JP2014240788A - プローブユニット、基板検査装置およびプローブユニット製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2 プローブユニット
6 検査部
11 プローブ
12 支持部
21 先端部
23 基端部
41〜46 支持板
41a〜46a 形成領域
41b〜46b 非形成領域
51〜56 支持孔
100 基板
Claims (5)
- 接触対象に先端部を接触させて電気信号の入出力を行うためのプローブと、当該プローブを支持する支持部とを備えたプローブユニットであって、
前記支持部は、先端部側支持孔を有して当該先端部側支持孔に挿通させた前記プローブの前記先端部を支持する先端部側支持板と、基端部側支持孔を有して当該基端部側支持孔に挿通させた前記プローブの基端部を支持する3枚以上の基端部側支持板とを備え、
前記各基端部側支持板は、前記基端部側支持孔の形成領域の厚みが非形成領域の厚みよりも薄くそれぞれ形成されると共に、各々の前記基端部側支持孔の中心軸同士が同軸の状態で互いに当接または近接して積み重ねられた姿勢であって当該プローブユニットの製造工程において前記基端部側支持孔への前記プローブの挿通を開始するときの第1姿勢と、前記製造工程が完了した状態の姿勢であって当該各基端部側支持板が予め規定された規定順序で積み重ねられた第2姿勢とを切り替え可能に構成され、
前記各基端部側支持板のうちの前記第2姿勢において前記先端部側支持板から最も離間する位置に配置される当該基端部側支持板としての第1支持板は、前記形成領域の厚み方向の中心位置が前記非形成領域の厚み方向の中心位置よりも前記第2姿勢において前記先端部側支持板から離間するように形成され、
前記各基端部側支持板のうちの前記第2姿勢において前記先端部側支持板に最も近接する位置に配置される当該基端部側支持板としての第2支持板は、前記形成領域の厚み方向の中心位置が前記非形成領域の厚み方向の中心位置よりも前記第2姿勢において前記先端部側支持板に近接するように形成されると共に、前記第1姿勢において前記第1支持板よりも前記先端部側支持板から離間してかつ当該第1支持板の前記形成領域に当該第2支持板の前記形成領域が当接または近接するように配置されるプローブユニット。 - 前記第1支持板は、前記形成領域および前記非形成領域における前記第1姿勢において前記第2支持板側に位置する一面が面一となるように形成され、
前記第2支持板は、前記形成領域および前記非形成領域における前記第1姿勢において前記第1支持板側に位置する一面が面一となるように形成されている請求項1記載のプローブユニット。 - 前記各基端部側支持板は、各々の前記基端部側支持孔の前記中心軸同士が前記第2姿勢において予め決められた位置ずれ量だけ位置ずれするように配置される請求項1または2記載のプローブユニット。
- 請求項1から3のいずれかに記載のプローブユニットと、前記接触対象としての基板の導体部に接触させた前記プローブユニットの前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて当該基板を検査する検査部とを備えている基板検査装置。
- 接触対象に先端部を接触させて電気信号の入出力を行うためのプローブと、当該プローブを支持する支持部とを備えたプローブユニットを製造するプローブユニット製造方法であって、
先端部側支持孔を有して当該先端部側支持孔に挿通させた前記プローブの前記先端部を支持する先端部側支持板と、基端部側支持孔を有して当該基端部側支持孔の形成領域の厚みが非形成領域の厚みよりも薄くそれぞれ形成されると共に当該基端部側支持孔に挿通させた前記プローブの前記基端部を支持する3枚以上の基端部側支持板とを備えた前記支持部を用いて、
当該プローブユニットの製造工程において、各々の前記基端部側支持孔の中心軸同士が同軸の状態で互いに当接または近接して前記各基端部側支持板を積み重ねた第1姿勢に当該各基端部側支持板を維持させて当該基端部側支持孔への前記プローブの挿通を開始すると共に、前記製造工程が完了するまでに前記各基端部側支持板を予め規定された規定順序で積み重ねた第2姿勢に前記各基端部側支持板を切り替え、
前記形成領域の厚み方向の中心位置が前記非形成領域の厚み方向の中心位置よりも前記第2姿勢において前記先端部側支持板から離間するように形成された前記基端部側支持板としての第1支持板を、前記第2姿勢において前記先端部側支持板から最も離間する位置に配置させ、
前記形成領域の厚み方向の中心位置が前記非形成領域の厚み方向の中心位置よりも前記第2姿勢において前記先端部側支持板に近接するように形成された前記基端部側支持板としての第2支持板を、前記第1姿勢において前記第1支持板よりも前記先端部側支持板から離間してかつ当該第1支持板の前記形成領域に当該第2支持板の前記形成領域が当接または近接するように配置させると共に前記第2姿勢において前記先端部側支持板に最も近接する位置に配置させるプローブユニット製造方法。
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