JP5861423B2 - コンタクトプローブ及びそれを備えた半導体素子用ソケット - Google Patents
コンタクトプローブ及びそれを備えた半導体素子用ソケット Download PDFInfo
- Publication number
- JP5861423B2 JP5861423B2 JP2011266645A JP2011266645A JP5861423B2 JP 5861423 B2 JP5861423 B2 JP 5861423B2 JP 2011266645 A JP2011266645 A JP 2011266645A JP 2011266645 A JP2011266645 A JP 2011266645A JP 5861423 B2 JP5861423 B2 JP 5861423B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plunger
- contact probe
- contact
- coil spring
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 104
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 49
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 85
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 31
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 23
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 19
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 15
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical group [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 14
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 8
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 7
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 6
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 6
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 claims description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000003353 gold alloy Substances 0.000 claims description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 23
- 239000010944 silver (metal) Substances 0.000 description 10
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 4
- DMFGNRRURHSENX-UHFFFAOYSA-N beryllium copper Chemical compound [Be].[Cu] DMFGNRRURHSENX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910017392 Au—Co Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910017398 Au—Ni Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001315 Tool steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
- G01R1/06716—Elastic
- G01R1/06722—Spring-loaded
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
- H01R13/00—Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
- H01R13/02—Contact members
- H01R13/22—Contacts for co-operating by abutting
- H01R13/24—Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted
- H01R13/2407—Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted characterized by the resilient means
- H01R13/2421—Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted characterized by the resilient means using coil springs
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
- H01R2201/00—Connectors or connections adapted for particular applications
- H01R2201/20—Connectors or connections adapted for particular applications for testing or measuring purposes
Description
しかしながら、コンタクトプローブ110の最表メッキ層114の導体抵抗が大きく、例えば2アンペア以上の大電流が流れると発熱量が大きくなり、発熱温度が上昇して検査する半導体素子に影響を及ぼす可能性がある。
また、本発明の半導体素子用ソケットによれば、半導体素子の電極部と検査用基板の電極部とを、前記構成のコンタクトプローブを介して大電流でも確実に導通させることができる。これにより、半導体素子用ソケット内の温度上昇を抑えることができ、多数回にわたり信頼性の高い半導体素子の検査を行うことができる。
なお、プランジャ12,13は、旋盤加工で形成可能な形状なので、金型等の専用治工具類を必要とせず、大量生産を可能であり、工数やコストの削減と生産性の向上を図ることができる。
前記構成のコンタクトプローブ30,40によれば、互いのコイルバネ32,33が絡み合うのを防止することができる。また、第1プランジャ12,42および第2プランジャ13,43に対して均等な接触力を得ることができる。
半導体素子用ソケット50は、このコンタクトプローブ10,30,40を介して、半導体素子67の電極部と検査用基板51の電極部とを導通させる。
この場合、コンタクトプローブの構成は、半導体素子の電極部と接する上部接触子、検査用基板の電極部と接する下部接触子と、上部接触子と上部接触子を互いに離間する方向へ付勢するコイルバネの3部品であり、コイルバネの周囲を覆うバレルのような筒状部材は存在しない。
コンタクトプローブ:第1プランジャ、第2プランジャ、バレル、コイルバネの4部品構成で、第1、第2プランジャが中間層を含めた3層メッキを有し、バレルとコイルバネは通常の2層メッキである。
プランジャのメッキ層:中間層;2μmのAgメッキ、下地層;3μmのNiメッキ、最表層;1μmのAu合金メッキ
(実施例2)
コンタクトプローブ:第1プランジャ、第2プランジャ、バレル、2重コイルバネの5部品構成で、5部品全てが中間層を含めた3層メッキを有する。
プランジャとバレルのメッキ層:中間層;2μmのAgメッキ、下地層;3μmのNiメッキ、最表層;1μmのAu合金メッキ
コイルバネのメッキ層:中間層;1μmのAgメッキ、下地層;1μmのNiメッキ、最表層;0.1μmのAu合金メッキ
コンタクトプローブ:第1プランジャ、第2プランジャ、バレル、コイルバネの4部品構成で、4部品全てが通常の2層メッキである。
プランジャとバレルのメッキ層:下地層;3μmのNiメッキ、最表層;1μmのAu合金メッキ
コイルバネのメッキ層:下地層;1μmのNiメッキ、最表層;0.1μmのAu合金メッキ
Claims (6)
- 先端に半導体素子の電極部が接触される上部接触子を有する第1プランジャと、検査用基板の電極部に接触される下部接触子を有する第2プランジャと、筒状のバレルに収容され、前記第1プランジャと前記第2プランジャとを互いに離間する方向へ付勢する弾性部材と、を備えたコンタクトプローブであって、
前記第1プランジャ、前記第2プランジャ、前記バレルの内周部および外周部、前記弾性部材は、その母材表面に下地層、中間層および最表層からなる3層のメッキ層を有し、該中間層のメッキ層が、99%質量以上の金、銀、および、銅からなる群のうちから選択されたいずれか一つの金属で形成され、該最表層が、前記中間層のメッキ層の耐腐食性に比して優れた耐腐食性を有するとともに、該中間層のメッキ層の硬度よりも高い硬度を有する金属で形成されることを特徴とするコンタクトプローブ。 - 前記最表層が、金合金、パラジウム、ロジウム、硬質金、白金からなる群のうちから選択されたいずれか一つの金属で形成されることを特徴とする請求項1記載のコンタクトプローブ。
- 前記下地層は、前記母材表面と親和性および密着性に優れたニッケルメッキ層であることを特徴とする請求項1記載のコンタクトプローブ。
- 請求項1に記載のコンタクトプローブであって、
前記弾性部材は、筒状のバレルに収容された複数のコイルバネからなり、少なくとも第1コイルバネと、該第1コイルバネ内に収容された第2コイルバネとを備えていることを特徴とするコンタクトプローブ。 - 請求項4に記載のコンタクトプローブであって、
前記第2コイルバネは、前記第1コイルバネの巻き方向とは逆の巻き方向に収容されていることを特徴とするコンタクトプローブ。 - 請求項1乃至請求項5のうちのいずれかに記載のコンタクトプローブを備え、前記半導体素子の電極部と前記検査用基板の電極部とを、前記コンタクトプローブを介して導通させることを特徴とする半導体素子用ソケット。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011266645A JP5861423B2 (ja) | 2011-12-06 | 2011-12-06 | コンタクトプローブ及びそれを備えた半導体素子用ソケット |
PCT/JP2012/080383 WO2013084730A1 (ja) | 2011-12-06 | 2012-11-22 | コンタクトプローブ及びそれを備えた半導体素子用ソケット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011266645A JP5861423B2 (ja) | 2011-12-06 | 2011-12-06 | コンタクトプローブ及びそれを備えた半導体素子用ソケット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013120065A JP2013120065A (ja) | 2013-06-17 |
JP5861423B2 true JP5861423B2 (ja) | 2016-02-16 |
Family
ID=48574104
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011266645A Active JP5861423B2 (ja) | 2011-12-06 | 2011-12-06 | コンタクトプローブ及びそれを備えた半導体素子用ソケット |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5861423B2 (ja) |
WO (1) | WO2013084730A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6150666B2 (ja) * | 2013-08-19 | 2017-06-21 | 富士通コンポーネント株式会社 | プローブ及びプローブの製造方法 |
JP7063609B2 (ja) * | 2017-12-26 | 2022-05-09 | 株式会社エンプラス | プローブピン及びソケット |
CN108267620A (zh) * | 2018-01-26 | 2018-07-10 | 平湖市日拓电子科技有限公司 | 一种探针 |
JP2019139848A (ja) * | 2018-02-06 | 2019-08-22 | 株式会社エンプラス | ソケット |
CN112601965A (zh) * | 2018-08-23 | 2021-04-02 | 日本电产理德股份有限公司 | 检查治具、检查装置以及接触端子 |
JPWO2020158575A1 (ja) * | 2019-01-29 | 2021-12-02 | 株式会社ヨコオ | プランジャーおよびコンタクトプローブ |
KR102289580B1 (ko) | 2019-06-11 | 2021-08-12 | 야마이치 일렉트로닉스 컴퍼니 리미티드 | 통 형상 부재, 컨택트 프로브 및 반도체 검사용 소켓 |
JPWO2021140904A1 (ja) * | 2020-01-10 | 2021-07-15 | ||
JP7444659B2 (ja) | 2020-03-19 | 2024-03-06 | 株式会社エンプラス | コンタクトピン及びソケット |
KR102298847B1 (ko) * | 2020-05-25 | 2021-10-19 | 브이테크놀로지코리아(주) | 반도체 소자 테스트를 위한 전도성 연결부재 |
WO2024053638A1 (ja) * | 2022-09-06 | 2024-03-14 | 株式会社ヨコオ | ソケット |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3597738B2 (ja) * | 1999-03-12 | 2004-12-08 | 日本発条株式会社 | 導電性接触子及び導電性接触子アセンブリ |
EP1290454B1 (en) * | 2000-06-16 | 2007-02-28 | NHK Spring Co., Ltd. | Microcontactor probe and electric probe unit |
JP4614434B2 (ja) * | 2004-09-30 | 2011-01-19 | 株式会社ヨコオ | プローブ |
JP2010223852A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Toshiba Corp | 電気検査用プローブ及びその製造方法並びに半導体装置の製造方法 |
KR20130014486A (ko) * | 2009-11-13 | 2013-02-07 | 테스트 툴링 솔루션즈 그룹 피티이 리미티드 | 프로브 핀 |
JP5328042B2 (ja) * | 2009-12-07 | 2013-10-30 | 理化電子株式会社 | コンタクトプローブ |
JP2011214965A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Yokowo Co Ltd | プローブ |
-
2011
- 2011-12-06 JP JP2011266645A patent/JP5861423B2/ja active Active
-
2012
- 2012-11-22 WO PCT/JP2012/080383 patent/WO2013084730A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013120065A (ja) | 2013-06-17 |
WO2013084730A1 (ja) | 2013-06-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5861423B2 (ja) | コンタクトプローブ及びそれを備えた半導体素子用ソケット | |
TW567317B (en) | Conductive contactor | |
KR101408550B1 (ko) | 프로브 카드용 접촉 단자 및 프로브 카드 | |
TWI493050B (zh) | 合金材料、接觸探針及連接端子 | |
KR101235228B1 (ko) | 워크 부재, 전기 접점 부재, 콘택트 프로브 및 전기 접점 부재의 제조방법 | |
JP2014025737A (ja) | 検査用治具及び接触子 | |
CN107431317B (zh) | 电触头以及电子元件用插座 | |
US10585117B2 (en) | Contact probe and inspection jig | |
JP2016166899A (ja) | 電気テスト用コンタクトおよびそれを用いた電気テスト用ソケット | |
CN107431318B (zh) | 电子元件用插座及其制造方法 | |
KR20080027182A (ko) | 접속 장치 | |
JP2010159997A (ja) | コンタクトプローブ及びコンタクトプローブ用のコンタクトチップ | |
JP6546719B2 (ja) | 接触検査装置 | |
US10509057B2 (en) | Probe assembly and probe structure thereof | |
JP2001337110A (ja) | プローブピンおよびプローブカード | |
JP5926587B2 (ja) | 電気接触子及び電気部品用ソケット | |
JP2011180034A (ja) | コンタクトプローブ用プランジャー | |
JP2007147518A (ja) | 電極子装置 | |
JP2010091436A (ja) | コンタクトプローブ。 | |
JP6559999B2 (ja) | 電気部品用ソケット | |
CN109425814B (zh) | 探针组件及其探针结构 | |
JP2016192307A (ja) | 電気部品用ソケット | |
JP6482354B2 (ja) | 電気部品用ソケットの製造方法及び電気部品用ソケット | |
JP6506590B2 (ja) | 電気接触子及び電気部品用ソケット | |
JP6482355B2 (ja) | 電気部品用ソケット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140430 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150303 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150507 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150630 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150831 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151124 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151207 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5861423 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |