JP2016191553A - プローブユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明にかかるプローブユニットは、プローブホルダが、第1のコンタクトプローブを挿通可能な第1の導電孔、および第2のコンタクトプローブを挿通可能な第2の導電孔が形成された第1の導電ブロックと、第1のコンタクトプローブを挿通可能な第3の導電孔、および第2のコンタクトプローブを挿通可能な第4の導電孔が形成された第2の導電ブロックと、第1および第3導通孔に連通する第1の絶縁孔、および第2および第4導通孔に連通する第2の絶縁孔が形成された絶縁ブロックと、を有し、第2および第4の導電孔は、特性インピーダンスを整合するための中空空間を形成し、第2の絶縁孔の径は、第2および第4の導電孔の径と比して小さい。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の実施の形態1にかかるプローブユニットの概略構成を示す斜視図である。図2は、本実施の形態1にかかるプローブユニットの要部の構成を示す部分断面図である。図1および図2に示すプローブユニット1は、検査対象物(接触対象物)である半導体集積回路100の電気特性検査を行う際に使用する装置であって、コンタクトプローブ2(以下、単に「プローブ2」という)により半導体集積回路100と半導体集積回路100へ検査用信号を出力する回路基板200との間を電気的に接続する装置である。
図4は、本実施の形態2にかかるプローブユニットの要部の構成を示す部分断面図である。なお、上述した構成要素と同じ構成要素には同じ符号を付してある。上述した実施の形態1では、信号用プローブ2bを保持する孔の径が同一であるものとして説明したが、本実施の形態2では、信号用プローブ2bの種別などに応じて孔の径が異なる。
2 コンタクトプローブ
2a グランド用コンタクトプローブ(グランド用プローブ)
2b,2c 信号用コンタクトプローブ(信号用プローブ)
3,3a プローブホルダ
4 ホルダ部材
21 第1プランジャ
21a,22a 先端部
21b 爪部
21c,22b フランジ部
21d,22c ボス部
22d 基端部
22 第2プランジャ
23 コイルばね
23a 密着巻き部
23b 粗巻き部
30,30a 第1金属ブロック
31 第1孔(第1の導電孔)
32 第2孔(第2の導電孔)
33 第3孔(第2の導電孔)
40,40a 第2金属ブロック
41 第1孔(第3の導電孔)
42 第2孔(第4の導電孔)
43 第3孔(第4の導電孔)
50,50a 第1絶縁プレート
60 第2絶縁プレート
70 絶縁ブロック
71 第1孔(第1の絶縁孔)
72 第2孔(第2の絶縁孔)
100 半導体集積回路
200 回路基板
Claims (6)
- 特性が異なる信号をそれぞれ導通する第1および第2のコンタクトプローブと、
複数の前記第1および第2のコンタクトプローブを保持するプローブホルダと、
を備え、
前記プローブホルダは、
前記第1のコンタクトプローブを挿通可能な第1の導電孔、および前記第2のコンタクトプローブを挿通可能な第2の導電孔が形成された第1の導電ブロックと、
前記第1のコンタクトプローブを挿通可能な第3の導電孔、および前記第2のコンタクトプローブを挿通可能な第4の導電孔が形成された第2の導電ブロックと、
前記第1および第2の導電ブロックの間に設けられる絶縁ブロックであって、前記第1および第3導通孔に連通する第1の絶縁孔、および前記第2および第4導通孔に連通する第2の絶縁孔が形成された絶縁ブロックと、
を有し、
前記第2および第4の導電孔は、前記第2のコンタクトプローブの特性インピーダンスを整合するための中空空間を形成し、
前記第2の絶縁孔の径は、前記第2および第4の導電孔の径と比して小さいことを特徴とするプローブユニット。 - 前記第2および第4の導電孔は、前記第2のコンタクトプローブを挿通する孔同士で対をなし、
前記対をなす前記第2および第4の導電孔は、軸と直交する方向の径が略同一であり、
前記第2のコンタクトプローブが導通する信号の特性に応じて、前記対単位で前記第2および第4の導電孔の径が異なることを特徴とする請求項1に記載のプローブユニット。 - 前記絶縁ブロックは、板状をなし、
当該絶縁ブロックの板厚は、前記第1のコンタクトプローブの各々の軸と直交する方向の最外径のうちの最大の径以上であることを特徴とする請求項1または2に記載のプローブユニット。 - 前記第1の絶縁孔の径は、前記第1の導電孔の径以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のプローブユニット。
- 前記第1および第2の絶縁孔は、両端開口部が面取りされ、
前記第1および第2の導電孔は、前記絶縁ブロックと接触する側の端部開口部が面取りされていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載のプローブユニット。 - 前記第1および第2のコンタクトプローブは、同一の形状をなすことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載のプローブユニット。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019178947A (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-17 | 山一電機株式会社 | 検査用ソケット |
CN111707850A (zh) * | 2019-03-18 | 2020-09-25 | 旺矽科技股份有限公司 | 探针装置 |
CN113167814A (zh) * | 2018-11-27 | 2021-07-23 | 日本发条株式会社 | 探针单元 |
CN113260868A (zh) * | 2018-12-26 | 2021-08-13 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 电连接装置 |
JP7430252B2 (ja) | 2020-05-22 | 2024-02-09 | リーノ インダストリアル インコーポレイテッド | 検査ソケットの製造方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS637370U (ja) * | 1986-07-01 | 1988-01-19 | ||
JP2005156530A (ja) * | 2003-11-05 | 2005-06-16 | Nhk Spring Co Ltd | 導電性接触子ホルダ、導電性接触子ユニット |
JP2006098375A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Yokowo Co Ltd | 検査ユニット |
US20070269999A1 (en) * | 2006-05-18 | 2007-11-22 | Centipede Systems, Inc. | Socket for an electronic device |
JP2008256503A (ja) * | 2007-04-04 | 2008-10-23 | Onishi Denshi Kk | プリント配線板検査治具 |
JP2009156710A (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-16 | Yokowo Co Ltd | 検査ソケット |
JP2011252766A (ja) * | 2010-06-01 | 2011-12-15 | 3M Innovative Properties Co | 接触子ホルダ |
JP2012098219A (ja) * | 2010-11-04 | 2012-05-24 | Yamaichi Electronics Co Ltd | 半導体装置用ソケット |
JP2014240788A (ja) * | 2013-06-12 | 2014-12-25 | 日置電機株式会社 | プローブユニット、基板検査装置およびプローブユニット製造方法 |
JP2016070863A (ja) * | 2014-10-01 | 2016-05-09 | 日本発條株式会社 | プローブユニット |
-
2015
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS637370U (ja) * | 1986-07-01 | 1988-01-19 | ||
JP2005156530A (ja) * | 2003-11-05 | 2005-06-16 | Nhk Spring Co Ltd | 導電性接触子ホルダ、導電性接触子ユニット |
JP2006098375A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Yokowo Co Ltd | 検査ユニット |
US20070269999A1 (en) * | 2006-05-18 | 2007-11-22 | Centipede Systems, Inc. | Socket for an electronic device |
JP2008256503A (ja) * | 2007-04-04 | 2008-10-23 | Onishi Denshi Kk | プリント配線板検査治具 |
JP2009156710A (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-16 | Yokowo Co Ltd | 検査ソケット |
JP2011252766A (ja) * | 2010-06-01 | 2011-12-15 | 3M Innovative Properties Co | 接触子ホルダ |
JP2012098219A (ja) * | 2010-11-04 | 2012-05-24 | Yamaichi Electronics Co Ltd | 半導体装置用ソケット |
JP2014240788A (ja) * | 2013-06-12 | 2014-12-25 | 日置電機株式会社 | プローブユニット、基板検査装置およびプローブユニット製造方法 |
JP2016070863A (ja) * | 2014-10-01 | 2016-05-09 | 日本発條株式会社 | プローブユニット |
JP6436711B2 (ja) * | 2014-10-01 | 2018-12-12 | 日本発條株式会社 | プローブユニット |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019178947A (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-17 | 山一電機株式会社 | 検査用ソケット |
US11293944B2 (en) | 2018-03-30 | 2022-04-05 | Yamaichi Electronics Co., Ltd. | Test socket |
JP7068578B2 (ja) | 2018-03-30 | 2022-05-17 | 山一電機株式会社 | 検査用ソケット |
CN113167814A (zh) * | 2018-11-27 | 2021-07-23 | 日本发条株式会社 | 探针单元 |
US11782074B2 (en) | 2018-11-27 | 2023-10-10 | Nhk Spring Co., Ltd. | Probe unit |
CN113167814B (zh) * | 2018-11-27 | 2024-02-27 | 日本发条株式会社 | 探针单元 |
CN113260868A (zh) * | 2018-12-26 | 2021-08-13 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 电连接装置 |
CN111707850A (zh) * | 2019-03-18 | 2020-09-25 | 旺矽科技股份有限公司 | 探针装置 |
JP7430252B2 (ja) | 2020-05-22 | 2024-02-09 | リーノ インダストリアル インコーポレイテッド | 検査ソケットの製造方法 |
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