽입됨에 따라 피검사접점에서 상호 마주보도록 배치되는 제1접점부와 제2접점부 그리고 제1접점부와 제2접점부를 연결하는 연결접점부에 접촉되도록 연결배럴의 일측에 부분 삽입된 상태에서 피검사접점에 접촉되는 제1플런저와, 연결배럴의 타측에 부분 삽입된 상태에서 검사접점에 접촉되는 제2플런저와, 연결배럴에 삽입된 상태에서 제1플런저와 제2플런저를 탄성 지지하는 탄성체를 포함한다.

Description

검사장치용 프로브{PROBE FOR THE TEST DEVICE}

본 발명은 검사장치용 프로브에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 피검사접점에서 상호 이격된 3개의 지점에 프로브가 접촉됨으로써, 프로브와 피검사접점 사이의 전기적 연결을 명확하게 하고, 프로브와 피검사체 간의 결합력을 향상시키기 위한 검사장치용 프로브에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 칩과 같은 피검사체는 미세한 전자회로가 고밀도로 집적되어 형성되어 있으며, 제조공정 중에 각 전자회로의 정상 여부를 테스트한다.

종래의 검사장치용 프로브는 원통형 배럴, 일측에 팁(tip)을 갖고 타측은 원

통형 배럴에 부분 삽입되는 상부 플런저, 일측에 팁(tip)을 갖고 타측은 원통형 배럴에 부분 삽입되는 하부 플런저 및 원통형 배럴 내에 위치하고 상부 플런저와 하부 플런저 사이에 배치되는 스프링을 포함하여 구성한다.

여기서, 피검사체의 피검사접점은 플러그 소켓 단자의 형상을 가질 수 있다.

예를 들면, 카메라모듈과 같은 피검사체의 소켓형 단자는 검사장치용 프로브의 상부 플런저의 팁(tip)과 접촉된다. 피검사체의 소켓형 단자는 평면이 아닌 곡면을 형상을 이루고 재질 또한 경질의 금속 재질로 이루어져 테스트 시에 정확하게 상부 플런저의 팁(tip_이 소켓형 단자에 접촉하지 못하는 문제가 발생하고 있다.

대한민국 등록특허공보 제10-1500609호(발명의 명칭 : 검사장치, 2015. 03. 19. 공고)

본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 피검사접점에서 상호 이격된 3개의 지점에 프로브가 접촉됨으로써, 프로브와 피검사접점 사이의 전기적 연결을 명확하게 하고, 프로브와 피검사체 간의 결합력을 향상시키기 위한 검사장치용 프로브를 제공함에 있다.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 바람직한 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 검사장치용 프로브는 피검사접점과 검사접점 사이에 구비되는 연결배럴; 상기 피검사접점에 삽입됨에 따라 상기 피검사접점에서 상호 마주보도록 배치되는 제1접점부와 제2접점부 그리고 상기 제1접점부와 상기 제2접점부를 연결하는 연결접점부에 접촉되도록 상기 연결배럴의 일측에 부분 삽입된 상태에서 상기 피검사접점에 접촉되는 제1플런저; 상기 연결배럴의 타측에 부분 삽입된 상태에서 상기 검사접점에 접촉되는 제2플런저; 및 상기 연결배럴에 삽입된 상태에서 상기 제1플런저와 상기 제2플런저를 탄성 지지하는 탄성체;를 포함한다.

여기서, 상기 제1플런저는, 상기 연결배럴의 일측에 부분 삽입되는 슬라이더; 상기 제1접점부와 상기 제2접점부에 접촉되도록 상기 피검사접점에 삽입되되, 상기 슬라이더와 결합되는 연결부 및 상기 연결부에서 단면적이 작아지도록 연장되는 경사부를 포함하는 제1접촉부재; 및 상기 피검사접점에 삽입된 상태에서 상기 연결접점부에 접촉되도록 상기 경사부와 결합되는 제2접촉부재;를 포함한다.

여기서, 상기 제2접촉부재에는, 상기 연결접점부와의 접촉을 위해 상호 이격 배치되는 접촉팁이 돌출 형성된다.

본 발명에 따른 검사장치용 프로브는 상기 제1플런저의 제한된 이동거리에 대응하여 상기 연결배럴에서 상기 제1플런저를 슬라이드 이동 가능하게 지지하는 이동제한부;를 더 포함한다.

본 발명에 따른 검사장치용 프로브에 따르면 다음과 같은 효과를 나타낼 수 있다.

첫째, 피검사접점에서 상호 이격된 3개의 지점에 프로브가 접촉됨으로써, 프로브와 피검사접점 사이의 전기적 연결을 명확하게 하고, 프로브와 피검사체 간의 결합력을 향상시킬 수 있다.

둘째, 프로브와 피검사접점의 3점 접촉을 위해 제1플런저가 피검사접점에 삽입될 때, 제1플런저의 허용오차를 증가시킬 수 있고, 검사장치의 검사 정밀도를 향상시킬 수 있다.

셋째, 상호 이격 배치된 접촉팁을 통해 연결접점부와 제2접촉부재 사이의 전기적 연결을 원활하게 할 수 있다.

넷째, 이동제한부를 통해 제1플런저가 피검사접점에 삽입될 때, 제1플런저의 슬라이드 이동 거리를 제한하고, 제1플런저가 안정되게 피검사접점에 삽입되어 프로브와 피검사접점의 3점 접촉이 명확해지도록 할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치용 프로브를 도시한 분해도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치용 프로브의 유동성을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치용 프로브와 피검사접점의 결합 상태를 도시한 도면이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 검사장치용 프로브의 일 실시예를 설명한다. 이때, 본 발명은 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대해 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명확하게 하기 위해 생략될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치용 프로브를 도시한 분해도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치용 프로브의 유동성을 나타내는 도면이이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치용 프로브와 피검사접점의 결합 상태를 도시한 도면이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치용 프로브는 피검사체의 피검사접점(100)과 검사회로의 검사접점(미도시)을 전기적으로 연결한다.

여기서, 피검사접점(100)은 피검사체에 고정되는 접점고정부(101)와, 접점고정부(101)에서 돌출 형성되는 돌출연장부(102)와, 돌출연장부(102)에서 피검사체를 향해 절곡 형성되는 제1접점부(103)와, 제1접점부(103)에서 절곡 형성되는 연결접점부(105)와, 제1접점부(103)와 마주보도록 연결접점부(105)에서 절곡 형성되는 제2접점부(104)를 포함할 수 있다.

또한, 제2접점부(104)의 단부에는 후술하는 제1플런저(20)와의 접촉을 원활하게 하기 위해 접점절곡부(106)가 절곡 형성될 수 있다.

이에 따라 제1접점부(103)와 제2접점부(104)는 상호 마주보는 형태로 이격 배치됨으로써, 후술하는 제1플런저(20)가 삽입되는 이격공간을 형성하게 된다. 본 발명의 일 실시예에서는 제1접점부(103)와 접점절곡부(106) 사이에 이격공간을 형성하여 후술하는 제1플런저(20)가 제1접점부(103)와 접점절곡부(106) 그리고 연결접점부(105)에 접촉되도록 한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치용 프로브는 연결배럴(10)과, 제1플런저(20)와, 제2플런저(30)와, 탄성체(40)를 포함한다.

연결배럴(10)은 피검사접점(100)과 검사접점(미도시) 사이에 구비된다. 연결배럴(10)은 관통홀(11)이 관통 형성된 중공의 관 형상으로 형성될 수 있다. 연결배럴(10)에는 후술하는 제2슬라이더(22)를 지지하기 위해 가이드배럴(12)이 연장 형성될 수 있다.

제1플런저(20)는 연결배럴(10)의 일측에 부분 삽입된 상태에서 피검사접점(100)에 접촉된다. 제1플런저(20)는 피검사접점(100)에 삽입 지지됨으로써, 피검사접점(100)의 제1접점부(103)와, 제2접점부(104)(또는 접점절곡부(106))와, 연결접점부(105)에 제1플런저(20)가 접촉되도록 한다.

다시 말해, 제1플런저(20)는 피검사접점(100)에 삽입됨에 따라 피검사접점(100)에서 상호 마주보도록 배치되는 제1접점부(103)와 제2접점부(104) 그리고 제1접점부(103)와 제2접점부(104)를 연결하는 연결접점부(105)에 접촉되는 것이다.

제1플런저(20)는 슬라이더(20a)와, 제1접촉부재(20b)와, 제2접촉부재(20c)를 포함할 수 있다.

슬라이더(20a)는 연결배럴(10)의 일측에 부분 삽입된다.

좀 더 자세하게, 슬라이더(20a)는 연결배럴(10)에 슬라이드 이동 가능하게 삽입되는 제1슬라이더(21)와, 제1접촉부재(20b)에 결합되는 제2슬라이더(22)와, 제1슬라이더(21)와 제2슬라이더(22)를 연결하는 연결슬라이더(23)를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에서는 제1슬라이더(21)와 제2슬라이더(22)의 단면적은 각각 연결슬라이더(23)의 단면적보다 크게 형성됨으로써, 연결배럴(10)과 슬라이더(20a)의 결합 및 연결배럴(10)에서 슬라이더(0의 슬라이드 왕복 이동을 부드럽게 할 수 있다.

제1접촉부재(20b)는 제1접점부(103)와 제2접점부(104)에 접촉되도록 피검사접점(100)에 삽입된다.

제1접촉부재(20b)는 슬라이더(20a)의 제2슬라이더(22)와 결합되는 연결부(24)와, 연결부(24)보다 작은 단면적으로 연결부(24)에서 연장되는 경사부(25)를 포함한다. 이때, 연결부(24) 또는 경사부(25)에는 제1접점부(103)와 제2접점부(104)가 접촉되도록 한다.

이와 같이 제1접촉부재(20b)는 경사부(25)를 포함함으로써, 제1접촉부재(20b)가 피검사접점(100)에 형성되는 이격공간에 삽입될 때, 제1접촉부재(20b)의 허용오차를 증가시키고, 제1플런저(20)의 유동성을 확보할 수 있게 된다.

제2접촉부재(20c)는 피검사접점(100)에 삽입된 상태에서 연결접점부(105)에 접촉된다. 제2접촉부재(20c)는 경사부(25)와 결합되도록 한다.

제2접촉부재(20c)에는 연결접점부(105)와의 접촉 안정성을 위해 접촉팁(26)이 돌출 형성된다. 접촉팁(26)은 둘 이상이 상호 이격된 상태로 제2접촉부재(20c)에 배치된다.

제2플런저(30)는 연결배럴(10)의 타측에 부분 삽입된 상태에서 검사접점(미도시)에 접촉된다.

제2플런저(30)는 연결배럴(10)에 슬라이드 이동 가능하게 삽입되는 제3슬라이더(31)와, 제3슬라이더(31)에 결합되어 검사접점(미도시)에 접촉되는 제4슬라이더(32)를 포함할 수 있다. 제4슬라이더(32)에는 검사접점(미도시)과의 접촉 안정성을 위해 접점접촉부가 구비될 수 있다.

탄성체(40)는 연결배럴(10)에 삽입된 상태에서 제1플런저(20)와 제2플런저(30)를 탄성 지지한다. 본 발명의 일 실시예에서 탄성체(40)는 코일스프링으로 구성되고, 양단부에 각각 제1플런저(20)와 제2플런저(30)가 탄성 지지되도록 한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치용 프로브는 이동제한부(50)를 더 포함할 수 있다.

이동제한부(50)는 제1플런저(20)의 제한된 이동거리에 대응하여 연결배럴(10)에서 제1플런저(20)를 슬라이드 이동 가능하게 지지한다.

그러면, 이동제한부(50)는 연결배럴(10)과 제1플런저(20) 중 어느 하나에 구비되어 제1플런저(20)의 제한된 이동거리를 형성하는 제한가이드부(51)와, 연결배럴(10)과 제1플런저(20) 중 다른 하나에 구비되어 제한가이드부(51)와 끼움 결합된 상태로 슬라이드 이동 가능한 제한돌부(52)를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에서 제한돌부(52)는 연결배럴(10)의 일측에서 내부로 돌출되고, 제한가이드부(51)는 제1슬라이더(21) 또는 제2슬라이더(22)보다 작은 직경을 갖는 연결슬라이더(23)에 의해 제1플런저(20)에 함몰 형성될 수 있다.

도시되지 않았지만, 연결슬라이더(23)가 제1슬라이더(21)와 제2슬라이더(22)보다 큰 단면적을 가지는 경우, 연결슬라이더(23)는 제한돌부(52)의 기능을 갖게 되고, 연결배럴(10)의 내부에는 연결슬라이더(23)의 제한된 이동거리에 따라 제한가이드부(51)가 함몰 형성될 수 있다.

특히, 제한돌부(52)가 단순히 제한가이드부(51)에 삽입 지지되는 경우, 제1플런저(20)가 피검사접점(100)의 이격공간에 삽입될 때, 고정체인 피검사체로부터 제1플런저(20)에 전달되는 충격이 그대로 연결배럴(10) 및 제2플런저(30)에 전달됨으로써, 프로브가 완충 작용을 나타내지 못하고, 프로브의 파손 및 변형을 초래하는 문제점을 나타내게 된다.

하지만, 본 발명의 일실시예에서와 같이 이동제한부()의 구성에 따라 제한된 이동거리에 대하여 연결배럴(10)에서 제1플런저(20)가 슬라이드 이동 가능하게 지지되기 때문에, 프로브가 완충 작용을 나타낼 수 있고, 프로브의 파손 및 변형을 예방할 수 있다.

다시 말해, 탄성체(40)가 제1플런저(20)를 탄성지지하므로, 제1플런저(20)가 피검사접점(100)의 이격공간에 삽입될 때, 제한된 이동거리 내에서 제1플런저(20)는 연결배럴(10)와 왕복 이동이 가능하므로, 프로브에 전달되는 충격을 흡수할 수 있게 된다.

본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치용 프로브는 이탈방지부(60)를 더 포함할 수 있다.

이탈방지부(60)는 제2플런저(30)가 연결배럴(10)에서 이탈되는 것을 방지하도록 연결배럴(10)에서 제2플런저(30)를 슬라이드 이동 가능하게 지지한다.

그러면, 이탈방지부(60)는 제2플런저(30)에 구비되는 이탈방지가이드부(61)와, 연결배럴(10)에 구비되어 이탈방지가이드부(61)를 따라 슬라이드 이동 가능한 이탈방지돌부(62)를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에서 이탈방지돌부(62)는 연결배럴(10)의 타측에서 내부로 돌출되고, 이탈방지가이드부(61)는 제3슬라이더(31)보다 작은 직경을 갖는 제4슬라이더(32)에 의해 제2플런저(30)에 함몰 형성될 수 있다.

이와 같이 이탈방지부(60)의 구성에 따라 제2플런저(30)는 연결배럴(10)에서 이탈되는 것을 예방할 수 있고, 탄성체(40)가 제2플런저(30)를 탄성 지지함에 따라 프로브에 전달되는 충격을 흡수하여 프로브의 파손이나 변형을 방지할 수 있다.

도시되지 않았지만, 제2플런저(30)는 제1플런저(20)와 실질적으로 동일한 구성을 나타낼 수 있고, 이에 따라 이탈방지부(60)는 이동제한부(50)와 실질적으로 동일한 구성을 나타낼 수 있다.

지금부터는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치용 프로브의 동작에 대하여 설명한다.

제1플런저(20)가 피검사접점(100)을 향해 이동하여 피검사접점(100)에 형성된 이격공간에 삽입되면, 제1접촉부재(20b)의 양측면에는 상호 이격된 제1접점부(103)와 제2접점부(104)가 접촉된다.

계속해서 제1플런저(20)가 이격공간에 삽입되면, 제1플런저(20)와 피검사접점(100) 사이의 마찰에 따라 제1플런저(20)는 연결슬라이더(23)의 길이에 대응하여 제한된 이동거리만큼 슬라이드 이동하여 연결배럴(10)의 내부로 삽입될 수 있다.

그리고 제1접촉부재(20b)의 양측면으로 제1접점부(103)와 제2접점부(104)가 접촉된 상태에서 제2접촉부재(20c)의 접촉팁(26)이 연결슬라이더(23)에 접촉된다.

마지막으로 제1플런저(20)의 길이 방향으로 가해지는 힘이 해제되면, 제1플런저(20)는 피검사접점(100)에 3점이 접촉 지지된 상태가 되고, 탄성체(40)의 탄성복원력으로 제1플런저(20)에서 연결배럴(10)은 제2플런저(30) 쪽으로 이동될 수 있다.

마찬가지로 제2플런저(30)가 검사접점(미도시)을 향해 이동되면, 제2플런저(30)의 제4슬라이더(32) 단부가 검사접점(미도시)에 접촉한다. 이때, 프로브가 검사접점(미도시)에 가해지는 압력에 따라 제2플런저(30)는 연결배럴(10)의 내부로 삽입될 수 있다.

이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브는 피검사접점(100)과 검사접점(미도시)을 전기적으로 연결하게 된다.

상술한 검사장치용 프로브에 따르면, 피검사접점(100)에서 상호 이격된 3개의 지점에 프로브가 접촉됨으로써, 프로브와 피검사접점(100) 사이의 전기적 연결을 명확하게 하고, 프로브와 피검사체 간의 결합력을 향상시킬 수 있다.

또한, 프로브와 피검사접점(100)의 3점 접촉을 위해 제1플런저(20)가 피검사접점(100)에 삽입될 때, 제1플런저(20)의 허용오차를 증가시킬 수 있고, 검사장치의 검사 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 상호 이격 배치된 접촉팁(26)을 통해 연결접점부(105)와 제2접촉부재(20c) 사이의 전기적 연결을 원활하게 할 수 있다.

또한, 이동제한부(50)를 통해 제1플런저(20)가 피검사접점(100)에 삽입될 때, 제1플런저(20)의 슬라이드 이동 거리를 제한하고, 제1플런저(20)가 안정되게 피검사접점(100)에 삽입되어 프로브와 피검사접점(100)의 3점 접촉이 명확해지도록 할 수 있다.

상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.

10: 연결배럴 11: 관통홀 12: 가이드배럴
20: 제1플런저 20a: 슬라이더 20b: 제1접촉부재
20c: 제2접촉부재 21: 제1슬라이더 22: 제2슬라이더
23: 연결슬라이더 24: 연결부 25: 경사부
26: 접촉팁 30: 제2플런저 31: 제3슬라이더
32: 제4슬라이더 40: 탄성체 50: 이동제한부
51: 제한가이드부 52: 제한돌부 60: 이탈방지부
61: 이탈방지가이드부 62: 이탈방지돌부 100: 피검사접점
101: 접점고정부 102: 돌출연장부 103: 제1접점부
104: 제2접점부 105: 연결접점부 106: 접점절곡부

Claims

피검사접점과 검사접점 사이에 구비되는 연결배럴;
상기 피검사접점에 삽입됨에 따라 상기 피검사접점에서 상호 마주보도록 배치되는 제1접점부와 제2접점부 그리고 상기 제1접점부와 상기 제2접점부를 연결하는 연결접점부에 접촉되도록 상기 연결배럴의 일측에 부분 삽입된 상태에서 상기 피검사접점에 접촉되는 제1플런저;
상기 연결배럴의 타측에 부분 삽입된 상태에서 상기 검사접점에 접촉되는 제2플런저; 및
상기 연결배럴에 삽입된 상태에서 상기 제1플런저와 상기 제2플런저를 탄성 지지하는 탄성체;를 포함하고,
상기 제1플런저는,
상기 연결배럴의 일측에 부분 삽입되는 슬라이더;
상기 제1접점부와 상기 제2접점부에 접촉되도록 상기 피검사접점에 삽입되되, 상기 슬라이더와 결합되는 연결부 및 상기 연결부에서 단면적이 작아지도록 연장되는 경사부를 포함하는 제1접촉부재; 및
상기 피검사접점에 삽입된 상태에서 상기 연결접점부에 접촉되도록 상기 경사부와 결합되되, 상기 연결접점부와의 접촉을 위해 상호 이격 배치되는 접촉팁이 돌출 형성된 제2접촉부재;를 포함하며,
상기 슬라이더는 상기 연결배럴에 슬라이드 이동 가능하게 삽입되는 제1슬라이더, 상기 제1접촉부재에 결합되는 제2슬라이더, 및 상기 제1슬라이더와 상기 제2슬라이더를 연결하는 연결슬라이더를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치용 프로브.
삭제
삭제
제1항에 있어서,
상기 제1플런저의 제한된 이동거리에 대응하여 상기 연결배럴에서 상기 제1플런저를 슬라이드 이동 가능하게 지지하는 이동제한부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치용 프로브.