JP5406310B2 - コンタクトプローブ - Google Patents
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- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
- G01R1/06733—Geometry aspects
- G01R1/06738—Geometry aspects related to tip portion
Description
2 コンタクトプローブ(プローブ)
3 プローブホルダ
21 第1プランジャ
21a,22a 先端部
21b,21f 爪部
21c,22b フランジ部
21d,22c ボス部
21e,22d 基端部
22 第2プランジャ
23 バネ部材
23a 密着巻き部
23b 粗巻き部
31 第1部材
32 第2部材
33,34 ホルダ孔
33a,34a 小径部
33b,34b 大径部
100 半導体集積回路
101,101a 接続用電極
200 回路基板
Claims (4)
- 長手方向に沿って伸縮可能な針状をなす導電性のコンタクトプローブであって、
前記長手方向の少なくとも一方の端部は、互いに同じ錘状をなして突出し、前記長手方向の中心軸を対称軸として回転対称に配置された複数の爪部を備え、
前記爪部は、先端と前記対称軸とを通過し、少なくとも該先端に近い部分で複数の凸部が連続する階段状をなす稜線を有することを特徴とするコンタクトプローブ。 - 前記爪部の先端と、前記複数の凸部の頂点と、前記対称軸と前記稜線との交点とを通過する線のうち、長さが最小である線は、直線状をなすことを特徴とする請求項1に記載のコンタクトプローブ。
- 前記複数の凸部の頂点は、前記対称軸と前記稜線との交点と、前記爪部の先端とを通過し、かつ該交点と該先端とを通過する直線と対称軸との間を通過する弧状曲線上に位置することを特徴とする請求項1に記載のコンタクトプローブ。
- 前記階段状をなす部分は、電界メッキが施されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のコンタクトプローブ。
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