JP6367249B2 - プローブユニット - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1にかかるプローブユニットの構成を示す斜視図である。図1に示すプローブユニット1は、検査対象物である半導体集積回路の電気特性検査を行う際に使用する装置であって、半導体集積回路を封入する半導体パッケージ100の接続用電極と半導体集積回路へ検査用信号を出力する回路基板200との間を電気的に接続する装置である。半導体パッケージ100の接続用電極は、図1に示すリード101であって、半導体集積回路に接続されている。
図9は、本実施の形態1の変形例にかかるプローブユニットのプランジャの構成を示す図である。上述した実施の形態1では、先端部21aの接触部214の先端が先細に形成された一つの先鋭端を有するものとして説明したが、本変形例のように、先端部21eの接触部215が、二つの先鋭端を有するものであってもよい。
つぎに、本発明の実施の形態2について説明する。図10は、本発明の実施の形態2にかかるプローブユニットの要部の構成を示す部分断面図である。なお、図1等で上述した構成要素と同じ構成要素には同じ符号を付してある。上述した実施の形態1では、第1プランジャ21を交換する際、プローブホルダ3からプローブ2全体を取り出すものとなるが、本実施の形態2では、第1プランジャ21のみを交換する。
図11は、本発明の実施の形態2の変形例にかかるプローブユニットの要部の構成を示す部分断面図である。本変形例にかかるプローブユニットは、上述したプローブ2aおよびプローブホルダ3に代えてプローブ2cおよびプローブホルダ5aを有する。プローブ2cは、半導体集積回路の検査を行なうときにその半導体パッケージ100のリード101に接触する第1プランジャ25と、検査回路を備えた回路基板200の電極に接触する第2プランジャ22と、第1プランジャ25と第2プランジャ22との間に設けられる連結部材26と、第2プランジャ22と連結部材26との間に設けられて第2プランジャ22および連結部材26を伸縮自在に連結するコイルばね23とを備える。
2 プローブ群
2a,2b,2c コンタクトプローブ(プローブ)
3,5,5a プローブホルダ
4 ホルダ部材
21,24,25 第1プランジャ
21a,21e,22a,24a,25a,26a 先端部
21b,22b,24b,25b,26b フランジ部
21c,22c,26c ボス部
21d,22d,24c,25c,26d 基端部
22 第2プランジャ
23 コイルばね
23a 密着巻き部
23b 粗巻き部
26 連結部材
31,51,53 第1部材
32,52,54 第2部材
33,513,533 長孔
34,35,514,515,521,534,535,543,544 ホルダ孔
34a,35a,514a,515a,521a,534a,543a,544a 小径部
34b,35b,514b,515b,521b,534b,543b,544b 大径部
100 半導体パッケージ
101 リード
200 回路基板
201,202 電極
211,241,251 基部
212,242,252 傾斜部
212a,214a,215a,242a,244a,252a,254 傾斜面
213,243,253 延在部
213a,243a,253a 平面部
214,215,244,254 接触部
215b,215c 先鋭端
511,531,541 第1積層部材
512,532,542 第2積層部材
Claims (4)
- 長手方向の一方の端部側で接触対象の一つの電極とそれぞれ接触する二つのコンタクトプローブからなるプローブ群を複数備えるとともに、前記コンタクトプローブを保持するプローブホルダを備え、各コンタクトプローブが、他方の端部側で基板の異なる電極とそれぞれ接触するプローブユニットであって、
前記コンタクトプローブは、
柱状をなして延びる基部と、
前記基部から延びるとともに、該基部の長手方向に対して傾斜した第1の傾斜面を有する傾斜部と、
前記傾斜部の前記基部に連なる側と異なる端部から延び、前記基部の長手方向に平行な平面をなす平面部を有する延在部と、
前記延在部の前記傾斜部に連なる側と異なる端部から延びるとともに、前記基部の長手方向に対する傾斜角度が、前記第1の傾斜面の傾斜角度と等しい第2の傾斜面を有し、先端で前記接触対象の一つの電極と接触する接触部と、
前記基部の前記傾斜部に連なる側と異なる端部から延び、前記基部の径と比して大きい径を有するフランジ部と、
を有し、
前記傾斜部は、前記延在部に向かうにしたがって漸次細くなっており、
前記プローブホルダには、
複数の前記コンタクトプローブを保持する複数のホルダ孔と、
当該プローブホルダの上端面に開口を有し、前記複数のホルダ孔の一端と連通するとともに、内部壁面で前記平面部を支持して複数の前記コンタクトプローブを該内部壁面に沿って配列させる長孔と、
が形成され、
前記コンタクトプローブは、前記フランジ部が前記プローブホルダと当接することで、該プローブホルダに保持される
ことを特徴とするプローブユニット。 - 前記接触部は、前記先端に形成され、それぞれが先細な形状をなす複数の先鋭端を有し、
前記複数の先鋭端のうち隣り合う二つの先鋭端の対向する壁面がなす角度は、前記第1の傾斜面の傾斜角度の二倍であることを特徴とする請求項1に記載のプローブユニット。 - 前記長孔は、前記プローブ群の配列方向と平行であって、かつ前記プローブ群を構成する前記コンタクトプローブが互いに対向する方向と直交する方向に延びることを特徴とする請求項1または2に記載のプローブユニット。
- 前記コンタクトプローブは、
前記基部、前記傾斜部、前記延在部、前記接触部および前記フランジ部を有する第1プランジャと、
前記基板の電極と接触する第2プランジャと、
前記第1および第2プランジャの間に設けられて、該第1および第2プランジャを伸縮自在に連結するコイルばねと、
を有し、
前記プローブホルダは、
前記長孔が形成され、前記第1プランジャを保持する第1部材と、
前記第2プランジャおよび前記コイルばねを保持し、前記第1部材を着脱自在な第2部材と、
を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のプローブユニット。
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